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cyqdesign 2024-01-04 09:20

《光学测量原理、技术与应用》

《光学测量原理、技术与应用》以光学测量中光的特性为主线,以光学测量方法与技术为中心,全面介绍了光学测量涉及的基本理论、测量原理与方法、技术特点与典型应用等。全书共10章,第1章介绍光学测量的基本知识,第2~5章分别介绍光干涉测量、激光准直与跟踪测量、激光全息与散斑测量、激光衍射和莫尔条纹测量; 第6章介绍机器视觉测量; 第7章介绍激光测速与测距; 第8章介绍光纤传感原理与技术; 第9章介绍激光雷达三维成像技术; 第10章介绍光学探针测量。 H:x=v4NgsU  
$5aRu,  

[attachment=124599]
-~Kw~RX<(  
第1章光学测量的基础知识 .L'>1H]B  
mXnl-_  
1.1基本概念、基本方法、应用领域及发展趋势 B5"(NJ;  
l0Wp%T  
1.1.1基本概念 }9[E+8L1  
2<Lnfc<^k  
1.1.2误差与测量不确定度 F"xD^<i  
]8*#%^  
1.1.3基本构成 Y85M$]e,  
j!9p#JK#u  
1.1.4主要应用范围 E/@w6uIK[  
LU5e!bP  
1.1.5基本方法 9u";%5 4  
>h>X/a(=~  
1.1.6发展趋势 YX38*Ml+V  
U-(2;F)  
1.2光学测量中的常用光源 ]Ga}+^  
gZ6]\l]J{  
1.2.1光源选择的基本要求和光源的分类 5I9~OJ>  
v5U\E`)s  
1.2.2热光源 +$M%"=tk  
0,*clvH\;  
1.2.3气体放电光源 [80jG+6  
\"BoTi'2!  
1.2.4固体发光光源 +u;f]p  
YnC7e2  
1.2.5激光光源 .ky((  
"2HSb5b"`  
1.3光学测量中的常用光学器件 +9db1:  
UD6D![e  
1.3.1激光准直镜 C YA#:  
&!uw;|%  
1.3.2分光镜 Onoi^MDy  
.8[B }S(  
1.3.3偏振分光镜 qUX   
L|4kv  
1.3.4波片 1'tagv?  
MJsz  
1.3.5角锥棱镜 Srw ciF  
^mr#t #[e  
1.3.6衍射光栅 %/!n]g-  
#@xSR:m  
1.3.7调制器 )%'Lm  
|&vQ1o|}  
1.3.8光隔离器 $!P(Q  
Z(LDAZG  
1.4光学测量中的常用光电探测器 &>kklP  
]37k\O?vd  
1.4.1常用光电探测器的分类 EIO!f[]o  
Qzy[  
1.4.2光电探测器的主要特性参数 i-oi?x<u&(  
 |/K+tH  
1.4.3常用光电探测器介绍 k{ >rI2;  
-'& 4No  
1.5光学测量系统中的噪声和常用处理电路 ;!U`GN,tH  
'~i;g.n=}-  
1.5.1光学测量系统中的噪声 p] kpDx[9  
&Npv~Iy  
1.5.2光学测量系统中的常用处理电路 It,m %5 Py  
.])ubK_9  
1.6光学测量中的常用调制方法与技术 n]I_ LlbY  
ldcYw@KQ  
1.6.1概述 7MIu-x|  
fF !Mmm"  
1.6.2机械调制法 Gw3eO&X3i  
m[&]#K6  
1.6.3利用物理光学原理实现的光调制技术 A-gNfXP,D  
9hG)9X4  
习题与思考1 v w$VR PW  
Z M"J5}h  
第2章光干涉测量 z7V74hRPX  
F, {M!dL  
2.1光干涉基础知识 0JTDJZOz@#  
]Cy1yAv={  
2.1.1光的干涉条件 aH<BqD[#  
UKyOkuY:w  
2.1.2干涉条纹的形状 | ZBv;BW  
W,Q"?(+]B  
2.1.3干涉条纹的对比度 4~-"k{Xt  
XE);oL2xP  
2.1.4产生干涉的途径 9Mo(3M  
oj*5m+:>a  
2.2波面干涉测量  TA;  
! 7,rz1s73  
2.2.1概述 |__\Vn  
1c);![O  
2.2.2泰曼格林干涉仪 `-!t8BH  
3DRbCKNL  
2.2.3移相干涉仪 VyK]:n<5Q  
J<dr x_gc  
2.2.4共路干涉仪 a>A29*q  
+ 5E6|  
2.3激光干涉仪 ") kE 1D%  
` oN~  
2.3.1迈克尔逊干涉仪 hEAt4z0P  
_ +Ww1 f  
2.3.2实用激光干涉仪主要部件的作用原理 9?B}CCE<LR  
[f["9(:  
2.3.3实用激光干涉仪的实际构成和常见光路 "o&_tB;O  
n1K"VjZk  
2.4白光干涉仪 X8l[B{|  
W 0^.Dx  
2.5外差式激光干涉仪 [?u iM^&  
%lPAq  
2.5.1概述 I$sJ8\|gw'  
1zNH[   
2.5.2双频激光干涉仪 Unev[!  
}.O,P'k  
2.5.3激光测振仪 WCxt-+#  
z7'3d7r?  
2.6激光自混合干涉测量 fk-zT  
Fy^*@&  
2.7绝对长度干涉计量 UO^"<0u  
:3WrRT,'L  
2.7.1柯氏绝对光波干涉仪 r@L19d)J  
pk2OZ,14Mj  
2.7.2激光无导轨测量 5D0O.v  
{8D`A;KD  
2.8激光干涉测量的重大应用举例 >?s[g)np  
`.Z MwA  
2.8.1激光干涉测量引力波 VS0 &[bl  
KP" lz  
2.8.2光刻机工件台六自由度超精密测量 oiYI$ql3L  
%rVC3}  
习题与思考2 )s^D}I(  
("UcjB^62  
第3章激光准直与跟踪测量 [pi!+k  
\{  
3.1概述 -'btKz*9  
b:Oa4vBa  
3.1.1激光准直测量基本原理 wi/Fx=w  
W/COrgbW  
3.1.2激光准直测量系统的组成 $(pzh:|  
ig Fz~  
3.2激光测量直线度原理 _jt>%v4}4  
SwHrHj  
3.2.1直线度测量概述 s0,c4y  
M.|O+K z  
3.2.2激光测量直线度方法 >Qg`Us#y  
0Q>f,}W%>  
3.2.3直线度测量误差分析 M qq/k J  
`tKrTq>  
3.3激光同时测量多自由度误差 RWM9cV5  
=Tv;?U C  
3.3.1滚转角测量 KhK:%1po  
TZ8:3ti  
3.3.2四自由度误差同时测量 "w}}q>P+sA  
-_&"Q4FR;+  
3.3.3五自由度误差同时测量 .Bxv|dji  
\IB@*_G  
3.3.4六自由度误差同时测量 uCGJe1!Ai>  
\FOoIY!.x  
3.3.5激光跟踪测量 Sx{vZS3  
W@<(WI3  
习题与思考3 SSH))zJ  
Tjba @^T  
第4章激光全息与散斑测量 V<&x+?>S  
,e\'Y!'  
4.1全息术及其基本原理 *@6,Sr)_  
q~_DR4xZ  
4.1.1全息术基本原理  Er( I6  
C+ \c(M a  
4.1.2全息图的类型 <1i:Z*l.  
KLVkPix;$  
4.1.3全息设备基本构成 3ZRi@=kWz  
}pk)\^/w/  
4.2激光全息干涉测量 n.+%eYM<  
1.p2{  
4.2.1单次曝光法 ^2C)Wk$  
I =G3  
4.2.2二次曝光法 #O3Y#2lI  
fyYHwG  
4.2.3时间平均法 >fG=(1"  
mO];+=3v8  
4.3激光全息干涉测量的应用 qPle=6U[IL  
9 t)A_}O  
4.3.1位移和形状检测 7wKN  
2d1Z;@x  
4.3.2缺陷检测 &sh5|5EC  
6&jW.G8/  
4.3.3测量光学玻璃折射率的不均匀性 KVQ^-^  
>uHU3<2&  
4.4激光散斑干涉测量 SrlTwcD  
\VQv "wid  
4.4.1散斑的概念 Udj!y$?  
gumT"x .^  
4.4.2散斑照相测量 =j,2  
k@[\ C`P  
4.4.3散斑干涉测量 SZVNu*G!H  
Ltv!;^Q5  
4.4.4电子散斑干涉 OH.lAF4E(  
IXjFK  
4.4.5时域散斑干涉 0PfjD  
c*>8VW>  
4.5散斑干涉测量的应用举例 z;T_%?u  
'mwgHo<u  
习题与思考4 S*"uXTS  
FA5|`  
第5章激光衍射和莫尔条纹测量 W4MU^``   
h2k"iO }  
5.1激光衍射测量基本原理 1Ce7\A  
Ax"]+pb  
5.1.1单缝衍射测量 & OO0v*@{  
QMO.Bnek  
5.1.2圆孔衍射测量 %5g(|Y]  
a^{"E8j  
5.2莫尔条纹测量 > nHaMj  
TH[xSg  
5.2.1莫尔条纹的形成原理 zx #HyO[a  
exW|c~|m{A  
5.2.2莫尔条纹的基本性质 rdQKzJiX=U  
I 68Y4s  
5.2.3莫尔条纹测试技术 Z;v5L/;  
[P:+n7= ,l  
5.3衍射光栅干涉测量 v 3p'*81;  
G4&vrM,f  
5.3.1衍射光栅干涉测量原理 G 6r2 "  
t,bQ@x{zVC  
5.3.2衍射光栅干涉测量系统与技术 H18.)yHX  
$O'IbA  
5.4X射线衍射测量 8]@$7hy8  
[SKN}:D  
5.4.1X射线衍射测量原理 5>Kk>[|.  
5%r:hO @S  
5.4.2X射线衍射测量材料应力 PTS dW~3  
F<V.OFt  
习题与思考5 s(.H"_ a  
{s7 3(B"  
第6章机器视觉测量 " ""k}M2A  
o;kxu(>yL'  
6.1摄像机模型 e 48N[p  
mb\"qD5  
6.2图像处理技术 n g,&;E  
3< 'bi}{  
6.2.1图像滤波 7oy}<9  
TSKT6_IJw  
6.2.2图像增强 $-i(xnU/nl  
%&iodo,EP'  
6.3结构光视觉测量 ?-v]+<$Y  
73p7]Uo  
6.3.1激光三角法的测量原理 ]t"X~  
fxQ4kiI  
6.3.2结构光视觉测量系统 VbI$#;:[7  
YB}m1 g`  
6.3.3点结构光视觉测量原理 0$g;O5y"i  
# 4&t09  
6.3.4线结构光视觉测量原理 +HT?> k  
p![UOI"W  
6.3.5结构光视觉测量系统的标定方法 c5em*qCw$  
wJc`^gj  
6.4双目立体视觉测量 j 06 mky  
Y*QoD9<T?;  
6.4.1数学模型 _C3O^/<n4V  
@|PUet_pb  
6.4.2双目立体视觉的标定方法 64UrD{$o  
l`<1Y|  
6.5基于相位的视觉测量 "wR1=&gk  
*x-@}WY$U  
6.5.1相移形貌测量 z -c1,GOD  
r_hs_n!6  
6.5.2立体相位偏折测量 B,fVNpqo  
^M)+2@6  
6.6视觉测量的应用举例 `iN H`:[w  
-pHUC't  
6.6.1基于三维视觉检测技术的白车身三维视觉检测系统 #LR.1zZ  
8F K%7\V  
6.6.2基于机器视觉的焊缝宽度测量方法 nB;[;dC z  
c6T[2Ig  
习题与思考6 P84= .* >  
P''>wjMH0  
第7章激光测速与测距 YuUJgt .1  
&n'@L9v81  
7.1多普勒效应与多普勒频移 K!,9qH  
5gSe=|we*p  
7.2激光多普勒测速 `t"7[Zk  
j#jwK(:]  
7.2.1激光多普勒测速的基本原理 4:= VHd  
l* z "wA-  
7.2.2激光多普勒测速技术 x=03 WQ8  
,R\ex =c  
7.2.3激光多普勒测速技术的进展 $|tk?Sps  
bA1O]:`  
7.3激光测距 VGf&'nL@,  
}` YtXD-o  
7.3.1脉冲激光测距 9vP#/ -g  
TQtHU6  
7.3.2相位激光测距 Iqci}G%r  
^WrL   
7.4激光测速和测距应用 ceuEsQ}  
Ss3~X90!*B  
7.4.1车载激光多普勒测速 *nK4XgD  
UX'q64F!  
7.4.2空间碎片的激光脉冲测距 9PUobV_^Wo  
Kk,u{EA  
7.4.3飞秒光梳色散干涉测距 1k]L,CX  
:PK2! 0nK  
习题与思考7 )KY4BBc  
fR b  
第8章光纤传感原理与技术 o:B?hr'\  
h$#PboLd  
8.1概述 82 dmlPwJC  
<G0Ut6J>  
8.1.1光纤传感的主要类型 <iBn-EG l>  
|l-O e  
8.1.2光纤传感的主要特点 D~FIv  
/BN=Kl]  
8.2光在波导介质中传输的基本理论及规律 3 Q~0b+k  
2tg07  
8.2.1光纤的基本结构 e)y+]  
}; R2M  
8.2.2平板波导介质中的光波模式 ->*~e~T  
T[I7.8g  
8.2.3光在光纤中的传输规律 F|G v  
)5`~WzA  
8.2.4光纤的传输特性 k(M"k!M  
LM(r3sonb  
8.3光纤传感 4:Oq(e_(  
@ M4m!;rM  
8.3.1强度调制型光纤传感 +^jm_+  
^ p7z3ng  
8.3.2相位调制型光纤传感 "sIww  
PI@?I&Bo  
8.3.3偏振调制型光纤传感 E`.:V<KW/  
IEd?-L  
8.3.4波长调制型光纤传感 d+vAm3.Dg  
K%W;-W*'  
8.3.5光纤分布式传感 ,:#h;4!VRF  
7[mP@ {  
习题与思考8 &'`ki0Xh;  
>l #D9%  
第9章激光雷达三维成像技术 z7z9lDS  
1JJ1!& >  
9.1激光雷达三维成像原理 #?`S+YN!q)  
vL;>A]oM2  
9.1.1激光雷达距离方程 B873UN  
jo1z#!|Yw}  
9.1.2信噪比 `Z#':0Z  
+* F e   
9.1.3可探测距离 L& rtN@5;  
A^$xE6t  
9.1.4横向成像参数 (sI`FW_  
=.OzpV)=V  
9.2激光三维成像雷达技术 ~W={"n?=  
P_b!^sq9  
9.2.1机械扫描激光成像雷达 %iME[| u&  
Sb?Ua*(L:  
9.2.2面阵成像激光雷达 p5py3k  
M IyT9",Pl  
9.2.3固态激光成像雷达 EiaP1o  
0~+*$W  
9.2.4非机械扫描激光成像雷达 LitdO>%#2  
H|7XfM  
9.3激光雷达三维成像技术的新发展 *YX5bpR?  
O,-NzGs  
9.4激光三维成像雷达的应用 I(WIT=Wi<  
wv\V&U$  
习题与思考9 _>aP5g?Ep  
Vugb;5Vl  
第10章光学探针测量 ,j9?9Z7R  
uL@%M8n  
10.1微观表面形貌测量 ,L.V>Ae  
`KE]RTq  
10.1.1微观表面形貌测量技术的发展 @ULWVS#t2  
yTn<5T[H  
10.1.2微观表面三维形貌测量的特点 |H]0pbC)w  
\{!,a  
10.2机械式探针测量 z;?j+ZsdH  
[clwmx  
10.2.1机械式探针测量基本原理 G,c2?^#n  
Rry] 6(  
10.2.2机械式探针测量系统 hSXJDT2  
a1Q%Gn@R  
10.3光学焦点探测 Gg]Jp:GF  
ho B[L}<c  
10.3.1强度式探测方法 BX6kn/i  
Hq,@j{($  
10.3.2差动探测方法 Sv0?_3C  
hF5T9^8  
10.3.3散光方法 >@ xe-0z  
CEBG9[|  
10.3.4Foucault方法 r b\t0tg  
~t/i0pKq.  
10.3.5斜光束方法 `u7^r^>A  
}%jpqip  
10.3.6共焦方法 Y"r728T`K  
.Pte}pM"v  
10.3.7光学焦点探针的特点 Jw&Fox7p  
r:g_mMvB  
10.4干涉型光学探针测量 $-~"G,;F  
,FH1yJ;Y&  
10.4.1相移干涉光学探针测量方法 }@ktAt  
tJn"$A ^N  
10.4.2扫描差分干涉光学探针测量方法 u<N`;s  
2"6qg>]-t  
10.5扫描隧道显微镜 LH=^3Gw  
C^;8M'8z0  
10.5.1扫描隧道显微镜的基本原理与系统结构 >;bym)  
-^(KGu&L&u  
10.5.2扫描隧道显微镜的功能 #$W0%7  
fH?A.JP=a  
10.5.3扫描隧道显微镜设计的主要考虑因素 I"x~ 7  
z}.6yHS  
10.5.4扫描隧道显微镜的新发展与应用 'Ha> >2M  
;ND[+i2MN  
10.6原子力显微镜 *h=>*t?I2  
5*-RIs! 2  
10.6.1AFM的基本硬件组成 ;hV|W{=w  
I1l^0@J   
10.6.2AFM的工作原理 98O]tL+k/u  
5G gH6   
10.6.3AFM的工作模式 ^k$Bx_{  
,EVPnH[F~  
10.6.4AFM在力学测量中的应用 5 r_Z3/%  
}{=}^c"t'  
10.7扫描近场光学显微镜 0s H~yvM5  
%6rSLBw3  
10.7.1扫描近场光学显微技术的基本原理 /{jt]8/;7  
:8@eon}  
10.7.2光子扫描隧道显微镜 IbL'Z   
Zlh 2qq  
10.7.3扫描近场光学显微镜的基本结构与系统  :TR:tf  
L-S5@;"  
10.7.4扫描近场光学显微镜系统的关键技术 %8%|6^,  
44B D2`nF  
10.8扫描探针显微镜 w0Ex}  
i=]R1yP  
10.8.1NRC的大范围计量型AFM n}e%c B  
#1\`!7TO3  
10.8.2PTB研制的大范围SPM ;~djbo0,X  
"\`Fu  
10.9探针式测量仪器的测量分辨力和量程 o@_i&4[MW  
oYA"8ei=  
习题与思考10 F E{c{G<  
VS ;y  
参考文献 (Fuu V{x|  
k\;D;e{  

许鹏飞 2024-01-04 19:38
好东西
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