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infotek 2024-04-02 08:22

构造二维周期性光栅结构

复杂光栅结构被广泛应用于光谱仪、近眼显示系统等领域。VirtualLab Fusion 软件用傅立叶模态法(FMM,或者RCWA)一种简易的仿真方法来严格分析任意的光栅结构。使用图形用户界面,可以设置堆栈的几何图形,从而生成复杂的光栅结构。 此例程主要用于构建具有二维周期性特征的光栅。
[attachment=127572]
• 光栅工具箱中构建二维光栅的方法 − 基于介质定义的类型 − 基于界面定义的类型 TJ6*t!'*X  
• 计算之前修改高级选项和检查定义的结构的方法。 eg;~zv  
• 提示:在VirtualLab软件中的光栅结构中,表现为二维周期性的被称作 三维光栅。同样的,层状光栅(一维周期性)被称作二维光栅。 O;:mCt _H  
o,AAC  
初始化光栅工具箱 0"  
• 初始化 s(/; U2"e  
− 开始菜单栏 (Start) 8]/bK5`  
光栅菜单栏(Grating)  hKL4cpK4  
通用光栅光路图(三维光栅) General Grating Light Path   Diagram(3D Gratings) P}n_IV*@  
[attachment=127573]
• 提示:对于特殊类型的光栅,例如柱形光栅, 5\:^ y'g[  
可以在光栅工具箱中直接点击柱形光栅光路 v&DI`xn~  
图(三维光栅)(Pillar Grating Light `{3<{wgw  
Path Diagram(3D Gratings)) qr"3y  
V5V bJBpf  
设置光栅结构 S9]'?|  
E7j(QO f  
• 首先,需要定义基底(Base Block)的厚度和介质。 iT3BF"ZqBO  
• VirtualLab中光栅结构在堆栈(stack) 中定义。 qouhuH_WtJ  
• 可以在基底的前表面、后表面或者前后表面同时添加堆栈(stack)。
[attachment=127574]
J\twZ>w~0  
• 例如,图中在前表面添加了堆栈(stack)。 [%y';`( x  
[attachment=127575]
基于材料定义光栅的类型(例程: 柱形光栅) !Xf5e*1IS  
堆栈编辑器 .sha&  
pjKWtY@=X  
gc_:%ki  
在堆栈编辑器(Stack Editor)中,界面和材料可以从中目录(catalog) 中添加。 _n0CfH.v  
• 为了用一种特殊的介质定义光栅,需要添加两个平面界面,作为介质的边界。 UZ\u;/}  
[attachment=127576]
_S<3\%(0  
两个平面之间的介质类型可以是均匀介质(homogenous)或者调制介质(modulated)。 e^6)Zz1\  
• 使用调制介质,就可以非常有效地描述复杂光栅结构,如柱形光栅。
[attachment=127577]
[attachment=127578]
柱形光栅介质 p& y<I6a,  
% ?0:vn  
• 在目录类别中LightTrans预设(LightTrans Defined)下柱形介质类(pillar media)中可以添加铬柱(Chromium Pillars)。 g:g\>@Umo  
• 这种介质可以仿真柱形结构或者在基底表面打孔的结构。 h \fjBDU^  
• 此例程中,矩形排布的金属铬圆柱位于熔融石英基底表面。 4VJ-,Z  
• 在堆栈编辑器的视图中,不同材料根据折射率的高低表示为不同深浅的颜色 HVR /7&g  
(颜色越深,折射率越高)。 vyNxT*,[K  
• 注意:堆栈编辑器固定显示x-z平面的横截面视图。
[attachment=127579]
 eI$oLl@  
CGW.I$u  
• 请注意:界面添加的顺序固定由基底表面开始算起。 2b}t,&bv?  
• 选中的界面会以红色突出显示。 V#2+"(7h  
[attachment=127580]
• 此外,无法在此处定义光栅前面的介质(指 deBY5|  
最后一个界面后的介质)。它会自动从光栅部件前面的材料中提取。 o[Q MTP  
• 可以在光学参数设置编辑器(Optical Setup Editor)中更改这处材料。
[attachment=127581]
T0wW<_jh  
UOv+T8f=  
• 堆栈周期(Stack Period)可以控制整个结构的周期。 I667Gz$j5  
• 对于二维周期性光栅,必须在x和y方向分别定义周期。 H%qsjB^  
• 该周期也是FMM算法的周期边界条件。 !"?#6-,Xn  
• 对于简单的光栅结构,建议选择与介质周期一致 (Dependent from the Period of Medium) 选项,并选择合适的周期性介质的序号。 !#], hok8X  
[attachment=127582]
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