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infotek 2024-02-05 07:58

倾斜光栅的鲁棒性优化

摘要                                                                             cE iu)2*e  
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[attachment=125990] |+U<S~  
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由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             :y2p@#l#  
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仿真任务                                                                             =o p%8NJf  
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[attachment=125991] OquAql:   
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连接建模技术:倾斜光栅 J!ntXF  
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[attachment=125992]                                                                     {m8+Wju}  
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可用的微结构建模技术: -xg2q V\c  
Q{QYBh&  
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光栅阶数分析仪 Z.i{i^/#(  
CJaKnz  
[attachment=125994] A\Txb_x  
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参数变化分析仪                                                                             *FR$vLGn  
   MYe HS   
[attachment=125995]                                                                             z5Qs @dG  
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参数优化                                                                             .w6eJ4 ]  
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[attachment=125996]                   E3/:.t  
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优化结果-平均效率 ~9Cz6yF  
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[attachment=125997]                                                   lo&#(L+2  
W</n=D<,I  
优化结果-对比度 |rRG=tG_'  
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[attachment=125998]
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