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cyqdesign 2024-01-04 09:20

《光学测量原理、技术与应用》

《光学测量原理、技术与应用》以光学测量中光的特性为主线,以光学测量方法与技术为中心,全面介绍了光学测量涉及的基本理论、测量原理与方法、技术特点与典型应用等。全书共10章,第1章介绍光学测量的基本知识,第2~5章分别介绍光干涉测量、激光准直与跟踪测量、激光全息与散斑测量、激光衍射和莫尔条纹测量; 第6章介绍机器视觉测量; 第7章介绍激光测速与测距; 第8章介绍光纤传感原理与技术; 第9章介绍激光雷达三维成像技术; 第10章介绍光学探针测量。 b6ddXM\Z  
H'.d'OE:I  

[attachment=124599]
7+bzCDKU  
第1章光学测量的基础知识 #SmWF|/  
OWzIea@  
1.1基本概念、基本方法、应用领域及发展趋势 OZD/t(4?6s  
D.~t#a A  
1.1.1基本概念 kaLRI|hC  
]n_A~Y r  
1.1.2误差与测量不确定度 $Z4p$o dk  
Et (prmH  
1.1.3基本构成 D3OV.G]`  
RPu-E9g@  
1.1.4主要应用范围 SF7Kb`>Y  
}Z|a?J@CZm  
1.1.5基本方法 (46)v'?  
!ibp/:x  
1.1.6发展趋势 5sH ee,  
7pNh|#Uv'  
1.2光学测量中的常用光源 ur|2FS7  
TBzM~y  
1.2.1光源选择的基本要求和光源的分类 ,yoT3_%P  
\[BnAgsF  
1.2.2热光源 %A Fy{l  
&}oDSD H^,  
1.2.3气体放电光源 |N*>K a;  
N78Ev7PN  
1.2.4固体发光光源 PSE![whK  
MB)xL-jO  
1.2.5激光光源 &1&*(oi]X  
JQb]mU%?  
1.3光学测量中的常用光学器件 \Z$*8z=  
?s//a_nL*  
1.3.1激光准直镜 "](~VF[J8  
AQ&;y&+QR  
1.3.2分光镜 t9kgACo/M  
`fH6E8N  
1.3.3偏振分光镜 z K&`&("4C  
t?s1@}G^  
1.3.4波片 ci!c7 ,'c  
y~\z_') <>  
1.3.5角锥棱镜 >y?$aJ8ZV  
jH8F^KJM[  
1.3.6衍射光栅 \%)p7PNY  
#>0nNR[$Y  
1.3.7调制器 8yd OS  
+mY(6|1  
1.3.8光隔离器 K \O,AE  
<rU(zm  
1.4光学测量中的常用光电探测器 UwLa9Dn^  
?h {&  
1.4.1常用光电探测器的分类 b@7 ItzD  
^71sIf;+  
1.4.2光电探测器的主要特性参数 'F@'4[uda  
A 9u9d\  
1.4.3常用光电探测器介绍 js{ RaR=  
uB%`Bx'OW  
1.5光学测量系统中的噪声和常用处理电路 Y!5-WX H  
+2vcUy  
1.5.1光学测量系统中的噪声 ]8RcZn  
?vXy7y&4  
1.5.2光学测量系统中的常用处理电路 %l>^q`p  
qwN-VCj  
1.6光学测量中的常用调制方法与技术 5n_<)Ycj  
YcIk{_N3  
1.6.1概述 6 ,!]x>B  
hgm`6TQ  
1.6.2机械调制法 \=.iM?T  
=4?m>v,re  
1.6.3利用物理光学原理实现的光调制技术 GSk;~^l  
$ED<:[3N  
习题与思考1 HxkhlNB  
wqw$6"~  
第2章光干涉测量 4h-y'&Z  
"]sr4Jg=  
2.1光干涉基础知识  3o z]  
_Ab|<!a/R  
2.1.1光的干涉条件 5R qkAC  
LNe- ]3wB  
2.1.2干涉条纹的形状 s{gdTG6v`  
Up8#Nz T  
2.1.3干涉条纹的对比度 f7mI\$CN  
4re^j4L~o  
2.1.4产生干涉的途径 Ra.<D.  
9'}m797I'  
2.2波面干涉测量 QH+Oi&xH  
pZXva9bE  
2.2.1概述 cd\0  
6%:N^B=%}  
2.2.2泰曼格林干涉仪 z55P~p  
@dGj4h.  
2.2.3移相干涉仪 p!173y,nL  
hMdsR,Iq  
2.2.4共路干涉仪 h T4fKc7P  
3rs=EMz:w  
2.3激光干涉仪 U)N;=gr\  
|XPT2eQ{  
2.3.1迈克尔逊干涉仪 k{uc%6s  
kZfO`BVL  
2.3.2实用激光干涉仪主要部件的作用原理 \!`*F :7]-  
+[:}<^p?cG  
2.3.3实用激光干涉仪的实际构成和常见光路 nXXyX[c4e  
{,,w5/k^  
2.4白光干涉仪 Y8(g8RN  
=Bl#CE)X  
2.5外差式激光干涉仪 !RAyUfS  
rT <=`9^{  
2.5.1概述 j$BM$q/c  
)0YMi!&j`  
2.5.2双频激光干涉仪 N_h)L`  
yo3'\I  
2.5.3激光测振仪 m;k' j@:  
|K7JU^"OQ  
2.6激光自混合干涉测量 Q@nxGm  
g?)9zJ9  
2.7绝对长度干涉计量 y~jTI[kS  
c)+IX;q-C  
2.7.1柯氏绝对光波干涉仪 y1B3F5  
t\S}eoc  
2.7.2激光无导轨测量 Y ~xcJH  
u<:R Sg  
2.8激光干涉测量的重大应用举例 u9_ Fjm}&  
zN0^FXGD  
2.8.1激光干涉测量引力波 P'R!" #  
eE+zL ~CE  
2.8.2光刻机工件台六自由度超精密测量 Sm{idky)[  
@ITJ}e4  
习题与思考2 C&D!TR!K  
vaW, O/F  
第3章激光准直与跟踪测量 {b}Ri&oEOH  
b~z1%?  
3.1概述 n'K,*  
twq!@C  
3.1.1激光准直测量基本原理 +m^ gj:yL  
=bi:<%"  
3.1.2激光准直测量系统的组成 qn5e[Vn  
:D""c*  
3.2激光测量直线度原理 sFsp`kf  
oqc89DEbJ  
3.2.1直线度测量概述 eF823cH2x_  
BRLrD/8Le  
3.2.2激光测量直线度方法 N`h,2!(j  
ZBUEg7c  
3.2.3直线度测量误差分析 S-NKT(H)c  
|#^wYZO1U  
3.3激光同时测量多自由度误差 `A_CLVE  
@G@,)`p4?  
3.3.1滚转角测量 ^~'tQ}]!"  
G~5EAeG  
3.3.2四自由度误差同时测量 dDK4I3a  
}6*+>?  
3.3.3五自由度误差同时测量 6vAq&Y{JB'  
R*|y:T,H  
3.3.4六自由度误差同时测量 c07'mgsU  
.jA'BF.  
3.3.5激光跟踪测量 >slD.rb]  
P MV;A{T  
习题与思考3 @ qy n[C  
,@!io  
第4章激光全息与散斑测量 2.)xWCG  
_4Z|O]  
4.1全息术及其基本原理 6[b'60CuZL  
#bc$[%_  
4.1.1全息术基本原理 C-O~Oil  
6Lj=%&  
4.1.2全息图的类型 O< [h  
?-C=_eZJ  
4.1.3全息设备基本构成 BPs|qb-  
X$Eg(^La  
4.2激光全息干涉测量 5-qk"@E W  
I8~ .Vu2  
4.2.1单次曝光法 <q\OREMsq  
O =m_P}K  
4.2.2二次曝光法 7~&  
Ck.LsL-  
4.2.3时间平均法 Sp/t[\,'  
.\)`Xj[?  
4.3激光全息干涉测量的应用 Jy<hTd*q  
l ld,&N8  
4.3.1位移和形状检测 i82sMN1jl7  
JV_VF'  
4.3.2缺陷检测 K ?uH Am  
^#i3JMq  
4.3.3测量光学玻璃折射率的不均匀性 m-T@Og  
3<F\ 5|  
4.4激光散斑干涉测量 I "Qf};n  
d ?Uj3G  
4.4.1散斑的概念 p6S{OUiG  
+\Uq=@  
4.4.2散斑照相测量 NSs"I]  
fL$U%I3  
4.4.3散斑干涉测量 l/*NscYtQ  
im,H|u_f4  
4.4.4电子散斑干涉 [Ey[A|g  
Lsu_ f'p0  
4.4.5时域散斑干涉 ]cQYSN7!SY  
s|HpN  
4.5散斑干涉测量的应用举例 fhwJ  
?`T0zpC  
习题与思考4 XS#Jy n  
Y["aw&;#O\  
第5章激光衍射和莫尔条纹测量 ke\gzP/  
Sjb[v  
5.1激光衍射测量基本原理 !V.2~V[^M  
?58,Ja  
5.1.1单缝衍射测量 )\aCeY8o  
:<}1as! eo  
5.1.2圆孔衍射测量 [d d KC)tA  
"%zb>`1s  
5.2莫尔条纹测量 IN^dJ^1+  
Q H>e_  
5.2.1莫尔条纹的形成原理 L/Tsq=  
<ztcCRov  
5.2.2莫尔条纹的基本性质 sOVbz2 \yb  
reP)&Fo  
5.2.3莫尔条纹测试技术 npCiqO  
2K:Rrn/cR  
5.3衍射光栅干涉测量 W^e"()d/Z  
[LF<aR5  
5.3.1衍射光栅干涉测量原理 tRtoA5  
r+RFDg/  
5.3.2衍射光栅干涉测量系统与技术 ~7 w"$H8  
9B)<7JJX!J  
5.4X射线衍射测量 w|,BTM:e  
B0+r  
5.4.1X射线衍射测量原理 *`]#ntz9  
5mqwNAv  
5.4.2X射线衍射测量材料应力 9cqq"-$G`  
\8^c"%v,:  
习题与思考5 xfzGixA  
XG!s+ShFV  
第6章机器视觉测量 0rrNVaM  
O~*`YsL9  
6.1摄像机模型 ).$q9G  
dje}C bZ  
6.2图像处理技术 'kb|!  
x=I|O;"><  
6.2.1图像滤波 `b:yW.#w3l  
h uIvXl  
6.2.2图像增强 Ze.\<^-t  
)`z{T  
6.3结构光视觉测量 4\Q pS  
# ? _8 *?  
6.3.1激光三角法的测量原理 ^[g7B"`K5  
U(6=;+q  
6.3.2结构光视觉测量系统 %AJTU3=0  
Ri<'apl  
6.3.3点结构光视觉测量原理 hk.vBbhs  
`#3FvP@&  
6.3.4线结构光视觉测量原理 pNNvg,hS8  
o6ag{Yp  
6.3.5结构光视觉测量系统的标定方法 $6DA<v^=z  
gp(: o$  
6.4双目立体视觉测量 N <e72x  
@,Kl"i;  
6.4.1数学模型 /^\UB fE  
X3zpU7`Av+  
6.4.2双目立体视觉的标定方法 Z=.$mFE\  
mmvo >F"  
6.5基于相位的视觉测量 f=--$o0U~  
7^FJ+gN8b  
6.5.1相移形貌测量 mx=2lL`  
n6C]JWG\/U  
6.5.2立体相位偏折测量 61pJVOe  
/v-:ca)7mI  
6.6视觉测量的应用举例 5H79-QLd  
=im7RgIBo  
6.6.1基于三维视觉检测技术的白车身三维视觉检测系统 6F:< c  
i$gH{wn\`  
6.6.2基于机器视觉的焊缝宽度测量方法 R>;m6Rb_  
c`O(||UZT  
习题与思考6 !m:rtPD'  
vw)lD9-"  
第7章激光测速与测距 ^_ST#fFS  
UfSqiu  
7.1多普勒效应与多普勒频移 @<ILF69b  
U#6<80Ke  
7.2激光多普勒测速 =berCV  
l|j}Ggen  
7.2.1激光多普勒测速的基本原理 PHR:BiMZ  
DkJ "#8Yl=  
7.2.2激光多普勒测速技术 -$sVqR>_  
0WI@BSHnM  
7.2.3激光多普勒测速技术的进展 uW0Dm#  
B1i&HoGbz  
7.3激光测距 jz$ ]"\G#  
?aWMU?S  
7.3.1脉冲激光测距 D^ )?*(  
z(eAhK}6?  
7.3.2相位激光测距 %EE Q ^lm  
u3vM!  
7.4激光测速和测距应用 1LVO0lT  
d;hv_h  
7.4.1车载激光多普勒测速 .D{He9  
0Zh]n;S3m  
7.4.2空间碎片的激光脉冲测距 D~b_nFD  
`e4gneQY  
7.4.3飞秒光梳色散干涉测距 Fk#$@^c@  
e#odr{2#4u  
习题与思考7 9Q>85IiT  
2y5d  
第8章光纤传感原理与技术 m[DCA\M o@  
N4)ZPLV  
8.1概述 @hwe  
W 9!K~g_  
8.1.1光纤传感的主要类型 ^m ['VK#?  
*CCh\+S7m  
8.1.2光纤传感的主要特点 e+<'=_x {  
?/q\S  
8.2光在波导介质中传输的基本理论及规律 Om_- #S  
=/Ph ]f9  
8.2.1光纤的基本结构 @!Rklhb  
-dS@ l'$  
8.2.2平板波导介质中的光波模式 T#GTNk!v  
;6M [d  
8.2.3光在光纤中的传输规律 'E"W;#%  
"A]#KTP  
8.2.4光纤的传输特性 } 89-U  
$X,dQ]M  
8.3光纤传感 8/k"A-m  
M(?0c}z  
8.3.1强度调制型光纤传感 %J L P=(  
<,*3Av  
8.3.2相位调制型光纤传感 iAo/Dnp2J  
Y?ZzFd,i&  
8.3.3偏振调制型光纤传感 2b K1.BD  
JbAmud,  
8.3.4波长调制型光纤传感 ]d~2WX Y  
}<^QW't_Y  
8.3.5光纤分布式传感 oA?EJ~%  
=O3)tm;  
习题与思考8 K\FLA_J  
h [@}} 6  
第9章激光雷达三维成像技术 *x:*Q \|  
 ejc>  
9.1激光雷达三维成像原理 _2TL>1KZt  
@`qB[<t8:<  
9.1.1激光雷达距离方程 l b;P&V  
.C` YO2,  
9.1.2信噪比 Tje(hnN  
@N ]]Cf>x  
9.1.3可探测距离 U!(es0rX  
>Ptu-*  
9.1.4横向成像参数 {&J~P&,k  
pxn@rN#*  
9.2激光三维成像雷达技术 YmCu\+u  
R.cR:fA  
9.2.1机械扫描激光成像雷达 0xY</S  
bct8~dY  
9.2.2面阵成像激光雷达 JvK]EwR ;  
q ~^!Ck+#*  
9.2.3固态激光成像雷达 FGzKx9I9  
s (K SN/  
9.2.4非机械扫描激光成像雷达 ^HxIy;EQ<z  
CXi[$nF3  
9.3激光雷达三维成像技术的新发展 fW[ .Q0  
+D2I~hC0'  
9.4激光三维成像雷达的应用 LmytO$?2(  
c8T| o=`k6  
习题与思考9 [r!f&R  
0U~*uDU  
第10章光学探针测量 H'JU5nE  
80ox$U  
10.1微观表面形貌测量 OJd/#KFm  
f!#+cM  
10.1.1微观表面形貌测量技术的发展 l))Q/8H  
yO}5.  
10.1.2微观表面三维形貌测量的特点 K:^0*5Y-k  
S@g(kIo]  
10.2机械式探针测量 k?$I4&|5Nt  
I _gE`N  
10.2.1机械式探针测量基本原理 T2 S fBs  
|-;VnC&UY  
10.2.2机械式探针测量系统 ]x{.qTtw  
LM+d3|gSV  
10.3光学焦点探测 P8Wv&5A  
QZtQogNy#  
10.3.1强度式探测方法 ~d].<Be  
S8Y\@C?5  
10.3.2差动探测方法 l&}}Io$?@  
[h8s0  
10.3.3散光方法 `<7!Rh,tS^  
v+I-*,R  
10.3.4Foucault方法 #=VYq4B=  
G[`1Yw$  
10.3.5斜光束方法 J/O{x  
=#v? }JG  
10.3.6共焦方法 P#,;)HF  
X6",Xr! {  
10.3.7光学焦点探针的特点 <N1wET-  
dFF=-_O>  
10.4干涉型光学探针测量 /isalOT  
]8}51y8  
10.4.1相移干涉光学探针测量方法  ?C#E_  
x M(H4.<  
10.4.2扫描差分干涉光学探针测量方法 B\v+C!/f |  
NcP/W>lN  
10.5扫描隧道显微镜 TS#[[^!S  
Z&Ciy n  
10.5.1扫描隧道显微镜的基本原理与系统结构 .w;kB}$YC  
NC#F:M;b  
10.5.2扫描隧道显微镜的功能 __2<v?\  
h%krA<G9  
10.5.3扫描隧道显微镜设计的主要考虑因素 IHYLM;@L  
jx]P:]  
10.5.4扫描隧道显微镜的新发展与应用 T*f/M  
xEp?|Q$  
10.6原子力显微镜 5&V=$]t  
W3:Fw6v  
10.6.1AFM的基本硬件组成 aPVzOBp  
-cM1]soT  
10.6.2AFM的工作原理 USEb} M`  
iN[x *A|h  
10.6.3AFM的工作模式 dF\#:[B  
Q-n8~Ey1a  
10.6.4AFM在力学测量中的应用 pYx,*kG:HW  
) ](ls@*  
10.7扫描近场光学显微镜 xwf-kwF8^  
+yp:douERi  
10.7.1扫描近场光学显微技术的基本原理 <;6{R#Tuh  
pA ~} _  
10.7.2光子扫描隧道显微镜 u3C_Xz  
M'PZ{6;  
10.7.3扫描近场光学显微镜的基本结构与系统 b,E?{uG  
;^5k_\  
10.7.4扫描近场光学显微镜系统的关键技术 {aUnOyX_  
_cX}!d!j  
10.8扫描探针显微镜 A~2)ZdAN  
W<r<K=`5P  
10.8.1NRC的大范围计量型AFM t$18h2yOL  
N2v/<  
10.8.2PTB研制的大范围SPM S^eem_C  
6 Rl[M+Q  
10.9探针式测量仪器的测量分辨力和量程 .9r YBy  
5 wrRtzf  
习题与思考10 9%"7~YCDas  
#$I@V4O;#  
参考文献 j#1G?MF  
Yv5H41o"  

许鹏飞 2024-01-04 19:38
好东西
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