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2024-04-02 08:22 |
构造二维周期性光栅结构
复杂光栅结构被广泛应用于光谱仪、近眼显示系统等领域。VirtualLab Fusion 软件用傅立叶模态法（FMM,或者RCWA）一种简易的仿真方法来严格分析任意的光栅结构。使用图形用户界面，可以设置堆栈的几何图形，从而生成复杂的光栅结构。 此例程主要用于构建具有二维周期性特征的光栅。[attachment=127572] • 光栅工具箱中构建二维光栅的方法 − 基于介质定义的类型 − 基于界面定义的类型 tOg=zXm
• 计算之前修改高级选项和检查定义的结构的方法。 ;z >p 8N
• 提示：在VirtualLab软件中的光栅结构中，表现为二维周期性的被称作 三维光栅。同样的，层状光栅（一维周期性）被称作二维光栅。 =,:K)
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初始化光栅工具箱 "tR}j,=S:D
• 初始化 F(4yS2h(
− 开始菜单栏 (Start) Z u#<
光栅菜单栏(Grating) DY3:#X`4
通用光栅光路图（三维光栅） General Grating Light Path Diagram(3D Gratings) WU\m^!`w=F
[attachment=127573] • 提示：对于特殊类型的光栅，例如柱形光栅， zSgjp\
可以在光栅工具箱中直接点击柱形光栅光路 w}k B6o]
图（三维光栅）(Pillar Grating Light kL;t8{n
Path Diagram(3D Gratings)) W"qL-KW
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设置光栅结构 HdCk!Fv
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• 首先，需要定义基底(Base Block)的厚度和介质。 !~J WYY
• VirtualLab中光栅结构在堆栈(stack) 中定义。 6 >B \|
• 可以在基底的前表面、后表面或者前后表面同时添加堆栈(stack)。[attachment=127574] 'N jSu64W
• 例如，图中在前表面添加了堆栈(stack)。 ,nYZxYLf+
[attachment=127575] 基于材料定义光栅的类型（例程： 柱形光栅） [.3sE
堆栈编辑器 fM:80bn L+
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kI+b <$:D
在堆栈编辑器(Stack Editor)中，界面和材料可以从中目录(catalog) 中添加。 shK &2Noan
• 为了用一种特殊的介质定义光栅，需要添加两个平面界面，作为介质的边界。 i+ic23$4M
[attachment=127576] 'j# a%j@{
两个平面之间的介质类型可以是均匀介质(homogenous)或者调制介质(modulated)。 78w4IICk
• 使用调制介质，就可以非常有效地描述复杂光栅结构，如柱形光栅。[attachment=127577] [attachment=127578] 柱形光栅介质 P"Rk? lL
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• 在目录类别中LightTrans预设(LightTrans Defined)下柱形介质类(pillar media)中可以添加铬柱(Chromium Pillars)。 3-
)kwy6L
• 这种介质可以仿真柱形结构或者在基底表面打孔的结构。 l ?/gW D^
• 此例程中，矩形排布的金属铬圆柱位于熔融石英基底表面。 7}07Pit
• 在堆栈编辑器的视图中，不同材料根据折射率的高低表示为不同深浅的颜色 8S= c^_PJ
（颜色越深，折射率越高）。 rC rr"O#j
• 注意：堆栈编辑器固定显示x-z平面的横截面视图。[attachment=127579] =,E' ~P
8A_TIyh?
• 请注意：界面添加的顺序固定由基底表面开始算起。 T &*eOr
• 选中的界面会以红色突出显示。 FB!z#Eim
[attachment=127580] • 此外，无法在此处定义光栅前面的介质（指 OfLM
最后一个界面后的介质）。它会自动从光栅部件前面的材料中提取。 7b,A Q 9
• 可以在光学参数设置编辑器(Optical Setup Editor)中更改这处材料。[attachment=127581] h@Dw'w
1gAc, s2
• 堆栈周期(Stack Period)可以控制整个结构的周期。 g T D%4V
• 对于二维周期性光栅，必须在x和y方向分别定义周期。 YiNo#M91
• 该周期也是FMM算法的周期边界条件。 -faw:
• 对于简单的光栅结构，建议选择与介质周期一致 (Dependent from the Period of Medium) 选项，并选择合适的周期性介质的序号。 dw99FA6
[attachment=127582]
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