| infotek |
2024-02-20 08:06 |
锥形相位掩模的Talbot图像
摘要 FYik}wH]
Z*3RI5)dx
在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 p\_3g!G'
E^n!h06~G
[attachment=126229] AUF[hzA
$G0e1)D
建模任务 %6fnL~ A
!8| r$mN8
[attachment=126230] .=}\yYGe
kPy7e~
structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ,DHH5sDCn
w ;$elXP|
系统建模块 g,YF$:e
> Q=e 9L=
[attachment=126231] %Jl6e}!
qY e`</
特定位置的Talbot图案 L 8.A|
aC9iNm8w
[attachment=126232] ysp,:)-%G@
lu>G=u CJ
特定位置的Talbot图案 G@D8 [
of7'? ]w
[attachment=126233] ^K[xVB(&
不同位置的Talbot图案 ]c_lNHssmq
G1X73qoHT<
[attachment=126234] s! gVY!0
;gHcDnH)
不同位置的Talbot图案 dc emF
1F0];{a
[attachment=126235]
nmL|v
A Ef@o +A
沿 Z 轴的强度 b -`P-
yIpgZ0:h
[attachment=126236] -H\j-k
"7(@I^'t6
VirtualLab Fusion技术 v8uUv%Hkd
&2y9J2aA
[attachment=126237]
|
|