| infotek |
2024-03-06 07:54 |
JCMSuite应用:光场通过六方晶胞的近场分析
这是一个简单的二维光栅的例子,具有双重周期(六方)晶格。三维单元晶胞在x和y平面上是周期性的。它包含两个不同的菱形(平行六面体),位于衬底上,被背景材料包围。我们选择了一个直角线单元晶胞(最小原始单元格)来避免结构的计算域边界的不利切割。案例中的材料选择为铬(菱形),玻璃(基底)和空气(背景材料)。 J$aE:g6'
[attachment=126774] oFO)28Btv 光栅被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时,平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度 5%qq#;[n
[attachment=126775]
11'^JmKA
S偏振光照明的场矢量 :,@"I$>*/ Ofx]
[attachment=126776] `Z#0kpXk_
P偏振光照明的场矢量 \
F\ /< 后处理傅里叶变换计算透射衍射级次的振幅。 ~CtLSyB
|
|