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cyqdesign 2024-01-04 09:20

《光学测量原理、技术与应用》

《光学测量原理、技术与应用》以光学测量中光的特性为主线,以光学测量方法与技术为中心,全面介绍了光学测量涉及的基本理论、测量原理与方法、技术特点与典型应用等。全书共10章,第1章介绍光学测量的基本知识,第2~5章分别介绍光干涉测量、激光准直与跟踪测量、激光全息与散斑测量、激光衍射和莫尔条纹测量; 第6章介绍机器视觉测量; 第7章介绍激光测速与测距; 第8章介绍光纤传感原理与技术; 第9章介绍激光雷达三维成像技术; 第10章介绍光学探针测量。 dt%waM!  
q|xJ)[AO  

[attachment=124599]
H48`z'o  
第1章光学测量的基础知识 u^&2T(xG i  
 [R:\  
1.1基本概念、基本方法、应用领域及发展趋势 t=J WD2  
, g\%P5  
1.1.1基本概念 {fW(e?8)  
"$#X[ .  
1.1.2误差与测量不确定度 !l-^JPb  
?UuJk  
1.1.3基本构成 JFf*v6:,  
P0WI QG+  
1.1.4主要应用范围 :d\ne  
sJu^deX  
1.1.5基本方法 / V}>v  
^o^[p %  
1.1.6发展趋势 O CIWQ/ P  
Gu?O yL  
1.2光学测量中的常用光源 QwPL y O  
y8=p;7DY  
1.2.1光源选择的基本要求和光源的分类 r6k0=6i  
BBnW0vAZ*  
1.2.2热光源 b/65Q&g'  
Ln-/ 9'^  
1.2.3气体放电光源 _' KJ:3e  
-v"\WmcS  
1.2.4固体发光光源  mkH {%7n  
C":i56  
1.2.5激光光源 G&8)5d[  
+iKs)s_~  
1.3光学测量中的常用光学器件 x|C[yu^c  
rS1mBrqD  
1.3.1激光准直镜 Teq1VK3Hr  
4pNIsjl}  
1.3.2分光镜 #m yiZL %  
z/09~Hc  
1.3.3偏振分光镜 Ws2SD6!4`  
|KEq-  
1.3.4波片 ~a@O1MB  
R&Mv|R   
1.3.5角锥棱镜 fT9z 4[M  
Ucnj7>+"  
1.3.6衍射光栅 rw> X JE  
%@JNX}Y'  
1.3.7调制器 f`Km ctI  
i=67  
1.3.8光隔离器 /O@'XWW  
W[B%,Km%]  
1.4光学测量中的常用光电探测器 pZ4]K xX@  
` @.  
1.4.1常用光电探测器的分类 7)iB6RB K  
qbu>YTj  
1.4.2光电探测器的主要特性参数 Z#H] yG  
?1%/G<  
1.4.3常用光电探测器介绍 _m3}0q  
K5X,J/n  
1.5光学测量系统中的噪声和常用处理电路 NR3]MGBKv  
(pY'v /a-  
1.5.1光学测量系统中的噪声 F<SCW+>z2a  
qm30,$\c`~  
1.5.2光学测量系统中的常用处理电路 X; $g7A  
!YUMAp/  
1.6光学测量中的常用调制方法与技术 ERSo&8  
YbS$D  
1.6.1概述 ="%nW3e@  
BGAqg=nDV  
1.6.2机械调制法 )C>4? )  
]WLQ q4q  
1.6.3利用物理光学原理实现的光调制技术 Ec !fx\  
eK]g FXk  
习题与思考1 4 yLC  
 B _;W!  
第2章光干涉测量 f n]rMH4>  
:=J~t@  
2.1光干涉基础知识 xDRNtLj<u  
~lB im$o  
2.1.1光的干涉条件 w]n ,`r^  
]7H ?  
2.1.2干涉条纹的形状 L`"PaIMz  
'k|?M  
2.1.3干涉条纹的对比度 z\iz6-\&y  
HK~uu5j  
2.1.4产生干涉的途径 Bvbv~7g (  
R <kh3T  
2.2波面干涉测量 \W^Mo>l  
Ie3 F  
2.2.1概述 ce/Z[B+d  
$i# 1<Qj  
2.2.2泰曼格林干涉仪 fBgW0o.Bu  
7MX nt5qUh  
2.2.3移相干涉仪 Xy_ <Yqx}  
B o@B9/ABv  
2.2.4共路干涉仪 U}9B wr^  
^4jIT1  
2.3激光干涉仪 X^L)5n+$X  
uXxc2}  
2.3.1迈克尔逊干涉仪 -b1VY4m-  
"wk~[>  
2.3.2实用激光干涉仪主要部件的作用原理 P38D-fLq  
qEd!g,Sx  
2.3.3实用激光干涉仪的实际构成和常见光路 C[cNwvz  
l}|KkW\y  
2.4白光干涉仪 ~N</;{}fL4  
KEfn$\  
2.5外差式激光干涉仪 jI`1>>N&1  
EH;w <LvT  
2.5.1概述 E_VLI'Hn?  
_J<^'w^;%  
2.5.2双频激光干涉仪 Vq)6+n8o  
GWs[a$|  
2.5.3激光测振仪 D@[Mk"f  
n}8J-/(|+  
2.6激光自混合干涉测量 KH4 5A'o  
.A;D-"!  
2.7绝对长度干涉计量 u&Ze$z  
],rtSUO  
2.7.1柯氏绝对光波干涉仪 b >R/=tx  
M[wd.\ %  
2.7.2激光无导轨测量 9S"c-"y\#  
'B;aXy/JC  
2.8激光干涉测量的重大应用举例 fV[(s7vW  
Y6(I %hE`  
2.8.1激光干涉测量引力波 + V:P-D  
8= jl]q$<  
2.8.2光刻机工件台六自由度超精密测量 YyR)2j1O  
?y( D_NtL  
习题与思考2 bv&A)h"S  
EYc, "'  
第3章激光准直与跟踪测量 0Xmp)_vba  
'n> ,+,&  
3.1概述 u(ep$>[F#_  
/|{Yot e  
3.1.1激光准直测量基本原理 y( M-   
_C` cO  
3.1.2激光准直测量系统的组成 k(n{$  
#bX~.jKW  
3.2激光测量直线度原理 % j],6wW5J  
LqnN5l@ _B  
3.2.1直线度测量概述 ?2ZggV  
o XA3 i  
3.2.2激光测量直线度方法 }kg?A oo  
\I r&&%  
3.2.3直线度测量误差分析 m&)5QX  
pDr%uL  
3.3激光同时测量多自由度误差 cr!6qv1  
74*1|S <  
3.3.1滚转角测量 Vl;GQe  
K-Bf=7F,  
3.3.2四自由度误差同时测量 b2;+a(  
>t2E034_  
3.3.3五自由度误差同时测量 Ux_tHyc/  
19od# d3+  
3.3.4六自由度误差同时测量 neW_mu;~Z  
fuM+{1}/E  
3.3.5激光跟踪测量 %GUu{n<6  
A|sTnhp~  
习题与思考3 oY@4G)5  
h>v;1Q O9D  
第4章激光全息与散斑测量 wN,DTmtD  
K5U=%z  
4.1全息术及其基本原理 @fR^":.h  
ajIgL<x  
4.1.1全息术基本原理 9g3J{pKcZ  
6Q]c]cCu  
4.1.2全息图的类型 h?wNmLre  
V$u~}]z  
4.1.3全息设备基本构成 uLV@D r   
*ayn<Vlh`^  
4.2激光全息干涉测量 %MyA;{-F6  
Sfc0 ~1  
4.2.1单次曝光法 aaq{9Y#  
UkrqHHpy  
4.2.2二次曝光法 ;2"#X2B  
YH33E~f  
4.2.3时间平均法 EL+6u>\- k  
loVUB'OSv  
4.3激光全息干涉测量的应用 ?c)PBJ+]  
XHu Y'\;-  
4.3.1位移和形状检测 Z&W|O>QTl  
=G9%Hz5~:  
4.3.2缺陷检测 Z5juyzj  
,)mqd2)+"  
4.3.3测量光学玻璃折射率的不均匀性 yoTbIQ  
&Im{p7gf!b  
4.4激光散斑干涉测量 +5Z0-N@  
v)@EK6Nty  
4.4.1散斑的概念 4,L(  
~S}>|q$  
4.4.2散斑照相测量 0T2h3,  
gwk$|aT@  
4.4.3散斑干涉测量 $Z)Dvy|  
c;_GZ}8  
4.4.4电子散斑干涉 .J' 8d"+  
|+Z, 7~!  
4.4.5时域散斑干涉 !=C4=xv  
87%t=X  
4.5散斑干涉测量的应用举例 jR7 , b5  
Izq]nR  
习题与思考4 >E^?<}E~.  
}J .f 5WaG  
第5章激光衍射和莫尔条纹测量 \KfngYD]W  
"pq#A*  
5.1激光衍射测量基本原理 9 v)p0  
|M|'S~z  
5.1.1单缝衍射测量 ($*bwqp]}  
b Jt397  
5.1.2圆孔衍射测量 9 O| "Ws>{  
)#[?pYd  
5.2莫尔条纹测量 ^ ab%Mbb  
"!<Kmh5  
5.2.1莫尔条纹的形成原理 R`ajll1  
6N(Wv0b $  
5.2.2莫尔条纹的基本性质 log{jF  
7uJy<O  
5.2.3莫尔条纹测试技术 DG8]FhD^b  
,p\^n`A32  
5.3衍射光栅干涉测量 @K36?d]e  
[7B:{sH  
5.3.1衍射光栅干涉测量原理 Mt)~:V+:  
`*e',j2}UU  
5.3.2衍射光栅干涉测量系统与技术 ^_3idLE  
+]H9:ARI  
5.4X射线衍射测量 ghd~p@4  
V1Dwh@iS  
5.4.1X射线衍射测量原理 dA> t  
| Q:$G!/  
5.4.2X射线衍射测量材料应力 XG ]yfux`  
=]E(iR_&  
习题与思考5 QQP bKok>  
e8gJ }8Fj  
第6章机器视觉测量 QlI g'B6  
CF9a~^+%  
6.1摄像机模型 t/WauY2JUC  
,GXwi|Y  
6.2图像处理技术 :FwXoJc_+5  
QU16X  
6.2.1图像滤波 [P8Y  
%KNnss}  
6.2.2图像增强 }MY7<sMDOy  
raY5 nc{  
6.3结构光视觉测量 ~R-S$qizAC  
CyO2Z  
6.3.1激光三角法的测量原理 '{XDhK  
gbwKT`N*  
6.3.2结构光视觉测量系统 `x$d8(1J`#  
,WA7Kp9  
6.3.3点结构光视觉测量原理 t5N@ z  
*3WK:0  
6.3.4线结构光视觉测量原理 ;YNN)P%"  
~\4l*$3(^  
6.3.5结构光视觉测量系统的标定方法 LtbL[z>]  
l_iucN  
6.4双目立体视觉测量 4;Z`u.1  
HxAq& J;xu  
6.4.1数学模型 A=!&2(  
3  8pw  
6.4.2双目立体视觉的标定方法 7}-.U=tnP  
2\l7=9 ]\3  
6.5基于相位的视觉测量 %!%3jo0t  
J}EQ_FC"$  
6.5.1相移形貌测量 Gnp,~F"  
][S<M24]Q  
6.5.2立体相位偏折测量 N72z5[..  
cy7GiB2'  
6.6视觉测量的应用举例 <F+S}!q  
9_ JK.  
6.6.1基于三维视觉检测技术的白车身三维视觉检测系统 p.TR1BHw  
mu)?SGpyE  
6.6.2基于机器视觉的焊缝宽度测量方法 u /JEQz1  
^i_mGeu  
习题与思考6 j]rE0Og  
?|TVz!3  
第7章激光测速与测距 pA3j@w  
f}^}d"&F  
7.1多普勒效应与多普勒频移 LdR}v%EH  
uzG<(Q pu  
7.2激光多普勒测速 ]0by6hQ  
iI+kZI-  
7.2.1激光多普勒测速的基本原理 }cgEC-  
WqqrfzlM  
7.2.2激光多普勒测速技术 MHVqRYz  
cKh{ s  
7.2.3激光多普勒测速技术的进展 'P32G?1C&p  
l -_voOP  
7.3激光测距 VF!?B>  
\hQ[5>  
7.3.1脉冲激光测距 ]kbmbO?M  
tvP_LNMF  
7.3.2相位激光测距 Qc\JUm]  
X3(:)zUL  
7.4激光测速和测距应用 Namw[Tg J  
T9KzVxHp5  
7.4.1车载激光多普勒测速 Z/sB72K1  
h|yv*1/|  
7.4.2空间碎片的激光脉冲测距 [|d:QFx  
r1EccY  
7.4.3飞秒光梳色散干涉测距 {,*G }/9<  
x?KgEcnw2X  
习题与思考7 Dk&cIZ43  
;WJ}zjo >  
第8章光纤传感原理与技术 /tc*jXB  
F)j-D(c4  
8.1概述 mC n,I  
UA>~xJp=  
8.1.1光纤传感的主要类型 5xwztcR-  
*GbC`X)  
8.1.2光纤传感的主要特点 ylLQKdcL  
9bl&\Ykt.  
8.2光在波导介质中传输的基本理论及规律 r|:|\"Yk  
T2Z;)e$m_  
8.2.1光纤的基本结构 i]Lt8DiRq  
<?&GBCe  
8.2.2平板波导介质中的光波模式 9'o!9_j  
:1q+[T/ @  
8.2.3光在光纤中的传输规律 :HYqm*v;W  
@y;N u   
8.2.4光纤的传输特性 GbwcbfH  
*;Dd:D9  
8.3光纤传感 %O%+TR7Z  
YM 0f_G=  
8.3.1强度调制型光纤传感 I$\dT1m$  
l2+qP{_4  
8.3.2相位调制型光纤传感 %Xh/16X${  
<wFR%Y/j  
8.3.3偏振调制型光纤传感 v{i'o4  
8*6vX!Z|  
8.3.4波长调制型光纤传感 >J[g)$,  
-\6tVF11z  
8.3.5光纤分布式传感 Id *Gs>4U  
>{~W"  
习题与思考8 }$hxD9z  
|0U"#xkf  
第9章激光雷达三维成像技术 eQx9 Vnb  
"L1cHP~d  
9.1激光雷达三维成像原理 oylY1~~}0K  
+&jWM-T"-  
9.1.1激光雷达距离方程 [V  T&  
RU,f|hB 4  
9.1.2信噪比 Z_QSVH68A  
k sJz44  
9.1.3可探测距离 XrYMv WT  
 02Ur'|  
9.1.4横向成像参数 T[N:X0  
xQ>c.}J/i  
9.2激光三维成像雷达技术 %RL\t5 TV  
6i( V+  
9.2.1机械扫描激光成像雷达 fa=#S  
3%/]y=rA  
9.2.2面阵成像激光雷达 /wK5YN.em  
j2cLb  
9.2.3固态激光成像雷达 U u(ysN4`  
KwN o/x| v  
9.2.4非机械扫描激光成像雷达 &32qv` V_  
YPDc /  
9.3激光雷达三维成像技术的新发展 mn{8"@Z  
nZfTK>)A0  
9.4激光三维成像雷达的应用 +uM1#-+h  
{:IOTy  
习题与思考9 Bz_['7D  
3I^KJ/)A  
第10章光学探针测量 4))u*c/,  
>@[`,  
10.1微观表面形貌测量 c,Zs. kC  
`4.Wdi-Si  
10.1.1微观表面形貌测量技术的发展 ]cc4+}L~  
5>t&)g  
10.1.2微观表面三维形貌测量的特点 yc+#LZ~(a  
/_rQ>PgSZW  
10.2机械式探针测量 7$z")JB  
:bE ^b  
10.2.1机械式探针测量基本原理 ^LfCLI9Z  
=w?-R\  
10.2.2机械式探针测量系统 NS#qein~i  
7,!Mmu  
10.3光学焦点探测 K)]7e?:Wu  
yrdJX  
10.3.1强度式探测方法 D2[wv+#)  
H:`W\CP7_  
10.3.2差动探测方法 RI:x`do  
1T%Y:0  
10.3.3散光方法 PkLRQ}  
% rdW:  
10.3.4Foucault方法 v>c[wg9P  
f/Grem  
10.3.5斜光束方法 =9\=5_V  
jHT4I>\  
10.3.6共焦方法 @@*->  
DvG.G+mo#  
10.3.7光学焦点探针的特点 +#6WORH0S  
Vvm6T@b M8  
10.4干涉型光学探针测量 gu/eC  
pCb@4n b  
10.4.1相移干涉光学探针测量方法 $9y]>R  
s2@N&7"u)  
10.4.2扫描差分干涉光学探针测量方法 o2 W pi  
Gc~A,_(  
10.5扫描隧道显微镜 $.QnM  
,4NvD2Y  
10.5.1扫描隧道显微镜的基本原理与系统结构 HLN rI0  
}1`Rq?@J  
10.5.2扫描隧道显微镜的功能 ~1S7\e7{  
37ll8  
10.5.3扫描隧道显微镜设计的主要考虑因素 e[i&2mM  
FMwT4]y  
10.5.4扫描隧道显微镜的新发展与应用 xii*"n~  
)3.udx  
10.6原子力显微镜 Umv_{n`  
Wv77ef  
10.6.1AFM的基本硬件组成 ve1jLjsB  
Y3-Tg~/~W  
10.6.2AFM的工作原理 )P[B!  
1|;WaO1Q  
10.6.3AFM的工作模式 s$C;31k  
CUnZ}@?d  
10.6.4AFM在力学测量中的应用 lDe9EJR  
g"2@E  
10.7扫描近场光学显微镜 |O+R%'z'<  
XC?H  
10.7.1扫描近场光学显微技术的基本原理 {AO3o<-h  
-njxc{b  
10.7.2光子扫描隧道显微镜 9=rYzA?)+  
%p/Qz|W  
10.7.3扫描近场光学显微镜的基本结构与系统 vW"x)~B  
U> e@m?  
10.7.4扫描近场光学显微镜系统的关键技术 , $}P<WZMu  
L^RyJ;^c  
10.8扫描探针显微镜 xE9^4-Px*  
-3wg9uZ &  
10.8.1NRC的大范围计量型AFM &VR<'^>  
qI<*Cze  
10.8.2PTB研制的大范围SPM ?TMo6SU  
0K7-i+\#  
10.9探针式测量仪器的测量分辨力和量程 %T}{rU~X  
] X%bU*4  
习题与思考10 q1r\ 60M  
`gfK#0x#  
参考文献 /J/r62  
++R-_oQ  

许鹏飞 2024-01-04 19:38
好东西
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