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2024-04-10 07:54 |
白光迈克尔逊干涉仪
1.摘要 &>}.RX]t q
G;-o)h 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 V> a*3D q&M:17+:Q [attachment=127783] >7-y#SkXdo j)D-BK&+ 2. 建模任务 hN4VlNKu p?myuNd[ [attachment=127784] oXc/#{NC cqQRU 3. 干涉条纹的变化 QJ<[Zx 2:J,2=% [attachment=127785] vnsSy 33K <%!J? 4. 走进VirtualLab Fusion 4: sl(r eOrYa3hQ [attachment=127786] yKDZ+3xK] gg8c7d:Q 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 G*\sdBW!k oa0X5}D [attachment=127787] ?iln<%G ZO7bSxAN- 6. VirtualLab Fusion 技术 ('WY5Yps %_tk7x [attachment=127788]
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