光学非球面新型检测原理与技术
本书结合光学测量技术的最新发展,针对光学非球面,尤其是大口径非球面和自由曲面的检测技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、具体的实验装置,以及相关的测量方法和精度。全书共分5章,第1章介绍了光学非球面的基本概念、描述及评价方法,并简要介绍了光学非球面检测的经典方法; 第2章介绍了基于激光束偏转与逆向哈特曼的光学非球面几何检测方法; 第3章详细介绍了部分补偿法和数字莫尔移相干涉法; 第4章重点介绍了基于干涉检测法的非球面参数误差测量; 第5章探讨了非球面干涉检测动态范围扩展的相关技术。 Tm%5:/<8
[attachment=126746] NaR} 0 目录 J*@ pM lm`*x=x 第1章光学非球面测量概述 Ez1eGPVr V^7.@BeT 1.1光学非球面的应用 jCqz^5=$ 1_Yx]%g< 1.2光学非球面的分类及数学描述 ]d*9@+Iu }dc0ZRKgx 1.2.1非球面分类 p6JTNxD gT}H B. 1.2.2非球面方程 #*(}%!rD* @pH2"k|
@ 1.3光学非球面检测及评价指标 7L~*%j 8xy8/UBIk0 1.3.1面形误差和参数误差 tZ]gVgZg XYU5. 1.3.2几何像差与泽尼克多项式 .n\JY;" VEps|d3,, 1.4光学非球面检测方法 poz_=,c 7Ae`>5B# 1.4.1接触式测量法 |/,SNE 3lF"nv 1.4.2几何检测法 Tm"H9 J|WE&5' 1.4.3干涉检测法 Q<sqlh!h IO)Y0J>x 参考文献 fe\lSGmf Us`=^\ 第2章激光束偏转法与逆向哈特曼波前检测法 0)&!$@HW 93*csO?Db 2.1激光束偏转法 qT#e
-.G 7}iv+rQ 2.1.1测量光路方案 eo+<@83 B.N#9u-vW 2.1.2光斑位置测量 "#C2+SKM1 Sz5t~U=G 2.1.3斜率计算 1EU4/6!C (Yewd/T 2.2逆向哈特曼波前检测法 \ eHOHHAGW 8lQ}-8 2.2.1逆向哈特曼波前检测法测量原理 %`]+sg[i 5FZw
(E 2.2.2测量分辨率、测量灵敏度及斜率测量范围 x80IS:TP |))NjM'ZBl 参考文献 TpU\IQ [t4v/vQT 第3章部分补偿数字莫尔移相干涉法 PVb[E 03 >)M{^ 3.1概述 :T-DxP/ e)sR$]i:v 3.2部分补偿法 Odwe1q& 0B.Gt&Oal 3.2.1基本原理 Sa g)}6+ s#?ZwD,= 3.2.2非球面部分补偿镜设计 ]N'3jf`W #/>TuJc 3.2.3自由曲面部分补偿镜设计 UA<Fxt FGDVBUY@
3.3数字莫尔移相干涉法 ggDT5hb 2U)n^ 3.3.1虚拟干涉仪的建立 D4VDWv 5`^@k< 3.3.2莫尔合成与滤波 kcfT|@:MK" 6b|<$Je9 3.4系统标定和校正 j[U#J ?.e,NHf 3.4.1干涉仪标定 `'1g>Ebk0 5/"$_7"{a 3.4.2部分补偿镜标定 x9YQd69 I}PI 3.4.3被测非球面标定 )]@h}K} vT?^# 参考文献 k8D_ 4>,X.|9{ 第4章非球面参数误差干涉测量 %,\JTN|g|A 9xR5Jm>k 4.1相关概念 UGAV"0 "D'e 4.1.1非球面的法线像差 ?X@!jB,Pv Sf?;j{?G 4.1.2斜率非球面度 aqON6|6K !Gmnck&+ 4.2基于最佳补偿位置的非球面参数误差测量原理 ?+]=|hN | N/d} 4.2.1最佳补偿位置的定义 >V6t
L;+ OjGI
! 4.2.2部分补偿干涉系统的最佳补偿位置理论模型
V_h&9]RL ,ua1sTgQ 4.2.3非球面参数误差与最佳补偿位置的关系 D, ")n75 gGrVpOzBj 4.2.4非球面参数误差测量原理 0he3[m}Nr X.b8qbnq[ 4.3非球面参数误差测量方法 gH//@`6 H$%MIBz>$ 4.3.1非球面参数误差测量系统
f"s_dR ^L%_kL_7 4.3.2非球面参数误差测量流程 Yc7YNC. A|ZT;\ 4.4非球面参数误差测量系统及实验结果 lE k@I" |^Iox0A 4.4.1实验系统搭建 7${<u 0((! i.E2a) 4.4.2实验结果与分析 W\l&wR <D a-rv8 参考文献 H~FI@Cf$L 'WW:'[Syn' .I^4Fc}&4 第5章非球面干涉检测动态范围扩展研究 QoYEWXT|g CV0id&Nv 5.1高陡度非球面检测的意义 \B#tB?rA
W1REF9i){ 5.2两步载波拼接干涉测量 S)U*1t7[
|.)LZP, 5.2.1数字莫尔移相法的局限 S70#_{ ;+~5XLk 5.2.2两步载波拼接干涉原理及关键技术 s[8. l35| I0mp [6 5.2.3仿真分析 )Q=u[ p z"4 q%DC 5.2.4实测验证 <D|&)/# cy^=!EfA 5.2.5TCSM算法应用讨论 MG=E
6: `jeATxWv 5.3数字莫尔-牛顿迭代优化干涉测量 'x%gJi# ) ^En 5.3.1数字莫尔-牛顿迭代解相原理 "}71z 'iW 5.3.2仿真分析与比较 BeUyt RZHfT0*jL 5.3.3实测验证 TdPd8ig8{ -@XSDfy7S 参考文献 @\?HlGWEf `Wx|
4 索引 nL?P/ \
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