| infotek |
2024-02-20 08:06 |
锥形相位掩模的Talbot图像
摘要 Hs`#{W{.
yH"$t/cU"R
在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 K-Dk2(x
CbH T #
[attachment=126229] . I&)MZ>n
o`T< }z26
建模任务 ~iR!3+yg4
U p/u|A$0V
[attachment=126230] cwWSNm|
73s3-DS ,
structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) -2jBs -z
}!yD^:[ 5
系统建模块 ;GgQ@ s@
Yx}" > ;\
[attachment=126231] x [{q&N!"`
K0DXOVT\
特定位置的Talbot图案 ;]oXEq`
HHIUl,P
[attachment=126232] cH* /zNp
hKzBq*cV
特定位置的Talbot图案 G0; EbJ/&
ZaUcP6[h
[attachment=126233] w{zJE]7
不同位置的Talbot图案 Z/6 'kE{l
M\?uDC9
[attachment=126234] Sv ~1XL W
:a f;y u
不同位置的Talbot图案 &DbGyV8d"|
gcW{]0%L^
[attachment=126235] [,o5QH\Etq
w1"gl0ga$
沿 Z 轴的强度 :U-US|)(2
ofPF}
[attachment=126236] y5AXL5
[`zbf_RyO
VirtualLab Fusion技术 !AD0 -f Z
Ky '3z"
[attachment=126237]
|
|