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infotek 2024-02-20 08:06

锥形相位掩模的Talbot图像

摘要 1#aOgvf  
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在传统的 Talbot 光刻中,在光敏层中仅使用一个图像。 但是,可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中,按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM,也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像,在主像平面中会再现柱状图案,而在次要像平面中再现孔图案。 VqVP5nT'=  
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[attachment=126229] Vy-H3BR  
7:mM`0g!  
建模任务 8 x|NR?  
VskyRxfdW3  
[attachment=126230] &nZ=w#_  
2ZNTg@o  
structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ~Jp\'P7*  
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系统建模块  vRn^n  
S%mN6b~{  
[attachment=126231] p?0 a"5Q  
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特定位置的Talbot图案 n#,AZ&  
UMx>n18;f9  
[attachment=126232] p,]Hs{R  
[AE]0cO@  
特定位置的Talbot图案 w/h?, L|  
i?4vdL8M  
[attachment=126233] t#6gjfIi  
不同位置的Talbot图案 aR*z5p2-w  
]*[S# Jk  
[attachment=126234] Gob1V  
DE."XSni  
不同位置的Talbot图案 S7E:&E&  
#x':qBv#  
[attachment=126235] WvUe44&^$  
4=*VXM/  
沿 Z 轴的强度 5c3 )p^ ]g  
N}>`Xm 5'  
[attachment=126236] )Qp?N<&'  
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VirtualLab Fusion技术 Y;xVB" (  
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[attachment=126237]
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