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cyqdesign 2024-01-04 09:20

《光学测量原理、技术与应用》

《光学测量原理、技术与应用》以光学测量中光的特性为主线,以光学测量方法与技术为中心,全面介绍了光学测量涉及的基本理论、测量原理与方法、技术特点与典型应用等。全书共10章,第1章介绍光学测量的基本知识,第2~5章分别介绍光干涉测量、激光准直与跟踪测量、激光全息与散斑测量、激光衍射和莫尔条纹测量; 第6章介绍机器视觉测量; 第7章介绍激光测速与测距; 第8章介绍光纤传感原理与技术; 第9章介绍激光雷达三维成像技术; 第10章介绍光学探针测量。 g5kYyE  
dD/29b(  

[attachment=124599]
TEaD-mY3  
第1章光学测量的基础知识 HI"!n$p  
AmT| %j&3  
1.1基本概念、基本方法、应用领域及发展趋势 33#7U+~]@  
6e$sA (a=i  
1.1.1基本概念 uPv;y!Lsa@  
3b g4#c  
1.1.2误差与测量不确定度 W2r6jm!  
GL;x:2XA  
1.1.3基本构成 (ybtXoQs  
G1#Bb5q:  
1.1.4主要应用范围 .oi}SG  
|xsV(jK8  
1.1.5基本方法 )Dk0V!%N  
Z ,|1G6f@  
1.1.6发展趋势 U}RS*7`  
WuP([8  
1.2光学测量中的常用光源 e' /  
0@sr NuW  
1.2.1光源选择的基本要求和光源的分类 \p>]G[g  
an$ ]IN  
1.2.2热光源 WTV3p,;6a  
_e:5XQ  
1.2.3气体放电光源 <FcPxZ  
66^1&D"  
1.2.4固体发光光源 1^x2WlUm4  
DJ mQZ+{2  
1.2.5激光光源 CfkNy[}=  
e_>rJWI}  
1.3光学测量中的常用光学器件 !_XU^A>  
F9u:8;\@`  
1.3.1激光准直镜 Uf7F8JZmM  
4,w{rmj  
1.3.2分光镜 e\d5SKY  
<iXS0k  
1.3.3偏振分光镜 JGSk4  
/+<%,c$n  
1.3.4波片 :]u}x Dv3  
~q8V<@?  
1.3.5角锥棱镜 #U!(I#^3  
(:fE _H2z  
1.3.6衍射光栅 Y6;0khp  
9U}MXY0  
1.3.7调制器 Cdt,//xrz  
7/D9n9F  
1.3.8光隔离器 SQ^^1.V&/Y  
9aF..  
1.4光学测量中的常用光电探测器 uhw5O9  
~7ATt8T  
1.4.1常用光电探测器的分类 /SPAJHh  
\[IdR^<YM  
1.4.2光电探测器的主要特性参数 7uv/@(J"$  
0'\FrG  
1.4.3常用光电探测器介绍 nIT^'  
FQ9csUjpB  
1.5光学测量系统中的噪声和常用处理电路 t'=~"?T/o  
I?>-  
1.5.1光学测量系统中的噪声 1VjeP *  
{M)3GsP?  
1.5.2光学测量系统中的常用处理电路 -X&!dV:= 4  
S,`Sq8H  
1.6光学测量中的常用调制方法与技术 +3o)L?:g  
St3(1mApl  
1.6.1概述 Ltic_cjYd?  
j0pvLZjM  
1.6.2机械调制法 >+; b>  
c>U{,z  
1.6.3利用物理光学原理实现的光调制技术 #a'x)$2;R|  
>Rki[SNb-b  
习题与思考1 MR)KLM0  
$ vw}p.  
第2章光干涉测量 ,I2re G  
z[lRb]:i[  
2.1光干涉基础知识 5>1Y="B  
}d~FTre  
2.1.1光的干涉条件 rt@-Pw!B  
y`B!6p 5j  
2.1.2干涉条纹的形状 vU$O{|J  
' ! UF&  
2.1.3干涉条纹的对比度 #`vGg9  
~g4rGz  
2.1.4产生干涉的途径 Y^jnlS)h  
%\{?(baOA  
2.2波面干涉测量 !iitx U  
U70@}5!  
2.2.1概述 rCSG@D.  
<0Egkz3s  
2.2.2泰曼格林干涉仪 ,Y\4xg*`  
6B;_uIq5  
2.2.3移相干涉仪 j=jrzG+`  
h&k ^l,  
2.2.4共路干涉仪 E-U;8cOMv  
dW^_tzfF7  
2.3激光干涉仪 !DX/^b  
c7nk~K[6  
2.3.1迈克尔逊干涉仪 fkv{\zN  
|v %RjN  
2.3.2实用激光干涉仪主要部件的作用原理 Znl>*e/|  
u&d v[  
2.3.3实用激光干涉仪的实际构成和常见光路 f/[?5M[  
i8[Y{a *  
2.4白光干涉仪 Pl5NHVr  
KGE-RK  
2.5外差式激光干涉仪 nhX p_Z9  
v!RB(T3  
2.5.1概述 QWW7I.9r  
p:Ld)U*  
2.5.2双频激光干涉仪 E5[]eg~w%{  
RAuAIiQ  
2.5.3激光测振仪 Z Lio8  
zm3MOH^a  
2.6激光自混合干涉测量 #2vG_B<M)  
GwpBDM k  
2.7绝对长度干涉计量 q(PT'z  
K"6+X|yxE  
2.7.1柯氏绝对光波干涉仪 h,6S$,UI  
}Ka.bZS  
2.7.2激光无导轨测量 x< y[na  
e}O-I  
2.8激光干涉测量的重大应用举例 KjfKo;T  
pQMpkAX  
2.8.1激光干涉测量引力波 0)Xue9AS  
OTHd1PSOu  
2.8.2光刻机工件台六自由度超精密测量 >5vl{{,$K  
J'^$|/Q  
习题与思考2 ;7`um  
sd@gEp)L  
第3章激光准直与跟踪测量  q>.t~  
R6@~   
3.1概述  H[!Q  
K84cE  
3.1.1激光准直测量基本原理 6M vR R  
;s B:s9M  
3.1.2激光准直测量系统的组成 rMg{j gD  
|e; z"-3  
3.2激光测量直线度原理 {f-/,g~  
=^AZx)Kwd  
3.2.1直线度测量概述 Yl~?MOk  
-[7,ph  
3.2.2激光测量直线度方法 VJtTbt;>  
d8 Nh0!  
3.2.3直线度测量误差分析 iXS-EB/  
DoB3_=yJ+  
3.3激光同时测量多自由度误差 :!YJ3:\  
=?*"V-l  
3.3.1滚转角测量 Vh9s.=*P@  
+P)[|y +e  
3.3.2四自由度误差同时测量 $JSC+o(q3#  
Qufv@.'AY  
3.3.3五自由度误差同时测量 S9#N%{8P  
3pjYY$'  
3.3.4六自由度误差同时测量 /(pD^D  
wp GnS  
3.3.5激光跟踪测量 QT l._j@  
DCzPm/#b  
习题与思考3 ! E#.WX  
svRaU7<UDN  
第4章激光全息与散斑测量 }vA nP]!A5  
A*U'SCg(G  
4.1全息术及其基本原理 /F}\V ^  
4m(>"dHP  
4.1.1全息术基本原理 Au*?)X- $  
H;Qn?^  
4.1.2全息图的类型 ?BvI/H5d  
YYr&r.6  
4.1.3全息设备基本构成 Fj('l  
o9d$ 4s@/  
4.2激光全息干涉测量 bYB}A :  
7b%Cl   
4.2.1单次曝光法 4S EC4yO  
EA E\Xv  
4.2.2二次曝光法 }w^ T9OC  
>MY.Fr#.m  
4.2.3时间平均法 K 0H!Ds9  
T*~)9o  
4.3激光全息干涉测量的应用 zd4y5/aoS  
#TwE??ms  
4.3.1位移和形状检测 Q~!hr0 ZR  
$#W6z:  
4.3.2缺陷检测 VgTI2  
CWsv#XOg]  
4.3.3测量光学玻璃折射率的不均匀性 g*.(! !  
zP'pfBgbJW  
4.4激光散斑干涉测量 NKhR%H  
nGgc~E$j  
4.4.1散斑的概念 >6834e  
)&!@O$RS8(  
4.4.2散斑照相测量 Cj\+u\U#  
,[1`'nN@g  
4.4.3散斑干涉测量 !:[n3.vm   
TaJn2cC^  
4.4.4电子散斑干涉 tsVhPo]e0  
<@!kR$Rd  
4.4.5时域散斑干涉 N;pr:  
/l%qq*Ew  
4.5散斑干涉测量的应用举例 % peb{i  
:I(gz~u6  
习题与思考4 Nb^:_0&H@  
)K3 vzX  
第5章激光衍射和莫尔条纹测量 <qY>d,+E'  
A@AGu#W  
5.1激光衍射测量基本原理 o`! :Q!+  
6WcbJ_"mq  
5.1.1单缝衍射测量 A1$'[8U~3  
rL3Vogw'e  
5.1.2圆孔衍射测量 %GiO1:t  
=U`c }dhS  
5.2莫尔条纹测量 \ySc uT  
E9-'!I!  
5.2.1莫尔条纹的形成原理 me^Gk/`Em  
e-=PT 1T`  
5.2.2莫尔条纹的基本性质 ulo7d1OVkJ  
31Mc<4zI8  
5.2.3莫尔条纹测试技术 6dp_R2zH~o  
~0Q72  
5.3衍射光栅干涉测量 Lf M(DK  
:#jv4N  
5.3.1衍射光栅干涉测量原理 wGX"R5  
o}Np}PE6  
5.3.2衍射光栅干涉测量系统与技术 9GaER+d|  
1M+!cX  
5.4X射线衍射测量 g``4U3T%X  
u5M{s;{11r  
5.4.1X射线衍射测量原理 J"|$V#  
UF&Wgj [  
5.4.2X射线衍射测量材料应力 |JQKxvjT  
.e#j#tQp  
习题与思考5 ^- Ji]5~  
boovCW  
第6章机器视觉测量 zZiVBUmE<  
`2  
6.1摄像机模型 YWFHiB7x  
Ve) :I  
6.2图像处理技术 I!'(>VlP7  
)\G#[Pc7  
6.2.1图像滤波 =@l5He.]&  
LnX^*;P5t  
6.2.2图像增强 hJN A%  
f |5|n>*  
6.3结构光视觉测量 x#j_}L!V;  
')RK(I  
6.3.1激光三角法的测量原理 3i~{x[Jc  
8!Kfe  
6.3.2结构光视觉测量系统 qChPT:a  
P 'k39  
6.3.3点结构光视觉测量原理 i+3b)xtW7  
o*'3N/D~  
6.3.4线结构光视觉测量原理 k{62UaL.  
?GZs5CnS  
6.3.5结构光视觉测量系统的标定方法 $hh=-#J8  
q1Mk_(4oJ  
6.4双目立体视觉测量 '9XwUQx  
\v Go5`  
6.4.1数学模型 ElxbHQj6  
i.&16AY  
6.4.2双目立体视觉的标定方法 E;0"1 P|S  
C?k4<B7V  
6.5基于相位的视觉测量 c7_b^7h1  
,3u19>2  
6.5.1相移形貌测量 P6rL;_~e  
tnntHQ&b  
6.5.2立体相位偏折测量 T^t`H p  
l[Oxf|  
6.6视觉测量的应用举例 )DMbO"7  
lom4z\6  
6.6.1基于三维视觉检测技术的白车身三维视觉检测系统 2e &Zs%u  
=6:Iv"<  
6.6.2基于机器视觉的焊缝宽度测量方法 4 @h6|=  
i8F~$6C  
习题与思考6 5/<Y,eZ/  
UPsh Y  
第7章激光测速与测距 M Cz3RZK  
[gDvAtTZ5  
7.1多普勒效应与多普勒频移 O^GTPYW  
EBm\rM8  
7.2激光多普勒测速 Zzs pE}  
+dRTHz  
7.2.1激光多普勒测速的基本原理 y|ZJ-[qg  
= 8n*%NC  
7.2.2激光多普勒测速技术 #'T@mA  
APy a&TG  
7.2.3激光多普勒测速技术的进展 HU'}c*d]  
5k@ k  
7.3激光测距 ;(A'XA4 6N  
42~;/4  
7.3.1脉冲激光测距 +%^D)   
X |as1Y$O+  
7.3.2相位激光测距 &q+ %OPV  
Qw ED>G|  
7.4激光测速和测距应用 :iJ= 9  
4CqZvd C  
7.4.1车载激光多普勒测速 _IGQ<U<z  
EC7o 3LoND  
7.4.2空间碎片的激光脉冲测距 {k>m5L  
MLJ8m  
7.4.3飞秒光梳色散干涉测距 59LIK&w  
f3O3pIA  
习题与思考7 zuOIos  
rYT3oqpfT  
第8章光纤传感原理与技术 'RhMzPmY>  
}x+{=%~N  
8.1概述 PGJ?=qXr#  
k0,~wn\#h  
8.1.1光纤传感的主要类型 sfH|sp  
8Og9P1jVh  
8.1.2光纤传感的主要特点 \J6T:jeS,  
7dLPy[8";t  
8.2光在波导介质中传输的基本理论及规律 nHhg#wR  
phTZUm i  
8.2.1光纤的基本结构 v/)dsSNZ0u  
TE/2}XG)  
8.2.2平板波导介质中的光波模式 h0!j;fn  
OLv(  
8.2.3光在光纤中的传输规律 E~24b0<7  
joa$Y6  
8.2.4光纤的传输特性 6oC(09  
UJQ!~g.y]  
8.3光纤传感 ,30&VW##  
\K?3LtJ  
8.3.1强度调制型光纤传感 w>#~_x, `  
|_-FQ~Hf F  
8.3.2相位调制型光纤传感 yjr!8L:m  
>_R5Li  
8.3.3偏振调制型光纤传感 ^LZU><{';  
<yeG0`}t  
8.3.4波长调制型光纤传感 {8E hC/=  
")TI,a`  
8.3.5光纤分布式传感  B} :[~R'  
K,J:i^2  
习题与思考8 rZ^DiFR  
b afYjF< 3  
第9章激光雷达三维成像技术 S\Q/ "Y  
@o8\`G  
9.1激光雷达三维成像原理 idV4hMF9  
Pocm.  
9.1.1激光雷达距离方程 zd+8fP/UB  
Z_S~#[\7^]  
9.1.2信噪比 l( "_JI  
-O{Af  
9.1.3可探测距离 J)66\h=  
aRR*<dY  
9.1.4横向成像参数 ms<?BgCSz  
T*z >A  
9.2激光三维成像雷达技术 Hl]3F^{  
.F9>|Xx[  
9.2.1机械扫描激光成像雷达 H!,#Z7s  
r..\(r  
9.2.2面阵成像激光雷达 55fV\3F|R  
d!8`}L:=M  
9.2.3固态激光成像雷达 +DksWb D  
]^"*Fdn  
9.2.4非机械扫描激光成像雷达 \6*3&p  
+oeO 0  
9.3激光雷达三维成像技术的新发展 POdG1;)  
J-hP4t&x  
9.4激光三维成像雷达的应用 @2]_jW  
lQldW|S>  
习题与思考9 ? %F*{3IP  
-k= 02?0p+  
第10章光学探针测量 10{ZW@!7  
]V?\Qv/.=  
10.1微观表面形貌测量 rk{DrbRx  
YX,y7Uhn  
10.1.1微观表面形貌测量技术的发展 _yumUk-QW  
AW1691Q  
10.1.2微观表面三维形貌测量的特点 5nQ*%u\$Z  
0[ jy  
10.2机械式探针测量 [<7Hy,xr_  
|lrLTI^a  
10.2.1机械式探针测量基本原理 -ZBk^p  
Xh;Pbm|K  
10.2.2机械式探针测量系统 94LFElE3  
EJ"[{AV  
10.3光学焦点探测 noV]+1#"V  
b&. o9PV"  
10.3.1强度式探测方法 ul1#_xp  
nJNdq`y2  
10.3.2差动探测方法 Oe5=2~4O  
~bhesWk8!  
10.3.3散光方法 TIYI\/a\;  
 Q47Rriw  
10.3.4Foucault方法 7FMO' 'x  
}mzM'9JH  
10.3.5斜光束方法 g`k_o<'JC  
7g[T#B'/x,  
10.3.6共焦方法 8lh{ R  
fE8/tx](  
10.3.7光学焦点探针的特点 y4^6I$M7V  
Tj$D:xKf)  
10.4干涉型光学探针测量 ayTEQS  
9K-=2hvv  
10.4.1相移干涉光学探针测量方法 @.6l^"L  
B0T[[%~3M  
10.4.2扫描差分干涉光学探针测量方法 [/.o>R#J(  
% V/J6  
10.5扫描隧道显微镜 89?$xm_m  
9l5l"Wj&  
10.5.1扫描隧道显微镜的基本原理与系统结构 > r6`bh [4  
Y<0 [_+(  
10.5.2扫描隧道显微镜的功能 CXwDG_e  
iqW T<WY  
10.5.3扫描隧道显微镜设计的主要考虑因素 Ew~piuj  
CA, &R <]  
10.5.4扫描隧道显微镜的新发展与应用 ' !>t( Sa  
>vF=}1_L  
10.6原子力显微镜 r~N0P|Tq  
c&vY0/ [  
10.6.1AFM的基本硬件组成 GSj04-T"  
) ,1MR=  
10.6.2AFM的工作原理 c4E=qgP  
R s_bM@  
10.6.3AFM的工作模式 tQ=M=BPZ  
maW,YOyRN  
10.6.4AFM在力学测量中的应用 4RTuy+ M  
</(bwc~2  
10.7扫描近场光学显微镜 G'T/I\tB  
B/hL  
10.7.1扫描近场光学显微技术的基本原理 :yO.Te F  
zcnp?%  
10.7.2光子扫描隧道显微镜 1$vsw  
&>y[5#qOl  
10.7.3扫描近场光学显微镜的基本结构与系统  *(5y;1KU  
U`Bw2Vdk]S  
10.7.4扫描近场光学显微镜系统的关键技术 \W Kly  
7m3|2Qv  
10.8扫描探针显微镜 ?UuJk  
JFf*v6:,  
10.8.1NRC的大范围计量型AFM P0WI QG+  
c~bi ~ f  
10.8.2PTB研制的大范围SPM 9un* 1%  
AvnK?*5!@  
10.9探针式测量仪器的测量分辨力和量程 oVk*G  
t4>%<'>e  
习题与思考10 %5.aC|^}  
}#va#Nb(,  
参考文献 Y?G\@ 6  
Wm!lWQu7  

许鹏飞 2024-01-04 19:38
好东西
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