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2024-02-20 08:06 |
锥形相位掩模的Talbot图像
摘要 1#aOgvf ^^3
>R` 在传统的 Talbot 光刻中,在光敏层中仅使用一个图像。 但是,可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中,按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM,也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像,在主像平面中会再现柱状图案,而在次要像平面中再现孔图案。 VqVP5nT'= EOVHTDkKf [attachment=126229] Vy-H3BR 7:mM`0g! 建模任务 8
x|NR? VskyRxfdW3 [attachment=126230] &nZ=w#_ 2ZNTg@o structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ~Jp\'P7* .F'Fk=N 系统建模块 vRn^n S%mN6b~{ [attachment=126231] p?0 a"5Q .IYOtS 特定位置的Talbot图案 n#,AZ& UMx>n18;f9 [attachment=126232]
p,]Hs{R [AE]0cO@ 特定位置的Talbot图案 w/h?, L| i?4vdL8M [attachment=126233] t#6gjfIi 不同位置的Talbot图案 aR*z5p2-w ]*[S#Jk [attachment=126234] Gob1V DE."XSni 不同位置的Talbot图案 S7E:&E& #x':qBv# [attachment=126235] WvUe44&^$ 4=*VXM/ 沿 Z 轴的强度 5c3)p^]g N}>`Xm5' [attachment=126236] )Qp?N<&' \qNj?;B VirtualLab Fusion技术 Y;xVB"
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