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cyqdesign 2024-03-05 21:31

光学非球面新型检测原理与技术

本书结合光学测量技术的最新发展,针对光学非球面,尤其是大口径非球面和自由曲面的检测技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、具体的实验装置,以及相关的测量方法和精度。全书共分5章,第1章介绍了光学非球面的基本概念、描述及评价方法,并简要介绍了光学非球面检测的经典方法; 第2章介绍了基于激光束偏转与逆向哈特曼的光学非球面几何检测方法; 第3章详细介绍了部分补偿法和数字莫尔移相干涉法; 第4章重点介绍了基于干涉检测法的非球面参数误差测量; 第5章探讨了非球面干涉检测动态范围扩展的相关技术。 I%C:d#p  

[attachment=126746]
U105u.#7  
目录 $hp?5K M  
s l @6  
第1章光学非球面测量概述 \bA'Furp  
x2c*k$<p  
1.1光学非球面的应用 }e =GvWGa  
#&KE_ n  
1.2光学非球面的分类及数学描述 &0Zk3D4  
xQ 3u  
1.2.1非球面分类 mf[79:90^  
/_\W*@ E  
1.2.2非球面方程 uOqDJM'RM  
j =%-b]  
1.3光学非球面检测及评价指标 K5rj!*x.o  
QjN3j*@  
1.3.1面形误差和参数误差 "hY^[@7 W  
?o5#Ve$-X  
1.3.2几何像差与泽尼克多项式 G/44gKl  
 pytfsVM  
1.4光学非球面检测方法 ,k' 6<Hw  
@_ ZW P  
1.4.1接触式测量法 c;}n=7,>:L  
>Mw =}g@P  
1.4.2几何检测法 vbh#[,lh  
qA/ 3uA!z  
1.4.3干涉检测法 r74w[6(  
pFRnPOv  
参考文献 T sW6w  
sc>)X{eb  
第2章激光束偏转法与逆向哈特曼波前检测法 H4A+Dg,  
Cs=i9.-A  
2.1激光束偏转法 Bin&:%|9?  
D|'Z c &  
2.1.1测量光路方案 J uKaRR~  
)?y"NVc*  
2.1.2光斑位置测量 ui0(#2'h%  
sswAI|6ou  
2.1.3斜率计算 BTtYlpN6  
6.=1k  
2.2逆向哈特曼波前检测法 tzJtd  
)X$n'E  
2.2.1逆向哈特曼波前检测法测量原理 g~u!,Zc  
Ap18qp  
2.2.2测量分辨率、测量灵敏度及斜率测量范围 Q 5TyS8  
Nx z ,/d  
参考文献 481u1  
IQY#EyTb  
第3章部分补偿数字莫尔移相干涉法 n:kxG  
k-0e#"B  
3.1概述 Ggjb86v\  
fltc dA  
3.2部分补偿法 ~h|L;E"  
?KW?] o  
3.2.1基本原理 hmk5 1  
f\w4F'^tj  
3.2.2非球面部分补偿镜设计 1nG"\I5N}  
RlI qH;n  
3.2.3自由曲面部分补偿镜设计 3e1"5~?'<  
KO$8lMm$  
3.3数字莫尔移相干涉法 [/]3:|  
$7g(-W  
3.3.1虚拟干涉仪的建立 "+Rm4_  
xF0*q  
3.3.2莫尔合成与滤波 PmTd+Gj$  
Yy1Pipv  
3.4系统标定和校正 \?}.+v  
c~;.m<yrf  
3.4.1干涉仪标定 w` :KexD+  
^r$5];n  
3.4.2部分补偿镜标定 3E:<  
JDlIf  
3.4.3被测非球面标定 aW5~z^I  
B)*%d7=x  
参考文献 V^5 t~)#46  
=2'^ :4Z  
第4章非球面参数误差干涉测量 1N*~\rV*?  
<{j9|mt  
4.1相关概念 e@Y R/I8my  
Yb*}2  
4.1.1非球面的法线像差 U {v_0\ES  
:{<HiJdp  
4.1.2斜率非球面度 % VZ\4+8S  
6, ~aV  
4.2基于最佳补偿位置的非球面参数误差测量原理 \ 02e zG  
h~t]WN  
4.2.1最佳补偿位置的定义 Kz;VAH  
-`o:W?V$u  
4.2.2部分补偿干涉系统的最佳补偿位置理论模型 beoMLHp  
Ho|n\7$  
4.2.3非球面参数误差与最佳补偿位置的关系 Rwk|cqr  
<u\G&cd_tA  
4.2.4非球面参数误差测量原理 L}+!<Ug  
9G9lSj5>  
4.3非球面参数误差测量方法 FT6cOMu  
Oylw,*%  
4.3.1非球面参数误差测量系统 G#>X~qk()  
t~`Ef  
4.3.2非球面参数误差测量流程 u@Lu.t!],  
hJ :+*46  
4.4非球面参数误差测量系统及实验结果 b%F*Nr  
lQjq6Fl2  
4.4.1实验系统搭建 ;MD{p1w  
z=sqO'~  
4.4.2实验结果与分析  'M{_S  
)Ec;krb+  
参考文献 dewu@  
w,7 GC5j\  
 + h&V;  
第5章非球面干涉检测动态范围扩展研究 {iv=KF_S_  
B#}RMFIj  
5.1高陡度非球面检测的意义 vPi+8)  
OZ&aTm :  
5.2两步载波拼接干涉测量 ) AIZE?oX  
|r%P.f:y{X  
5.2.1数字莫尔移相法的局限 O<*iDd`(e  
O%I'   
5.2.2两步载波拼接干涉原理及关键技术 [+GG Wo  
KqQrxi?f-  
5.2.3仿真分析 Tq+pFEgQ`@  
)m U)7@!  
5.2.4实测验证 |V& k1{V  
i F Ab"VA  
5.2.5TCSM算法应用讨论 A`KTm(  
~zx-'sc?  
5.3数字莫尔-牛顿迭代优化干涉测量 FP$]D~DMo  
sC j3h  
5.3.1数字莫尔-牛顿迭代解相原理 q b'ka+X  
.B@;ch,  
5.3.2仿真分析与比较 Tm `CA0@  
wJ}8y4O!N  
5.3.3实测验证 8c#*T%Vf  
G2rvi=8=  
参考文献 T-MLW=Vu  
%<klz)!t  
索引 8K qv)FjB  

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