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infotek 2024-02-05 07:58

倾斜光栅的鲁棒性优化

摘要                                                                             1_ C]*p  
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A~ +S1  
由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             )h|gwERj  
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仿真任务                                                                             DrBUe'RH:M  
   ;D s46M-s  
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连接建模技术:倾斜光栅 <Ib[82PU  
& jczO-R^  
[attachment=125992]                                                                     * Y7jl#7  
9D}/\jM  
可用的微结构建模技术: ivz>dJ?T  
CQr<N w  
[attachment=125993] }X_;X_\3;'  
                                                                                 ~7t$MF.  
光栅阶数分析仪 qY$qaM^=  
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bY2 C]r(n  
参数变化分析仪                                                                             Ppt2A6W  
   1q3( @D5~+  
[attachment=125995]                                                                             p=B>~CH  
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参数优化                                                                             V&|Ed  
ls`,EFF  
[attachment=125996]                   8kt5KnD2  
#D9e$E(J^  
优化结果-平均效率 c8M2 ^{O,`  
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NU\ 5{N<  
优化结果-对比度 ;v~-'*0  
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[attachment=125998]
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