《光学测量原理、技术与应用》
《光学测量原理、技术与应用》以光学测量中光的特性为主线,以光学测量方法与技术为中心,全面介绍了光学测量涉及的基本理论、测量原理与方法、技术特点与典型应用等。全书共10章,第1章介绍光学测量的基本知识,第2~5章分别介绍光干涉测量、激光准直与跟踪测量、激光全息与散斑测量、激光衍射和莫尔条纹测量; 第6章介绍机器视觉测量; 第7章介绍激光测速与测距; 第8章介绍光纤传感原理与技术; 第9章介绍激光雷达三维成像技术; 第10章介绍光学探针测量。 LfllO gD1+]am
[attachment=124599] ~lk@6{`l|1 第1章光学测量的基础知识 [?I/Uo8
(Com, 1.1基本概念、基本方法、应用领域及发展趋势 f8#*mQ O%VA)< 1.1.1基本概念 [-]A^?yBM N33AcV!*8 1.1.2误差与测量不确定度 CrO`=\ V4EM5 Z\k 1.1.3基本构成 eQ\jZ0s;p #]X2^ND47 1.1.4主要应用范围 wI>h%y-%! Q)T+r~#2B 1.1.5基本方法 .<dOED{v v~aLTI 1.1.6发展趋势 &M=3{[ itHM7d 1.2光学测量中的常用光源 Q ]0r:i=
. /4-}k 1.2.1光源选择的基本要求和光源的分类 yXrd2?Rq@ B5
&YL 1.2.2热光源 C/y(E|zC$ -_HRqw,Z0 1.2.3气体放电光源 uR^. 7dHIW!OA 1.2.4固体发光光源 w#<p^CS ?CFoe$M 1.2.5激光光源 H@4/#V|Uy i3d y 1.3光学测量中的常用光学器件 "]UIz_^'`U DU`v J2 1.3.1激光准直镜 >"b[r 3u4:l 1.3.2分光镜 0:#7M}U 'mUI-1GkT 1.3.3偏振分光镜 mV%h[~- )gjGG8Ee 1.3.4波片 s{B_N/^ QheDF7'z 1.3.5角锥棱镜 VRB~7\A5<) #?Wo <]i 1.3.6衍射光栅 @'Q%Jc( Qi"'bWX@ 1.3.7调制器 9':/Sab:7v 3@'lIV
?,q 1.3.8光隔离器 HGb.656r Z>&K&ttJ 1.4光学测量中的常用光电探测器 v?}pi ho_4fDv 1.4.1常用光电探测器的分类 k5C>_(
A `T`c@A 1.4.2光电探测器的主要特性参数 #.b^E3#+ gLV^Z6eE 1.4.3常用光电探测器介绍 VT
Vm7l ff[C' 1.5光学测量系统中的噪声和常用处理电路 OFQ{9 TRo4I{L6S 1.5.1光学测量系统中的噪声 @EYK(QS- tbY SK 1.5.2光学测量系统中的常用处理电路 [{?;c+[ j $KM9 1.6光学测量中的常用调制方法与技术 Z+Xc1W^ ?N(u4atC 1.6.1概述 \1~I04'= P$Axc/H 1.6.2机械调制法 EL"4E', 1aVgwAI
1.6.3利用物理光学原理实现的光调制技术 &`m~o/ 5"[yFmP* 习题与思考1 GgT=t)}wu _m" ^lo 第2章光干涉测量 Na-q%ru )S#j.8P'B 2.1光干涉基础知识 yTP[,bM 2=Jmi?k 2.1.1光的干涉条件 u^!&{ q /m;O;2" 2.1.2干涉条纹的形状 8.PXTOhVL O-?z' @5cI 2.1.3干涉条纹的对比度 b5[f 5 q;IhLBl' 2.1.4产生干涉的途径 J tThkh'-" Dxz5NW4 2.2波面干涉测量 HK^a:BI #%;<FFu\ 2.2.1概述 0@:Y>qVa P"2Q&M_/ 2.2.2泰曼格林干涉仪 9&&kgKKGQ G[y&`Qc)G 2.2.3移相干涉仪 N"&$b_u[ G#^m<G^M 2.2.4共路干涉仪 DS.39NY ,.J<.#D3J 2.3激光干涉仪 C:WtCAm( )`e^F9L 2.3.1迈克尔逊干涉仪 $>nkGb%Kp M^Q&A R'F 2.3.2实用激光干涉仪主要部件的作用原理 h5<T.vV UUZ6N ZQI 2.3.3实用激光干涉仪的实际构成和常见光路 $,p.=j;P aB/{ %%o 2.4白光干涉仪 $:xF)E InAU\! ew 2.5外差式激光干涉仪 (N&k}CO]W iH($rSE 2.5.1概述 cw*(L5bu TJeou#=/ 2.5.2双频激光干涉仪 QJ[(Y@ O6a f_^ix 2.5.3激光测振仪 kyp U&F )6PJ*;p- 2.6激光自混合干涉测量 (YaOh^T:| "US"`a2 2.7绝对长度干涉计量 i528e{& Y8x(#qp, 2.7.1柯氏绝对光波干涉仪 *>?):-9"6N B]&Lh~Im 2.7.2激光无导轨测量 !"Z."fm* cq+nWHqF{J 2.8激光干涉测量的重大应用举例 NN31?wt dqIZ#;:g 2.8.1激光干涉测量引力波 dj8F6\ COxZ
Q 2.8.2光刻机工件台六自由度超精密测量 p,M3#^ q }rFsU\]:q 习题与思考2 Fh*q]1F f\U? :83 第3章激光准直与跟踪测量 D5o+0R ;m2"cL>{l 3.1概述 z7NGpA( ;'b!7sMO~ 3.1.1激光准直测量基本原理 bxPY'& |