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2024-04-09 08:06 |
全场光学相干扫描干涉仪
摘要 wT % "5:
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 X 7&U3v
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建模任务 j J-d/"(
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仿真干涉条纹 D"`[6EN[
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走进VirtualLab Fusion \bRy(Z)
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VirtualLab Fusion中的工作流程 |Cq8%
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•设置输入场 '2xcce#
−基本光源模型[教程视频] >F|qb*Tm7
•使用导入的数据自定义表面轮廓 &/D OO ^
•定义元件的位置和方向 o oDdV
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− LPD II：位置和方向[教程视频] k%!VP=c4s
•正确设置通道以进行非序列追迹 >\&= [C
−非序列追迹的通道设置[用例] .xo_}Vw
•使用参数运行检查影响/变化 -[<vYxX:h:
−参数运行文档的使用[用例] :r-.r"[m-
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