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2024-04-09 08:06 |
全场光学相干扫描干涉仪
摘要 O 7R IcU
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 :dq.@:+<R
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建模任务 (
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仿真干涉条纹 VzfaUAIZl
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VirtualLab Fusion中的工作流程 %O6r
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•设置输入场 ypU-/}Cf,
−基本光源模型[教程视频] 6_|iXs(&
•使用导入的数据自定义表面轮廓 QO2@K1 Y
•定义元件的位置和方向 }`KK
− LPD II：位置和方向[教程视频] ICck 0S!
•正确设置通道以进行非序列追迹 '8%jA$o\g
−非序列追迹的通道设置[用例] !LI6_Oq
•使用参数运行检查影响/变化 JLd-{}A""-
−参数运行文档的使用[用例] O6*2oUKqK
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