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infotek 2024-02-05 07:58

倾斜光栅的鲁棒性优化

摘要                                                                             T:u>7?8o  
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[attachment=125990] 1l$2T y+ =  
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由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             dpTsTU!\  
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仿真任务                                                                             I<O$);DV'  
   ._^}M<o L  
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连接建模技术:倾斜光栅 n9xP8<w8  
JD#x+~pb,8  
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>*RU:X  
可用的微结构建模技术: K_;vqi^1^&  
S7)qq  
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                                                                                 rz@q W2  
光栅阶数分析仪 nS04Ha  
'|DW#l\n  
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W}f)VC;D  
参数变化分析仪                                                                             =..Bh8P71!  
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[attachment=125995]                                                                             F%h3?"s  
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参数优化                                                                             f^FFn32u  
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优化结果-平均效率 6N#hN)/  
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优化结果-对比度 T&lgWOls  
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