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cyqdesign 2024-01-04 09:20

《光学测量原理、技术与应用》

《光学测量原理、技术与应用》以光学测量中光的特性为主线,以光学测量方法与技术为中心,全面介绍了光学测量涉及的基本理论、测量原理与方法、技术特点与典型应用等。全书共10章,第1章介绍光学测量的基本知识,第2~5章分别介绍光干涉测量、激光准直与跟踪测量、激光全息与散斑测量、激光衍射和莫尔条纹测量; 第6章介绍机器视觉测量; 第7章介绍激光测速与测距; 第8章介绍光纤传感原理与技术; 第9章介绍激光雷达三维成像技术; 第10章介绍光学探针测量。 ,F J9C3  
@Ns^?#u~   

[attachment=124599]
[pmZ0/l  
第1章光学测量的基础知识 J680|\ER  
Fa9]!bW  
1.1基本概念、基本方法、应用领域及发展趋势 %t\`20-1<  
)*^PMf  
1.1.1基本概念 doxQS ohS  
(0"9562  
1.1.2误差与测量不确定度 CD^_>sya  
)4a&OlEI  
1.1.3基本构成 8*)zoT*A  
)E^4\3 ^:  
1.1.4主要应用范围 11 .RG *  
/ GJ"##<  
1.1.5基本方法 ?/{ qRz'C<  
+6f5uMKUvs  
1.1.6发展趋势 /wCeeG,<  
/PIU@$DV  
1.2光学测量中的常用光源 8@/]ki `>  
Gz!72H  
1.2.1光源选择的基本要求和光源的分类 B\}E v&  
8\y%J!b  
1.2.2热光源 m7e$ Z  
q[b-vTzI  
1.2.3气体放电光源 -2tX 15,  
sj`9O-?49  
1.2.4固体发光光源 P,~a'_w:|D  
&tQ,2RT  
1.2.5激光光源 ;oULtQ  
s iv KXd  
1.3光学测量中的常用光学器件 .Kq>/6  
'8k\a{t_z  
1.3.1激光准直镜  tB[(o%k  
bK("8T\?  
1.3.2分光镜 r#]gAG4t\  
,US~p_M!  
1.3.3偏振分光镜 A@_F ;4X  
8{JTR|yB  
1.3.4波片 K~@-*8%  
ez86+  
1.3.5角锥棱镜 J*,Ed51&7  
PQvq$|q  
1.3.6衍射光栅 /43DR;4  
8+ B.x  
1.3.7调制器 Gr?"okaA  
N!"GwH  
1.3.8光隔离器 1w+&Y;d|  
 h:#  
1.4光学测量中的常用光电探测器 m3 (fr  
[4Glt>Nj>  
1.4.1常用光电探测器的分类 `Xmf4  
zG@9-s* L  
1.4.2光电探测器的主要特性参数 @'R4zJ&+S  
 O\]CfzR  
1.4.3常用光电探测器介绍 V>A@Sw  
=[t([DG  
1.5光学测量系统中的噪声和常用处理电路 p`Omcl~Q  
c 2?(.UV  
1.5.1光学测量系统中的噪声 RURO0`^  
Q-O:L  
1.5.2光学测量系统中的常用处理电路 x}N+vK   
t wtGkkC  
1.6光学测量中的常用调制方法与技术 Xj+1]KRN  
N_q7ip%z  
1.6.1概述 na  $z\C\  
)J~Q x-jG  
1.6.2机械调制法 -hp,O?PM  
wm*`  
1.6.3利用物理光学原理实现的光调制技术 9Wx q  
S][: b  
习题与思考1  U@m<  
z ;y2 2  
第2章光干涉测量 +*)B;)P  
F2oY_mA  
2.1光干涉基础知识 evg i\"  
#hR}7K+@  
2.1.1光的干涉条件 W|D'S}J  
lJKhP  
2.1.2干涉条纹的形状 ,UWO+B]  
7F\U|kx_  
2.1.3干涉条纹的对比度 a2Q9tt>Q  
,!%[CpM3  
2.1.4产生干涉的途径 G0> 'H1Z  
'n!;7*  
2.2波面干涉测量 L-@j9hU{  
Xd|@w{.m*  
2.2.1概述 ;?zb (2  
nm %ka4  
2.2.2泰曼格林干涉仪 kX[I|Z=  
bi KpV? Dp  
2.2.3移相干涉仪 O+.V,` O  
-U%wLkf|  
2.2.4共路干涉仪 <&l3bL  
}Ax$}#  
2.3激光干涉仪 SAThY$)6  
)]>=Uo  
2.3.1迈克尔逊干涉仪 h5Qxa$Oq  
8"8sI  
2.3.2实用激光干涉仪主要部件的作用原理 Om>6<3n  
",&}vfD4M  
2.3.3实用激光干涉仪的实际构成和常见光路  `9S<E  
T{sw{E*  
2.4白光干涉仪 us`hR!_  
v{?9PRf\s  
2.5外差式激光干涉仪 !c(B^E  
l4R:_Z<  
2.5.1概述 (zJ TBI'  
kz,Nz09}W  
2.5.2双频激光干涉仪 [u)^QgP  
/MQd[03]  
2.5.3激光测振仪 Am  kHVg  
En5I  
2.6激光自混合干涉测量 CzNSJVE5  
_6=6 b!hD  
2.7绝对长度干涉计量 ]7dm`XV  
/:yKa=$  
2.7.1柯氏绝对光波干涉仪 Pb]s+1  
$`l- cSH;  
2.7.2激光无导轨测量 "p2PZ)|  
C+y:<oo)  
2.8激光干涉测量的重大应用举例 8{Zgvqbb  
:Q?xNY%  
2.8.1激光干涉测量引力波 Q CfA3*  
,p$1n;  
2.8.2光刻机工件台六自由度超精密测量 T=b5th}  
r<&d1fM;X  
习题与思考2 ) I-8 .  
De4+4&  
第3章激光准直与跟踪测量 *QjFrw3  
 U]e;=T:3  
3.1概述 ? 76jz>;b  
T!v%NZj3  
3.1.1激光准直测量基本原理 3ufUB^@4v  
DOU\X N   
3.1.2激光准直测量系统的组成 g ~10K^  
jw(v08u >  
3.2激光测量直线度原理 x]y~KbdeB  
!Otyu6&  
3.2.1直线度测量概述 s{IycTbz  
#@y4/JS&2  
3.2.2激光测量直线度方法 \i`/k(  
n6L}#aZG  
3.2.3直线度测量误差分析 93o}vy->  
eT}c_h)  
3.3激光同时测量多自由度误差 \n:'>:0X!  
q ,}W.  
3.3.1滚转角测量 4\Q ?4ZX  
O]^E%;(]}i  
3.3.2四自由度误差同时测量 ]'T-6  
T-|z18|!  
3.3.3五自由度误差同时测量 bS* "C,b~s  
SC86+  
3.3.4六自由度误差同时测量 E>SnH  
j>?c]h{-  
3.3.5激光跟踪测量 /0"Y. @L  
_Y}(v( (;  
习题与思考3 AX]lMe  
%3z-^#B=  
第4章激光全息与散斑测量 qjUQ2d  
_E&*JX  
4.1全息术及其基本原理 t55 '  
\7gLk:  
4.1.1全息术基本原理 a{Tv#P*!  
;wTl#\|w0  
4.1.2全息图的类型 =3/||b4c  
uF@Q8 7G  
4.1.3全息设备基本构成 C4Bh#C  
jk 9K>4W  
4.2激光全息干涉测量 0Ba-VY.H  
,Qj7wFZ  
4.2.1单次曝光法 #/5jWH7U  
i (L;1 `  
4.2.2二次曝光法 KcNEB_i  
KQQR"[z&V  
4.2.3时间平均法 X`^9a5<"  
*Swb40L^  
4.3激光全息干涉测量的应用 a.wRJ  
ddlLS  
4.3.1位移和形状检测 k gWF@"_  
K~v"%sG{`  
4.3.2缺陷检测   3xV  
>9Ub=tZm  
4.3.3测量光学玻璃折射率的不均匀性 ",`fGu )  
J%3S3C2*m  
4.4激光散斑干涉测量 {gK i15t  
s{`r$:!  
4.4.1散斑的概念 J<u,Y= -~  
tY%c-m  
4.4.2散斑照相测量 V0ulIKck  
xJN JvA  
4.4.3散斑干涉测量 LnrR#fF]Z  
8Ay#6o  
4.4.4电子散斑干涉 [ o3}K  
I)Lg=n$  
4.4.5时域散斑干涉 }T4"#'`  
$>8+t>|  
4.5散斑干涉测量的应用举例 Ok2k; +l  
!u>29VN  
习题与思考4 )#IiHBF  
J3y5R1?EP  
第5章激光衍射和莫尔条纹测量 D8BK/E-  
|UBR8  
5.1激光衍射测量基本原理 Xk(c2s&  
yhgHwES"  
5.1.1单缝衍射测量 {u3^#kF  
Y -o*d@  
5.1.2圆孔衍射测量 6_`x^[r  
G5bi,^G7  
5.2莫尔条纹测量 YDC[s ^d5  
X2q$i  
5.2.1莫尔条纹的形成原理 ^e<0-uM" s  
e=1&mO?  
5.2.2莫尔条纹的基本性质 V5qvH"^  
iV(B0z  
5.2.3莫尔条纹测试技术 $zyY"yWRZ  
l J;wl|9  
5.3衍射光栅干涉测量 WI](a8bm  
=>4>Z_q  
5.3.1衍射光栅干涉测量原理 )Xl/|YD  
DJ[U^dWRn  
5.3.2衍射光栅干涉测量系统与技术 tJbOn$]2"  
9I+;waLlB  
5.4X射线衍射测量 !`)-seTm  
T_y 'cvh  
5.4.1X射线衍射测量原理 ATk>:^n  
=36vsps=  
5.4.2X射线衍射测量材料应力 n"(n*Hf7b  
`f8{ ^Rau  
习题与思考5 )=[K$>0k  
u}qfwVX Z  
第6章机器视觉测量 -`&4>\o2Lx  
$9M>B<]  
6.1摄像机模型 ;BejFcb  
z,I7 PY& G  
6.2图像处理技术 573wK~9oMh  
&CCB;Oi%  
6.2.1图像滤波 !94& Uk(O  
r/Qq-1E  
6.2.2图像增强 H.v`JNs (  
IP-CN  
6.3结构光视觉测量 -r/#20Y  
.G?7t6A  
6.3.1激光三角法的测量原理 m:/nw,  
eLL> ThMyW  
6.3.2结构光视觉测量系统 %pt ul_(s'  
QE=Cum  
6.3.3点结构光视觉测量原理 2fFNJ  
M5: f^  
6.3.4线结构光视觉测量原理 t A\N$  
iG6 ^s62z7  
6.3.5结构光视觉测量系统的标定方法 i8Yl1nF  
nxA]EFS  
6.4双目立体视觉测量 $_@~t$  
v}+axu/?  
6.4.1数学模型 `a3q)}*Y  
OzX\ s=  
6.4.2双目立体视觉的标定方法 9'Pyo`hJ#U  
{ylc 2 1  
6.5基于相位的视觉测量 D$YAi%*H  
43A6B  
6.5.1相移形貌测量 c zL[W2l   
|t4k&Dkx`  
6.5.2立体相位偏折测量 V4l`Alr\L  
\G#Qe*"'K  
6.6视觉测量的应用举例 9c=Y+=<  
gupB8 .!  
6.6.1基于三维视觉检测技术的白车身三维视觉检测系统 jt S+y)2  
#CW]70H`  
6.6.2基于机器视觉的焊缝宽度测量方法 iL/(WAB_od  
4)]g=-3  
习题与思考6 `[jQn;  
]6pxd \Q  
第7章激光测速与测距 (=QaAn,,R  
-l`@pklQ  
7.1多普勒效应与多普勒频移 b+OLmd  
gK-:t  
7.2激光多普勒测速 _B 8e 1an  
Y H 2i V  
7.2.1激光多普勒测速的基本原理 Z, lUO.  
o~NeS|a  
7.2.2激光多普勒测速技术 N`8!h:yL  
^;6~=@#*C  
7.2.3激光多普勒测速技术的进展 {l0;G) -  
nxsQDw\hy  
7.3激光测距 ^R,5T}J.  
bhOyx  
7.3.1脉冲激光测距 #h6(DuViKw  
k {s#wJA  
7.3.2相位激光测距 bsuUl*l)  
kZU8s'C  
7.4激光测速和测距应用 Wey-nsk  
%,K|v  
7.4.1车载激光多普勒测速 (e= ksah3>  
JjfNH ~  
7.4.2空间碎片的激光脉冲测距 d;m Q=k 1  
\xDu#/^  
7.4.3飞秒光梳色散干涉测距 Jtd@8fVi  
1.p?P] .  
习题与思考7 ,h #!!j\j6  
` eND3c  
第8章光纤传感原理与技术 6KnD(im  
]WWre},  
8.1概述 CV]PCq!  
Gxi;h=J2)>  
8.1.1光纤传感的主要类型 at,Xad\j  
smIZ:L %  
8.1.2光纤传感的主要特点 3a!/EP  
L]K*Do  
8.2光在波导介质中传输的基本理论及规律 w?jmi~6  
g#9w5Q  
8.2.1光纤的基本结构 2}$Vi$ R  
[O"i!AQ  
8.2.2平板波导介质中的光波模式 s.=)p"pTd  
jph~ g*Z  
8.2.3光在光纤中的传输规律 F#X\}MvEU  
zesEbR)j  
8.2.4光纤的传输特性 <Ks?g=K-  
/D1Bf:'(  
8.3光纤传感 `Jm{K*&8Q  
0qG[hxt%  
8.3.1强度调制型光纤传感 d2.n^Q"?3  
j"94hWb  
8.3.2相位调制型光纤传感 {D."A$AAa  
m9#u. Q*  
8.3.3偏振调制型光纤传感 Qi=rhN`  
7w>"M  
8.3.4波长调制型光纤传感 D1o 8Wo  
)@R:$l86  
8.3.5光纤分布式传感 ?#04x70  
"5{Yn!-:  
习题与思考8 (g7nMrE$j  
;Ic3th%u  
第9章激光雷达三维成像技术 !PUhdW  
R)<Fqa7Tm  
9.1激光雷达三维成像原理 L'aMXNO  
a.%]5%O;t  
9.1.1激光雷达距离方程 ik8e  
Y] P}7GZ  
9.1.2信噪比 OR?8F5o?p  
})mez[UmZ  
9.1.3可探测距离 &cpRB&bf  
(/k,q  
9.1.4横向成像参数 zN2sipJS8  
f1=8I_>=  
9.2激光三维成像雷达技术 #:s'&.6  
,ypxy/  
9.2.1机械扫描激光成像雷达 tCc}}2bC&  
'O{hr0q}  
9.2.2面阵成像激光雷达 &v 5yo}s  
Cs]xs9  
9.2.3固态激光成像雷达 DU 8)c$  
"H G:by  
9.2.4非机械扫描激光成像雷达 da I-*  
Ho \+xX  
9.3激光雷达三维成像技术的新发展 =WO{h48]  
A=XM(2{aN  
9.4激光三维成像雷达的应用 !kV?h5@Bo  
E"L'm0i[[  
习题与思考9 xFpJ#S&  
F&c A!~  
第10章光学探针测量 |?g2k:fzB7  
|ZZ3Qr+%S  
10.1微观表面形貌测量 57[O)5u.+  
JBoo7a1  
10.1.1微观表面形貌测量技术的发展 X0!48fL*  
{|rwIRe  
10.1.2微观表面三维形貌测量的特点 7kJ,;30)  
rtzxMCSEU  
10.2机械式探针测量 .Dx]wv  
C y& L,  
10.2.1机械式探针测量基本原理 ait/|a  
_')KDy7  
10.2.2机械式探针测量系统 v WhtClJ3  
@l;f';+  
10.3光学焦点探测 w^ DAu1  
}'@*Olj  
10.3.1强度式探测方法 SnXYq 7`t  
=3( ZUV X  
10.3.2差动探测方法 ^3r2Q?d\  
g8qN+Gg  
10.3.3散光方法 9]7^/g*!  
\7/xb{z|  
10.3.4Foucault方法 $hEX,  
:^ cA\2=  
10.3.5斜光束方法 |UlScUI,  
lq%s/l  
10.3.6共焦方法 Gm6^BYCk  
QTLOP~^  
10.3.7光学焦点探针的特点 _Y~+ #Vc  
t;4{l`dk  
10.4干涉型光学探针测量 3ea6g5kX  
Ybok[5  
10.4.1相移干涉光学探针测量方法 /Wj9Stj5  
TI*uNS;-  
10.4.2扫描差分干涉光学探针测量方法 ;ga~ae=Fg  
kj-S d^  
10.5扫描隧道显微镜 ChBZGuO:  
#cmj?y()  
10.5.1扫描隧道显微镜的基本原理与系统结构 ^c!Hur6)  
+q =/}|  
10.5.2扫描隧道显微镜的功能 )D#*Q~   
,m:MI/ )p  
10.5.3扫描隧道显微镜设计的主要考虑因素 K}wUM^  
4W1"=VL[g  
10.5.4扫描隧道显微镜的新发展与应用 \.*aC)  
Uq[NO JC  
10.6原子力显微镜 2?m'Dy'JE  
C"YM"9JSJ  
10.6.1AFM的基本硬件组成 +:^tppg  
^WVr@6  
10.6.2AFM的工作原理 JM!o(zbt  
v4 c_UFEh<  
10.6.3AFM的工作模式 ~s88JLw%&u  
RE*SdazY?  
10.6.4AFM在力学测量中的应用 scA&:y  
/r]IY.  
10.7扫描近场光学显微镜 paiF ah  
m+V'*[O{  
10.7.1扫描近场光学显微技术的基本原理 //AS44^IS  
;up89a-,9  
10.7.2光子扫描隧道显微镜 }b~ZpUL!  
e&wW lB![  
10.7.3扫描近场光学显微镜的基本结构与系统 N.3M~0M*  
CM~)\prks  
10.7.4扫描近场光学显微镜系统的关键技术  DMf:u`<  
2AU_<Hr6  
10.8扫描探针显微镜 QPdhesrd-  
eyUo67'7  
10.8.1NRC的大范围计量型AFM wLNO\JP'  
Ga~IOlS  
10.8.2PTB研制的大范围SPM ` NcWy  
3VKArv-  
10.9探针式测量仪器的测量分辨力和量程 [['un\~r~  
iGm[fxQ|  
习题与思考10 e >MC 3D`5  
rbs:qLa%  
参考文献 qM]eK\q 1  
q*-q5FE  

许鹏飞 2024-01-04 19:38
好东西
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