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cyqdesign 2024-03-05 21:31

光学非球面新型检测原理与技术

本书结合光学测量技术的最新发展,针对光学非球面,尤其是大口径非球面和自由曲面的检测技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、具体的实验装置,以及相关的测量方法和精度。全书共分5章,第1章介绍了光学非球面的基本概念、描述及评价方法,并简要介绍了光学非球面检测的经典方法; 第2章介绍了基于激光束偏转与逆向哈特曼的光学非球面几何检测方法; 第3章详细介绍了部分补偿法和数字莫尔移相干涉法; 第4章重点介绍了基于干涉检测法的非球面参数误差测量; 第5章探讨了非球面干涉检测动态范围扩展的相关技术。 D|lzGt  

[attachment=126746]
&c`nR<  
目录 ~xbe~$$Q@  
Gk. ruQW"  
第1章光学非球面测量概述 g%ndvdb m  
BTl k Etm  
1.1光学非球面的应用 F<ZYh  
^T( .k=  
1.2光学非球面的分类及数学描述 O)C\v F#  
bh s5x  
1.2.1非球面分类 10G}{  
xj<Rp|7&  
1.2.2非球面方程 4{}FL  
gcii9vz `  
1.3光学非球面检测及评价指标 m-%E-nr  
'@cANGg7[  
1.3.1面形误差和参数误差 n#/_Nz  
A|CmlAW~^  
1.3.2几何像差与泽尼克多项式 &LmJ!^#  
__lM7LFL  
1.4光学非球面检测方法 &Q9qq~  
ucuSe!IcX  
1.4.1接触式测量法 b}OY4~ Y4  
9V'%<pk''(  
1.4.2几何检测法 )bA;?i  
&qLf@1AD  
1.4.3干涉检测法 5uGqX"  
kJWn<5%ayg  
参考文献 x[4`fM.m*  
NWP5If|'X  
第2章激光束偏转法与逆向哈特曼波前检测法 +y,T4^{  
E_gD:PPU5  
2.1激光束偏转法 LZ\q3 7UV  
HvUxsdT  
2.1.1测量光路方案 V GL aN%|  
< z+t,<3D  
2.1.2光斑位置测量 F@^~7ZmP`  
cO-7ke  
2.1.3斜率计算 68bQ;Dv  
Q0$8j-1I  
2.2逆向哈特曼波前检测法 Om\o#{D  
V @rI`~$  
2.2.1逆向哈特曼波前检测法测量原理 ,4 hJT  
@(l^]9(V\  
2.2.2测量分辨率、测量灵敏度及斜率测量范围 pb^i^tA+A  
2^XGGB0  
参考文献 Z<U6<{b  
OHv[#xGuV?  
第3章部分补偿数字莫尔移相干涉法 9*$t!r{B@  
3NZK*!@ '  
3.1概述 M])ZK  
3sc+3-TF  
3.2部分补偿法 c@YI;HS_g  
::o lN  
3.2.1基本原理 wWgWWXGT}  
k2E0/ @f{k  
3.2.2非球面部分补偿镜设计 JgG$?n\  
$v,dz_O*\  
3.2.3自由曲面部分补偿镜设计 O[# 27_dH  
M-\Y"]sW  
3.3数字莫尔移相干涉法 XV!6dh!  
X"MB|N y  
3.3.1虚拟干涉仪的建立 R[Ll59-  
bAsYv*t%r  
3.3.2莫尔合成与滤波 YX%[ipgB  
g! cUF+  
3.4系统标定和校正 c_\YBe]wJ  
r[1i*b$  
3.4.1干涉仪标定 ADZ};:]  
Rn#KfI:{  
3.4.2部分补偿镜标定 tzZ63@cm  
jN e`;o  
3.4.3被测非球面标定 "rTQG6`  
ot @|!V  
参考文献 NHB4y/2  
h a|C&G  
第4章非球面参数误差干涉测量 INUG*JC6  
Fd#?\r.  
4.1相关概念 KN$}tCU  
_\=`6`b)  
4.1.1非球面的法线像差 "~`I::'c  
2#o>Z4 r{  
4.1.2斜率非球面度 D@G\7 KH@  
@95FN)TXZY  
4.2基于最佳补偿位置的非球面参数误差测量原理 .e3NnOzyxS  
za#s/b$[  
4.2.1最佳补偿位置的定义 @|LBn6q  
ag$Vgl  
4.2.2部分补偿干涉系统的最佳补偿位置理论模型 zs%Hb48V   
>tTj[cMJl  
4.2.3非球面参数误差与最佳补偿位置的关系 7:A x(El  
u83J@nDQ  
4.2.4非球面参数误差测量原理 dlU'2Cl7d  
e'~Zo9`r6  
4.3非球面参数误差测量方法 m#ZO`W  
+$X#q8j06  
4.3.1非球面参数误差测量系统 qL5{f(U4<  
"nm FzN  
4.3.2非球面参数误差测量流程 ?!wgH9?8  
=PUt&`1.a  
4.4非球面参数误差测量系统及实验结果 ay1YOfa*  
ZPc@Zr`z  
4.4.1实验系统搭建 }YjX3|8zL=  
Sa\!*e_sN  
4.4.2实验结果与分析 ^BUYjq%(`  
BQBeo&n6  
参考文献 9 Yx]=n  
UUF ;p2{f  
6UevpDB  
第5章非球面干涉检测动态范围扩展研究 DvPlV q~  
J\J?yo 6  
5.1高陡度非球面检测的意义 ex+\nD>t4  
Bt1p'g(V|  
5.2两步载波拼接干涉测量 .U"8mP=&  
wtmB+:I  
5.2.1数字莫尔移相法的局限 KQ `qpX^d  
R-NS,i={  
5.2.2两步载波拼接干涉原理及关键技术 ]V-W~r=  
p`nPhk,:b  
5.2.3仿真分析 I+Jm>XN  
:gerQz4R8  
5.2.4实测验证 V?Z.\~  
>RPd$('T  
5.2.5TCSM算法应用讨论 \ W?R  
/c"efnb!  
5.3数字莫尔-牛顿迭代优化干涉测量 on0]vEE  
Glxuz0]  
5.3.1数字莫尔-牛顿迭代解相原理 +zrAG 24q  
XQ%?  
5.3.2仿真分析与比较 n8uv#DsdK  
Y7#-Fra0W  
5.3.3实测验证 O:TlIJwW  
|fxA|/ s[<  
参考文献 umF Z?a  
~zil/P8  
索引 5nTY ?<x`k  

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