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2024-04-09 08:06 |
全场光学相干扫描干涉仪
摘要 5 EDHJU>
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 1Lz`.%k`:
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建模任务 C>7Mx{ !H
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仿真干涉条纹 cd{3JGg B
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走进VirtualLab Fusion zYpIG8"o5
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VirtualLab Fusion中的工作流程 8= gr F
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•设置输入场 P]!$M Ot
−基本光源模型[教程视频] I=D {(%+^d
•使用导入的数据自定义表面轮廓 1~8F&
•定义元件的位置和方向 /k<*!H]KSg
− LPD II：位置和方向[教程视频] T[xGF/
•正确设置通道以进行非序列追迹 RI w6i?/I
−非序列追迹的通道设置[用例] <y'B
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•使用参数运行检查影响/变化 g3n^
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−参数运行文档的使用[用例] + EG.p
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