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infotek 2024-02-05 07:58

倾斜光栅的鲁棒性优化

摘要                                                                             >Z2,^5P{  
H7yg9zFT N  
[attachment=125990] I>kiah*  
rZ!Yi*? f  
由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             "'F;lzq  
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仿真任务                                                                             ~ gfA](N  
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连接建模技术:倾斜光栅 &'huS?g A9  
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可用的微结构建模技术: C?[a3rNH(  
?y>Y$-v/C  
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                                                                                 Vedyy\TU  
光栅阶数分析仪 X/E7o92\  
(@KoqwVWc  
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参数变化分析仪                                                                             (Pk"NEP   
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[attachment=125995]                                                                             /lS+J(I  
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参数优化                                                                             2ec$xms  
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[attachment=125996]                   _e?q4>B)c  
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优化结果-平均效率 #cj\~T.,,  
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优化结果-对比度 4AY _#f5u  
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