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cyqdesign 2024-01-04 09:20

《光学测量原理、技术与应用》

《光学测量原理、技术与应用》以光学测量中光的特性为主线,以光学测量方法与技术为中心,全面介绍了光学测量涉及的基本理论、测量原理与方法、技术特点与典型应用等。全书共10章,第1章介绍光学测量的基本知识,第2~5章分别介绍光干涉测量、激光准直与跟踪测量、激光全息与散斑测量、激光衍射和莫尔条纹测量; 第6章介绍机器视觉测量; 第7章介绍激光测速与测距; 第8章介绍光纤传感原理与技术; 第9章介绍激光雷达三维成像技术; 第10章介绍光学探针测量。 Fi`:G}   
a&[nVu+  

[attachment=124599]
p~b$+8#+  
第1章光学测量的基础知识 \*N1i`99  
[y:LA ~q  
1.1基本概念、基本方法、应用领域及发展趋势 fI|1@e1  
Q4PXC$u  
1.1.1基本概念 ] QEw\4M?=  
&Xav$6+Z1J  
1.1.2误差与测量不确定度 TGLXvP& \  
H:_`]X"  
1.1.3基本构成 YH>n{o;- ?  
S=2,jPX2r  
1.1.4主要应用范围 cjW]Nw  
Pm_=   
1.1.5基本方法 f,#xicSB*  
E$wB bm  
1.1.6发展趋势 ?xet:#R'  
hMQ aT-v  
1.2光学测量中的常用光源 l rzW H0Q  
!jbjrzv9  
1.2.1光源选择的基本要求和光源的分类 fm* Hk57  
9s)oC$\  
1.2.2热光源 V_pBM  
-*A'6%`  
1.2.3气体放电光源 'zb7:[[7%  
k y98/6  
1.2.4固体发光光源 7,zARWB!?  
5ZVTI,4K  
1.2.5激光光源 &g!/@*[Nhh  
SMyg=B\x?7  
1.3光学测量中的常用光学器件 {JgN^R<5<f  
Kf4z*5Veqr  
1.3.1激光准直镜 9?8`" v  
UU;:x"4  
1.3.2分光镜 EHZSM5hu  
%8Z,t+'  
1.3.3偏振分光镜 v`&Z.9!Tz^  
8(}sZ)6  
1.3.4波片 +0 MKh  
1GdD  
1.3.5角锥棱镜 Nz;;X\GI  
YYHm0pc  
1.3.6衍射光栅 q1y4B`  
&; \v_5N6  
1.3.7调制器 <B`V  
hgK=fHJ k  
1.3.8光隔离器 Ub,unU  
lNb\^b  
1.4光学测量中的常用光电探测器 3o>t ~Sfi  
^ne8~ ;Q  
1.4.1常用光电探测器的分类 x8Sq+BY  
Kxn7sL$]=F  
1.4.2光电探测器的主要特性参数 nlW&(cH  
y`\Mhnj  
1.4.3常用光电探测器介绍 )^TQedF  
s /M~RB!w  
1.5光学测量系统中的噪声和常用处理电路 ^v-'=1ub?  
&pm{7nH  
1.5.1光学测量系统中的噪声 kg@h R}  
~\ f^L?m  
1.5.2光学测量系统中的常用处理电路 w>u Z$/  
w|C~{  
1.6光学测量中的常用调制方法与技术 rLxX^[Fp3  
+pvJ?"J  
1.6.1概述 @3YuV=QfH  
fP58$pwu  
1.6.2机械调制法 {M/c!  
d&`j 8O  
1.6.3利用物理光学原理实现的光调制技术 NrcCUZ .:N  
tHbPd.^  
习题与思考1 AvZ) 1(  
or}*tSKX  
第2章光干涉测量 Z@!W? Ed  
<q2nZI^  
2.1光干涉基础知识 zF&UdS3  
'qAfei']  
2.1.1光的干涉条件 RFY!o<   
^z^e*<{WEl  
2.1.2干涉条纹的形状 "Q{~Bj~  
`Xdxg\|  
2.1.3干涉条纹的对比度 gqRTv_;  
S7{.liHf  
2.1.4产生干涉的途径 ; ,jLtl  
y PYJc  
2.2波面干涉测量 mndl~/  
|SKG4_wGe  
2.2.1概述 3^> a TU<Z  
"H<#91^|  
2.2.2泰曼格林干涉仪 j#t8Krd] "  
xY2_*#{.  
2.2.3移相干涉仪 8? Wxd65)  
 ii y3  
2.2.4共路干涉仪 h6y4Ii  
vUe *  
2.3激光干涉仪 <[:7#Yo g  
Cfo 8gX*  
2.3.1迈克尔逊干涉仪 p''"E$B/(  
ir:~*|  
2.3.2实用激光干涉仪主要部件的作用原理 D"4&9"CU  
2 BX GVo  
2.3.3实用激光干涉仪的实际构成和常见光路 u# WTh%/  
T% 13 '  
2.4白光干涉仪 ,G|aLBn  
k_>Fw>Y  
2.5外差式激光干涉仪 UvJuOh+  
#0hNk%X=  
2.5.1概述 -{U>} Y)  
;'QY<,p[e  
2.5.2双频激光干涉仪 4z%#ZIy3   
Q&7)vs  
2.5.3激光测振仪 V!77YFen %  
F] ?@X  
2.6激光自混合干涉测量 _T|H69 J  
uO@3vY',n  
2.7绝对长度干涉计量 "lz[zFnO  
b>= Wq  
2.7.1柯氏绝对光波干涉仪 Ldhk^/+  
30 [#%_* o  
2.7.2激光无导轨测量 @D~+D@i$TW  
N1N{Ol'  
2.8激光干涉测量的重大应用举例 OssR[$69  
$@_t5?n``F  
2.8.1激光干涉测量引力波 #3K,V8(  
pq[X)]z|  
2.8.2光刻机工件台六自由度超精密测量 %aH$Tb%`hc  
g(1B W#$  
习题与思考2 Va@6=U7c  
ur<eew@8@i  
第3章激光准直与跟踪测量 7e c0Xh1  
=vr Y{5!>  
3.1概述 6UW:l|}4#2  
9#&W!f*qO|  
3.1.1激光准直测量基本原理 jc&/}o$K  
m io1kDq<  
3.1.2激光准直测量系统的组成 tpa^k  
Yn4)Zhkk  
3.2激光测量直线度原理 w=D%D8 r2  
]A]Ft!`6z  
3.2.1直线度测量概述 P}hY {y'  
vXWsF\g  
3.2.2激光测量直线度方法 j&dx[4|m:h  
UXwB$@8  
3.2.3直线度测量误差分析 xaWGa1V'z  
ZUXse1,  
3.3激光同时测量多自由度误差 ) \-96 xd  
Zj1ZU[BEcL  
3.3.1滚转角测量 V~T`&  
W(2+z5z  
3.3.2四自由度误差同时测量 F)/~p&H  
]l=O%Ev  
3.3.3五自由度误差同时测量 AhvvuN$n%  
BbrT f"`  
3.3.4六自由度误差同时测量 x2C/L  
7|QGY7Tf  
3.3.5激光跟踪测量 )X~Pr?52?  
$N;"}G z  
习题与思考3 $ZI~8rI~  
2cCWQ"_,  
第4章激光全息与散斑测量 ADYx.8M|9i  
S5~`T7Ra  
4.1全息术及其基本原理 h L]8e>a?  
|66m` <  
4.1.1全息术基本原理 [,O`MU  
H\^VqNK"  
4.1.2全息图的类型  yS[z2:!  
~ HK1X  
4.1.3全息设备基本构成 of8mwnZR  
m[Z6VHn  
4.2激光全息干涉测量 jHAWK9fa  
`$S^E !=  
4.2.1单次曝光法 })@tA<+  
\F 3C=M@:  
4.2.2二次曝光法 P*pbwV#|  
LthGZ|>  
4.2.3时间平均法 ^ED"rMI  
0iYP  
4.3激光全息干涉测量的应用 [ njx7d  
j]pohxn$5  
4.3.1位移和形状检测 /61by$E  
Hqvc7-c6  
4.3.2缺陷检测 Kb-W tFx  
7}Bj|]b)~  
4.3.3测量光学玻璃折射率的不均匀性 1g1?zk8zO  
su&t7rJ  
4.4激光散斑干涉测量 42fprt  
aH%ZetLNJ  
4.4.1散斑的概念 #2\8?UPd  
0$tjNy e  
4.4.2散斑照相测量 ?VB#GJ0M9  
~<n(y-P^  
4.4.3散斑干涉测量 /D0RC  
<EtUnj:qK8  
4.4.4电子散斑干涉 *4t-e0]j@w  
;SgD 5Ln}  
4.4.5时域散斑干涉 m}98bw  
 kI%peb?  
4.5散斑干涉测量的应用举例 &i5:)d]L  
a mqOxb  
习题与思考4 OB~C}'^$  
]}kI)34/  
第5章激光衍射和莫尔条纹测量 =_[2n?9y  
BRb\V42i;  
5.1激光衍射测量基本原理 mj@31YW  
9`B0fv Q&  
5.1.1单缝衍射测量 5G#$c'A{4  
AYcgi  
5.1.2圆孔衍射测量 Hle\ON  
MM#i t=u  
5.2莫尔条纹测量 wepwX y"  
Bz+.Qa+  
5.2.1莫尔条纹的形成原理 ahA{B1M)n  
9RQU?  
5.2.2莫尔条纹的基本性质 QBoFpxh=  
<FUon  
5.2.3莫尔条纹测试技术 F.<L> G7{1  
0x@A~!MoP  
5.3衍射光栅干涉测量 IU|kNBo  
(S|a 9#  
5.3.1衍射光栅干涉测量原理 ;WD,x:>blO  
(s s3A9tG  
5.3.2衍射光栅干涉测量系统与技术 ;1 |x  
x? N.WABr;  
5.4X射线衍射测量 /Pvk),ca  
@RGDhwS47  
5.4.1X射线衍射测量原理 hGI+:Js6  
KY$k`f6?P  
5.4.2X射线衍射测量材料应力 #{$1z;i?f  
*YtB )6j  
习题与思考5 CvK3H\.&;k  
w2{g,A|  
第6章机器视觉测量 $W&:(&  
Fu7M0X'p  
6.1摄像机模型 '^iUx,,ZQ  
E ] B7  
6.2图像处理技术 SO;N~D1Z6  
E1  |<Pt  
6.2.1图像滤波 ]78!!G[`  
/[ K_ &  
6.2.2图像增强 v vq/  
K]/Od  
6.3结构光视觉测量 +j{Y,t{4  
0(y:$  
6.3.1激光三角法的测量原理 +-BwQ{92[:  
f+x ;:  
6.3.2结构光视觉测量系统 2q PhLCe Z  
E!J=8C.:  
6.3.3点结构光视觉测量原理 M:|8]y@  
$6h*l T<  
6.3.4线结构光视觉测量原理 E]I$}>k  
19c@`?  
6.3.5结构光视觉测量系统的标定方法  D!F 2l_  
gEwd &J  
6.4双目立体视觉测量 SV.z>p  
WOX}Sw"  
6.4.1数学模型 =']3(6*  
`Ye8 Q5v"]  
6.4.2双目立体视觉的标定方法 W .I\J<=V  
]Gv!M?:  
6.5基于相位的视觉测量 5o)Y$>T0  
?9mkRd}c  
6.5.1相移形貌测量 Ez+Z[*C  
''H"^oS  
6.5.2立体相位偏折测量 mchJmZ{A  
6C [E  
6.6视觉测量的应用举例 O o8qyW  
V'DA[{\*  
6.6.1基于三维视觉检测技术的白车身三维视觉检测系统 Lrd[O v  
DinPxtT?a  
6.6.2基于机器视觉的焊缝宽度测量方法 G[,Q95`w?<  
4!.(|h@  
习题与思考6 (JUZCP/\  
mr:CuqJ  
第7章激光测速与测距 2;2}wM[  
u92^(|  
7.1多普勒效应与多普勒频移 VT%:zf  
F$V/K&&W  
7.2激光多普勒测速 i-" p)2d=#  
!w39FfU{  
7.2.1激光多普勒测速的基本原理 LWfqEL -  
 _; Y`  
7.2.2激光多普勒测速技术 O|kOI?f  
aUU7{o_Z  
7.2.3激光多普勒测速技术的进展 lIRlMLuG  
p-GAe,2q  
7.3激光测距 5PT5#[  
9X$ma/P[  
7.3.1脉冲激光测距 -7 U| a/  
Ztr Cv?  
7.3.2相位激光测距 vy9 w$ls  
k,yZ[n|`  
7.4激光测速和测距应用 l{j~Q^U})  
r|u MovnV  
7.4.1车载激光多普勒测速 dG7OqA:9  
"A$!, PX6  
7.4.2空间碎片的激光脉冲测距 ,Wbwg  
T .FI'wy  
7.4.3飞秒光梳色散干涉测距 ar9]"s+'  
Jg}K.1Hs  
习题与思考7 @Fp_^5  
(xHf4[[u  
第8章光纤传感原理与技术 o1cErI&q"  
:a ->0 l  
8.1概述 ?iI4x%y  
F8:vDv  
8.1.1光纤传感的主要类型 ?W^c4NtP  
hCjR&ZA  
8.1.2光纤传感的主要特点 l*\y  
,I1 RV  
8.2光在波导介质中传输的基本理论及规律 #9-P%%kQ  
C CBfKp  
8.2.1光纤的基本结构 ?T9(Vw  
N ,8/Y  
8.2.2平板波导介质中的光波模式 9l,a^@Y:  
$6OkIP.  
8.2.3光在光纤中的传输规律 n!p<A.O7@  
VCXJwVb  
8.2.4光纤的传输特性 7(5xL T$  
6KpHnSW  
8.3光纤传感 a,2'+Tlo  
![]`` g2  
8.3.1强度调制型光纤传感 4RSHZAJg  
vVE2m=!v  
8.3.2相位调制型光纤传感 Tq]Sn]CSP  
TT =b79k  
8.3.3偏振调制型光纤传感 t2,A@2DU 2  
3;S, 3  
8.3.4波长调制型光纤传感 uwz)($~bp  
.pvi!NnL-  
8.3.5光纤分布式传感 Ut2y;2)a  
q#<^^4U  
习题与思考8 5R(/Uiv3F  
ZovW0Q)m  
第9章激光雷达三维成像技术  GB$;n?  
uV!^,,~  
9.1激光雷达三维成像原理 ;\f gF@  
Vx~,Uex0+  
9.1.1激光雷达距离方程 1P~X8=9h  
su*'d:L  
9.1.2信噪比 UK<Nj<-'t  
ZosP(Tdq  
9.1.3可探测距离 G6T_O  
l c+g&f  
9.1.4横向成像参数 b )B? F  
 o4|M0  
9.2激光三维成像雷达技术 R8ZK]5{o  
&YF^j2  
9.2.1机械扫描激光成像雷达 XUz3*rfs  
3AU;>D^5  
9.2.2面阵成像激光雷达 _lamn }(x0  
~`aa5;Ab_  
9.2.3固态激光成像雷达 L*YynF  
 Vh_P/C+  
9.2.4非机械扫描激光成像雷达 z6*X%6,8  
Wf|Q$MHos  
9.3激光雷达三维成像技术的新发展 WA+iYLx@H  
0*f)=Q'  
9.4激光三维成像雷达的应用 *MKO I'  
Qk:Y2mL  
习题与思考9 o,_? ^'@  
e 9;~P}  
第10章光学探针测量 "N`[r iq{  
MF5[lK9e  
10.1微观表面形貌测量 ML|FQ  
%J+E/  
10.1.1微观表面形貌测量技术的发展 H{Wu]C<@p  
>CHrg]9  
10.1.2微观表面三维形貌测量的特点 sS*3=Yh  
Dfmjw  
10.2机械式探针测量 nAv#?1cjz  
\W~ N  
10.2.1机械式探针测量基本原理 Z&1\{PG3*  
Zy`m!]G]80  
10.2.2机械式探针测量系统 <3LbN FP  
pH9VTM.*  
10.3光学焦点探测 EV]1ml k$  
4h|c<-`>t  
10.3.1强度式探测方法 {*G9|#[/@  
X $jWo@  
10.3.2差动探测方法 nT7%j{e=L  
pM4 :#%V  
10.3.3散光方法 0XE4<U   
Te"ioU?.  
10.3.4Foucault方法 p{r}?a  
v[1aW v:  
10.3.5斜光束方法 "~sW"n(F_  
Cd#(X@n  
10.3.6共焦方法 zdB^S%cztS  
!fE`4<|?  
10.3.7光学焦点探针的特点 jeoz* Dz  
9X}10u:  
10.4干涉型光学探针测量 ^aItoJq  
&u$Q4  
10.4.1相移干涉光学探针测量方法 j#!IuH\]  
c"f-3kFv  
10.4.2扫描差分干涉光学探针测量方法 "L IF.)  
rV` #[d  
10.5扫描隧道显微镜 DX#Nf""Pw  
Ag-(5:  
10.5.1扫描隧道显微镜的基本原理与系统结构 (KjoSN( K  
n<LEler#M  
10.5.2扫描隧道显微镜的功能 Cio 1E-4  
V5+=e^pa2  
10.5.3扫描隧道显微镜设计的主要考虑因素 R0KPZv-  
\V;F/Zy(  
10.5.4扫描隧道显微镜的新发展与应用 L>jY.d2w=K  
K@ I 9^b  
10.6原子力显微镜 b/+u4'"  
f\|w '  
10.6.1AFM的基本硬件组成 o_izl \  
R`NYEptJ  
10.6.2AFM的工作原理 f z'@_4hg  
ZF!h<h&,  
10.6.3AFM的工作模式 0"jY.*_EW  
>^u2cAi3[  
10.6.4AFM在力学测量中的应用 y6(Z`lx  
zfJT,h-{  
10.7扫描近场光学显微镜 8I=2lK  
S|Q@:r"  
10.7.1扫描近场光学显微技术的基本原理 rDdoOb]B  
T$8)u'-pa  
10.7.2光子扫描隧道显微镜 w'>pY  
=Qy<GeY  
10.7.3扫描近场光学显微镜的基本结构与系统 m+ =] m_  
C7]f*TSC4  
10.7.4扫描近场光学显微镜系统的关键技术 <$D`Z-6  
tH!]Z4}u  
10.8扫描探针显微镜 2=*H 8'k  
1KU! tL  
10.8.1NRC的大范围计量型AFM u+9hL4  
)HEa<P^kJl  
10.8.2PTB研制的大范围SPM 5?f ^Rz  
^ gdaa>L  
10.9探针式测量仪器的测量分辨力和量程 jk;j2YNPw  
&h}#HS>l  
习题与思考10 /T"+KU*  
ld[I}88$  
参考文献 xVw9v6@`h  
=}~hWL  

许鹏飞 2024-01-04 19:38
好东西
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