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2024-02-20 08:06 |
锥形相位掩模的Talbot图像
摘要 D(}v`q{Y
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在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 R{@WlkG}
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建模任务
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structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 8@Xq ,J
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系统建模块 //>f#8 Ho
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特定位置的Talbot图案 k%/Z.4vQG
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特定位置的Talbot图案 S!2M?}LU
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不同位置的Talbot图案 E*.D_F
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VirtualLab Fusion技术 41^+ T<+
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