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infotek 2024-02-05 07:58

倾斜光栅的鲁棒性优化

摘要                                                                             XF(I$Mxl6  
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由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             8Cz_LyL  
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仿真任务                                                                             H r?G_L  
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连接建模技术:倾斜光栅 aOfL;I  
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[attachment=125992]                                                                     3N(s)N_P M  
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可用的微结构建模技术: oabc=N!7r  
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[attachment=125993] OBi9aFoQ  
                                                                                 *}Zd QJL  
光栅阶数分析仪 v0|A N  
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[attachment=125994] }N(-e$88  
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参数变化分析仪                                                                             Lv+lLK  
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[attachment=125995]                                                                             :U)q(.53  
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参数优化                                                                             |Y"q. n77  
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优化结果-平均效率 %)8`(9J*  
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优化结果-对比度 MBRRzq%F  
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