光学非球面新型检测原理与技术
本书结合光学测量技术的最新发展,针对光学非球面,尤其是大口径非球面和自由曲面的检测技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、具体的实验装置,以及相关的测量方法和精度。全书共分5章,第1章介绍了光学非球面的基本概念、描述及评价方法,并简要介绍了光学非球面检测的经典方法; 第2章介绍了基于激光束偏转与逆向哈特曼的光学非球面几何检测方法; 第3章详细介绍了部分补偿法和数字莫尔移相干涉法; 第4章重点介绍了基于干涉检测法的非球面参数误差测量; 第5章探讨了非球面干涉检测动态范围扩展的相关技术。 3]N}k|lb%
[attachment=126746] J+IW 目录
=oQzL !FSraW2 第1章光学非球面测量概述 &V=54n=O? yQi|^X~?$ 1.1光学非球面的应用 {t=Nnc15K Z$ftG7;P0 1.2光学非球面的分类及数学描述 M%B[>pONb7 w:Lu 1.2.1非球面分类 E<\\ 'VF }qKeX4\- 1.2.2非球面方程 Xx'>5d> c<DYk f 1.3光学非球面检测及评价指标 mCz6& a^=4'.ok 1.3.1面形误差和参数误差 (|[3/_!;v vj^UF(X 1.3.2几何像差与泽尼克多项式 BPG)m,/b ("lcL2Bq 1.4光学非球面检测方法 %x927I> |iwTzlt*# 1.4.1接触式测量法 Bw_Ih|y,w z!3Z^d` 1.4.2几何检测法 mefmoZ ]Ea7b 1.4.3干涉检测法 M`>W'< |wLQ)y* 参考文献 :mJM=FeJ ttsB'|ps 第2章激光束偏转法与逆向哈特曼波前检测法 I2W2B3D` c NDg]s2T 2.1激光束偏转法 E{fnh50^Q. ky~ x4_y5 2.1.1测量光路方案 w-#0k.T i&HV8&KygN 2.1.2光斑位置测量 qXhrK
/ 4`UT_LcI 2.1.3斜率计算 b?Jm) kdHql>0 2.2逆向哈特曼波前检测法 \6'A^cE/PX xw-q)u 2.2.1逆向哈特曼波前检测法测量原理 RdDcMZ uc<@
Fh( 2.2.2测量分辨率、测量灵敏度及斜率测量范围 b>7ts_b 19rUvgC{M 参考文献 AO]lXa }O>Zu[8a 第3章部分补偿数字莫尔移相干涉法 @s@ ~>C >LH>8 3.1概述 @i68%6H`? &q<8tTW5 3.2部分补偿法 "J.jmR; +|H'Ij$ 3.2.1基本原理 FO5SXwx M/DTD98'N 3.2.2非球面部分补偿镜设计 EsWszpRqb C49
G& 3.2.3自由曲面部分补偿镜设计 z
K(5&u ye%F <:O7 3.3数字莫尔移相干涉法 8$vH&HdI c[y8"M5 3.3.1虚拟干涉仪的建立 VM!x)i9z =z/F=1^< 3.3.2莫尔合成与滤波 1P[Lz!C /trc&V 3.4系统标定和校正 :acQK=fe o{he)r6)_ 3.4.1干涉仪标定 8bGq"!w- x-pMT3m\D# 3.4.2部分补偿镜标定 =c,gK8C p~.@8r( 3.4.3被测非球面标定 2T5xSpC UIl_&| 参考文献 'O`3FI q KM]wu0Et 第4章非球面参数误差干涉测量 zvf]}mNx W.|6$hRl) 4.1相关概念 c7F&~RLC ^ ?=K) 4.1.1非球面的法线像差 ptR 752wK|o0|; 4.1.2斜率非球面度 3ngLEWT #H[4?4r 4.2基于最佳补偿位置的非球面参数误差测量原理 95Qz1*TR -T?IkL) 4.2.1最佳补偿位置的定义 !Ia"pNDf pPZ/ O6 4.2.2部分补偿干涉系统的最佳补偿位置理论模型 dM UDLr- +29\'w, 4.2.3非球面参数误差与最佳补偿位置的关系 0 MIMs# JF*g!sV% 4.2.4非球面参数误差测量原理 `I8^QcP j/<y 4.3非球面参数误差测量方法 hU
7fZl%yl Xa@wN/"F 4.3.1非球面参数误差测量系统 JP4Moq~r /[ ? F1Q 4.3.2非球面参数误差测量流程 Q:O>k CDV NVeRn 4.4非球面参数误差测量系统及实验结果 +q/h:q.TV X~he36-+< 4.4.1实验系统搭建 )$B+3f tb0E?&M 4.4.2实验结果与分析 U
0RfovJ ?@?a} 参考文献 nb_^3K]r BozK!"R_< m@.{zW7bO 第5章非球面干涉检测动态范围扩展研究
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5v3<PC 5.1高陡度非球面检测的意义 *Qx|5L!_ o#P3lz 5.2两步载波拼接干涉测量 \Byk`}
9 7f%Qc %B 5.2.1数字莫尔移相法的局限 kqW<e[ V;-.38py 5.2.2两步载波拼接干涉原理及关键技术 I#X2UQzP %hbLT{w
5.2.3仿真分析 {7Avba En9]x"_ 5.2.4实测验证 bH/pa#G(
`4.sy +2 5.2.5TCSM算法应用讨论 0? us]lx RzRvu]]8 5.3数字莫尔-牛顿迭代优化干涉测量 )H9*NB8% 4spaw?j 5.3.1数字莫尔-牛顿迭代解相原理 n&m?BuG 6
2`PK+ 5.3.2仿真分析与比较 ;Uqx&5P} 'e>sHL 5.3.3实测验证 [A9,!YY Qf-k&d 参考文献 R96o8#7Uv //M4Sq( 索引 Gr"7w[|+
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