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infotek 2024-02-05 07:58

倾斜光栅的鲁棒性优化

摘要                                                                             A(_AOoA'  
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[attachment=125990] ;]fpdu{  
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由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             7^sU/3z  
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仿真任务                                                                             /iif@5lw{  
   `Q26Dk  
[attachment=125991] x+B~t4A  
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连接建模技术:倾斜光栅 $ajw]2kx  
W/oRt<:E  
[attachment=125992]                                                                     _WK+BxH  
(/YC\x?  
可用的微结构建模技术: |+6Z+-.Hg  
{J})f>x<xM  
[attachment=125993] #a#~YSnG  
                                                                                 :^%s oEi  
光栅阶数分析仪 D\({]oj]  
BCUw"R#  
[attachment=125994] CyG@  
h>mQ; L  
参数变化分析仪                                                                             6/4OFvL1  
   /2'\ya4B  
[attachment=125995]                                                                             v@>hjie  
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参数优化                                                                             Br#]FB|tD  
AL|fL  
[attachment=125996]                   }GkEv}~t  
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优化结果-平均效率 1pzU=!R?-O  
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[attachment=125997]                                                    g<,v2A  
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优化结果-对比度 uaU!V4-  
O)9T|, U  
[attachment=125998]
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