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infotek 2024-02-05 07:58

倾斜光栅的鲁棒性优化

摘要                                                                             #e;\Eap  
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[attachment=125990] 2@ f E!  
!O#NP!   
由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             N+NS\Y5  
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仿真任务                                                                             h>K%Ox R  
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连接建模技术:倾斜光栅 g/m%A2M&aH  
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AT,?dxP J  
可用的微结构建模技术: +0O^!o  
NYZI;P1DA  
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                                                                                 M kadl<  
光栅阶数分析仪 `F1 ( v  
-* ;`~5  
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@Y2&v956  
参数变化分析仪                                                                             v:$Y |mh  
   sp$W=Wu7  
[attachment=125995]                                                                             t^1c^RpTb  
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参数优化                                                                             h|Uy!?l  
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[attachment=125996]                   e#$ZOK)`  
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优化结果-平均效率 K%"cVqb2V  
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优化结果-对比度 #0j,1NpL  
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[attachment=125998]
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