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cyqdesign 2024-01-17 14:38

光学制造中的材料科学与技术

本书为引进译著。作者全面梳理并总结了其团队在光学制造方面的研究结果。全书包括两大部分:第Ⅰ部分基本相互作用——材料科学,从摩擦学、流体动力学、固体力学、断裂力学、电化学等光学制造的基础理论出发,系统分析了从宏观到微观的材料去除过程,定量描述了光学制造中不同工艺参数与光学元件性能之间的关系。第Ⅱ部分应用——材料技术,详细叙述了工程应用的光学制造,汇总了现代光学制造中缺陷的检测和评价方法,剖析了多方面工艺优化的可行性,说明了各类新的抛光技术;针对高能激光系统要求的高损伤阈值光学元件,书末还给出了高能激光元件制作的关键工艺实例。 +es6c')  
本书既是光学制造理论的梳理,也是现代光学制造技术与应用的汇总,涵盖了从光学制造工艺到光学元件性能评价等多方面的Z新理论与实践,是一部兼具理论、方法和实际应用价值的教科书和参考书。 'Qfy+_0  

[attachment=125215]
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|$w-}$jq5  
目录 e.kt]l  
致谢 J~Ph)|AiS  
第Ⅰ部分基本相互作用——材料科学 `dNb%f>  
第1章绪论 "nefRz%j+  
1.1光学制造工艺/2 )/pPY  
1.2光学制造工艺的主要特点/5 UCWU|r<s,  
1.3材料去除机制/8 yTvK)4&  
参考文献/10 Oxvw`a#  
第2章面形 $.cGRz  
2.1普雷斯顿方程/12 3gh^a;uC  
2.2普雷斯顿系数/13 ]a%Kn]HI&2  
2.3界面摩擦力/16 f:0n-me  
2.4运动和相对速度/18 E,$uN w']  
2.5压力分布/22 ~zX5}U<R  
2.5.1施加的压力分布/22 %jf gncW  
2.5.2弹性抛光盘响应/23 'ng/A4  
2.5.3流体动力/24 sg2C_]i,H  
2.5.4力矩/26 iTvCkb48m  
2.5.5黏弹性和黏塑性抛光盘特性/29 H}~^,B2;  
2.5.6工件抛光盘失配/33 R{B~Now3  
2.6确定性面形/54 gA|j\T{c  
参考文献/57 }.vy|^X  
第3章表面质量 ZM.g +-9  
3.1亚表面机械损伤/63 ZSSgc0u^?  
3.1.1压痕断裂力学/63 R}Y=!qjYE=  
3.1.2研磨过程中的亚表面机械损伤/76 F{+`F<r  
3.1.3抛光过程中的SSD/91 "8]170  
3.1.4蚀刻对SSD的影响/99 J)-> 7h =  
3.1.5最小化SSD的策略/107 cOgtBEhn  
3.2碎屑、颗粒和残留物/108 mx4*zj  
3.2.1颗粒/108 /0uinx  
3.2.2残留物/110 463dLEd  
3.2.3清洁策略和方法/112 Uf<vw3  
3.3拜尔培层/114 AVWrD[ wD2  
3.3.1通过两步扩散的钾渗透/116 iE`aGoA  
3.3.2化学反应性引起的铈渗透/118 !/zj7z !  
3.3.3拜尔培层和抛光工艺的化学结构机械模型/122 2Qj)@&zKe#  
参考文献/124 c53`E U  
第4章表面粗糙度 UXJl;M b  
4.1单颗粒去除功能/130 )]R?v,9*D  
4.2拜尔培层特性/137 YLo$n  
4.3浆料粒度分布/138 }b(e  
4.4抛光盘机械性能和形貌/141 +bn w,B><  
4.5浆料界面相互作用/144 }"Cn kg  
4.5.1浆料岛和 DeSTo9A}!  
粗糙度/144 buXG32;  
4.5.2浆料中颗粒的胶体稳定性/148 6f!mk:\T.  
4.5.3抛光界面处的玻璃抛光生成物堆积/150 k]iS3+nD  
4.5.4抛光界面处的三种力/152 pH [lj8S  
4.6浆料再沉积/154 MvmP["%J4_  
4.7预测粗糙度/157 5aNDW'z`f  
4.7.1集成赫兹多间隙(EHMG)模型/157 8|GpfW3p 2  
4.7.2岛分布间隙(IDG)模型/164 ;I'/.gW;{  
4.8降低粗糙度的策略/167 zY+Et.lg]^  
4.8.1策略1: 减少或缩小每粒子负载的分布/167 V1`| j  
4.8.2策略2: 修改给定浆料的去除函数/168 -pu\p-Z  
参考文献/170 9a%@j ]  
第5章材料去除率 |hM)e*"  
5.1磨削材料去除率/173 UGt7iT<`8  
5.2抛光材料去除率/178 {eEWfMKIn  
5.2.1与宏观普雷斯顿方程的偏差/178 AUde_ 1hi  
5.2.2宏观材料去除的微观/分子描述/179 \[EWxu  
5.2.3影响单颗粒去除函数的因素/185 n #I}!x>2  
参考文献/195  &7&*As  
第Ⅱ部分应用——材料技术 z:5ROlk0  
5I,X#}K[  
第6章提高产量: 划痕鉴定和断口分析 s= fKAxH  
/ nFw  
6.1断口分析101/200 8-ssiiJ}gh  
iXRt9)MT{  
6.2划痕辨识/204 %Qz`SO8x?  
e&4u^'+K  
6.2.1划痕宽度/205 Zr;=p"cXr  
i%8&g2  
6.2.2划痕长度/206 m4>o E|\  
8]\h^k4f  
6.2.3划痕类型/207 nk 9 K\I  
_|:bac8pL  
6.2.4划痕密度/208 {{%8|+B  
|7x^@i9w  
6.2.5划痕方向和滑动压痕曲率/208 j]O[I^5  
#%"TU,[+  
6.2.6划痕模式和曲率/208 /exl9Ilt]  
]?$y}  
6.2.7工件上的位置/209 -yGm^EwP  
_Pi:TxY   
6.2.8划痕辨识示例/209  89=JC[c  
$ow`)?sh  
6.3缓慢裂纹扩展和寿命预测/210 M~F2cX W  
&"%|`gE  
6.4断裂案例研究/213 <# r.}T.l  
<" l;l~Y1  
6.4.1温度诱发断裂/213 Yj/nzTVJ[  
72vGfT2HtZ  
6.4.2带摩擦的钝性载荷/221 x>" JWD  
3|r!*+.  
6.4.3玻璃与金属接触和边缘剥落/223 aB6LAb2z;T  
[<a%\:c m4  
6.4.4胶合导致碎片断裂/225 @b\_696.  
gD+t'qg$  
6.4.5压差引起的工件失效/226 w!w _`7[  
pbxcsA\  
6.4.6化学相互作用和表面裂纹/229 (G%gVk]  
~.`r(  
参考文献/233 x0$:"68PW  
i=H>D  
第7章新工艺及表征技术 &\` a5[  
L9?/ -@M  
7.1工艺技术/236 XfK.Fj~-  
)TG0m= *  
7"NJraQ6  
7.1.1刚性与柔性固定块/236 L8xprHgL  
JgKZ;GM:W  
7.1.2浅层蚀刻和深蚀刻/240 M #=5u`h  
4U;XqUY /  
7.1.3使用隔膜或修整器进行抛光垫磨损管理/241 IBNQmVRrI  
2$W,R/CLh  
7.1.4密封、高湿度抛光腔室/244 'Qq_Xn8  
7.1.5工程过滤系统/244 @:QdCG+  
7.1.6浆液化学稳定性/246 bok 74U]  
7.1.7浆料寿命和浆料回收/250 9`n) "r  
7.1.8超声波抛光垫清洗/250 }cK~=@7tK  
7.2工件表征技术/252 v:Z4z6M-  
7.2.1使用纳米划痕技术表征单颗粒去除函数/252 q;0&idYC  
7.2.2使用锥形楔片测量亚表面损伤/253 :`^3MMLO  
7.2.3使用特怀曼效应进行应力测量/255 ^pV>b(?qw  
7.2.4使用SIMS对拜尔培层进行表征/255 ~TFYlV  
7.2.5使用压痕和退火进行表面致密化分析/256 [xp,&  
7.2.6使用静态压痕法测量裂纹发生和扩展常数/258 OPt;G,$ta  
7.3抛光或研磨系统表征技术/258 agU!D[M_G  
7.3.1使用SPOS分析的浆料PSD末端结构/258 u#@{%kPW  
7.3.2使用共焦显微镜测量抛光垫形貌/259 =>z tBw\  
7.3.3使用zeta电位测量浆料稳定性/259 C"^hMsU8  
7.3.4红外成像测量抛光过程中的温度分布/261 :htq%gPex9  
7.3.5使用非旋转工件抛光表征浆料空间分布和黏弹性研磨盘响应/261 Z t+FRR=  
7.3.6使用不同盘面槽结构分析浆料反应性与距离/262 N|O]z  
参考文献/263 VMye5  P  
第8章新型抛光方法 Z*9]:dG:!  
8.1磁流变抛光/265 PWN'.HQ  
8.2浮法抛光/271 CL'Xip')T  
8.3离子束成形/273 CndgfOF  
8.4收敛抛光/275 L8]{B  
8.5滚磨抛光/279 oSA*~N:  
8.6其他子孔径抛光方法/285 oBNX8%5w  
参考文献/288 `=}UFu  
第9章抗激光损伤光学元件 DMcxa.Sd!  
9.1激光损伤前体/296 T<e7(=  
9.2减少激光光学元件中的SSD/300 {29S`-|P  
9.3高级缓解过程/301 7kX$wQZ_  
参考文献/306 Am4^v?q  

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