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2024-02-05 07:58 |
倾斜光栅的鲁棒性优化
摘要 ,
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pN Ej1 [ry [attachment=125990] ]sjOn?YA+ dBG]J18 由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。 tE{7S/?h q\[31$i$ 仿真任务 is}Fy>9i |k'I?:' [attachment=125991] e<^tY0rR& $gZ|=(y&r 连接建模技术:倾斜光栅 ,Z%!38gGsu 8I C(( [attachment=125992] RWBmQg^]X {\t:{.F
A 可用的微结构建模技术: /$rS0@p 9GZF39w u [attachment=125993] xiRTp:> !00%z 光栅阶数分析仪 wH#k~`M qRB7I:m-Wi [attachment=125994] 2$NP46z} HIhoYSwB 参数变化分析仪 y&__2t^u j7-#">YL [attachment=125995] kX1hcAa 5<w0*~Zd~ 参数优化 of& vQ ,75,~ [attachment=125996] Iz{AA- /gFyow1W 优化结果-平均效率 lQ+-g#` wU#Q>ut'% [attachment=125997] 00pHnNoxW N=+Up\h 优化结果-对比度 1xtbhk]D w#b~R^U [attachment=125998]
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