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2024-02-05 07:58 |
倾斜光栅的鲁棒性优化
摘要 'gt-s547 /-i!;! [attachment=125990] edK|NOOZ Q
pmsOp| 由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。 *tAg*$ "5, 仿真任务 2~t[RY YXI'gn2b# [attachment=125991] % =BMZRn q/4 [3h 连接建模技术:倾斜光栅 <~)kwq' 0p@k({] < [attachment=125992] E.U_W Q[d}J+l4{ 可用的微结构建模技术: A.5i"Ci[ie 3ux0Jr2yT [attachment=125993] \{EpduwZ Dxk+P!!K 光栅阶数分析仪 ykFJ%sw3X Z*FrB58 [attachment=125994] 6AWKLFMV j6g[N4xr 参数变化分析仪 q@jq0D)g a<h1\ `H7 [attachment=125995] RAp=s "hQ_sgz[Z 参数优化 ":nQgV\9 "{D|@Bc [attachment=125996] 2m~V{mUT! h/,${,}J 优化结果-平均效率 !L95^g W.w)H@]7m [attachment=125997] W'on$mB5< ,p9i% i 优化结果-对比度 ZKdeB3D 2>l,no39t+ [attachment=125998]
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