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cyqdesign 2024-01-04 09:20

《光学测量原理、技术与应用》

《光学测量原理、技术与应用》以光学测量中光的特性为主线,以光学测量方法与技术为中心,全面介绍了光学测量涉及的基本理论、测量原理与方法、技术特点与典型应用等。全书共10章,第1章介绍光学测量的基本知识,第2~5章分别介绍光干涉测量、激光准直与跟踪测量、激光全息与散斑测量、激光衍射和莫尔条纹测量; 第6章介绍机器视觉测量; 第7章介绍激光测速与测距; 第8章介绍光纤传感原理与技术; 第9章介绍激光雷达三维成像技术; 第10章介绍光学探针测量。 i!%WEHPe  
LilK6K  

[attachment=124599]
?;oJ=.T  
第1章光学测量的基础知识 WSMpX -^e@  
+c/!R|h=S  
1.1基本概念、基本方法、应用领域及发展趋势 $e+4Kt ,  
Vz0(D  
1.1.1基本概念 0uD3a-J  
FdE?uw  
1.1.2误差与测量不确定度 D SX%SE)  
cO]w*Hti  
1.1.3基本构成 W!$U{=  
F m:Ys](  
1.1.4主要应用范围 6fw7\u  
F5X9)9S  
1.1.5基本方法 WyOav6/*K^  
d-b<_k{p  
1.1.6发展趋势 1Du5Z9AM  
8?8V;   
1.2光学测量中的常用光源 0rL.~2)V  
%Mj,\J!  
1.2.1光源选择的基本要求和光源的分类 9n is8  
'Z#_"s#L  
1.2.2热光源 w2xD1oK~o  
^~N:lW#=  
1.2.3气体放电光源 c BqbbZyUk  
@?e~l:g})g  
1.2.4固体发光光源 vv&< 7[  
?,x\46]>_K  
1.2.5激光光源 9<0yz?b':  
-BP10-V  
1.3光学测量中的常用光学器件 E} ]=<8V  
SrH::-{  
1.3.1激光准直镜 h!uyTgq  
`uMc.:5\  
1.3.2分光镜 va_u4  
^[.}DNR95(  
1.3.3偏振分光镜 L754odc  
bvJ@H Z$  
1.3.4波片 Odwf7>  
xTu J~$(  
1.3.5角锥棱镜 eI"pRH*f  
p*5_+u  
1.3.6衍射光栅 WZ>nA[/  
N$Ad9W?T  
1.3.7调制器 "P?O1  
T16gq-h'  
1.3.8光隔离器 h2x9LPLBxT  
iJE:>qOTD5  
1.4光学测量中的常用光电探测器 %y9sC1T  
N@tKgx  
1.4.1常用光电探测器的分类 M.,DXEZT  
a9;KS>~bq  
1.4.2光电探测器的主要特性参数 ;<m*ASM.3  
L3HC-  
1.4.3常用光电探测器介绍 G=[<KtWa  
,x1OQ jtY  
1.5光学测量系统中的噪声和常用处理电路 qJT/4 8lf_  
[/q Bvuun  
1.5.1光学测量系统中的噪声 E,tdn#_|  
sgi5dQ  
1.5.2光学测量系统中的常用处理电路 jZ-s6r2=  
$.C-_L  
1.6光学测量中的常用调制方法与技术 al}J^MJ  
_p4]\LA  
1.6.1概述 Lu6g`O:['  
{|>Wwa2e  
1.6.2机械调制法 deaB_cjdI  
`XH0S`B  
1.6.3利用物理光学原理实现的光调制技术 O<Q8%Az  
b4dviYI  
习题与思考1  '4{=x]K  
m-azd ~r[  
第2章光干涉测量 Dq~;h \='  
NjZ~b/  
2.1光干涉基础知识 NW5OLa")J<  
o$</At  
2.1.1光的干涉条件 ? -:2f#bC  
2Q%7J3I  
2.1.2干涉条纹的形状 4 j=K3m  
AvrvBz[  
2.1.3干涉条纹的对比度 2`riI*fQ  
DqQ p47kp  
2.1.4产生干涉的途径 S=-$:65  
F4G81^H  
2.2波面干涉测量 H}kSXKO8!8  
>nSt<e  
2.2.1概述 T4wk$R L  
8O]`3oa>  
2.2.2泰曼格林干涉仪 :!g|pd[{ag  
?110} [jw  
2.2.3移相干涉仪 $O*@Jg=  
s*la`(x  
2.2.4共路干涉仪 0c`zg7|  
}ww/e\|Nt=  
2.3激光干涉仪 (&eF E;c  
]87BP%G  
2.3.1迈克尔逊干涉仪 #PD6LO  
T%)E!:}v  
2.3.2实用激光干涉仪主要部件的作用原理 lvWwr!w  
exhU!p8  
2.3.3实用激光干涉仪的实际构成和常见光路 !\4B.  
7?R600OA  
2.4白光干涉仪 PhC3F4  
mF\!~ag|  
2.5外差式激光干涉仪 1V1I[CxlX  
Cty#|6 k  
2.5.1概述 Oq.ss!/z  
[ -$ Do  
2.5.2双频激光干涉仪 D`WRy}o  
<r: AJ;  
2.5.3激光测振仪 i WD|F-  
u5A?; a  
2.6激光自混合干涉测量 =|P &G~]  
;B=aK"\  
2.7绝对长度干涉计量 ffmtTJFC5  
* HKu%g  
2.7.1柯氏绝对光波干涉仪 l{Df{1b.  
b&F9<XLqq  
2.7.2激光无导轨测量 _aPAn|.  
"wOfs$w%s  
2.8激光干涉测量的重大应用举例 #3qeRl  
j-ej7  
2.8.1激光干涉测量引力波 7tcadXk0  
%BGg?&  
2.8.2光刻机工件台六自由度超精密测量 G@H!D[wd  
4=tR_s  
习题与思考2 iwJ_~   
d>hv-n D  
第3章激光准直与跟踪测量 geR+v+B,  
.}!.4J%q2  
3.1概述 Gc|)4c  
*z0d~j*W;  
3.1.1激光准直测量基本原理 gY~r{  
YGyv)\  
3.1.2激光准直测量系统的组成 {=[>N>"  
:ZrJL&  
3.2激光测量直线度原理 1.!U{>$  
0ae8Xm3J@R  
3.2.1直线度测量概述 R7bG!1SHl  
lDYgt UKG  
3.2.2激光测量直线度方法 ~(d {j}M>  
|HK:\)L%  
3.2.3直线度测量误差分析 _HUbE /  
P'Rw/c o  
3.3激光同时测量多自由度误差 sApix=Lr  
`} PYltW  
3.3.1滚转角测量 u;_~{VJ-  
EraGG"+  
3.3.2四自由度误差同时测量 I$7eiW @  
R_PF*q2 '  
3.3.3五自由度误差同时测量 {.:$F3T  
p u(mHB  
3.3.4六自由度误差同时测量 vamZKm~p  
@z@%vr=vX  
3.3.5激光跟踪测量 x z _sejKB  
!K>iSF<  
习题与思考3 A;TP~xq\  
A0DGDr PD  
第4章激光全息与散斑测量 LCHMh6  
j<<d A[X  
4.1全息术及其基本原理 +"?+Be  
cszvt2BIg  
4.1.1全息术基本原理 -* ,CMw  
;Q;j@yx  
4.1.2全息图的类型 5WQl?yMP  
K!-OUm5A  
4.1.3全息设备基本构成 <gp?}Lk  
VPUVPq~&  
4.2激光全息干涉测量 3"y 6|e/5  
bHwEd%f  
4.2.1单次曝光法 i5 rkP`)j  
\/NF??k,jk  
4.2.2二次曝光法 c2npma]DZ  
Mkz_.;3  
4.2.3时间平均法 3 t,_{9  
8-2 `S*  
4.3激光全息干涉测量的应用 ywa*?3?c  
/'/I^ab  
4.3.1位移和形状检测 '.mepxf< f  
`S {&gl  
4.3.2缺陷检测 8`q7Yss6F  
5'lPXKn+L  
4.3.3测量光学玻璃折射率的不均匀性 Z3`EXs  
@Wu-&Lb  
4.4激光散斑干涉测量 A lU^ ,X  
A]z*#+Sl  
4.4.1散斑的概念 V'vR(Wx  
Mbi]EZ  
4.4.2散斑照相测量 ?{ir$M  
g*Y, .  
4.4.3散斑干涉测量 Y2H-D{a27  
V ;T :Q%  
4.4.4电子散斑干涉 Wq1>Bj$J8  
EApKN@<"  
4.4.5时域散斑干涉 ZaFt4#  
%M(RV_R+6  
4.5散斑干涉测量的应用举例 ^#/FkEt7bp  
*%j$i_  
习题与思考4 4DA34m(  
XjX  
第5章激光衍射和莫尔条纹测量 a{5SOe;;  
%$!3Pbu i  
5.1激光衍射测量基本原理 7{;it uqX  
1vj/6L  
5.1.1单缝衍射测量 ?8b19DMK6  
z|l*5@p  
5.1.2圆孔衍射测量 3N7H7(IR  
+EETo):  
5.2莫尔条纹测量 *r7v Dc  
Yd^@Ei9  
5.2.1莫尔条纹的形成原理 .|UQ)J?s  
u^80NR  
5.2.2莫尔条纹的基本性质 G-aR%]7$g  
+a1x;  
5.2.3莫尔条纹测试技术 Zi!Ta"}8  
o5 L^  
5.3衍射光栅干涉测量 o96C^y{~S  
.Eao|;  
5.3.1衍射光栅干涉测量原理 ($[wCHU`!  
IPiV_c-l  
5.3.2衍射光栅干涉测量系统与技术 {1W:@6tl  
!IxO''4  
5.4X射线衍射测量 m>>.N?  
Ha'[uEDb  
5.4.1X射线衍射测量原理 {z#2gc'Q  
*H>rvE.K?  
5.4.2X射线衍射测量材料应力 dUI5,3*  
i|YS>Pw~j  
习题与思考5 v9*m0|T0M  
x(_[D08/TT  
第6章机器视觉测量 UO/sv2CN  
VtreOJ+  
6.1摄像机模型 je4l3Hl  
"q@m6fs  
6.2图像处理技术 >DqF>w.1  
Cy/&KWLenf  
6.2.1图像滤波 Tkbao D  
PNU(;&2<  
6.2.2图像增强 Szus*YL7  
APQq F/  
6.3结构光视觉测量 j0jl$^  
E8Dh;j  
6.3.1激光三角法的测量原理 !40>LpL[  
~E<2gMKjO  
6.3.2结构光视觉测量系统 s\ IKSoE  
*{o7G  a  
6.3.3点结构光视觉测量原理 SC{m@  
G dgL}"*F  
6.3.4线结构光视觉测量原理 :!ya&o  
U, 6iT  
6.3.5结构光视觉测量系统的标定方法 k4TWfl^}9  
p{FI_6db  
6.4双目立体视觉测量 pl[J!d.c  
rr<E#w  
6.4.1数学模型 B5e9'X^ [  
D28`?B9 (  
6.4.2双目立体视觉的标定方法 V7ph^^sC}  
7ubz7*  
6.5基于相位的视觉测量 YFKE>+  
%x)b Z=An  
6.5.1相移形貌测量 WWT1= #"  
f0<zK !  
6.5.2立体相位偏折测量 L74Mz]v  
CSk]c9=  
6.6视觉测量的应用举例 [U\?+@E*  
N^^0j,  
6.6.1基于三维视觉检测技术的白车身三维视觉检测系统 #cbgp;,M{I  
|(7}0]BP0  
6.6.2基于机器视觉的焊缝宽度测量方法 OWd'z1Yl  
8;PkuJR_]  
习题与思考6 B.z$0=b  
{Gxe%gu6K  
第7章激光测速与测距 R>Ra~ b  
g(7 -3q8eq  
7.1多普勒效应与多普勒频移 "Fz.# U  
GK?ual1  
7.2激光多普勒测速 'U@o!\=a  
|WS)KR !  
7.2.1激光多普勒测速的基本原理 Cs $5Of(  
Q YJ EUC@  
7.2.2激光多普勒测速技术 0=d2_YzSf  
?Ua,ba*  
7.2.3激光多普勒测速技术的进展 Vej$|nF  
1MelHW  
7.3激光测距 t=_^$M,yr  
Qm%F]nyy  
7.3.1脉冲激光测距 H= dIZ  
*zfgO pK  
7.3.2相位激光测距 P rt} 01$  
Cu"Cpt[  
7.4激光测速和测距应用 !, 4ag1  
sFU< PgV  
7.4.1车载激光多普勒测速 tDByOml8Ix  
4=PjS<Lu8  
7.4.2空间碎片的激光脉冲测距  Et>#&Nw8  
3? {AGJ1  
7.4.3飞秒光梳色散干涉测距 "TRS(d|3  
@sXFu[!U  
习题与思考7 9tiZIm93]  
D0. )%  
第8章光纤传感原理与技术  U 'jt'(  
">uN={Iy  
8.1概述 OG\i?N  
8&<:(mAP  
8.1.1光纤传感的主要类型 Hxu5Dx5![  
z*@eQauA  
8.1.2光纤传感的主要特点 6W1GvM\e  
x`CjFaE~F  
8.2光在波导介质中传输的基本理论及规律 |Q?h"5i"(  
3G} )$y3m  
8.2.1光纤的基本结构 sJHVnMA  
,GbmL8P7Y  
8.2.2平板波导介质中的光波模式 OV>& `puL  
&(F c .3m  
8.2.3光在光纤中的传输规律 `FHudSK  
%Ymi,o>  
8.2.4光纤的传输特性 ~o}:!y  
)XI[hVUA  
8.3光纤传感 <'y<8gpM  
a[{$4JpK  
8.3.1强度调制型光纤传感 ;\MWxh,K  
/Vlc8G  
8.3.2相位调制型光纤传感 1ni+)p>]  
X2w)J?pv  
8.3.3偏振调制型光纤传感 .qBc;u  
Pwh}hG1s a  
8.3.4波长调制型光纤传感 l1KMEGmG  
U S^% $Z:  
8.3.5光纤分布式传感 l{By]S  
js$R^P  
习题与思考8 E0HqXd?  
8PI%Z6  
第9章激光雷达三维成像技术 J,W<ha*  
wO??"${OH  
9.1激光雷达三维成像原理 E^8|xT'h6  
J}|X  
9.1.1激光雷达距离方程 ( eV,f  
x#{!hL 5G  
9.1.2信噪比 84ij4ZYe  
+VwQ=[y]  
9.1.3可探测距离 y^2#;0W  
z?/_b  
9.1.4横向成像参数 KsDS!O  
yC' y>f`H  
9.2激光三维成像雷达技术 osC?2.  
+p u[JHF  
9.2.1机械扫描激光成像雷达 >%/x~UFc5  
E@VQxB7+  
9.2.2面阵成像激光雷达 ?m7:@GOE1  
)~2\4t4|g  
9.2.3固态激光成像雷达 S-t#d7'B  
!'f7;%7s  
9.2.4非机械扫描激光成像雷达 5F kdGF  
`46~j  
9.3激光雷达三维成像技术的新发展 BabaKSm}LP  
KEAXDF&#  
9.4激光三维成像雷达的应用 G e;67  
8/e-?2l  
习题与思考9 #W\}v(Ke  
N0 {e7M  
第10章光学探针测量 cILS  
+n^M+ea;  
10.1微观表面形貌测量 2|pTw5z~  
0`/G(ukO  
10.1.1微观表面形貌测量技术的发展 p fc6;K:d  
:a wt7lqv  
10.1.2微观表面三维形貌测量的特点 d$IROZK-D  
!GOaBs  
10.2机械式探针测量 @9/I^Zk  
ki1(b]rf  
10.2.1机械式探针测量基本原理 Dka,v  
c 4z&HQd  
10.2.2机械式探针测量系统 RZ6y5  
%QP[/5vQ  
10.3光学焦点探测 0E.N3iU  
oR#W@OK@is  
10.3.1强度式探测方法 0O3O^ 0  
gt{kjrTv&  
10.3.2差动探测方法 ?(ORk|)kU  
qu B[S)2}  
10.3.3散光方法 J[lC$X[  
$dfc@Fn^x  
10.3.4Foucault方法 !y_FbJ8KC  
a4:GGzt  
10.3.5斜光束方法 M0 z%<_<}  
W3:j Z:  
10.3.6共焦方法 C?qRZB+W#  
]V"P &; m  
10.3.7光学焦点探针的特点 i'f w>-0  
7FH(C`uKi  
10.4干涉型光学探针测量 S:1[CNL;  
sx?IIFF  
10.4.1相移干涉光学探针测量方法 Jg#0g eU  
T Q41i/{  
10.4.2扫描差分干涉光学探针测量方法 ~5 6&!4  
=.`\V]  
10.5扫描隧道显微镜 CL0 lMZ  
?%3dgQB'  
10.5.1扫描隧道显微镜的基本原理与系统结构 =3-=p&*  
?LMQz=  
10.5.2扫描隧道显微镜的功能 ~ z^?+MgZ2  
zPnb_[YF  
10.5.3扫描隧道显微镜设计的主要考虑因素 ("U<@~  
4t*%(  
10.5.4扫描隧道显微镜的新发展与应用 o~$O$  
f*%kHfaXgN  
10.6原子力显微镜 etX@z'H  
7O1MC 8{  
10.6.1AFM的基本硬件组成 T"xJY#)}  
>pu4G+M  
10.6.2AFM的工作原理 |d0ZB_ci  
tW/k  
10.6.3AFM的工作模式 Y`~B> J  
h,c*:  
10.6.4AFM在力学测量中的应用 vW?\bH7}I  
 l"ms:v  
10.7扫描近场光学显微镜 a0NiVF-m%  
^J]&($-  
10.7.1扫描近场光学显微技术的基本原理 O9daeIF0#  
O2fq9%lk  
10.7.2光子扫描隧道显微镜 { Zgd  
ZLjAhd)  
10.7.3扫描近场光学显微镜的基本结构与系统 bK:U:vpYm  
_?-oPb  
10.7.4扫描近场光学显微镜系统的关键技术 N sdpE?V  
FKO2UY#&7  
10.8扫描探针显微镜 v,i|:;G  
-nS f<  
10.8.1NRC的大范围计量型AFM 4Y(@ KUb  
0+SDFh  
10.8.2PTB研制的大范围SPM 6R45+<.  
5x+]uABE  
10.9探针式测量仪器的测量分辨力和量程 tp`1S+'~j  
I )mB]j  
习题与思考10 cWAw-E5  
R;DU68R  
参考文献 f<8Hvumw  
X&9: ^$m  

许鹏飞 2024-01-04 19:38
好东西
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