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infotek 2024-02-05 07:58

倾斜光栅的鲁棒性优化

摘要                                                                              R7-+@  
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[attachment=125990] Zi~-m]9U  
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由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             BA cnFO  
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仿真任务                                                                             mYiIwm1cb(  
    MuCnBx  
[attachment=125991] 0R[onPU_vZ  
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连接建模技术:倾斜光栅 [_,Gk]F=  
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[attachment=125992]                                                                     8WvQ[cd  
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可用的微结构建模技术: [n{c,U F  
"I`g(q#Uo  
[attachment=125993] !K319 eE  
                                                                                 p{k^)5CR/  
光栅阶数分析仪 FR9*WI   
Zo(p6rku  
[attachment=125994]  ]6 ]Nr  
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参数变化分析仪                                                                             9#A&Qvyywg  
   nt*nTtcE  
[attachment=125995]                                                                             ]v{TSP^/  
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参数优化                                                                             r%DaBx!x8  
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优化结果-平均效率 3om4q2R  
.8K ~ h  
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优化结果-对比度 Kgw_c:/'  
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[attachment=125998]
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