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cyqdesign 2024-03-05 21:31

光学非球面新型检测原理与技术

本书结合光学测量技术的最新发展,针对光学非球面,尤其是大口径非球面和自由曲面的检测技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、具体的实验装置,以及相关的测量方法和精度。全书共分5章,第1章介绍了光学非球面的基本概念、描述及评价方法,并简要介绍了光学非球面检测的经典方法; 第2章介绍了基于激光束偏转与逆向哈特曼的光学非球面几何检测方法; 第3章详细介绍了部分补偿法和数字莫尔移相干涉法; 第4章重点介绍了基于干涉检测法的非球面参数误差测量; 第5章探讨了非球面干涉检测动态范围扩展的相关技术。 Tm %5:/<8  

[attachment=126746]
NaR} 0  
目录 J*@pM  
lm`*x=x  
第1章光学非球面测量概述 Ez1eGPVr  
V^7.@BeT  
1.1光学非球面的应用 jCqz^5=$  
1_Yx]%g<  
1.2光学非球面的分类及数学描述 ]d*9@+Iu  
}dc0ZRKgx  
1.2.1非球面分类 p6JTNx D  
gT}H B.  
1.2.2非球面方程 #*(}%!rD*  
@pH2"k| @  
1.3光学非球面检测及评价指标 7L~ *%j  
8xy8/UBIk0  
1.3.1面形误差和参数误差 tZ]gVgZg  
XYU5.  
1.3.2几何像差与泽尼克多项式 .n\JY;"  
VEps|d3,,  
1.4光学非球面检测方法 poz_=,c  
7Ae`>5B#  
1.4.1接触式测量法 |/,S NE  
3lF"nv  
1.4.2几何检测法 Tm" H9  
J|W E&5'  
1.4.3干涉检测法 Q<sqlh!h  
IO)Y0J>x  
参考文献 fe\lSGmf  
Us`=^\  
第2章激光束偏转法与逆向哈特曼波前检测法 0)&!$@HW  
93*csO?Db  
2.1激光束偏转法 qT#e -.G  
7}iv+rQ  
2.1.1测量光路方案 eo+<@83  
B.N#9u-vW  
2.1.2光斑位置测量 "#C2+SKM1  
Sz5t~U=G  
2.1.3斜率计算 1EU4/6!C  
(Yewd/T  
2.2逆向哈特曼波前检测法 \ eHOHHAGW  
8lQ}-8  
2.2.1逆向哈特曼波前检测法测量原理 %`]+sg[i  
5FZw (E  
2.2.2测量分辨率、测量灵敏度及斜率测量范围 x80IS:TP  
|))NjM'ZBl  
参考文献 TpU\IQ  
[t4v/vQT  
第3章部分补偿数字莫尔移相干涉法 PVb[E03  
>)M{^  
3.1概述 :T-DxP/  
e)sR$]i:v  
3.2部分补偿法 Odwe1q&  
0B.Gt&O al  
3.2.1基本原理 Sa g)}6+  
s#?ZwD,=  
3.2.2非球面部分补偿镜设计 ]N'3jf`W  
#/>TuJc  
3.2.3自由曲面部分补偿镜设计 UA<Fxt  
FGDVBUY@  
3.3数字莫尔移相干涉法 ggD T5hb  
 2U)n^  
3.3.1虚拟干涉仪的建立 D4VDWv  
5` ^@k<  
3.3.2莫尔合成与滤波 kcfT|@:MK"  
6b|<$Je9  
3.4系统标定和校正 j[U#J  
?.e,NHf  
3.4.1干涉仪标定 `'1g>Ebk0  
5/"$ _7"{a  
3.4.2部分补偿镜标定 x9YQd69  
I}PI  
3.4.3被测非球面标定 )] @h}K}  
vT?^#  
参考文献 k8D _  
4>,X.|9{  
第4章非球面参数误差干涉测量 %,\JTN|g|A  
9xR5Jm>k  
4.1相关概念 UGAV"0  
"D'e  
4.1.1非球面的法线像差 ?X@!jB,Pv  
S f?;j{?G  
4.1.2斜率非球面度 aqON6|6K  
!Gmnck&+  
4.2基于最佳补偿位置的非球面参数误差测量原理 ?+]=|hN  
|N/d }  
4.2.1最佳补偿位置的定义 >V6t L;+  
OjGI !  
4.2.2部分补偿干涉系统的最佳补偿位置理论模型 V_h&9]RL  
,ua1sTgQ  
4.2.3非球面参数误差与最佳补偿位置的关系 D, ")n75  
gGrVpOzBj  
4.2.4非球面参数误差测量原理 0he3[m}Nr  
X.b8qbnq[  
4.3非球面参数误差测量方法 gH//@`6  
H$%MIBz>$  
4.3.1非球面参数误差测量系统 f"s_dR  
^L%_kL_7  
4.3.2非球面参数误差测量流程 Yc7 YNC.  
A|ZT ;\  
4.4非球面参数误差测量系统及实验结果 lEk@I"  
|^Iox0A  
4.4.1实验系统搭建 7${<u0((!  
i.E2a)  
4.4.2实验结果与分析 W\l&wR  
<D a-rv8  
参考文献 H~FI@Cf$L  
'WW:'[Syn'  
.I^4Fc}&4  
第5章非球面干涉检测动态范围扩展研究 QoYEWXT|g  
CV0id&Nv  
5.1高陡度非球面检测的意义 \B#tB?rA  
W1REF9i){  
5.2两步载波拼接干涉测量 S)U*1t7[  
|.)LZP,  
5.2.1数字莫尔移相法的局限 S70#_{  
 ;+~5XLk  
5.2.2两步载波拼接干涉原理及关键技术 s[8. l35|  
 I0mp[6  
5.2.3仿真分析 )Q=u[ p  
z"4 q%DC  
5.2.4实测验证 <D |&)/#  
cy^=!EfA  
5.2.5TCSM算法应用讨论 MG=E 6:  
`jeATxWv  
5.3数字莫尔-牛顿迭代优化干涉测量 'x%gJi#  
) ^ En  
5.3.1数字莫尔-牛顿迭代解相原理 "}71z  
'iW  
5.3.2仿真分析与比较 BeUyt  
RZHfT0*jL  
5.3.3实测验证 TdPd8ig8{  
-@XSDfy7S  
参考文献 @\?HlGWEf  
`W x| 4  
索引 nL?P/ \  

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