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2024-02-20 08:05 |
泰伯效应
在衍射光学中，当周期性结构被准直光照射时，可以观察到在物体后面周期性距离处形成的周期性结构的图像。这就是众所周知的 Talbot 效应（用所谓的 Talbot 距离来描述周期性间隔），它已经在例如光刻中得到了常规应用。 oQXkMKZ
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利用快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion的场跟踪技术，可以充分研究这种效应及其应用。请看下面的例子，在这些例子中，我们用线性和交叉图案演示Talbot效应的基本原理，并更仔细地研究特定的光刻应用，以产生纳米结构。 *!/#39
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圆锥相位掩模版的泰伯成像 7x]nY. \
[attachment=126246] 6V?RES;X
在VirtualLab Fusion中对带有一层圆锥体的相位掩模板进行了严格的建模。检测到不同的Talbot图像，其中柱图案在主图像平面中再现，而孔图案在次图像平面中再现。 O*v+<|0!l
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泰伯效应的建模 !dH&IEP~
[attachment=126247] gWo~o]f
我们演示了Talbot效应的建模，Talbot效应是一种众所周知的来自周期结构(如光栅)的近场衍射效应。 PPO<{
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