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cyqdesign 2024-01-17 14:38

光学制造中的材料科学与技术

本书为引进译著。作者全面梳理并总结了其团队在光学制造方面的研究结果。全书包括两大部分：第Ⅰ部分基本相互作用——材料科学，从摩擦学、流体动力学、固体力学、断裂力学、电化学等光学制造的基础理论出发，系统分析了从宏观到微观的材料去除过程，定量描述了光学制造中不同工艺参数与光学元件性能之间的关系。第Ⅱ部分应用——材料技术，详细叙述了工程应用的光学制造，汇总了现代光学制造中缺陷的检测和评价方法，剖析了多方面工艺优化的可行性，说明了各类新的抛光技术；针对高能激光系统要求的高损伤阈值光学元件，书末还给出了高能激光元件制作的关键工艺实例。 lDAw0 C3  
本书既是光学制造理论的梳理，也是现代光学制造技术与应用的汇总，涵盖了从光学制造工艺到光学元件性能评价等多方面的Z新理论与实践，是一部兼具理论、方法和实际应用价值的教科书和参考书。 #M8"b]oh6  

[attachment=125215]
G]5'U"cj3  
,gRsbC  
目录 +gT?{;3[i  
致谢 1Rwk}wL  
第Ⅰ部分基本相互作用——材料科学 t|%iW%m4  
第1章绪论 oYqlN6n,=6  
1．1光学制造工艺／2 5N ' QG<jE  
1．2光学制造工艺的主要特点／5 zXMIDrq  
1．3材料去除机制／8 !&19%C4  
参考文献／10 yQCfn1a)  
第2章面形 % ]  
2．1普雷斯顿方程／12 ZRcY; ?  
2．2普雷斯顿系数／13 #PtV=Ee1  
2．3界面摩擦力／16 6AzH'H F  
2．4运动和相对速度／18 rEZa%)XJ  
2．5压力分布／22 l} h<2  
2．5．1施加的压力分布／22 RCgs3JIE+2  
2．5．2弹性抛光盘响应／23 #msk'MVt  
2．5．3流体动力／24 dr:)+R  
2．5．4力矩／26 WFLT[j!1  
2．5．5黏弹性和黏塑性抛光盘特性／29 &AlVJEI+  
2．5．6工件抛光盘失配／33 PsLuyGR.<  
2．6确定性面形／54 # {!Qf\1M  
参考文献／57 q=|>r n_  
第3章表面质量 %.<w8ag  
3．1亚表面机械损伤／63 B4&x?-0ZC  
3．1．1压痕断裂力学／63 >dZ x+7  
3．1．2研磨过程中的亚表面机械损伤／76 hv7!x=?8  
3．1．3抛光过程中的SSD／91 /t ,ujTK  
3．1．4蚀刻对SSD的影响／99 0y|}}92:  
3．1．5最小化SSD的策略／107 *gZ4Ub|O  
3．2碎屑、颗粒和残留物／108 f'R^MX2  
3．2．1颗粒／108 30[?XVI&  
3．2．2残留物／110 >*Y~I0>  
3．2．3清洁策略和方法／112 D<Ads  
3．3拜尔培层／114 b6oPnP_3P  
3．3．1通过两步扩散的钾渗透／116 N6yqA)z?;  
3．3．2化学反应性引起的铈渗透／118 %n!s{5:F  
3．3．3拜尔培层和抛光工艺的化学结构机械模型／122 oREZ^pE@  
参考文献／124 O^oFH OpFh  
第4章表面粗糙度 g4%x7#vz0  
4．1单颗粒去除功能／130 'du:Bxl`d4  
4．2拜尔培层特性／137 mVU(u_lh  
4．3浆料粒度分布／138 Z\O ,9  
4．4抛光盘机械性能和形貌／141 _Z5l Nu  
4．5浆料界面相互作用／144 A-.jv  
4．5．1浆料岛和 I@ }:} 8t  
粗糙度／144 _vvnxG!x&  
4．5．2浆料中颗粒的胶体稳定性／148 0(-'L\<>x  
4．5．3抛光界面处的玻璃抛光生成物堆积／150 \asF~P  
4．5．4抛光界面处的三种力／152 #). om*Xh  
4．6浆料再沉积／154 hGD7/qTN  
4．7预测粗糙度／157 }=7tGqfw  
4．7．1集成赫兹多间隙(EHMG)模型／157 $ShL^g@  
4．7．2岛分布间隙(IDG)模型／164 Qn<J@%  
4．8降低粗糙度的策略／167 PS(9?rX#+  
4．8．1策略1： 减少或缩小每粒子负载的分布／167 /gXli)  
4．8．2策略2： 修改给定浆料的去除函数／168 o&gcFOM22  
参考文献／170 j:$2 ,?|5  
第5章材料去除率 ,GZ(>|  
5．1磨削材料去除率／173 g#5g0UP)V  
5．2抛光材料去除率／178 '_@=9 \<  
5．2．1与宏观普雷斯顿方程的偏差／178 (/Z~0hA[Q  
5．2．2宏观材料去除的微观／分子描述／179 %+FM$xyJ  
5．2．3影响单颗粒去除函数的因素／185 yBht4"\Al  
参考文献／195 1wqCoDgkp  
第Ⅱ部分应用——材料技术 u ldea)  
d<(1^Rto  
第6章提高产量： 划痕鉴定和断口分析 eJ$?T7aUf  
^/mQo`[G  
6．1断口分析101／200 tCtR(mG=A  
7^as~5'&-  
6．2划痕辨识／204 `=b*g24z[N  
Yca9G?^\v  
6．2．1划痕宽度／205 W{ @lt}  
Vg6?a  
6．2．2划痕长度／206 8+v6%,K2  
8p>%}LX/  
6．2．3划痕类型／207 FhAuTZk  
X#1So.}c  
6．2．4划痕密度／208 !);}zW!  
E)H8jBm6w  
6．2．5划痕方向和滑动压痕曲率／208 `k _5Pz\  
Nki18ud#  
6．2．6划痕模式和曲率／208 noh3mi  
pRUN [[L  
6．2．7工件上的位置／209 {eqUEdC  
8Tv;,a  
6．2．8划痕辨识示例／209 ./J.OU1  
DU]MMR  
6．3缓慢裂纹扩展和寿命预测／210 .l !:|Fd  
5|S|HZ8G  
6．4断裂案例研究／213 )0fQ(3oOg  
k[y{&f,  
6．4．1温度诱发断裂／213 @Mt6O _V  
zUIh8cAoE  
6．4．2带摩擦的钝性载荷／221 -md2Z0^ Kc  
dUOjPq97  
6．4．3玻璃与金属接触和边缘剥落／223 eey <:n/Z  
QVn!60[lj  
6．4．4胶合导致碎片断裂／225 /M v\~vg$1  
T* -*U /  
6．4．5压差引起的工件失效／226 4xe:+sA.N  
!ssE >bDa  
6．4．6化学相互作用和表面裂纹／229 g%1!YvS3v  
!*?&V3!  
参考文献／233 u0w2v+  
P}DrUND  
第7章新工艺及表征技术 ^ylJ_lN&=1  
S;i^ucAF  
7．1工艺技术／236 XrFyN(p  
>^D"%Oj y  
WI[6 l6  
7．1．1刚性与柔性固定块／236 :4]&R9J>o  
pc:K5 -Os  
7．1．2浅层蚀刻和深蚀刻／240 H6bomp"  
<u u1e@P  
7．1．3使用隔膜或修整器进行抛光垫磨损管理／241 x #BUIi  
K)l{3\9l|  
7．1．4密封、高湿度抛光腔室／244 hY-;Wfg  
7．1．5工程过滤系统／244 |K aXek  
7．1．6浆液化学稳定性／246 jWUN~#p!  
7．1．7浆料寿命和浆料回收／250 ogip#$A}3  
7．1．8超声波抛光垫清洗／250 7&'^H8V  
7．2工件表征技术／252 ,Xo9gn  
7．2．1使用纳米划痕技术表征单颗粒去除函数／252 [WY NA-O  
7．2．2使用锥形楔片测量亚表面损伤／253 E I)Pfx"0  
7．2．3使用特怀曼效应进行应力测量／255 ]/JE#  
7．2．4使用SIMS对拜尔培层进行表征／255 \eI )(,A  
7．2．5使用压痕和退火进行表面致密化分析／256 T/)$}#w0i  
7．2．6使用静态压痕法测量裂纹发生和扩展常数／258 Y]&H U) u  
7．3抛光或研磨系统表征技术／258 l \xIGs  
7．3．1使用SPOS分析的浆料PSD末端结构／258 E)#3*Wlu$  
7．3．2使用共焦显微镜测量抛光垫形貌／259 [^1;8Tbk  
7．3．3使用zeta电位测量浆料稳定性／259 AN$}%t"  
7．3．4红外成像测量抛光过程中的温度分布／261 7bQ#M )}  
7．3．5使用非旋转工件抛光表征浆料空间分布和黏弹性研磨盘响应／261 1S  0GjR  
7．3．6使用不同盘面槽结构分析浆料反应性与距离／262 g3e\'B'  
参考文献／263 q fadsVp  
第8章新型抛光方法 0N_Ma')i  
8．1磁流变抛光／265 VqVP5nT'=  
8．2浮法抛光／271 s-*8=  
8．3离子束成形／273 Vy-H3BR  
8．4收敛抛光／275 0O!%NL[,  
8．5滚磨抛光／279 04WKAP'c N  
8．6其他子孔径抛光方法／285 PX\}lTJ  
参考文献／288 wvx N6  
第9章抗激光损伤光学元件 1 (P >TH  
9．1激光损伤前体／296 rM=Q.By+\  
9．2减少激光光学元件中的SSD／300 goIn7ei92  
9．3高级缓解过程／301 Ju)2J?Xs5  
参考文献／306 4LUFG  
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