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2024-04-09 08:06 |
全场光学相干扫描干涉仪
摘要 Z0:BXtW
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 |kd^]! _
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建模任务 - )Vj08aP
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仿真干涉条纹 'oEmb k8Hg
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走进VirtualLab Fusion l^"G \ZVI
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VirtualLab Fusion中的工作流程 p~b$+8#+
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•设置输入场 o MA K[$k;
−基本光源模型[教程视频] {h=Ai[|l4Q
•使用导入的数据自定义表面轮廓 k$2Y)
•定义元件的位置和方向 \[&]kPcDl
− LPD II：位置和方向[教程视频] v uP1gem
•正确设置通道以进行非序列追迹 o EN_,cUp
−非序列追迹的通道设置[用例] $d=lDN
•使用参数运行检查影响/变化 d]^ i1
−参数运行文档的使用[用例] k$>T(smh
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VirtualLab Fusion技术 IW#(ICeb
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