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cyqdesign 2024-03-05 21:31

光学非球面新型检测原理与技术

本书结合光学测量技术的最新发展,针对光学非球面,尤其是大口径非球面和自由曲面的检测技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、具体的实验装置,以及相关的测量方法和精度。全书共分5章,第1章介绍了光学非球面的基本概念、描述及评价方法,并简要介绍了光学非球面检测的经典方法; 第2章介绍了基于激光束偏转与逆向哈特曼的光学非球面几何检测方法; 第3章详细介绍了部分补偿法和数字莫尔移相干涉法; 第4章重点介绍了基于干涉检测法的非球面参数误差测量; 第5章探讨了非球面干涉检测动态范围扩展的相关技术。 +M'aWlPg,  

[attachment=126746]
ietRr!$.  
目录 Zc'|!pT _  
x&C%4Y_]  
第1章光学非球面测量概述 yo\N[h7  
`^7:7Wr]=  
1.1光学非球面的应用 YV/>8*i  
>4n+PXRXX  
1.2光学非球面的分类及数学描述 iq"ob8.  
E X%6''ys  
1.2.1非球面分类 TB7>s~)47E  
;n`R\NO9  
1.2.2非球面方程 k"xGA*B|  
BBHK  
1.3光学非球面检测及评价指标 Deg!<[Nw  
No`|m0 :j  
1.3.1面形误差和参数误差 GE1i+.+-.  
XE_ir Et  
1.3.2几何像差与泽尼克多项式 EL^8zyg%%  
oZTgN .q  
1.4光学非球面检测方法 10wvfRhng  
)~ 0}Et l  
1.4.1接触式测量法 z]kwRWe`j  
KH7VR^;mk  
1.4.2几何检测法 C5P$ &s\  
*GQDfs`m  
1.4.3干涉检测法 *YWk1Cwjo  
7vn%kW=$  
参考文献 pb!V|#u"  
'|A|vCRCG  
第2章激光束偏转法与逆向哈特曼波前检测法 p SHSgd ~&  
j'K38@M:MN  
2.1激光束偏转法 M)&Io6>  
0n Y6A~  
2.1.1测量光路方案 veeI==]  
-fE.<)m=!  
2.1.2光斑位置测量 LL&ud_Y  
Cyq?5\a  
2.1.3斜率计算 ~q)u(W C|  
HPrq1QpK  
2.2逆向哈特曼波前检测法 k<a;[_S  
v??TJ^1  
2.2.1逆向哈特曼波前检测法测量原理 ^/HW$8wEi  
F^QQ0h]2  
2.2.2测量分辨率、测量灵敏度及斜率测量范围 vw2`:]Q+  
rQ/ ,XH  
参考文献 !/`$AXO  
? B@&#E!/f  
第3章部分补偿数字莫尔移相干涉法  MJ`N,E[  
^$v3eKA  
3.1概述 n]Zk;%yL  
Z$ p0&~   
3.2部分补偿法 V A<5uk04K  
pY@Y?Jj  
3.2.1基本原理 q2hFOm  
3 iRA$C-p  
3.2.2非球面部分补偿镜设计 %Y]=1BRk}  
_]b3,% 2  
3.2.3自由曲面部分补偿镜设计 y%S1ZT ScO  
!gF9k8\Yr$  
3.3数字莫尔移相干涉法 )=J5\3O*x  
`:e U.  
3.3.1虚拟干涉仪的建立 hn.bau[  
$= B8qZ+  
3.3.2莫尔合成与滤波 ^Dg <Ki  
K{@3\5<  
3.4系统标定和校正 .Da'pOe  
\P;rES'  
3.4.1干涉仪标定 ('O}&F1  
)[L^Dmd,  
3.4.2部分补偿镜标定 +uo{ m~_4  
%dMqpY7"  
3.4.3被测非球面标定 k1^\|   
+-<}+8G;  
参考文献 b&#DnZcf  
'm3t|:nMU  
第4章非球面参数误差干涉测量 jCioE  
a,|?5j9,P  
4.1相关概念 .pPm~2]z  
/J3ZL[o?Q  
4.1.1非球面的法线像差 Aw5pd7qKL  
{D`'0Z1"  
4.1.2斜率非球面度 FOwnxYGVf  
!345 %,  
4.2基于最佳补偿位置的非球面参数误差测量原理 JhHWu<  
7y^%7U \  
4.2.1最佳补偿位置的定义 #m<tJnEO  
JIm4vS  
4.2.2部分补偿干涉系统的最佳补偿位置理论模型 G(iJi  
>j*;vG5T  
4.2.3非球面参数误差与最佳补偿位置的关系 @%/]Q<<q  
h.eM RdlO  
4.2.4非球面参数误差测量原理 P 1XK*GZ  
bWWXc[O2&(  
4.3非球面参数误差测量方法 "9!d]2.-Vk  
\OILWQ[/  
4.3.1非球面参数误差测量系统 0AK,&nbF  
"_|oWn  
4.3.2非球面参数误差测量流程 NVKC'==0  
}t9.N`xu  
4.4非球面参数误差测量系统及实验结果 ^3VR-u<O  
r]@0eb   
4.4.1实验系统搭建 m: n` g1  
P{OAV+cG  
4.4.2实验结果与分析 cD*}..-/4  
k%s_0 @  
参考文献 =m89z}Ot  
VKp*9%9  
54lu2gD'  
第5章非球面干涉检测动态范围扩展研究 U>Ld~cw  
o+w;PP)+=  
5.1高陡度非球面检测的意义 fyTAou6hI  
{8$=[;  
5.2两步载波拼接干涉测量 dZ#&YG)?e  
?eH&'m}-  
5.2.1数字莫尔移相法的局限 3E3U /K  
Snp|!e  
5.2.2两步载波拼接干涉原理及关键技术 z]B]QB Y[  
hu_ ^OlF  
5.2.3仿真分析 q<y#pL=k"*  
-fhN"B)  
5.2.4实测验证 \B F*m"lz  
w(ln5q  
5.2.5TCSM算法应用讨论 *IgE)N >  
**9x?s  
5.3数字莫尔-牛顿迭代优化干涉测量 :NJ_n6E  
gE#>RM5D  
5.3.1数字莫尔-牛顿迭代解相原理 ,.eWQK~  
P-F)%T[  
5.3.2仿真分析与比较 d->|EJP  
;!:U((wv  
5.3.3实测验证 fjvN$NgVs  
+$4(zP s@  
参考文献 Xq'cA9v=$J  
#^m0aB7r  
索引 )u))n#P  

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