《光学测量原理、技术与应用》
《光学测量原理、技术与应用》以光学测量中光的特性为主线,以光学测量方法与技术为中心,全面介绍了光学测量涉及的基本理论、测量原理与方法、技术特点与典型应用等。全书共10章,第1章介绍光学测量的基本知识,第2~5章分别介绍光干涉测量、激光准直与跟踪测量、激光全息与散斑测量、激光衍射和莫尔条纹测量; 第6章介绍机器视觉测量; 第7章介绍激光测速与测距; 第8章介绍光纤传感原理与技术; 第9章介绍激光雷达三维成像技术; 第10章介绍光学探针测量。 = %m/ J4; ".Y=
[attachment=124599] X:5*LB\/v 第1章光学测量的基础知识 ap!<8N suwj1qYJ4 1.1基本概念、基本方法、应用领域及发展趋势 IA'AA|v `)fGw7J
{ 1.1.1基本概念 <j'#mUzd gS ]'^Sr 1.1.2误差与测量不确定度 }, H,ky 49D*U5o 1.1.3基本构成 2}AV_]] f#jAjzmYL 1.1.4主要应用范围 s zg1.& }PJ:9<G
y 1.1.5基本方法 :|g{gi as8<c4:v 1.1.6发展趋势 $) $sApB K!X8KPo 1.2光学测量中的常用光源 ZmDr$iU~ 5P4>xv[ 1.2.1光源选择的基本要求和光源的分类 RzkJS9)m (g\'Zw5bk 1.2.2热光源 4^5s\f B 6Jm4?ex 1.2.3气体放电光源 {*m?t 7 h4CB1K 1.2.4固体发光光源 d=pq+ 8b/yT4f 1.2.5激光光源 ^]kDYhe*Y ;Baf&xK 1.3光学测量中的常用光学器件 > jcNo3S 6S(3tvUr 1.3.1激光准直镜 ~kL":C>2 O_033& 1.3.2分光镜 K;Ktx>Z/ R[z6 c) 1.3.3偏振分光镜 ^t*BWJxPC cg4,PI%hz 1.3.4波片 8PQ& 7o sbVeB%k 1.3.5角锥棱镜 X qh+ 6Yklaq5 1.3.6衍射光栅 qxq ~9\My h*Ej}_
1.3.7调制器 7]Z*]GRX q+z,{K 1.3.8光隔离器 zr,jaR; /{lls2ycW% 1.4光学测量中的常用光电探测器 k3Y>QN|q8 3wK)vW 1.4.1常用光电探测器的分类 yF*JzE 7, tY7u\Y;^ 1.4.2光电探测器的主要特性参数 vi'K|[!? .{6TX"M 1.4.3常用光电探测器介绍 ?#W>^Za= J[9jNCq| 1.5光学测量系统中的噪声和常用处理电路 e}kG1C8 ,}NG@JID 1.5.1光学测量系统中的噪声 >0> M@s TGg* (6'z 1.5.2光学测量系统中的常用处理电路 Jyd%!v d{0>R{uac 1.6光学测量中的常用调制方法与技术 X:DHz0S A2B&X}K|U 1.6.1概述 iVFnt! sh0O~%]g 1.6.2机械调制法 j"f]pzg& -V9Cx_]y 1.6.3利用物理光学原理实现的光调制技术 .AKx8=f 0^;{b^!( 习题与思考1 @wpm;] Dj[D|%9a 第2章光干涉测量 W?.Y%wc0 Na#2sb[) 2.1光干涉基础知识 |/q *Fg[f qoEOM%dAqV 2.1.1光的干涉条件 !OiP<8 ,H $u>^A<TBN 2.1.2干涉条纹的形状 iJ~pX\FKO *FO']D 2.1.3干涉条纹的对比度 &4]%&mX)- B64%|
S 2.1.4产生干涉的途径 Y#uf 2>J -2f0CAh~ 2.2波面干涉测量 :qI myaGQ #u#s'W 2.2.1概述 $?0<rvGJ i^
1P6B 2.2.2泰曼格林干涉仪 ~=}56yxl[ 6MZfoR 2.2.3移相干涉仪 Xc'yz 2B !]W6i]p 2.2.4共路干涉仪 xe}"0'g z.7 UfLV9 2.3激光干涉仪 X\M0Q%8 N!hp^V<7 2.3.1迈克尔逊干涉仪 !DLIIKO78 *#~3\{ 2.3.2实用激光干涉仪主要部件的作用原理 <>p\9rVp*^ t@b';Cuv 2.3.3实用激光干涉仪的实际构成和常见光路 @UD6qA yBeSvsm 2.4白光干涉仪 R\6#J0&Y- U%2 pbGU 2.5外差式激光干涉仪 ='>k|s: Pf]L`haGN 2.5.1概述 ?9/%K45 ^lbOv}C* 2.5.2双频激光干涉仪 AM\`v'I*6 9Lv`3J^~ 2.5.3激光测振仪 xqLLoSte )0!hw|0| 2.6激光自混合干涉测量 @eR>?.:& _8t{4C 2.7绝对长度干涉计量 <.~j:GbsE 2g|+*.*` 2.7.1柯氏绝对光波干涉仪 n&k1'KL&
5q@o,d 2.7.2激光无导轨测量 ~u7a50 P3);R>j 2.8激光干涉测量的重大应用举例 zPZy#7/A h2K1|PUKl[ 2.8.1激光干涉测量引力波 DL<r2h dfO84Z}
5 2.8.2光刻机工件台六自由度超精密测量 %5$yz| : ^\J/l\n 习题与思考2 {'EQ%H$q , En
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| 第3章激光准直与跟踪测量 Y[@$1{YS #*XuU8q? 3.1概述 |Kh#\d J!~?}Fq/z 3.1.1激光准直测量基本原理 pv;}Sv$
]- `TBau:E lI 3.1.2激光准直测量系统的组成 [iB`- dE, dKi+~m'w 3.2激光测量直线度原理
AI/xOd!a tBp dKJn## 3.2.1直线度测量概述 J_<ENs- @'jC>BS8` 3.2.2激光测量直线度方法 ?kISAA4x ['e8Xz0 3.2.3直线度测量误差分析 _T)dmhG QzCu$ [ 3.3激光同时测量多自由度误差 mO(m%3 [r<lAS{ . 3.3.1滚转角测量 vrLI`3n] aU4v-9@U8 3.3.2四自由度误差同时测量 ,FlF.pt rs`H':a/ 3.3.3五自由度误差同时测量 mtvfG UW88JA0 3.3.4六自由度误差同时测量 now\-XrS E0o= 3.3.5激光跟踪测量 /:~mRf^ %D:Mt| 习题与思考3 oEGe y8? 2aNCcZw0 第4章激光全息与散斑测量 049E#[<Q" ]SA]{id+ 4.1全息术及其基本原理 g!,>. y_;LTCj? 4.1.1全息术基本原理 Zx@/5!_n. 'P3CgpF<Z2 4.1.2全息图的类型 -NGY+1 hB]4Tn5H 4.1.3全息设备基本构成 /\q1,}M >j%HVRW 4.2激光全息干涉测量 /4}{SE /r^J8B* 4.2.1单次曝光法 1\X1G>60m 0O5(\8jM 4.2.2二次曝光法 UC"<5z
lcu ZaIlo5 4.2.3时间平均法 HTA@en[5 G|*^W;(Z 4.3激光全息干涉测量的应用 mR\rK&'6 X"0n*UTF, 4.3.1位移和形状检测 f|P% <xe=G]v 4.3.2缺陷检测 Yw&{.<sL @*`9!K% 4.3.3测量光学玻璃折射率的不均匀性 aY& |