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2024-04-09 08:06 |
全场光学相干扫描干涉仪
摘要 z?FZu,h}
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 <}.)kg${O
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建模任务 0D 0 #*J
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仿真干涉条纹 uodO^ 5"-
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VirtualLab Fusion中的工作流程 ]P] lG-
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•设置输入场 j:U>V7Kn3~
−基本光源模型[教程视频] @yobT,DXi
•使用导入的数据自定义表面轮廓
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•定义元件的位置和方向 eYR/kZ %<
− LPD II：位置和方向[教程视频] bu@Px z% _
•正确设置通道以进行非序列追迹 =oiY'}%(i
−非序列追迹的通道设置[用例] ZFrK'BvbR
•使用参数运行检查影响/变化 w&C SE
−参数运行文档的使用[用例] L{
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