光学非球面新型检测原理与技术
本书结合光学测量技术的最新发展,针对光学非球面,尤其是大口径非球面和自由曲面的检测技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、具体的实验装置,以及相关的测量方法和精度。全书共分5章,第1章介绍了光学非球面的基本概念、描述及评价方法,并简要介绍了光学非球面检测的经典方法; 第2章介绍了基于激光束偏转与逆向哈特曼的光学非球面几何检测方法; 第3章详细介绍了部分补偿法和数字莫尔移相干涉法; 第4章重点介绍了基于干涉检测法的非球面参数误差测量; 第5章探讨了非球面干涉检测动态范围扩展的相关技术。 +M'aWlPg,
[attachment=126746] ietRr!$. 目录 Zc'|!pT _ x&C%4Y_] 第1章光学非球面测量概述 yo\N[h7 `^7:7Wr]= 1.1光学非球面的应用 YV/>8*i >4n+PXRXX 1.2光学非球面的分类及数学描述 iq"ob8. E X%6''ys 1.2.1非球面分类 TB7>s~)47E ;n`R\NO9 1.2.2非球面方程 k"xGA*B| BBHK 1.3光学非球面检测及评价指标 Deg!<[Nw No`|m0 :j 1.3.1面形误差和参数误差 GE1i+.+-. XE_ir
Et 1.3.2几何像差与泽尼克多项式 EL^8zyg%% oZTgN .q 1.4光学非球面检测方法 10wvfRhng )~ 0}Et l 1.4.1接触式测量法 z]kwRWe`j KH7VR^;mk 1.4.2几何检测法 C5P$&s\ *GQDfs`m 1.4.3干涉检测法 *YWk1Cwjo 7vn%kW=$ 参考文献 pb!V|#u" '|A|vCRCG 第2章激光束偏转法与逆向哈特曼波前检测法 pSHSgd~& j'K38@M:MN 2.1激光束偏转法 M)&Io6>
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Y6A~ 2.1.1测量光路方案 veeI==] -fE.<)m=! 2.1.2光斑位置测量 LL&ud_Y Cyq?5\ a 2.1.3斜率计算 ~q)u(WC| HPrq1QpK 2.2逆向哈特曼波前检测法 k<a;[_S v??TJ^1 2.2.1逆向哈特曼波前检测法测量原理 ^/HW$8wEi F^QQ0h]2 2.2.2测量分辨率、测量灵敏度及斜率测量范围 vw2`:]Q+ rQ/,XH 参考文献 !/`$AXO ? B@E!/f 第3章部分补偿数字莫尔移相干涉法 MJ`N,E[ ^$v3eKA 3.1概述 n]Zk;%yL Z$p0&~ 3.2部分补偿法 V
A<5uk04K pY@Y?Jj 3.2.1基本原理 q2hFOm 3iRA$C-p 3.2.2非球面部分补偿镜设计 %Y]=1BRk} _]b3,%2 3.2.3自由曲面部分补偿镜设计 y%S1ZTScO !gF9k8\Yr$ 3.3数字莫尔移相干涉法 )=J5\3O*x `:eU. 3.3.1虚拟干涉仪的建立 hn.bau[ $=B8qZ+ 3.3.2莫尔合成与滤波 ^Dg<Ki K{@3\5< 3.4系统标定和校正 .Da'pOe \P;rES' 3.4.1干涉仪标定 ('O}&F1 )[L^Dmd, 3.4.2部分补偿镜标定 +uo{ m~_4 %dMqpY7" 3.4.3被测非球面标定 k1^\| +-<}+8G; 参考文献 bDnZcf 'm3t|:nMU 第4章非球面参数误差干涉测量 jCioE a,|?5j9,P 4.1相关概念 .pPm~2]z /J3ZL[o?Q 4.1.1非球面的法线像差 Aw5pd7qKL {D`'0Z1" 4.1.2斜率非球面度 FOwnxYGVf !345 %, 4.2基于最佳补偿位置的非球面参数误差测量原理 JhHWu< 7y^%7U \ 4.2.1最佳补偿位置的定义 #m<tJnEO JIm4vS 4.2.2部分补偿干涉系统的最佳补偿位置理论模型 G(iJi >j*;vG5T 4.2.3非球面参数误差与最佳补偿位置的关系 @%/]Q<<q h.eM
RdlO 4.2.4非球面参数误差测量原理 P 1XK*GZ bWWXc[O2&( 4.3非球面参数误差测量方法 "9!d]2.-Vk \OILWQ[/ 4.3.1非球面参数误差测量系统 0AK,&nbF "_|oW n 4.3.2非球面参数误差测量流程 NVKC'==0 }t9.N`xu 4.4非球面参数误差测量系统及实验结果 ^3VR-u <O r]@0eb
4.4.1实验系统搭建 m: n`g1 P{OAV+cG 4.4.2实验结果与分析 cD*}..-/4 k%s_0
@ 参考文献 =m89z}Ot VKp*9%9 54lu2gD' 第5章非球面干涉检测动态范围扩展研究 U>Ld~cw o+w;PP)+= 5.1高陡度非球面检测的意义 fyTAou6hI {8$=[; 5.2两步载波拼接干涉测量 dZ#&YG)?e ?eH&'m}- 5.2.1数字莫尔移相法的局限 3E3U /K Snp|!e 5.2.2两步载波拼接干涉原理及关键技术 z]B]QB
Y[ hu_ ^OlF 5.2.3仿真分析 q<y#pL=k"* -fhN"B) 5.2.4实测验证 \B F*m"lz w(ln5q 5.2.5TCSM算法应用讨论 *IgE)N> **9x?s 5.3数字莫尔-牛顿迭代优化干涉测量 :NJ_n6E gE#>RM5D 5.3.1数字莫尔-牛顿迭代解相原理 ,.eWQK~ P-F)%T[ 5.3.2仿真分析与比较 d->|EJP ;!:U((wv 5.3.3实测验证 fjvN$NgVs +$4(zPs@ 参考文献 Xq'cA9v=$J #^m0aB7r 索引 )u))n# P
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