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cyqdesign 2024-01-04 09:20

《光学测量原理、技术与应用》

《光学测量原理、技术与应用》以光学测量中光的特性为主线,以光学测量方法与技术为中心,全面介绍了光学测量涉及的基本理论、测量原理与方法、技术特点与典型应用等。全书共10章,第1章介绍光学测量的基本知识,第2~5章分别介绍光干涉测量、激光准直与跟踪测量、激光全息与散斑测量、激光衍射和莫尔条纹测量; 第6章介绍机器视觉测量; 第7章介绍激光测速与测距; 第8章介绍光纤传感原理与技术; 第9章介绍激光雷达三维成像技术; 第10章介绍光学探针测量。 HvngjP{>  
=wQ=`  

[attachment=124599]
0'<S7?~|  
第1章光学测量的基础知识 {F4:  
G@;aqe[dB  
1.1基本概念、基本方法、应用领域及发展趋势 B?4\IXek  
5SjS~ 9  
1.1.1基本概念 #-`lLI:w0  
<eI;Jph5  
1.1.2误差与测量不确定度 kDKpuA!  
ZA P+jX;  
1.1.3基本构成 i>~?XVU  
6 qq7:  
1.1.4主要应用范围 3m^BYr*y^  
 96BMJE'  
1.1.5基本方法 MoA{ /{  
f0F$*"#G  
1.1.6发展趋势 N 4:'X6u;  
y/ FisX  
1.2光学测量中的常用光源 s6$3[9Vh&9  
Yc$|"to  
1.2.1光源选择的基本要求和光源的分类 M Q6Y^,B  
'tbb"MEi4  
1.2.2热光源 (X9V-4  
A_.QHUjpx  
1.2.3气体放电光源 3%} Ma,  
EI;\of2,  
1.2.4固体发光光源 V#~. Jg7  
>g[W@FhT'k  
1.2.5激光光源 jz)H?UuDY  
DHAWUS6  
1.3光学测量中的常用光学器件 s :ruCS  
(TE2t7ab|M  
1.3.1激光准直镜  UyQn onS  
b>i=",i\  
1.3.2分光镜 ZeeuH"A  
1@WGbORc*  
1.3.3偏振分光镜 FMn&2fH  
7'|PHQ?S  
1.3.4波片 Trrh`@R  
zCHr  
1.3.5角锥棱镜 &Yg/ 08*  
.H"hRYPC?  
1.3.6衍射光栅 a3;.{6el)H  
G DV-wPX  
1.3.7调制器 6fkr!&Dy7  
k@L~h{`Mc\  
1.3.8光隔离器 )hug<D *h  
,<1*  
1.4光学测量中的常用光电探测器 .6K>"  
%\l,X{X  
1.4.1常用光电探测器的分类 aW"!bAdx`,  
'T[zh#v>S  
1.4.2光电探测器的主要特性参数 mw[4<vfB0a  
mV,R0olF  
1.4.3常用光电探测器介绍 GcnY= %L?  
@m V C  
1.5光学测量系统中的噪声和常用处理电路 vrzX%'  
PlZ iTP  
1.5.1光学测量系统中的噪声 [Ni4[\  
Q7|13^ |C  
1.5.2光学测量系统中的常用处理电路 C~qhwwh  
I*}#nY0+  
1.6光学测量中的常用调制方法与技术 X}(0y  
Gq*)]X{U a  
1.6.1概述 >K :"[?  
~-5@- V  
1.6.2机械调制法 u7?juI#Cl  
!9, pX  
1.6.3利用物理光学原理实现的光调制技术 (GG"'bYk  
Ug21d42Z4  
习题与思考1 h '[vB^  
}&DB5M  
第2章光干涉测量 #-T.@a1X  
"ILWIzf.]  
2.1光干涉基础知识 cA? x(  
n#Roz5/U  
2.1.1光的干涉条件 X:lPWz!7{  
AxlFU~E4  
2.1.2干涉条纹的形状 M"^Vf{X^  
gE&W6z0fJ  
2.1.3干涉条纹的对比度 jJZsBOW[8  
b`W*vduf  
2.1.4产生干涉的途径 L\NZDkd  
gvNZrp>e!  
2.2波面干涉测量 u!o]Co>  
k-V I9H!,  
2.2.1概述 | ",[C3Jg  
 J4"swPf  
2.2.2泰曼格林干涉仪 H@E" )@92  
4q13xX  
2.2.3移相干涉仪  p &>A5  
pYl{:uIPN8  
2.2.4共路干涉仪 ]TgP!M&q  
O[)]dD&'  
2.3激光干涉仪 `t0f L\T  
3]<re{)J9O  
2.3.1迈克尔逊干涉仪 ShJK&70O  
[!@oRK=~  
2.3.2实用激光干涉仪主要部件的作用原理 qQOD  
,6;xr'[o*  
2.3.3实用激光干涉仪的实际构成和常见光路 xs!g{~V{  
mO)PJd2ZD  
2.4白光干涉仪 t-i6FS-  
d-;9L56{P  
2.5外差式激光干涉仪 oNB,.:  
12sD|j  
2.5.1概述 VtO;UN  
^qO=~U!{  
2.5.2双频激光干涉仪 7TkxvSL X  
Z.':&7Y  
2.5.3激光测振仪 !I5~))E  
^2^|AXNES  
2.6激光自混合干涉测量 RO{@RhnV  
030U7VT1  
2.7绝对长度干涉计量 F|l`YtZZd  
q^1aPz  
2.7.1柯氏绝对光波干涉仪 0[:9 Hb6  
ml.;wB|  
2.7.2激光无导轨测量 y168K[p  
x}&a{;  
2.8激光干涉测量的重大应用举例 J+b!6t}mZn  
T5S g2a1&  
2.8.1激光干涉测量引力波 4b2mtLn_  
g[s\~MF@s  
2.8.2光刻机工件台六自由度超精密测量 ) p<fL  
<s/<b*T ^  
习题与思考2 FU\/JF.j  
=r@gJw:B  
第3章激光准直与跟踪测量 n<?SZ^X{,/  
}B"|z'u  
3.1概述 tyuk{* Me:  
3G%wZ,)C  
3.1.1激光准直测量基本原理 qsihQ d  
>H}jR[H'  
3.1.2激光准直测量系统的组成 I{42'9  
Er"R;l]xJ  
3.2激光测量直线度原理 /z1p/RiX  
^r>f2 x  
3.2.1直线度测量概述 >wKu6- ]a  
o)tKH@`vE  
3.2.2激光测量直线度方法 N&fW9s}  
O xT}I  
3.2.3直线度测量误差分析 ;h9-}F  
}A1|jY)x  
3.3激光同时测量多自由度误差 Yz=h"Zr  
u3Usq=Ij{  
3.3.1滚转角测量 "mPSA Z  
WVS$O99Y  
3.3.2四自由度误差同时测量 s]y-pZ  
%'L].+$t  
3.3.3五自由度误差同时测量 %1\v7Xw{9  
B;z;vrrL  
3.3.4六自由度误差同时测量 V(;55ycr  
*$i;o3  
3.3.5激光跟踪测量 %/l-A pu  
-uA3Y  
习题与思考3 euV$2Fg  
R2}kz.  
第4章激光全息与散斑测量 `]`=]*d  
EI1W .V>@  
4.1全息术及其基本原理 2J;kD2"!  
#puQi  
4.1.1全息术基本原理 h@*lWi2K7  
^IX%dzM  
4.1.2全息图的类型 VK2@2`$  
{ p1lae  
4.1.3全息设备基本构成 o 'C~~Vg).  
{y,nFxLq  
4.2激光全息干涉测量 (U|)xA]y!  
(M ]XNn  
4.2.1单次曝光法 MV:W@)rg  
6xH;: B)d  
4.2.2二次曝光法 gtD   
iv:,fkwG  
4.2.3时间平均法 ,~(|p`  
}@Xh xZu  
4.3激光全息干涉测量的应用 C,o:  
/~40rXH2C  
4.3.1位移和形状检测 +7V=aNRlE  
8y$5oD6g9  
4.3.2缺陷检测 OmB TA=E<  
tY/En-&t  
4.3.3测量光学玻璃折射率的不均匀性 Hx$.9'Oq\Q  
sffhPX\I  
4.4激光散斑干涉测量 jm+ V$YBP  
?4^} ;wDb2  
4.4.1散斑的概念 N99[.mErU  
0|g[o:;fl_  
4.4.2散斑照相测量 '%R<"  
Pp ,Um(  
4.4.3散斑干涉测量 :^ n*V6.4  
]k[x9,IU\y  
4.4.4电子散斑干涉 Hi^35  
Di:{er(p  
4.4.5时域散斑干涉 G.E[6G3  
C 8N%X2R  
4.5散斑干涉测量的应用举例 |2O')3p"9  
z&O#v9.NE|  
习题与思考4 C>^,*7dS  
iHPUmTus--  
第5章激光衍射和莫尔条纹测量 w&%9IJ  
TN5>"? ?"  
5.1激光衍射测量基本原理 Hb+X}7c$  
u t$c)_  
5.1.1单缝衍射测量 a0PE^U  
h\(B#SN  
5.1.2圆孔衍射测量 C,fY.CeI  
zX98c  
5.2莫尔条纹测量 GWhE8EDT  
`xCOR  
5.2.1莫尔条纹的形成原理 g0PT8]8  
}`9jH:q-Z  
5.2.2莫尔条纹的基本性质 n+2%tW  
'3^Q14`R  
5.2.3莫尔条纹测试技术 %,0%NjK  
=NadAyv  
5.3衍射光栅干涉测量 Goxl3LS<  
@Gt`Ds9=  
5.3.1衍射光栅干涉测量原理 3f"C!l]Xu  
hUh+JW  
5.3.2衍射光栅干涉测量系统与技术 p}uncIod  
6#U^< `  
5.4X射线衍射测量 e4DMO*6  
8] `Ru5nd  
5.4.1X射线衍射测量原理 1c$vLo832  
?E6^!4=,  
5.4.2X射线衍射测量材料应力 TN\|fzj  
>{wuEPA  
习题与思考5 /N6}*0Ru  
O#)jr-vXdV  
第6章机器视觉测量 cL G6(<L  
?^}_j vT  
6.1摄像机模型 ?F_)-  
3@_Elu  
6.2图像处理技术 {]^O:i"  
~Wei|,w'<  
6.2.1图像滤波 a7#?h%wf  
X %4Kj[I^  
6.2.2图像增强 kJT+  
)"| ||\Iv  
6.3结构光视觉测量 .XS9,/S  
I-DXb M  
6.3.1激光三角法的测量原理 '1Y\[T*  
"j^MB)YD  
6.3.2结构光视觉测量系统 WF[bO7:  
j/KO|iNL2  
6.3.3点结构光视觉测量原理 jo9gCP.  
v+xB7w  
6.3.4线结构光视觉测量原理 wMWW=$h#\  
P6\6?am  
6.3.5结构光视觉测量系统的标定方法 Hr^3`@}#1  
A%X X5*  
6.4双目立体视觉测量 /TV= $gB`  
,eRQu.  
6.4.1数学模型 X!>eiYK)  
`XKVr  
6.4.2双目立体视觉的标定方法 p*20-!{A  
j.%K_h?V5  
6.5基于相位的视觉测量 vUesV%9hq  
~Lz%.a;o  
6.5.1相移形貌测量 [9o4hw  
R[jEvyD>(  
6.5.2立体相位偏折测量 "N5!mpD"  
WQ6"0*er  
6.6视觉测量的应用举例 !h`kX[:  
z~{&}Em ~  
6.6.1基于三维视觉检测技术的白车身三维视觉检测系统 :J/M,3  
F(,UA+$A  
6.6.2基于机器视觉的焊缝宽度测量方法 ]uQqn]+I!  
=d)-Fd2li  
习题与思考6 C\*4q8(  
~}"]&%Q{J  
第7章激光测速与测距 }H"kU2l  
bB}5U@G|  
7.1多普勒效应与多普勒频移 (Pbg[AY  
T~4N+fK  
7.2激光多普勒测速 5d\q-d  
~*W!mlg  
7.2.1激光多普勒测速的基本原理 8|%^3O 0X  
~j9O$s~)  
7.2.2激光多普勒测速技术 j+-P :xvP  
.2) =vf'd  
7.2.3激光多普勒测速技术的进展 bm% $86  
/ JkC+7H4  
7.3激光测距 U#&7p)4(  
%w7pkh,  
7.3.1脉冲激光测距 2lVHZ\G  
YXo|~p;=Y  
7.3.2相位激光测距 v <Kmq-b  
C3NdE_E  
7.4激光测速和测距应用 ({WyDu&=  
4m)OR  
7.4.1车载激光多普勒测速 u8GMUN  
P [Uy  
7.4.2空间碎片的激光脉冲测距 {gbn/{  
*+)AqKP\Kv  
7.4.3飞秒光梳色散干涉测距 ig}A9j?]  
<FI-zca  
习题与思考7 ]n."<qxeT  
: j }fC8'  
第8章光纤传感原理与技术 6Htg5o|W  
XxIHoX&  
8.1概述 YjOs}TD lx  
v[e:qi&fG  
8.1.1光纤传感的主要类型 Z_1U9 +,  
a ] =  
8.1.2光纤传感的主要特点 U-/{0zB  
~w8JH2O  
8.2光在波导介质中传输的基本理论及规律 n_ lo`  
s, k  
8.2.1光纤的基本结构 yeDsJ/L  
,to+oSZE  
8.2.2平板波导介质中的光波模式 Urr#N  
FIxFnh3~  
8.2.3光在光纤中的传输规律 r}[7x]sP  
!$N<ds.  
8.2.4光纤的传输特性 Um#Wu]i  
^uv<6  
8.3光纤传感 _=CZR7:O  
B#/Q'V  
8.3.1强度调制型光纤传感 oF(Lji?m  
5p.rwNE  
8.3.2相位调制型光纤传感 >D201&*G%  
=] *.ZH#h  
8.3.3偏振调制型光纤传感 gUyR_5q)8l  
y6]vl=^L  
8.3.4波长调制型光纤传感 a:QDBS2Llv  
Hx ,0zS%>  
8.3.5光纤分布式传感 Xd^\@  
( Jz;W<E  
习题与思考8 ~3uP6\F  
qOIW(D  
第9章激光雷达三维成像技术 e[hcJz!D  
-B86U6^s  
9.1激光雷达三维成像原理 5^^XQ?"  
E@7J:|.)R  
9.1.1激光雷达距离方程 4:gRr   
E[Cb|E  
9.1.2信噪比 c("_bOAT  
pAT7)Ch  
9.1.3可探测距离 3}e%[AKh  
Q-1vw6d  
9.1.4横向成像参数 ?lP':'P  
:9k Ty:  
9.2激光三维成像雷达技术 'C"9QfK  
y*X_T,K 8  
9.2.1机械扫描激光成像雷达 6? w0  
Yk=PS[f  
9.2.2面阵成像激光雷达 M![J2=  
CHz+814  
9.2.3固态激光成像雷达 hP15qKy  
YpqrZWvh  
9.2.4非机械扫描激光成像雷达 -Z's@'*  
thhwN A  
9.3激光雷达三维成像技术的新发展 -\C!I  
6'FdGS  
9.4激光三维成像雷达的应用 E~6c-Lw  
t<#h$}=:Vt  
习题与思考9 SJHr_bawd  
P'_H/r/#  
第10章光学探针测量 r(P(Rj2~  
[sW3l:^  
10.1微观表面形貌测量 @ta7"6p-i@  
|j,"Pl}il^  
10.1.1微观表面形貌测量技术的发展 k?,1x~  
HPZ}*m'  
10.1.2微观表面三维形貌测量的特点 :\|SQKD  
xoN3  
10.2机械式探针测量 ml+; Rmvb  
RN e^; B  
10.2.1机械式探针测量基本原理 6ZP"p<xX  
\ZkA>oO".  
10.2.2机械式探针测量系统 [C'JH//q*t  
_WRFsDZ'  
10.3光学焦点探测 ZusEfh?  
lz?$f4TzA  
10.3.1强度式探测方法 Rd#WMo2Xd  
y2^Y/)   
10.3.2差动探测方法 @"^0%/2-  
'!eKTC>  
10.3.3散光方法 p"KFJ  
:s7m4!EF  
10.3.4Foucault方法 MB~=f[cUnd  
XzEc2)0'v  
10.3.5斜光束方法 xjKR R?  
o%IA}e7PAa  
10.3.6共焦方法 tg<EY!WY  
N(Fp0  
10.3.7光学焦点探针的特点 T[g[&K1Y  
=ACVE;L?  
10.4干涉型光学探针测量 v]B3m  
A\HxDIU  
10.4.1相移干涉光学探针测量方法 +nJgl8'^y  
&B6Ep6QS  
10.4.2扫描差分干涉光学探针测量方法 e4>_v('  
`)T13Xv  
10.5扫描隧道显微镜 rustMs2p  
zem8G2#c  
10.5.1扫描隧道显微镜的基本原理与系统结构 d?A 0MKnl  
SAy=WV  
10.5.2扫描隧道显微镜的功能 EK6:~  
XovRg,  
10.5.3扫描隧道显微镜设计的主要考虑因素 cj$[E]B3V*  
< HVl(O  
10.5.4扫描隧道显微镜的新发展与应用 W04@!_) <  
XAF+0 x!  
10.6原子力显微镜 _({hc+9p  
Nn!+,;ut  
10.6.1AFM的基本硬件组成 {>hC~L?6  
onz?_SAW  
10.6.2AFM的工作原理 #h` V>;  
r]:(Vk]|F  
10.6.3AFM的工作模式 *Q ?tl\E  
;$.J3!  
10.6.4AFM在力学测量中的应用 /_I]H  
1g8_Xe4  
10.7扫描近场光学显微镜 }fb#G<3  
a7r%X -  
10.7.1扫描近场光学显微技术的基本原理 n"G&ENN"$  
$u]jy0X<Y;  
10.7.2光子扫描隧道显微镜 4T|b Cs?e  
v0z5j6)-1  
10.7.3扫描近场光学显微镜的基本结构与系统 ZX9TYN  
TaKLzd2  
10.7.4扫描近场光学显微镜系统的关键技术 itBwCIjG  
/Z'L^ L%R  
10.8扫描探针显微镜 v+46 QK|I&  
WrQDX3  
10.8.1NRC的大范围计量型AFM HK,cJah q  
[>8}J "  
10.8.2PTB研制的大范围SPM BJ$9v bhZN  
j*so9M6|c  
10.9探针式测量仪器的测量分辨力和量程 6#7Lm) g8  
I,>- tGK  
习题与思考10 6Ypc`  
8 OY3A  
参考文献 JTO~9>$ B  
_aGOb;h  

许鹏飞 2024-01-04 19:38
好东西
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