光学非球面新型检测原理与技术
本书结合光学测量技术的最新发展，针对光学非球面，尤其是大口径非球面和自由曲面的检测技术进行了详细的探讨，主要涉及技术起源与发展、原理、具体的实验装置，以及相关的测量方法和精度。全书共分5章，第1章介绍了光学非球面的基本概念、描述及评价方法，并简要介绍了光学非球面检测的经典方法； 第2章介绍了基于激光束偏转与逆向哈特曼的光学非球面几何检测方法； 第3章详细介绍了部分补偿法和数字莫尔移相干涉法； 第4章重点介绍了基于干涉检测法的非球面参数误差测量； 第5章探讨了非球面干涉检测动态范围扩展的相关技术。 P(Lwpa,S
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目录 q5`Gl
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第1章光学非球面测量概述 p;B
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1.1光学非球面的应用 D@3|nS
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1.2光学非球面的分类及数学描述 U?}Ma f
0m@S+ $v
1.2.1非球面分类 CBvBBt*
E O}(M XS
1.2.2非球面方程 uIba{9tM"P
5 )C~L]
1.3光学非球面检测及评价指标 g VuN a)
a`{'u)@
1.3.1面形误差和参数误差 5G2u(hx
[6D>2b}:{[
1.3.2几何像差与泽尼克多项式 tC&y3!k2jR
X `vDhfh>N
1.4光学非球面检测方法 {UhZ\qe
?/u &U\P
1.4.1接触式测量法 gF:wdcO
1ri#hm0x\
1.4.2几何检测法 LZ@^ A]U
GC{Ys|s
1.4.3干涉检测法 >LNl8X:Cz*
4 $;fj1!Z:
参考文献 a RV!0?fS
U%#=d@?
第2章激光束偏转法与逆向哈特曼波前检测法 >0m-S :lk
R52!pB0[
2.1激光束偏转法 1DBzD%@Oz
L RmO6>y
2.1.1测量光路方案 -Wig k['v
`W/6xm(X5;
2.1.2光斑位置测量 %W c-.E R
xNONf4I:6J
2.1.3斜率计算 Vt&I[osC
mEqV&M1;7l
2.2逆向哈特曼波前检测法 D~ {)\;w^!
eFx*l YjA
2.2.1逆向哈特曼波前检测法测量原理 A/.cNen
G
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2.2.2测量分辨率、测量灵敏度及斜率测量范围 M\]E;C'"U
Nn^el' S'
参考文献 m]%cNxS
[R~HhM
第3章部分补偿数字莫尔移相干涉法 jVA xa|S
j@:L M R>
3.1概述 n1LS*-@
\K4m~e@!
3.2部分补偿法 ]f\rB8k|&
(thzW r6;
3.2.1基本原理 3 ) 7'dM
*7Mrng
3.2.2非球面部分补偿镜设计 JAn3
d,>l;l
3.2.3自由曲面部分补偿镜设计 \GkcK$Y
U9 If%0P
3.3数字莫尔移相干涉法 dzcPSbbpt
$@< \$I2s
3.3.1虚拟干涉仪的建立 9*x9sfCv9
duM>( y
3.3.2莫尔合成与滤波 FkS{Z s
$;">/ "7m
3.4系统标定和校正 #a0 (Wh7
|GsLcUv6
3.4.1干涉仪标定 =]"PSY7p
#(A>yW702
3.4.2部分补偿镜标定 l yT~>.?{
8 Ej2JMc
3.4.3被测非球面标定 oo qNPLa
1]qhQd-u
参考文献 9K&b1O@Aj
':fVb3A[*d
第4章非球面参数误差干涉测量 \t(/I=E8/
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4.1相关概念 AvwX 2?tc
P--#5W;^oB
4.1.1非球面的法线像差 }X`K3sk2/z
7+z%O3k'I
4.1.2斜率非球面度 @U9ov >E
[[)HPHSQ
4.2基于最佳补偿位置的非球面参数误差测量原理 h;B ol
't djPdw
4.2.1最佳补偿位置的定义 -W oZwqh
;+5eE`]a/L
4.2.2部分补偿干涉系统的最佳补偿位置理论模型 @hCGV'4
>y az
4.2.3非球面参数误差与最佳补偿位置的关系 /1^%32c
3}s d%vCK
4.2.4非球面参数误差测量原理 Y`_6Ny="
#-{4 Jx
4.3非球面参数误差测量方法 y)=Xo7j
$}jSIn=~|t
4.3.1非球面参数误差测量系统 tIRw"s z
eHv/3"Og
4.3.2非球面参数误差测量流程 9\ dC8
;MO
%))
4.4非球面参数误差测量系统及实验结果 k muF*0Bjk
Xl} >mbB
4.4.1实验系统搭建 t n}9(Oa)
.-o$ IQsS
4.4.2实验结果与分析 /6f$%:q
m7d? SU
参考文献 \Q
& Kd|
9 Z4H5!:(
?{+}gS^
第5章非球面干涉检测动态范围扩展研究 No h*1u*
J0{0B=d;
5.1高陡度非球面检测的意义 BK -{z).)
{>syZZ,h
5.2两步载波拼接干涉测量 /Jo*O=Lpo
`M|fwlA JQ
5.2.1数字莫尔移相法的局限 Q.!D2RZc
7 H=/FT?e]
5.2.2两步载波拼接干涉原理及关键技术 j]jwQRe
aiz_6@Qfz*
5.2.3仿真分析 b&0q%tCK
&OsJnkY<<
5.2.4实测验证 o8Tt|Lxb$8
RU@`+6 j+
5.2.5TCSM算法应用讨论 -[G+*3Y{7
/9i2@#J}W1
5.3数字莫尔-牛顿迭代优化干涉测量 {6RT& w
4D0"Y #&G
5.3.1数字莫尔-牛顿迭代解相原理 !x&/M*nBE
8*lV O2
5.3.2仿真分析与比较 {Z$Aw4a"d
}]/ "auk
5.3.3实测验证 hX<0{pXM4
0<fN<iR`
参考文献 C?X^h{T p
t}]=5)9<
索引 f7\$rx
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