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2024-02-05 07:58 |
倾斜光栅的鲁棒性优化
摘要 #gq!L &':Ecmo~` [attachment=125990] MpNgp)%> ]z77hcjB1 由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。 }xa~U,#5 !B*l'OJw 仿真任务 c1Rn1M,2k ur$=%3vM [attachment=125991] >TQNrS^$J 0s$;3qE 连接建模技术:倾斜光栅 TCWt3\ -I0J-~# [attachment=125992] ;:PxWm|_ Q\W?qB_ 可用的微结构建模技术: 4'~zuUs M\_IQj [attachment=125993] f1$'av I/B *iW^ 光栅阶数分析仪 cM_!_8o #3knKBH [attachment=125994] Nsf>b 8O xNd p]u 参数变化分析仪 |[_%zV;p>v |Vo{ {) [attachment=125995] Y"U t JP,yRb\ 参数优化 d-cW47 R wTzS; [attachment=125996] 64UrD{$o l`<1Y| 优化结果-平均效率 G' '9eV$ Ie]k/qw+ Y [attachment=125997] 5AbY 59 iLt2L;v>h 优化结果-对比度 ZOBcV,K X> T_Xc [attachment=125998]
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