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infotek 2024-02-05 07:58

倾斜光栅的鲁棒性优化

摘要                                                                             O>)Fl42IeD  
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由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             D <SLv,Y  
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仿真任务                                                                             q o^PS  
   ^w1&A 3=6  
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gLGu#6YVu  
连接建模技术:倾斜光栅 ay-M.J  
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brXLx +H8  
可用的微结构建模技术: DE659=Tq  
rm"C|T4:V  
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                                                                                 WVa#nU^  
光栅阶数分析仪 P g{/tM Y  
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参数变化分析仪                                                                             [>^xMF]$2  
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参数优化                                                                             X_tc\}I]  
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优化结果-平均效率 ,-[e{=Cz  
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优化结果-对比度 .>A`FqV$~+  
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