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cyqdesign 2024-03-05 21:31

光学非球面新型检测原理与技术

本书结合光学测量技术的最新发展,针对光学非球面,尤其是大口径非球面和自由曲面的检测技术进行了详细的探讨,主要涉及技术起源与发展、原理、具体的实验装置,以及相关的测量方法和精度。全书共分5章,第1章介绍了光学非球面的基本概念、描述及评价方法,并简要介绍了光学非球面检测的经典方法; 第2章介绍了基于激光束偏转与逆向哈特曼的光学非球面几何检测方法; 第3章详细介绍了部分补偿法和数字莫尔移相干涉法; 第4章重点介绍了基于干涉检测法的非球面参数误差测量; 第5章探讨了非球面干涉检测动态范围扩展的相关技术。 3]N}k|lb%  

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J+IW  
目录 =oQzL  
!FSraW2  
第1章光学非球面测量概述 &V=54n=O?  
yQi|^X~?$  
1.1光学非球面的应用 {t=Nnc15K  
Z$ftG7;P0  
1.2光学非球面的分类及数学描述 M%B[>pONb7  
w:Lu  
1.2.1非球面分类 E<\\'VF  
}qKeX4\-  
1.2.2非球面方程 Xx'>5d>  
c<D Yk f  
1.3光学非球面检测及评价指标 mCz6&  
a^=4 '.ok  
1.3.1面形误差和参数误差 (|[3/_!;v  
vj^U F(X  
1.3.2几何像差与泽尼克多项式 BPG)m,/b  
("lcL2Bq  
1.4光学非球面检测方法 %x927I>  
|iwTzlt*#  
1.4.1接触式测量法 Bw_Ih|y,w  
z!3Z^d`  
1.4.2几何检测法 mefmoZ  
 ]Ea7b  
1.4.3干涉检测法 M`>W'<  
|wLQ)y*  
参考文献 :mJM=FeJ  
ttsB'|p s  
第2章激光束偏转法与逆向哈特曼波前检测法 I2W2B3D` c  
N Dg]s2T  
2.1激光束偏转法 E{fnh50^Q.  
ky~x4_y5  
2.1.1测量光路方案 w-#0k.T  
i&HV8&KygN  
2.1.2光斑位置测量 qXhrK /  
4`UT_LcI  
2.1.3斜率计算 b?Jm)  
kdHql>0  
2.2逆向哈特曼波前检测法 \6'A^cE/PX  
xw-q)u  
2.2.1逆向哈特曼波前检测法测量原理 RdDcMZ  
uc<@ Fh(  
2.2.2测量分辨率、测量灵敏度及斜率测量范围 b>7ts_b  
19rUvgC{M  
参考文献 AO]lXa  
}O>Zu[8a  
第3章部分补偿数字莫尔移相干涉法 @s@  
~>C>LH>8  
3.1概述 @i68%6H`?  
&q< 8tTW5  
3.2部分补偿法 "J.jmR;  
+|H'I j$  
3.2.1基本原理 FO5SXwx  
M/DTD98'N  
3.2.2非球面部分补偿镜设计 EsWszpRqb  
C49 G&  
3.2.3自由曲面部分补偿镜设计 z K(5&u  
ye%F <:O7  
3.3数字莫尔移相干涉法 8$vH&Hd I  
c[y8"M5  
3.3.1虚拟干涉仪的建立 VM!x)i9z  
=z/F=1^<  
3.3.2莫尔合成与滤波 1P[Lz!C  
/trc&V  
3.4系统标定和校正 :acQK=fe  
o{he) r6)_  
3.4.1干涉仪标定 8bGq"!w-  
x-pMT3m\D#  
3.4.2部分补偿镜标定 =c,gK8C  
p~.@8r(  
3.4.3被测非球面标定 2T5xSpC  
UIl_& |  
参考文献 'O`3FI  
q KM]wu0Et  
第4章非球面参数误差干涉测量 zvf]}mNx  
W.|6$hRl)  
4.1相关概念 c7F&~RLC  
^ ?=K)  
4.1.1非球面的法线像差 pt R  
752wK|o0|;  
4.1.2斜率非球面度 3ngLEWT  
#H[ 4?4r  
4.2基于最佳补偿位置的非球面参数误差测量原理 95Qz1*TR  
-T?IkL)  
4.2.1最佳补偿位置的定义 !Ia"pNDf  
pPZ/O 6  
4.2.2部分补偿干涉系统的最佳补偿位置理论模型 dM UDLr-  
+29\'w,  
4.2.3非球面参数误差与最佳补偿位置的关系 0 MIMs#  
JF*g!sV%  
4.2.4非球面参数误差测量原理 `I8^QcP  
j/<y  
4.3非球面参数误差测量方法 hU 7fZl%yl  
Xa@wN/"F  
4.3.1非球面参数误差测量系统 JP4Moq~r   
/[? F1Q  
4.3.2非球面参数误差测量流程 Q: O>kCDV  
NVeRn  
4.4非球面参数误差测量系统及实验结果 +q/h:q.TV  
X~he36-+<  
4.4.1实验系统搭建 )$B+ 3f  
tb0E?&M  
4.4.2实验结果与分析 U 0RfovJ  
?@?a}  
参考文献 nb_^3K]r  
BozK!"R_<  
m@.{zW7bO  
第5章非球面干涉检测动态范围扩展研究 f_!`~`04  
;p 5v3<PC  
5.1高陡度非球面检测的意义 *Qx|5L!_  
o#P3lz  
5.2两步载波拼接干涉测量 \Byk`} 9  
7f%Qc %B  
5.2.1数字莫尔移相法的局限 kqW<e[  
V;-.38py  
5.2.2两步载波拼接干涉原理及关键技术 I#X2 UQzP  
%hbLT{w  
5.2.3仿真分析 {7Avba  
En9]x"_  
5.2.4实测验证 bH/pa#G(  
`4.sy +2  
5.2.5TCSM算法应用讨论 0?us]lx  
RzRvu]]8  
5.3数字莫尔-牛顿迭代优化干涉测量 )H9*NB8%  
4spaw?j  
5.3.1数字莫尔-牛顿迭代解相原理 n& m?BuG  
6 2`PK+  
5.3.2仿真分析与比较 ; Uqx&5P}  
'e>sHL  
5.3.3实测验证 [A9 ,!YY  
Q f-k&d  
参考文献 R96o8#7Uv  
//M4Sq(  
索引 Gr"7w[|+  

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