ouyuu |
2024-02-16 13:34 |
水晶头底座材质探讨
最近看到很多镀膜机台上,多点水晶底座上的电极(水晶三爪弹片连接的那个圆柱体)材质是黄铜的。 %%qg<iO_ -E>LB\[t) 我以前接受到的知识:为了避免切换水晶时打火放电,水晶电极都必须使用铍铜(铍铜有抗火花的特性)。 "T1A$DKw+R 特别是使用离子源的设备(离子源易让水晶片带电)。 zr^"zcfz& @ w?,7i-S 我这边有个客户以前设备镀膜有偶发的不稳定(膜厚,镀膜时间,真空度,电流这些数据上都没问题,但是光谱变了) {q.|UCg[L 然后一个月前更换了铍铜的水晶头后,好像没问题了。 gRg8D{ CC|=$(PgT 不知道各位是否有这样的经验。 Ob@HzXH 我这边有点疑惑,哪怕打火造成不稳定,也只是切换水晶的那一瞬间。 UIK4]cYC' 镀膜时并不切换水晶片,怎么会造成不稳定?是否有其他因素?
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