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2024-04-07 08:06 |
用于光学测量的菲索干涉仪
摘要 oV0T
"`V@?+3 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 k#Sr; " T+ZA"i+
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