光学非球面新型检测原理与技术
本书结合光学测量技术的最新发展,针对光学非球面,尤其是大口径非球面和自由曲面的检测技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、具体的实验装置,以及相关的测量方法和精度。全书共分5章,第1章介绍了光学非球面的基本概念、描述及评价方法,并简要介绍了光学非球面检测的经典方法; 第2章介绍了基于激光束偏转与逆向哈特曼的光学非球面几何检测方法; 第3章详细介绍了部分补偿法和数字莫尔移相干涉法; 第4章重点介绍了基于干涉检测法的非球面参数误差测量; 第5章探讨了非球面干涉检测动态范围扩展的相关技术。 D|lzGt
[attachment=126746] &c` nR< 目录 ~xbe~$$Q@ Gk.
ruQW" 第1章光学非球面测量概述 g%ndvdb m BTlk
E tm 1.1光学非球面的应用 F<ZYh ^T( .k= 1.2光学非球面的分类及数学描述 O)C\vF# bh s5x 1.2.1非球面分类 10G}{ xj<Rp|7& 1.2.2非球面方程 4{}FL gcii9vz
` 1.3光学非球面检测及评价指标 m- %E-nr '@cANGg7[ 1.3.1面形误差和参数误差 n#/_Nz A|CmlAW~^ 1.3.2几何像差与泽尼克多项式 &LmJ!^# __lM7LFL 1.4光学非球面检测方法 &Q9qq~ ucuSe!IcX 1.4.1接触式测量法 b}OY4~ Y4 9V'%<pk''( 1.4.2几何检测法 )bA;?i &qLf@1AD 1.4.3干涉检测法 5uGqX" kJWn<5%ayg 参考文献 x[4`fM.m* NWP5If|'X 第2章激光束偏转法与逆向哈特曼波前检测法 +y,T4^{ E_gD:PPU5 2.1激光束偏转法 LZ\q37UV HvUxsdT 2.1.1测量光路方案 VGLaN%| <z+t,<3D 2.1.2光斑位置测量 F@^~7ZmP` cO-7ke 2.1.3斜率计算 68bQ;Dv Q0$8j-1I 2.2逆向哈特曼波前检测法 Om \o#{D V
@rI`~$ 2.2.1逆向哈特曼波前检测法测量原理 ,4hJT @(l^]9(V\ 2.2.2测量分辨率、测量灵敏度及斜率测量范围 pb^i^tA+A 2^XGGB0 参考文献 Z<U6<{b OHv[#xGuV? 第3章部分补偿数字莫尔移相干涉法 9*$t!r{B@ 3NZK*!@' 3.1概述 M])ZK 3sc+3-TF 3.2部分补偿法 c@YI;HS_g ::o lN 3.2.1基本原理 wWgWWXGT} k2E0/ @f{k 3.2.2非球面部分补偿镜设计 JgG$?n\ $v,dz_O*\ 3.2.3自由曲面部分补偿镜设计 O[# 27_dH M-\Y"]sW 3.3数字莫尔移相干涉法 XV!6dh! X"MB|Ny 3.3.1虚拟干涉仪的建立 R[Ll59- bAsYv*t%r 3.3.2莫尔合成与滤波 YX%[ipgB g!cUF+ 3.4系统标定和校正 c _\YBe]wJ r[1i*b$ 3.4.1干涉仪标定 ADZ};:] Rn#KfI:{ 3.4.2部分补偿镜标定 tzZ63@cm jNe`;o 3.4.3被测非球面标定 "rTQG6` ot@|!V 参考文献 NHB4y /2 h
a|C&G 第4章非球面参数误差干涉测量 INUG*JC6 Fd#?\r. 4.1相关概念 KN$}tCU _\=`6`b) 4.1.1非球面的法线像差 "~`I::'c 2#o>Z4 r{ 4.1.2斜率非球面度 D@G\7KH@ @95FN)TXZY 4.2基于最佳补偿位置的非球面参数误差测量原理 .e3NnOzyxS za#s/b$[ 4.2.1最佳补偿位置的定义 @|LBn6q ag$Vgl 4.2.2部分补偿干涉系统的最佳补偿位置理论模型 zs%Hb48V >tTj[cMJl 4.2.3非球面参数误差与最佳补偿位置的关系 7:Ax(El u83J@nDQ 4.2.4非球面参数误差测量原理 dlU'2Cl7d e'~Zo9`r6 4.3非球面参数误差测量方法 m#ZO`W +$X#q8j06 4.3.1非球面参数误差测量系统 qL5{f(U4< "nm FzN 4.3.2非球面参数误差测量流程 ?!wgH9?8 =PUt&`1.a 4.4非球面参数误差测量系统及实验结果 ay1YOfa* ZPc@Zr`z 4.4.1实验系统搭建 }YjX3|8zL= Sa\!*e_sN 4.4.2实验结果与分析 ^BUYjq%(` BQBeo&n6 参考文献 9 Yx]=n UUF;p2{f 6UevpDB 第5章非球面干涉检测动态范围扩展研究 DvPlV q~ J\J?yo 6 5.1高陡度非球面检测的意义 ex+\nD>t4 Bt1p'g(V| 5.2两步载波拼接干涉测量 .U"8mP=& wtmB+:I 5.2.1数字莫尔移相法的局限 KQ`qpX^d R-NS,i={ 5.2.2两步载波拼接干涉原理及关键技术 ]V-W~r= p`nPhk,:b 5.2.3仿真分析 I+Jm>XN :gerQz4R8 5.2.4实测验证 V?Z.\~ >RPd$('T 5.2.5TCSM算法应用讨论 \
W?R /c"efnb! 5.3数字莫尔-牛顿迭代优化干涉测量 on0]vEE Glxuz0] 5.3.1数字莫尔-牛顿迭代解相原理 +zrAG24q XQ%? 5.3.2仿真分析与比较 n8uv#DsdK Y7#-Fra0W 5.3.3实测验证 O:TlIJwW |fxA|/s[< 参考文献 umF
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