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2024-02-20 08:06 |
锥形相位掩模的Talbot图像
摘要 EU,f;H
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在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 q dQQt5Y'm
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建模任务 u_ *DS-
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structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) kW4B
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系统建模块 VOkSR6
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特定位置的Talbot图案 VBq|j"o0"
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特定位置的Talbot图案 k; (r:k^
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不同位置的Talbot图案 BIY"{"hJ
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不同位置的Talbot图案 qtlcY 8!
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沿 Z 轴的强度 K};~A?ET,h
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VirtualLab Fusion技术 ,B1~6y\b
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