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2024-02-05 07:58 |
倾斜光栅的鲁棒性优化
摘要 9iXeBC ;>506jZ [attachment=125990] ^g*pGrl# jYx38_5e 由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。 Wc,_RN- W@ T~ly;e* 仿真任务 *n;!G8\ ~1cnE:x;V [attachment=125991] l=]cy-H ~Cl){8o 连接建模技术:倾斜光栅 `kOD[* lwHzj&/ ~ [attachment=125992] Cnnh7` 5 elw~u
可用的微结构建模技术: i#7DR>XF/
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uZ8:f [attachment=125993] qgE 73.!`6 2uG0/7 光栅阶数分析仪 ?bPRxR hD\rtW [attachment=125994] MJ7 Y#<u WEFlV4/ 参数变化分析仪 _= +V/= `%CtWJ(e [attachment=125995] c#a@n 4 w<zIAQN 参数优化 7Ok;Lt!x cS>e? [attachment=125996] q/4YS0CqE "vXxv'0\f 优化结果-平均效率 I3
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