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2024-02-05 07:58 |
倾斜光栅的鲁棒性优化
摘要 bbrXgQ`s+w b )B?
F [attachment=125990] o4|M0 W[Ls|<Q 由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。 N<~t3/Nm e" St_z( 仿真任务 O^oWG&Y;v Kx>qz.wwI? [attachment=125991] /Mvf8v 0u;4%}pD 连接建模技术:倾斜光栅 a!=D [Gz*5 i\,-oO [attachment=125992] N@t|7~ etTn_v 可用的微结构建模技术: #"@|f x[a<mk [attachment=125993] P-?0zF/T$ 03q5e 光栅阶数分析仪 A"L&a
l$i Xu%'Z".>: [attachment=125994] 59h)-^! ML|FQ 参数变化分析仪 %J+E/ H{Wu]C<@p [attachment=125995] >CHrg]9 sS*3=Yh 参数优化 Dfmjw nAv#?1cjz [attachment=125996] k$blEa4 F(>Np2oi6 优化结果-平均效率 4y|BOVl A1O'|7X [attachment=125997]
YtmrRDQs ]s<[D$ <, 优化结果-对比度 o~`/_+ e"|efE [attachment=125998]
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