光学非球面新型检测原理与技术
本书结合光学测量技术的最新发展,针对光学非球面,尤其是大口径非球面和自由曲面的检测技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、具体的实验装置,以及相关的测量方法和精度。全书共分5章,第1章介绍了光学非球面的基本概念、描述及评价方法,并简要介绍了光学非球面检测的经典方法; 第2章介绍了基于激光束偏转与逆向哈特曼的光学非球面几何检测方法; 第3章详细介绍了部分补偿法和数字莫尔移相干涉法; 第4章重点介绍了基于干涉检测法的非球面参数误差测量; 第5章探讨了非球面干涉检测动态范围扩展的相关技术。 I%C:d#p
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@6 第1章光学非球面测量概述 \bA'Furp x2c*k$<p 1.1光学非球面的应用 }e=GvWGa #&KE_n 1.2光学非球面的分类及数学描述 &0Zk3D4 xQ
3u 1.2.1非球面分类 mf[79:90^ /_\W*@ E 1.2.2非球面方程 uOqDJM'RM j=% -b] 1.3光学非球面检测及评价指标 K5rj!*x.o QjN3j*@ 1.3.1面形误差和参数误差 "hY^[@7 W ?o5#Ve$-X 1.3.2几何像差与泽尼克多项式 G/44gKl pytfsVM 1.4光学非球面检测方法 ,k' 6<Hw @_ZWP 1.4.1接触式测量法 c;}n=7,>:L >Mw =}g@P 1.4.2几何检测法 vbh#[,lh qA/3uA!z 1.4.3干涉检测法 r74w[6( pFRnPOv 参考文献 TsW6 w sc>)X{eb 第2章激光束偏转法与逆向哈特曼波前检测法 H4A+Dg, Cs=i9.-A 2.1激光束偏转法 Bin&:%|9? D|'Z c& 2.1.1测量光路方案 J
uKaRR~ )?y"NVc* 2.1.2光斑位置测量 ui0(#2'h% sswAI|6ou 2.1.3斜率计算 BTtYlpN6 6.=1k 2.2逆向哈特曼波前检测法 tzJtd )X$n'E 2.2.1逆向哈特曼波前检测法测量原理 g~u!,Zc Ap18qp 2.2.2测量分辨率、测量灵敏度及斜率测量范围 Q 5TyS8 Nx
z ,/d 参考文献 481u1 IQY#EyTb 第3章部分补偿数字莫尔移相干涉法 n :kxG k-0e#"B 3.1概述 Ggjb86v\ fltcdA 3.2部分补偿法 ~h|L;E" ?KW?] o 3.2.1基本原理 hmk5
1 f\w4F'^tj 3.2.2非球面部分补偿镜设计 1nG"\I5N} RlIqH;n 3.2.3自由曲面部分补偿镜设计 3e1"5~?'< KO$8lMm$ 3.3数字莫尔移相干涉法 [/]3:| $7g(-W 3.3.1虚拟干涉仪的建立 "+Rm4_ xF0*q 3.3.2莫尔合成与滤波 PmTd+Gj$ Yy 1Pipv 3.4系统标定和校正 [C\?}.+v c~;.m<yrf 3.4.1干涉仪标定 w`:KexD+ ^r$5];n
3.4.2部分补偿镜标定 3E:< JDlIf 3.4.3被测非球面标定 aW5~z^I B)*%d7=x 参考文献 V^5 t~)#46 =2'^:4Z 第4章非球面参数误差干涉测量 1N*~\rV*? <{j9|mt 4.1相关概念 e@YR/I8my Yb*}2 4.1.1非球面的法线像差 U {v_0\ES :{<HiJdp 4.1.2斜率非球面度 %VZ\4+8S 6 , ~aV 4.2基于最佳补偿位置的非球面参数误差测量原理 \02e
zG h~t]WN 4.2.1最佳补偿位置的定义 Kz;VAH -`o:W?V$u 4.2.2部分补偿干涉系统的最佳补偿位置理论模型 beoMLHp Ho|n\7$ 4.2.3非球面参数误差与最佳补偿位置的关系 Rwk|cqr <u\G&cd_tA 4.2.4非球面参数误差测量原理 L}+!<Ug 9G9lSj5> 4.3非球面参数误差测量方法 FT6cOMu Oylw,*% 4.3.1非球面参数误差测量系统 G#>X~qk() t~`Ef 4.3.2非球面参数误差测量流程 u@Lu.t!], hJ :+*46 4.4非球面参数误差测量系统及实验结果 b%F*N r lQjq6Fl2 4.4.1实验系统搭建 ;MD{p1w z=sqO'~ 4.4.2实验结果与分析 'M{_S )Ec;kr b+ 参考文献 dewu@ w,7
GC5j\ + h&V; 第5章非球面干涉检测动态范围扩展研究 {iv=KF_S_ B#}RMFIj 5.1高陡度非球面检测的意义 vPi+8) OZ&aTm : 5.2两步载波拼接干涉测量 )
AIZE?oX |r%P.f:y{X 5.2.1数字莫尔移相法的局限 O<*iDd`(e O%I' 5.2.2两步载波拼接干涉原理及关键技术 [+GG Wo KqQrxi?f- 5.2.3仿真分析 Tq+pFEgQ`@ )mU)7@! 5.2.4实测验证 |V&k1{V i
F Ab"VA 5.2.5TCSM算法应用讨论 A`KTm( ~zx-'sc? 5.3数字莫尔-牛顿迭代优化干涉测量 FP$]D~DMo sC
j3 h 5.3.1数字莫尔-牛顿迭代解相原理 q b'ka+X .B@;ch, 5.3.2仿真分析与比较 Tm `CA0@ wJ}8y4O!N 5.3.3实测验证 8c#*T%Vf G2rvi=8= 参考文献 T-MLW=Vu %<klz)!t 索引 8K qv)FjB
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