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cyqdesign 2024-01-04 09:20

《光学测量原理、技术与应用》

《光学测量原理、技术与应用》以光学测量中光的特性为主线,以光学测量方法与技术为中心,全面介绍了光学测量涉及的基本理论、测量原理与方法、技术特点与典型应用等。全书共10章,第1章介绍光学测量的基本知识,第2~5章分别介绍光干涉测量、激光准直与跟踪测量、激光全息与散斑测量、激光衍射和莫尔条纹测量; 第6章介绍机器视觉测量; 第7章介绍激光测速与测距; 第8章介绍光纤传感原理与技术; 第9章介绍激光雷达三维成像技术; 第10章介绍光学探针测量。 fkx 9I m4  
wRuJein#  

[attachment=124599]
f2d"b+H#  
第1章光学测量的基础知识 X&Mc NO6"  
2V  
1.1基本概念、基本方法、应用领域及发展趋势 W0?yPP=.  
?d_Cy\G  
1.1.1基本概念 EatpORq  
N7jAPI@a\i  
1.1.2误差与测量不确定度 Bg#NB  
,+q5e^P  
1.1.3基本构成 bg$e80  
& XrV[d[>  
1.1.4主要应用范围 hTy#Q.=  
=GLsoc-b  
1.1.5基本方法 ikY=}  
5-+Y2tp}  
1.1.6发展趋势 LN7;Yr  
MjLyB^ M  
1.2光学测量中的常用光源 T? =jKLPC  
CUYp(GU  
1.2.1光源选择的基本要求和光源的分类 (C. 1'<]  
q_W NN/w  
1.2.2热光源 ;/YSQt)rc>  
HFf| >&c&  
1.2.3气体放电光源 UL{Xe&sT  
$ D45X<  
1.2.4固体发光光源 #}A!Bk  
FS20OD  
1.2.5激光光源 kp0>8rkF  
@c&)K^v8  
1.3光学测量中的常用光学器件 ,>Yz1P)L  
N/y.=]  
1.3.1激光准直镜 I=b#tUBh8  
tBf u{oC  
1.3.2分光镜 RJg# A`  
@4&sL](q  
1.3.3偏振分光镜 #_H=pNWe  
d2 d^XMe!  
1.3.4波片 KRz\ct|  
9,F(f}(t  
1.3.5角锥棱镜 'r'uR5jR  
*Fq Nzly  
1.3.6衍射光栅 KJ~f ~2;  
v|`)~"~  
1.3.7调制器 z?cRsqf  
<x1(}x:u`  
1.3.8光隔离器 j7i[z>:Y  
D'</eJ  
1.4光学测量中的常用光电探测器 v_Jp 9  
578Dl(I#)  
1.4.1常用光电探测器的分类 / P{f#rV5  
()P?fed  
1.4.2光电探测器的主要特性参数 T$k) ^'  
Ib!`ChZ  
1.4.3常用光电探测器介绍 y_a~>S  
9m8`4%y=  
1.5光学测量系统中的噪声和常用处理电路 H,?AaM[V  
esxU44  
1.5.1光学测量系统中的噪声 o{:D  
##FN0|e&  
1.5.2光学测量系统中的常用处理电路 (?~F}u v  
;B tRDKn  
1.6光学测量中的常用调制方法与技术 gBrIqM i5  
`< VoZ/v  
1.6.1概述 lKe aI  
>yT:eG  
1.6.2机械调制法 ww[STg  
)L^WD$"'Q  
1.6.3利用物理光学原理实现的光调制技术 Prr<:q  
[=XsI]B\  
习题与思考1 3"q%-M|+Q  
ZfMJU  
第2章光干涉测量 `<[Zs]Fe4  
2< ^B]N  
2.1光干涉基础知识 9B<y w.  
D<nTo&m_  
2.1.1光的干涉条件 C[wnor!  
X8Gw8^t  
2.1.2干涉条纹的形状 0Wk}d(f  
Ma_! 1Y  
2.1.3干涉条纹的对比度 !dmI}<@&k  
BEu9gu  
2.1.4产生干涉的途径 CK.Z-_M  
b7HS 3NYk  
2.2波面干涉测量 3WaYeol`  
lOYwYMi  
2.2.1概述 _:=w6jCk  
[7L1y) I(  
2.2.2泰曼格林干涉仪 ~!Onz wmO  
8qt|2%  
2.2.3移相干涉仪 S[*e K Z  
<y~`J`-  
2.2.4共路干涉仪 T w/CJg  
()XL}~I{!A  
2.3激光干涉仪 00<iv"8  
<r9J+xh*p  
2.3.1迈克尔逊干涉仪 1jQz%^~  
A2F+$N  
2.3.2实用激光干涉仪主要部件的作用原理 Z+Z`J; ,  
,7tN&R_  
2.3.3实用激光干涉仪的实际构成和常见光路 ~vG~Z*F  
+-HaYB|p  
2.4白光干涉仪 j2tw`*S+  
'ApWYt  
2.5外差式激光干涉仪 U =T[-(:H  
'J+Vw9 s7  
2.5.1概述 0 R^Xn  
9KD2C>d<  
2.5.2双频激光干涉仪 c_&iGQ  
L +-B,466  
2.5.3激光测振仪 O!uX:TE|Q  
o^_z+JFwb  
2.6激光自混合干涉测量 K*p^Gs,  
%vn rLt$  
2.7绝对长度干涉计量 \y#gh95  
eEupqOF*:W  
2.7.1柯氏绝对光波干涉仪 f`H}Y!W(  
P2f~sx9  
2.7.2激光无导轨测量 !!dNp5h`  
N2=gSEY  
2.8激光干涉测量的重大应用举例 Ewu 7tq Z  
x@(91f  
2.8.1激光干涉测量引力波 hDzKB))<w  
jb fMTb4  
2.8.2光刻机工件台六自由度超精密测量 =as]>?<  
kLADd"C  
习题与思考2 4 ILCvM  
RG#  
第3章激光准直与跟踪测量 J'Gn M?M  
o^7}H{AE  
3.1概述 Y#NlbKkzu  
2'_Oi-&  
3.1.1激光准直测量基本原理 \MX>=  
^MDBJ0 I.  
3.1.2激光准直测量系统的组成 ogDyrY}]  
GfPe0&h  
3.2激光测量直线度原理 \O72PC+  
js'* :*7  
3.2.1直线度测量概述 (m~MyT#S  
] E`J5o}op  
3.2.2激光测量直线度方法 x^9W<  
[Gysx  
3.2.3直线度测量误差分析 h}rrsVj3  
RhXX/HFk  
3.3激光同时测量多自由度误差 y! 7;Z~"  
A:& `oJl  
3.3.1滚转角测量 ` _[\j]  
Fl^.J<Dz  
3.3.2四自由度误差同时测量 +2MsyA?6_  
{#0B~Zr  
3.3.3五自由度误差同时测量 sw8Ic\vT  
,HYz-sK.  
3.3.4六自由度误差同时测量 JKGUg3\~  
*cq#>rN  
3.3.5激光跟踪测量 _N0x&9S$  
J1yy6Wq3[  
习题与思考3 <`~] P$  
)"=BbMfhu  
第4章激光全息与散斑测量 Nr6YQH*[  
y @h^  
4.1全息术及其基本原理 WcbJ4Ore  
U~!97,|ic  
4.1.1全息术基本原理 j?3J-}XC  
* vEG%Y  
4.1.2全息图的类型 >0T0K`o  
u,4,s[  
4.1.3全息设备基本构成 SL>>]A,E<`  
R-bICGSE  
4.2激光全息干涉测量 ~)Ny8Dh  
 Js'COO  
4.2.1单次曝光法 <@ (HQuL#  
5H""_uw  
4.2.2二次曝光法 Jel%1'Dc^  
(;V]3CtU*  
4.2.3时间平均法 6@; w%Ea  
z| i$eF;x3  
4.3激光全息干涉测量的应用 jKM-(s!(  
DM~Q+C=Yr  
4.3.1位移和形状检测 ezC55nm  
]J?5qR:xCy  
4.3.2缺陷检测 qyQPR  
ukzXQe;l1  
4.3.3测量光学玻璃折射率的不均匀性 >x (^g~i  
h&;\   
4.4激光散斑干涉测量 _dIv{L!  
([`-*Hy  
4.4.1散斑的概念 xBR2tDi%  
`61VP-r  
4.4.2散斑照相测量 80c\O-{  
+twJHf_U  
4.4.3散斑干涉测量 8mV`|2>  
YmNBtGhT  
4.4.4电子散斑干涉 =y[eQS$  
j;J4]]R;o  
4.4.5时域散斑干涉 X 4;+`  
+.b~2K1  
4.5散斑干涉测量的应用举例 adHHnH`,  
]C}z3hhk  
习题与思考4 \7jcZ~FBX%  
gy_n=jhi+  
第5章激光衍射和莫尔条纹测量 +w%MwPC7`  
s <Ag8U8  
5.1激光衍射测量基本原理 LtXFGPQf  
V)_mo/D!D  
5.1.1单缝衍射测量 y =G  
L`yS '  
5.1.2圆孔衍射测量 *"q ~z  
$ [M8G   
5.2莫尔条纹测量 !NZFo S~  
Go+f0aig  
5.2.1莫尔条纹的形成原理 0E o*C9FP~  
+Y'(,J  
5.2.2莫尔条纹的基本性质 ;, 'eO i  
Q~te`  
5.2.3莫尔条纹测试技术 CdC&y}u  
rP^2MH"  
5.3衍射光栅干涉测量 k%VV(P]sT  
+'y$XR~W{  
5.3.1衍射光栅干涉测量原理 W5HC7o\4  
[gqV}Y"Md  
5.3.2衍射光栅干涉测量系统与技术 jbMzcn~ehI  
=uMoX -  
5.4X射线衍射测量 ZMy,<wk  
WSWaq\9]8  
5.4.1X射线衍射测量原理 <Mxy&9}ic  
Y{f;qbEQH'  
5.4.2X射线衍射测量材料应力 ]@C&Q,~q  
1`X{$mxw  
习题与思考5 C[|jJ9VE,  
)zz"DH  
第6章机器视觉测量 "N D1$l  
bt-y6,> +E  
6.1摄像机模型 vqJiMa j@Z  
A@f`g[q  
6.2图像处理技术 g()YP  
l" *zr ;#  
6.2.1图像滤波 W7_X=>l  
HT[<~c  
6.2.2图像增强 O F2*zU7M  
<t.yn\G-w  
6.3结构光视觉测量 T%VC$u4F  
j1_CA5V  
6.3.1激光三角法的测量原理 <;=?~QK%-  
ZdY:I;)s  
6.3.2结构光视觉测量系统 }BzV<8F  
> CZ|Vx  
6.3.3点结构光视觉测量原理 ?2E@)7  
K.JKE"j)d  
6.3.4线结构光视觉测量原理 k-*H=km  
Vyf r>pgW1  
6.3.5结构光视觉测量系统的标定方法 q~ T*R<S  
K\,)9:`t  
6.4双目立体视觉测量 _RST[B.u6  
1\$xq9  
6.4.1数学模型 zw_Xh~4"b  
Cz#0Gh>1  
6.4.2双目立体视觉的标定方法 +%UfnbZ  
K_G( J>  
6.5基于相位的视觉测量 ?<%GY dus  
6`J*{%mP  
6.5.1相移形貌测量 -2{NI.-Xd  
Vof[yL `  
6.5.2立体相位偏折测量 .Wc<(pfa  
:54ik,l  
6.6视觉测量的应用举例 )CD4k:bm  
Tuo`>ZA  
6.6.1基于三维视觉检测技术的白车身三维视觉检测系统 %-/[.DYt  
y U =) g  
6.6.2基于机器视觉的焊缝宽度测量方法 J NPEyC  
Fw)#[  
习题与思考6 _)"-zbh}{  
bqWo*>l  
第7章激光测速与测距 +vIpt{733  
&CpxD."8x  
7.1多普勒效应与多普勒频移 "3(""0Q  
iP]KV.e'/C  
7.2激光多普勒测速 ~k^rIjR  
 _zvCc%  
7.2.1激光多普勒测速的基本原理 NTb mI$(  
&)zNu  
7.2.2激光多普勒测速技术 /Nt#|C>  
?#YheML?  
7.2.3激光多普勒测速技术的进展 ,&e0~  
7jL+c~  
7.3激光测距 ^ a^bsKW  
K!Te*?b  
7.3.1脉冲激光测距 %IL] Wz<  
6<u =hhL  
7.3.2相位激光测距 v[{g "C  
dWqKt0uh!  
7.4激光测速和测距应用 mvgsf(a*'  
rofj&{w  
7.4.1车载激光多普勒测速 I$7|?8  
#s>AiD  
7.4.2空间碎片的激光脉冲测距 ]Wr2 IM  
R/ix,GC  
7.4.3飞秒光梳色散干涉测距 }Z#KPI8\Q  
b+Sq[  
习题与思考7 ;)$bhNFHx  
: fMQ,S0  
第8章光纤传感原理与技术 Kh&W\\K  
.);~H#  
8.1概述 =1sGT;>  
8?LsV<  
8.1.1光纤传感的主要类型 i^T@jg+K  
.j^tFvN~L  
8.1.2光纤传感的主要特点 K)b@,/5  
\A7{kI  
8.2光在波导介质中传输的基本理论及规律 |ecK~+  
&n$kVNE  
8.2.1光纤的基本结构 4PK/8^@7)>  
Cm@rX A/  
8.2.2平板波导介质中的光波模式 ]Q0m]OaT  
k;/K']4y  
8.2.3光在光纤中的传输规律 2qd5iOhX+  
}uP`=T!"8  
8.2.4光纤的传输特性 =r|e]4  
wN NXUW  
8.3光纤传感 Z5/*i un  
dynkb901s  
8.3.1强度调制型光纤传感 |"}oGL6-  
BOt1J_;(rO  
8.3.2相位调制型光纤传感 X* 4C?v  
_D+pJ{@W  
8.3.3偏振调制型光纤传感 %#t*3[  
?vt#M^Q   
8.3.4波长调制型光纤传感 ~:FF"T>  
j<NZ4Rf  
8.3.5光纤分布式传感 C)UL{n  
7N:3  
习题与思考8 w#6)XR|+,.  
Ec/&?|$  
第9章激光雷达三维成像技术 /U$5'BoS  
hgg 8r#4q  
9.1激光雷达三维成像原理 i%@blz:_Y  
gn//]|#H+  
9.1.1激光雷达距离方程 Xwp6]lx  
;*%3J$T+  
9.1.2信噪比 t=nZ1GZyM  
L|hELWru  
9.1.3可探测距离 ZLDO&}  
QmgO00{  
9.1.4横向成像参数 <)$&V*\  
UuS6y9@v  
9.2激光三维成像雷达技术 MO^Q 8v  
bG)EZ  
9.2.1机械扫描激光成像雷达 =jEVHIYt  
p40;@gUug  
9.2.2面阵成像激光雷达 'VpzB s#  
*{:Zdg'~E  
9.2.3固态激光成像雷达 tm1#Lh0  
(H^)wDb  
9.2.4非机械扫描激光成像雷达 E "%d O  
8n/8uRIR  
9.3激光雷达三维成像技术的新发展 vpq"mpfkh  
FuC#w 9_  
9.4激光三维成像雷达的应用 .oS[ DTn5S  
F/SYmNp  
习题与思考9 R$h B9BK  
Tw,|ZA4XH  
第10章光学探针测量 iE0x7x P_  
15z(hzU?#  
10.1微观表面形貌测量 S awf]/  
lY&Sx{-  
10.1.1微观表面形貌测量技术的发展 L35]'Jua  
{uDH-b(R  
10.1.2微观表面三维形貌测量的特点 D\^mh{q(  
.],:pL9d  
10.2机械式探针测量 vA"LV+@  
+H:}1sT;n  
10.2.1机械式探针测量基本原理 XuoyB{U  
b_&:tE--]  
10.2.2机械式探针测量系统 { SF'YbY  
h ,\5C/  
10.3光学焦点探测 ,. zHG  
\3&1iA9=)  
10.3.1强度式探测方法 NR,R.N^[  
oI5^.Dr FW  
10.3.2差动探测方法 8d?%9# p-)  
!hFzIp  
10.3.3散光方法 ( Sjlm^bca  
\_(|$Dhq  
10.3.4Foucault方法 .6!cHL3ln  
B)*1[Jf{4  
10.3.5斜光束方法 }uwZS=pw  
;qO3m -(d  
10.3.6共焦方法 75pn1*"gQ  
EQe$~}[  
10.3.7光学焦点探针的特点 'l<Oj&E  
[b+B"f6  
10.4干涉型光学探针测量 l)e6*sDZ,  
|No9eZ8>.  
10.4.1相移干涉光学探针测量方法 jM-7  
27i-B\r  
10.4.2扫描差分干涉光学探针测量方法 O1@3V/.Wu  
v .ow`MO=;  
10.5扫描隧道显微镜 ]s0GAp"  
i[4!% FxB  
10.5.1扫描隧道显微镜的基本原理与系统结构 Py?e+[cN  
ZA&bp{}D  
10.5.2扫描隧道显微镜的功能 u+y3( 0  
s",G w]8  
10.5.3扫描隧道显微镜设计的主要考虑因素 Q,M,^_  
.}GOHW)}  
10.5.4扫描隧道显微镜的新发展与应用 TS`m&N{i")  
._]*Y`5)d  
10.6原子力显微镜 i%GiWanG  
EL%Pv1  
10.6.1AFM的基本硬件组成 S}VN(g  
pHowioFx  
10.6.2AFM的工作原理 iMv):1p>8  
W9{i~.zo  
10.6.3AFM的工作模式  '9'f\  
_>a`dp.19  
10.6.4AFM在力学测量中的应用 aTfc>A;  
2c51kG77E  
10.7扫描近场光学显微镜 s1R#X~d  
L{GlDoFk  
10.7.1扫描近场光学显微技术的基本原理 /3.;sS]B  
A>,kmU5  
10.7.2光子扫描隧道显微镜 {H>Tv,v|  
KMG}VG   
10.7.3扫描近场光学显微镜的基本结构与系统 vM-kk:n7f  
i03=Af3  
10.7.4扫描近场光学显微镜系统的关键技术 GDs/U1[*  
7Le- f  
10.8扫描探针显微镜 x[fp7*TiG  
XZQ-Ig18  
10.8.1NRC的大范围计量型AFM _>)@6srC  
R%~~'/2V  
10.8.2PTB研制的大范围SPM '"XVe+.O  
A6+qS [  
10.9探针式测量仪器的测量分辨力和量程 >0u*E *Y  
<pXOE- G5  
习题与思考10 3UF^Ff<wo  
bl^pMt1fv  
参考文献 V lkJ$f5l  
$m-C6xC/  

许鹏飞 2024-01-04 19:38
好东西
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