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infotek 2024-02-05 07:58

倾斜光栅的鲁棒性优化

摘要                                                                             W}gVIfe  
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[attachment=125990] VyZV (k  
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由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             ;<6"JP>0  
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仿真任务                                                                             ?iz <  
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连接建模技术:倾斜光栅 ZJXqCo7O  
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[attachment=125992]                                                                     {g=b]yg\o  
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可用的微结构建模技术: U1\MA6pXW  
[\HQPo'S  
[attachment=125993] Y^eX@dE FR  
                                                                                 oS!/|#m n  
光栅阶数分析仪 Y?!/>q  
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参数变化分析仪                                                                             wiV&xl  
   d=n h  
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参数优化                                                                             M7 p8^NL  
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[attachment=125996]                   Ar~{= X  
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优化结果-平均效率 Oy'0I,  
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优化结果-对比度 *^6k[3VY  
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[attachment=125998]
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