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2024-04-09 08:06 |
全场光学相干扫描干涉仪
摘要 jO'|mGUM
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 8 cVzFFQP
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建模任务 uV]ULm#,i
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仿真干涉条纹 KCR N}`^
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走进VirtualLab Fusion RR| \- 8;
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VirtualLab Fusion中的工作流程 z,Lzgh
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•设置输入场 ea ZQ2
−基本光源模型[教程视频] ,4@|1z{bfm
•使用导入的数据自定义表面轮廓 w2"]Pl
•定义元件的位置和方向 x:z0EYL
− LPD II：位置和方向[教程视频] 2WCLS{@'
•正确设置通道以进行非序列追迹 Ewo~9
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−非序列追迹的通道设置[用例] Of7 +/U V
•使用参数运行检查影响/变化 lrEj/"M
−参数运行文档的使用[用例] VcgBLkIF
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