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cyqdesign 2024-01-04 09:20

《光学测量原理、技术与应用》

《光学测量原理、技术与应用》以光学测量中光的特性为主线,以光学测量方法与技术为中心,全面介绍了光学测量涉及的基本理论、测量原理与方法、技术特点与典型应用等。全书共10章,第1章介绍光学测量的基本知识,第2~5章分别介绍光干涉测量、激光准直与跟踪测量、激光全息与散斑测量、激光衍射和莫尔条纹测量; 第6章介绍机器视觉测量; 第7章介绍激光测速与测距; 第8章介绍光纤传感原理与技术; 第9章介绍激光雷达三维成像技术; 第10章介绍光学探针测量。 xaS  
5 rWRE-  

[attachment=124599]
gU~)(|Nu.  
第1章光学测量的基础知识 V")Q4h{  
Ue8D:C M  
1.1基本概念、基本方法、应用领域及发展趋势 ?hmb"^vlG  
Kulg84<AwM  
1.1.1基本概念 C C09:L?  
:RQ[(zD]  
1.1.2误差与测量不确定度 sy`s$E d!  
Ck:J  
1.1.3基本构成 \k,bz 0  
&7W6IM   
1.1.4主要应用范围 "_K 6=  
j41:]6  
1.1.5基本方法 "pPNlV]UA^  
yT n@p(J  
1.1.6发展趋势 </=PN1=A  
S|J8:-  
1.2光学测量中的常用光源 -,;Ep'  
OL'=a|g|c  
1.2.1光源选择的基本要求和光源的分类 **q/'K  
kwL) &@  
1.2.2热光源 X^W> "q  
G8s`<:9*  
1.2.3气体放电光源 @Y,F&8a$  
(=/F=,w   
1.2.4固体发光光源 kYs|")isj  
N93E;B  
1.2.5激光光源 Pc7: hu  
U %ESuq#  
1.3光学测量中的常用光学器件 zoJ;5a.3B  
#'8PFw\zw  
1.3.1激光准直镜 8Vn6* Xn  
}j?S?=;m=  
1.3.2分光镜 *X\c $ =*  
vO_quQ[.  
1.3.3偏振分光镜 \zi3.;9|;  
;SW-dfo2i  
1.3.4波片 8j'*IRj*q  
O0~d6Ba   
1.3.5角锥棱镜 c-.>C)  
(M+<^3c  
1.3.6衍射光栅 s=TjM?)  
?6QJP|kE  
1.3.7调制器 %wf|nnieZ  
JY2 F-0t)  
1.3.8光隔离器 ~Z]vr6?$h  
$5b|@  
1.4光学测量中的常用光电探测器 \ V>%yl{8  
i6d$/ yP"  
1.4.1常用光电探测器的分类 J,O@T)S@  
.A\\v6@  
1.4.2光电探测器的主要特性参数 IDh`0/i]  
mx9/K+:  
1.4.3常用光电探测器介绍 DQ\&5ytP  
F}]_/cY7B  
1.5光学测量系统中的噪声和常用处理电路 `t1$Ew<  
EKPTDKut  
1.5.1光学测量系统中的噪声 j7 =3\SO  
pK9^W T@  
1.5.2光学测量系统中的常用处理电路 jw[BtRW  
358/t/4 {p  
1.6光学测量中的常用调制方法与技术 pq3  A%|  
&=Zg0Q  
1.6.1概述 DOVX$N$3  
~ n^G<iXLp  
1.6.2机械调制法 #( sNk,^Ax  
DME?kh>7  
1.6.3利用物理光学原理实现的光调制技术 {z/^X<T  
U"+ ry.3`  
习题与思考1 Zd U{`>v  
51 0XDl~b  
第2章光干涉测量 r ` &|)Hx  
oqba:y;AR  
2.1光干涉基础知识 7f%Qc %B  
0l: pWc  
2.1.1光的干涉条件 3DAGW"F  
`b")Bx|  
2.1.2干涉条纹的形状 SrtVoe[  
*ZR@ z80i  
2.1.3干涉条纹的对比度 SMO%sZ]  
Gd-.E7CH!  
2.1.4产生干涉的途径 loUwR z  
SP*JleQN  
2.2波面干涉测量 d?M!acB  
bmVgTm&  
2.2.1概述 $Oe58  
>&vO4L  
2.2.2泰曼格林干涉仪 yVI;s|jG  
DRW.NL o  
2.2.3移相干涉仪 1Bk*G>CX9(  
@k+G Cf  
2.2.4共路干涉仪 y3nm!tjyM  
@B'8SLoP  
2.3激光干涉仪 F|Dz]ar  
6L2*gO:r?  
2.3.1迈克尔逊干涉仪 Z ;y}gv/ {  
^ wF@6e7/&  
2.3.2实用激光干涉仪主要部件的作用原理 <W51oO  
gZ"{{#:}  
2.3.3实用激光干涉仪的实际构成和常见光路 id tQXwa  
`Kc %S^C'  
2.4白光干涉仪 e#6&uFce  
o`K^Wy~+k#  
2.5外差式激光干涉仪 U aj`  
!^l4EL5#  
2.5.1概述 i9\\evJs  
,AbKxT f2  
2.5.2双频激光干涉仪 cCh5Jl@Z  
mrhp)yF  
2.5.3激光测振仪 } C{}oLz  
;Co[y=Z  
2.6激光自混合干涉测量 QR5,_wJ&  
oA;jy  
2.7绝对长度干涉计量  LbV]JP  
]PzTl {]  
2.7.1柯氏绝对光波干涉仪 c_G-R+  
v!#`W  
2.7.2激光无导轨测量 {{]=zt|69  
@x=BJuUuX  
2.8激光干涉测量的重大应用举例 PF'5z#] NP  
5{ 4"JO3  
2.8.1激光干涉测量引力波 ]\a\6&R  
t$y&=v  
2.8.2光刻机工件台六自由度超精密测量 G{f`K^  
:%uyy5AZ  
习题与思考2 V"7<[u]K|  
,dZ H$  
第3章激光准直与跟踪测量 }r~v,KDb  
/G)KkBC  
3.1概述 V8nz-DL{  
6t_ 3%{  
3.1.1激光准直测量基本原理 !k:zLjtp  
@7Rt4}g  
3.1.2激光准直测量系统的组成 3%[)!zKv  
^/%o%J&Hz  
3.2激光测量直线度原理 7TV>6i+7  
yul<n>X|  
3.2.1直线度测量概述 {(M&-~Yh  
Zr.\`mG4f  
3.2.2激光测量直线度方法 +(z_"[l"  
6`DwEs?Y{  
3.2.3直线度测量误差分析 qD(fYOX{C  
+ 9\:$wMN  
3.3激光同时测量多自由度误差 C,|nmlDN  
G>=9gSLM  
3.3.1滚转角测量 PG^j}  
5U-p'c9IC  
3.3.2四自由度误差同时测量 *or2  
:$M9XZ~\  
3.3.3五自由度误差同时测量  ko=aa5c  
LsJs Q h  
3.3.4六自由度误差同时测量 ;}n9y ci#  
79{.O`v  
3.3.5激光跟踪测量 o%V @D'w  
vs\'1^*D  
习题与思考3 <pTQpU  
u8-a-k5<  
第4章激光全息与散斑测量 1P[I}GW#  
;g: UE  
4.1全息术及其基本原理 +,&m7L  
V17>j0Ev$W  
4.1.1全息术基本原理 <CZI7]PM7  
nd$H 3sf  
4.1.2全息图的类型 ~rgf{oGz  
hsTFAfa'  
4.1.3全息设备基本构成 ?(5o@Xq  
DO7- =74=  
4.2激光全息干涉测量 *F\T}k7  
xb4Pt`x)rS  
4.2.1单次曝光法 b4Ricm  
Ci]'G>F@"  
4.2.2二次曝光法 uSABh ^  
p!HPp Ef+#  
4.2.3时间平均法 Rro?q  
]$m#1Kj  
4.3激光全息干涉测量的应用 |rr$U  
dV5PhP>6  
4.3.1位移和形状检测 DNm(:%)0  
D ?Nd; [  
4.3.2缺陷检测 &_"ORqn&  
X|X4L(i  
4.3.3测量光学玻璃折射率的不均匀性  EX[B/YH  
~hS3*\^~M  
4.4激光散斑干涉测量 Ho|o,XvLv  
= E&b=  
4.4.1散斑的概念 -Nsk}Rnk*  
=LlLE<X"%x  
4.4.2散斑照相测量 C:]/8l  
TRF]i/Bs  
4.4.3散斑干涉测量 Ap11b|v  
yJDeX1+,  
4.4.4电子散斑干涉 EfFz7j&X  
8<YX7e  
4.4.5时域散斑干涉 x1t{SQ-C  
S-isL4D.Z  
4.5散斑干涉测量的应用举例 } sf YCz  
}TSgAwsbC  
习题与思考4 <(fdHQD!7>  
^ Xm/  
第5章激光衍射和莫尔条纹测量 ETM2p1 ru0  
6X dWm  
5.1激光衍射测量基本原理 2ubmsbt$  
_~tm7o+js  
5.1.1单缝衍射测量 hdo&\Q2D8  
$[[?;g  
5.1.2圆孔衍射测量 p={Jf}v  
T |37#*c  
5.2莫尔条纹测量 24/ /21m  
`q%U{IR  
5.2.1莫尔条纹的形成原理 T_eJ}(p  
haCKv   
5.2.2莫尔条纹的基本性质 \,2gTi,=  
vwVVBG;t  
5.2.3莫尔条纹测试技术 o*X]b]  
doBNghS  
5.3衍射光栅干涉测量 S"zk!2@C  
27m@|M] R  
5.3.1衍射光栅干涉测量原理 uM<|@`&b  
yk<VlS  
5.3.2衍射光栅干涉测量系统与技术 Hk@r5<{  
uG;?vvg>  
5.4X射线衍射测量 bMsECA&  
{|z#70  
5.4.1X射线衍射测量原理 cQX:%Ix=  
|8bE9qt.P  
5.4.2X射线衍射测量材料应力 "# 2pT H~  
f27)v(EJ  
习题与思考5 \^9pW 2v  
(%bE~Q2P*<  
第6章机器视觉测量 T tPr)F|  
I FsE!oDs4  
6.1摄像机模型 b vRB  
?mMW*ico  
6.2图像处理技术 J_PH7Z*=,  
C,"=}z1P  
6.2.1图像滤波 ,HZYG4,  
sm   
6.2.2图像增强 gXt O*Rfqk  
qz`rL#W]  
6.3结构光视觉测量 A d/($v5+  
DVh)w}v  
6.3.1激光三角法的测量原理 :=9<  
(0OM "`j  
6.3.2结构光视觉测量系统 4d`+CD C  
G6V/SaD  
6.3.3点结构光视觉测量原理 3 CM^j<9  
xIL#h@dz  
6.3.4线结构光视觉测量原理 T`\]!>eb  
s)k y/ce  
6.3.5结构光视觉测量系统的标定方法 H@D;e  
IE;\7 r+h  
6.4双目立体视觉测量  <B )   
89Z#|#uM5  
6.4.1数学模型 2bLI%gg3  
& fu z2xv  
6.4.2双目立体视觉的标定方法 4&{!M _  
PO o%^'(  
6.5基于相位的视觉测量 E]1##6Ae  
K(VW%hV1  
6.5.1相移形貌测量 1`JB)9P  
IP ,.+:i  
6.5.2立体相位偏折测量 1k[GuG%/K  
*~2cG;B"e  
6.6视觉测量的应用举例 3z3_7XI  
Y5Z!og  
6.6.1基于三维视觉检测技术的白车身三维视觉检测系统 !n<o)DsZR  
CxDcY  
6.6.2基于机器视觉的焊缝宽度测量方法 (.?ZKL  
_Yq@FOu  
习题与思考6 ORBxD"J&  
%(<(Y  
第7章激光测速与测距 dJi|D  
/e1(? 20  
7.1多普勒效应与多普勒频移 sbnjy"Z%  
dZ]Rqr _!  
7.2激光多普勒测速 =45W\  
,lm=M 5b  
7.2.1激光多普勒测速的基本原理 -V5w]F'  
.z-UOyer  
7.2.2激光多普勒测速技术 %>zjGF<  
&| !B!eOY  
7.2.3激光多普勒测速技术的进展 &= eYr{  
#jA)>z\Q^  
7.3激光测距 ~3CVxbB^<  
@AQwr#R"l  
7.3.1脉冲激光测距 O/b+CSS1  
$1Z6\G O  
7.3.2相位激光测距 A@$kLex  
% frfSGf.#  
7.4激光测速和测距应用 }k7'"`#?"  
vzXag*0  
7.4.1车载激光多普勒测速 ss iokLE  
(D7$$!}  
7.4.2空间碎片的激光脉冲测距 .L EY=j!-s  
O{]9hm(tN  
7.4.3飞秒光梳色散干涉测距 gzdG6"  
*Y6xvib9*  
习题与思考7 QlEd6^&  
P^)q=A8Z#  
第8章光纤传感原理与技术 sKL:p3r  
A.En+-[\  
8.1概述 lzhqcL"  
73F5d/n  
8.1.1光纤传感的主要类型 Eu,`7iQ?(  
uQ/h'v  
8.1.2光纤传感的主要特点 :50b8  
yI3kvh  
8.2光在波导介质中传输的基本理论及规律 *%gF2@=r8F  
FN^FvQ  
8.2.1光纤的基本结构 ,[!LCXp  
,S&z<S_  
8.2.2平板波导介质中的光波模式 KbW9s,:p  
)rtomp:X  
8.2.3光在光纤中的传输规律 =,V|OfW  
!{%&=tIZ  
8.2.4光纤的传输特性 se9>.}zZN  
z#6?8y2-  
8.3光纤传感 F0lOlS   
9`B$V##-L  
8.3.1强度调制型光纤传感 r ?m6$  
@n+=vC.xO  
8.3.2相位调制型光纤传感 (u1m]WYL  
wvby?MhPY  
8.3.3偏振调制型光纤传感 #& ?g %'  
'{b1!nC;  
8.3.4波长调制型光纤传感 7h9U{4r: M  
kG0Yh2;#  
8.3.5光纤分布式传感 $E!J:Y=  
vVxD!EL  
习题与思考8 |`/TBQz:r  
cr;`Tl~}s  
第9章激光雷达三维成像技术 ^Q}eatEn  
4JyM7ePND}  
9.1激光雷达三维成像原理 S<wj*"|.s  
YN/ }9.  
9.1.1激光雷达距离方程 5*-3? <)e  
EHf\L  
9.1.2信噪比 {y)s.b~JB  
#q\x$   
9.1.3可探测距离 %;xOB^H^  
jeUUa-zR3  
9.1.4横向成像参数 mN_Z7n;^eh  
0Q5^C!K  
9.2激光三维成像雷达技术 zZ-\a[F  
Nf41ZT~  
9.2.1机械扫描激光成像雷达 @OpNHQat9  
IH *s8tPc  
9.2.2面阵成像激光雷达 cC{"<fYF  
z(y*hazK  
9.2.3固态激光成像雷达 <@v ]H@ E  
/iaf ^ >  
9.2.4非机械扫描激光成像雷达 5e8AmY8;  
q8P.,%   
9.3激光雷达三维成像技术的新发展 }iB|sl2J  
[^YA=K hu  
9.4激光三维成像雷达的应用 SkQswH  
wf.T3  
习题与思考9 dEa<g99[?  
Z~  
第10章光学探针测量 _l`e#XbG  
OX]V) QHVZ  
10.1微观表面形貌测量 >o,^b\  
&EGqgNl  
10.1.1微观表面形貌测量技术的发展 FDzqL;I  
T#@lDpO  
10.1.2微观表面三维形貌测量的特点 WiL2  
`_ %S  
10.2机械式探针测量 cf_|nL#9  
NE2pL@ sk  
10.2.1机械式探针测量基本原理 G"5D< ]  
HvwYm.$zE  
10.2.2机械式探针测量系统 {y=W6uP  
q/9H..6  
10.3光学焦点探测 R7 jmv n  
qFX~[h8i+  
10.3.1强度式探测方法 K kW;-{c  
YUU-D(  
10.3.2差动探测方法 E_z;s3AXQ  
Cs3^9m6;d  
10.3.3散光方法 ]va>ex$d  
e>rRTN  
10.3.4Foucault方法 3\O|ii  
^>x|z.  
10.3.5斜光束方法 N;oQ^B'  
aVs(EHF  
10.3.6共焦方法 RprKm'b8x`  
6DTTV66  
10.3.7光学焦点探针的特点 lH^^77"4Qo  
lf<S_2i  
10.4干涉型光学探针测量 Jq.lT(E8D  
w>fdQ!RdP  
10.4.1相移干涉光学探针测量方法 WO5O?jo'  
wFh8?Z3u_  
10.4.2扫描差分干涉光学探针测量方法 n%^ LPD  
Qhi '') Q  
10.5扫描隧道显微镜 5wao1sd#  
B5V_e!*5F*  
10.5.1扫描隧道显微镜的基本原理与系统结构 d6{Gt"  
tY${M^^<J  
10.5.2扫描隧道显微镜的功能 `vG,}Pt]  
`nXVE+E@  
10.5.3扫描隧道显微镜设计的主要考虑因素 54;J8XT7  
u=F+(NE"  
10.5.4扫描隧道显微镜的新发展与应用 hf/2vt m  
[]R? ViG  
10.6原子力显微镜 hRI"y":zD  
qSqI7ptA\  
10.6.1AFM的基本硬件组成 yH 9!GS#  
Ma*y=d;,1  
10.6.2AFM的工作原理 '3]p29v{  
`!:q;i]}  
10.6.3AFM的工作模式 Yb i%od&  
o}Odw;  
10.6.4AFM在力学测量中的应用 4to% `)]  
87%*+n:?*  
10.7扫描近场光学显微镜 v8gdU7Ll,  
L9Z;:``p  
10.7.1扫描近场光学显微技术的基本原理 OdWou|Gz  
5erc D  
10.7.2光子扫描隧道显微镜 Ut-B^x)gl  
1aVa0q<  
10.7.3扫描近场光学显微镜的基本结构与系统 X8dR+xd  
2$_9cF Wm  
10.7.4扫描近场光学显微镜系统的关键技术 %<?0apO  
bPD`+: A_  
10.8扫描探针显微镜 M/?KV9Xk2  
x^|Vaf  
10.8.1NRC的大范围计量型AFM I KtB;  
N"/-0(9[  
10.8.2PTB研制的大范围SPM h mx= 35  
&R|/t :DN  
10.9探针式测量仪器的测量分辨力和量程 _rV5E  
Qu5UVjbE,  
习题与思考10 {e|*01hE  
G$'jEa<:u  
参考文献 ,:~0F^z  
)%SkJ  

许鹏飞 2024-01-04 19:38
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