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2024-02-05 07:58 |
倾斜光栅的鲁棒性优化
摘要 pjFgIG2=9 qb&*,zN [attachment=125990] zeX?]@]Y Lrq&k40y 由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的光栅设计来说,面对光栅参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。 AI2CfH#:C |4vk@0L 仿真任务 $`%.Y&A <vs.Ucxx [attachment=125991] )1/O_N6C fJuJ#MX{: 连接建模技术:倾斜光栅 }R^{<{KVJ i^#RiCeo [attachment=125992] #7{a~-S y@I"Hk<T 可用的微结构建模技术: sC>8[Jatd O);V{1P [attachment=125993] *"@P2F& r_G`#Z_5F 光栅阶数分析仪 eW/Hn `|R{^Sk1o [attachment=125994] k.%F!sK o%:eYl 参数变化分析仪 Wxjpe4 R##O9BSI8Z [attachment=125995] 8MIHp[vm% EOL03N 参数优化 f&:g{K Ap/WgVw; [attachment=125996] [{YV<kN &PbH!]yd 优化结果-平均效率 \gdd )jg3`I@ [attachment=125997] N}\i!YUD nP.d5%E 优化结果-对比度 &A~ 1Q#4 m35G; [attachment=125998]
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