《光学测量原理、技术与应用》
《光学测量原理、技术与应用》以光学测量中光的特性为主线,以光学测量方法与技术为中心,全面介绍了光学测量涉及的基本理论、测量原理与方法、技术特点与典型应用等。全书共10章,第1章介绍光学测量的基本知识,第2~5章分别介绍光干涉测量、激光准直与跟踪测量、激光全息与散斑测量、激光衍射和莫尔条纹测量; 第6章介绍机器视觉测量; 第7章介绍激光测速与测距; 第8章介绍光纤传感原理与技术; 第9章介绍激光雷达三维成像技术; 第10章介绍光学探针测量。 Fi`:G} a&[n Vu+
[attachment=124599] p~b$+8#+ 第1章光学测量的基础知识 \*N1i`99 [y:LA~q 1.1基本概念、基本方法、应用领域及发展趋势 fI|1@e1 Q4PXC$u 1.1.1基本概念 ] QEw\4M?= &Xav$6+Z1J 1.1.2误差与测量不确定度 TGLXvP&
\ H:_`]X" 1.1.3基本构成 YH>n{o;-
? S=2,jPX2r 1.1.4主要应用范围 cjW]Nw Pm_= 1.1.5基本方法 f,#xicSB* E$wB bm 1.1.6发展趋势 ?xet:#R' hMQaT-v 1.2光学测量中的常用光源 lrzW H0Q !jbjrzv9 1.2.1光源选择的基本要求和光源的分类 fm*Hk57 9s)oC$\ 1.2.2热光源 V_pBM -*A'6%` 1.2.3气体放电光源 'zb7:[[7% k
y98/6 1.2.4固体发光光源 7,zARWB!? 5ZVTI,4K 1.2.5激光光源 &g!/@*[Nhh SMyg=B\x?7 1.3光学测量中的常用光学器件 {JgN^R<5<f Kf4z*5Veqr 1.3.1激光准直镜 9 ?8`"v UU;:x"4 1.3.2分光镜 EHZSM5hu %8Z,t+' 1.3.3偏振分光镜 v`&Z.9!Tz^ 8(}sZ)6 1.3.4波片 +0 MKh 1 GdD 1.3.5角锥棱镜 Nz;;X\GI YYHm0pc 1.3.6衍射光栅 q1y4B` &; \v_5N6 1.3.7调制器 <B`V hgK=fHJk 1.3.8光隔离器 Ub,unU lNb\^b 1.4光学测量中的常用光电探测器 3o>t~Sfi ^ne8~
;Q 1.4.1常用光电探测器的分类 x8Sq+BY Kxn7sL$]=F 1.4.2光电探测器的主要特性参数 n lW&(cH y`\Mhnj 1.4.3常用光电探测器介绍 )^TQedF s/M~RB!w 1.5光学测量系统中的噪声和常用处理电路 ^v-'=1ub? &pm{7nH 1.5.1光学测量系统中的噪声 kg@h R} ~\ f^L?m 1.5.2光学测量系统中的常用处理电路 w>uZ$/ w|C~{ 1.6光学测量中的常用调制方法与技术 rLxX^[Fp3 +pvJ?"J 1.6.1概述 @3YuV=QfH fP58$pwu 1.6.2机械调制法 {M/c! d&`j8O 1.6.3利用物理光学原理实现的光调制技术 NrcCUZ .:N tHbPd.^ 习题与思考1 AvZ) 1( or}*tSKX 第2章光干涉测量 Z@!W?Ed <q2nZI^ 2.1光干涉基础知识 zF&UdS3 'qAfei'] 2.1.1光的干涉条件 RFY!o<
^z^e*<{WEl 2.1.2干涉条纹的形状 "Q{~Bj~ `Xdxg\| 2.1.3干涉条纹的对比度 gqRTv_ ; S7{.liHf 2.1.4产生干涉的途径 ;
,jLtl yPYJc 2.2波面干涉测量 mndl~/ |SKG4_wGe 2.2.1概述 3^>a TU<Z "H<#91^| 2.2.2泰曼格林干涉仪 j#t8Krd] " xY2_*#{. 2.2.3移相干涉仪 8? Wxd65) ii
y3 2.2.4共路干涉仪 h6y4Ii vUe
* 2.3激光干涉仪 <[:7#Yo
g Cfo 8gX* 2.3.1迈克尔逊干涉仪 p''"E$B/( ir:~*| 2.3.2实用激光干涉仪主要部件的作用原理 D"4&9"C U 2BX GVo 2.3.3实用激光干涉仪的实际构成和常见光路 u#WTh%/ T% 13 ' 2.4白光干涉仪 ,G|aLBn k_>Fw>Y 2.5外差式激光干涉仪 UvJuOh+ #0hNk%X= 2.5.1概述 -{U>}
Y) ;'QY<,p[e 2.5.2双频激光干涉仪 4z%#ZIy3 Q &7)vs 2.5.3激光测振仪 V!77YFen % F] ?@X 2.6激光自混合干涉测量 _T|H69 J uO@3vY',n 2.7绝对长度干涉计量 "lz[zFnO b>=Wq 2.7.1柯氏绝对光波干涉仪 Ldhk^/+ 30 [#%_* o 2.7.2激光无导轨测量 @D~+D@i$TW N1N{Ol' 2.8激光干涉测量的重大应用举例 OssR[$69 $@_t5?n``F 2.8.1激光干涉测量引力波 #3K,V8( pq[X)]z| 2.8.2光刻机工件台六自由度超精密测量 %aH$Tb%`hc g(1B W#$ 习题与思考2 Va@6=U7c ur<eew@8@i 第3章激光准直与跟踪测量 7ec0Xh1 =vr Y{5!> 3.1概述 6UW:l|}4#2 9#&W!f*qO| 3.1.1激光准直测量基本原理 jc&/}o$K m
io1kDq< 3.1.2激光准直测量系统的组成 tpa^k Yn4)Zhkk 3.2激光测量直线度原理 w=D%D8 r2 ]A]Ft!`6z 3.2.1直线度测量概述 P}hY{y' vXWsF\g 3.2.2激光测量直线度方法 j&dx[4|m:h UXwB$@8 3.2.3直线度测量误差分析 xaWGa1V'z ZUXse1, 3.3激光同时测量多自由度误差 )
\-96 xd Zj1ZU[BEcL 3.3.1滚转角测量 V~T`& W(2+z5 z 3.3.2四自由度误差同时测量 F)/~p&H ]l=O%Ev 3.3.3五自由度误差同时测量 AhvvuN$n% BbrT f"` 3.3.4六自由度误差同时测量 x2C/L 7|QGY7Tf 3.3.5激光跟踪测量 )X~Pr?52? $N;"}Gz 习题与思考3 $ZI~ 8rI~ 2cCWQ"_, 第4章激光全息与散斑测量 ADYx.8M|9i S5~`T7Ra 4.1全息术及其基本原理 h
L]8e>a? |66m` < 4.1.1全息术基本原理 [,O`MU H\^VqNK" 4.1.2全息图的类型 yS[z2:! ~ HK1X 4.1.3全息设备基本构成 of8mwnZR m[Z6VHn
4.2激光全息干涉测量 jHAWK9fa `$S^E != 4.2.1单次曝光法 })@tA<+ \F 3C=M@: 4.2.2二次曝光法 P*pbwV#| LthGZ|> 4.2.3时间平均法 ^ED"rMI 0iYP 4.3激光全息干涉测量的应用 [ njx7d j]pohxn$5 4.3.1位移和形状检测 /61by$E Hqvc7 -c6 4.3.2缺陷检测 Kb-W
tFx 7}Bj|]b)~ 4.3.3测量光学玻璃折射率的不均匀性 1g1? zk8zO su&t7rJ 4.4激光散斑干涉测量 42fprt aH%ZetLNJ 4.4.1散斑的概念 #2 \8?UPd 0$tjNye 4.4.2散斑照相测量 ?VB#GJ0M9 ~<n(y-P^ 4.4.3散斑干涉测量 /D0RC <EtUnj:qK8 4.4.4电子散斑干涉 *4t-e0]j@w ;SgD 5Ln} 4.4.5时域散斑干涉 m}98bw kI%peb? 4.5散斑干涉测量的应用举例 &i5:)d]L a mqOxb 习题与思考4 OB~C} '^$ ]}kI)34/ 第5章激光衍射和莫尔条纹测量 =_[2n?9y BRb\V42i; 5.1激光衍射测量基本原理 mj@31YW 9`B0fv Q& 5.1.1单缝衍射测量 5G#$c'A{4 AYcgi 5.1.2圆孔衍射测量 Hle\ON MM#i t=u 5.2莫尔条纹测量 wepwXy" Bz+.Qa+ 5.2.1莫尔条纹的形成原理 ahA{B1M)n
9RQU? 5.2.2莫尔条纹的基本性质 QBoFpxh= <FUon 5.2.3莫尔条纹测试技术 F.<L>
G7{1 0x@A~!MoP 5.3衍射光栅干涉测量 IU|kNBo (S|a 9# 5.3.1衍射光栅干涉测量原理 ;WD,x:>blO (ss3A9tG 5.3.2衍射光栅干涉测量系统与技术 ;1 |x x?
N.WABr; 5.4X射线衍射测量 /Pvk),ca @RGDhwS47 5.4.1X射线衍射测量原理 hGI+:Js6 KY$k`f6?P 5.4.2X射线衍射测量材料应力 #{$1z;i?f *YtB )6j 习题与思考5 CvK3H\.&;k w2{g,A| 第6章机器视觉测量 $W&:(& Fu7M0X'p 6.1摄像机模型 '^iUx,,ZQ E ]B7 6.2图像处理技术 SO;N~D1Z6 E1 |<Pt 6.2.1图像滤波 ]78!!G[` /[K_
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