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infotek 2024-02-05 07:58

倾斜光栅的鲁棒性优化

摘要                                                                             E;Y;z  
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由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             S'4(0j  
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仿真任务                                                                             K%a%a6k`  
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连接建模技术:倾斜光栅 QWD'!)Zb  
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可用的微结构建模技术: [U5\bX@$  
`-(|>5wWS  
[attachment=125993] HkO7R `  
                                                                                 b6U2GDm\s  
光栅阶数分析仪 r[BVvX/,F  
XZ sz/#  
[attachment=125994] vgsJeV`}I  
Fh`~`eog  
参数变化分析仪                                                                             ZZHDp&lh}  
   pi Z[Y 5OE  
[attachment=125995]                                                                             %>~sJ0  
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参数优化                                                                             *~t6(v?  
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优化结果-平均效率 0w)^)  
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优化结果-对比度 \6R,Nq  
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