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infotek 2024-04-09 08:06

全场光学相干扫描干涉仪

摘要 O'B3sy  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 y\j[\UZKO  
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建模任务 PY C  
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仿真干涉条纹 Y'jgp Vt  
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走进VirtualLab Fusion n:B){'S  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 U\, N  
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•设置输入场 *g %bdO  
−基本光源模型[教程视频] ,aD~7QX1:  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 <$hv{a  
•定义元件的位置和方向 _VjaTw8iM  
− LPD II:位置和方向[教程视频]  AV|:v3  
•正确设置通道以进行非序列追迹 c$)>$&([  
−非序列追迹的通道设置[用例] V1Ojr~iM  
•使用参数运行检查影响/变化 k"%JyO8Y  
−参数运行文档的使用[用例] ^t71${w##  
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VirtualLab Fusion技术 fQ"Vx!  
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