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cyqdesign 2024-01-04 09:20

《光学测量原理、技术与应用》

《光学测量原理、技术与应用》以光学测量中光的特性为主线,以光学测量方法与技术为中心,全面介绍了光学测量涉及的基本理论、测量原理与方法、技术特点与典型应用等。全书共10章,第1章介绍光学测量的基本知识,第2~5章分别介绍光干涉测量、激光准直与跟踪测量、激光全息与散斑测量、激光衍射和莫尔条纹测量; 第6章介绍机器视觉测量; 第7章介绍激光测速与测距; 第8章介绍光纤传感原理与技术; 第9章介绍激光雷达三维成像技术; 第10章介绍光学探针测量。 !EOQhh  
ca(U!T68  

[attachment=124599]
1"?]= j:  
第1章光学测量的基础知识 xYI;V7  
d ;^  
1.1基本概念、基本方法、应用领域及发展趋势 bKMWWJf*'  
mG2VZ>  
1.1.1基本概念 wK ?@.l)u  
?`"n3!>bS  
1.1.2误差与测量不确定度 #{$1z;i?f  
J!hFN]M<<  
1.1.3基本构成 537?9  
=A@>I0(7  
1.1.4主要应用范围 t<638`{kk  
o@W_ai_  
1.1.5基本方法 q8>t!rh<R  
5qbq,#Pf  
1.1.6发展趋势 o5swH6Y.)J  
X*F_<0RC1  
1.2光学测量中的常用光源 W;zpt|kAH  
S`m,S4-eD  
1.2.1光源选择的基本要求和光源的分类 l!?yu]Yon  
>{5 p0  
1.2.2热光源 6Ps.E  
#y 1Bx,  
1.2.3气体放电光源 7 Wl-n  
B+] D5K  
1.2.4固体发光光源 I[0!S IqY  
$DebXxJw0l  
1.2.5激光光源 _c2WqQ-05  
a460|w6  
1.3光学测量中的常用光学器件 ~_>cM c  
 $dQIs:  
1.3.1激光准直镜 <*(^{a. O  
ST Z]8cw  
1.3.2分光镜 |=6_ xRyr  
HYCuK48F[_  
1.3.3偏振分光镜 @gY\;[#.  
8(f:U@BS  
1.3.4波片 6na^]t~ncm  
'yY>as  
1.3.5角锥棱镜 ""% A'TZ  
v.&>Ih/L  
1.3.6衍射光栅 epg#HNP7^Y  
n~.*1. P  
1.3.7调制器 J?&l*_m;t  
A"uULfnk  
1.3.8光隔离器 "m$3)7 $  
G2:%g(  
1.4光学测量中的常用光电探测器 uw AwWgl  
=*Z5!W'd  
1.4.1常用光电探测器的分类 >Cr\y  
vLT0ETHg6  
1.4.2光电探测器的主要特性参数 upy\gkpnGO  
b2C`g]ibQ  
1.4.3常用光电探测器介绍 By)u-)g9  
% 0T+t.  
1.5光学测量系统中的噪声和常用处理电路 F$V/K&&W  
i-" p)2d=#  
1.5.1光学测量系统中的噪声 7f{=w, U  
LWfqEL -  
1.5.2光学测量系统中的常用处理电路  _; Y`  
?6^|ZtB  
1.6光学测量中的常用调制方法与技术 CGbwmPx  
c>:R3^\lwx  
1.6.1概述 _S}A=hK'  
=elpH^N  
1.6.2机械调制法 XH}'w9VynR  
em{(4!W>  
1.6.3利用物理光学原理实现的光调制技术 r^Zg-|gr  
eE GfM0  
习题与思考1 n>>Qn&ym  
%McE` 155  
第2章光干涉测量 G\de2Q"d:O  
Ho;X4lo[j  
2.1光干涉基础知识 V[o`\|<  
**3 z;58i  
2.1.1光的干涉条件 cy yVg!+  
@.Ic z  
2.1.2干涉条纹的形状 Ej ".axjT  
;!!n{l$r'  
2.1.3干涉条纹的对比度 ~*A8+@ \R  
$5D,sEC@  
2.1.4产生干涉的途径 wMqX)}>  
-h|B1*mt  
2.2波面干涉测量 jRSUp E8  
^T"vX  
2.2.1概述 C?Bl{4-P}*  
w-wV3Q6X  
2.2.2泰曼格林干涉仪 scLn=  
9RN-suE[  
2.2.3移相干涉仪 Od4E x;F  
FCi U  
2.2.4共路干涉仪 N ,8/Y  
9l,a^@Y:  
2.3激光干涉仪 3b'QLfU&#  
aT>'.*\]  
2.3.1迈克尔逊干涉仪 &0 >Loja`^  
3RLFp\i"s  
2.3.2实用激光干涉仪主要部件的作用原理 y{dTp  
Q8!) !r%  
2.3.3实用激光干涉仪的实际构成和常见光路 0U%f)mG  
])xx<5Jt4  
2.4白光干涉仪 :8CvRO*<  
I)A`)5="5  
2.5外差式激光干涉仪 N(I&  
^6_e=jIN  
2.5.1概述 T!Hb{Cg*  
8!Vl   
2.5.2双频激光干涉仪 ^*P%=>zO  
Ut2y;2)a  
2.5.3激光测振仪 GrUCZ<S  
xx[9~z=d  
2.6激光自混合干涉测量 yE}}c{hSn  
 GB$;n?  
2.7绝对长度干涉计量 uV!^,,~  
;\f gF@  
2.7.1柯氏绝对光波干涉仪 Vx~,Uex0+  
]IoUwgpI)  
2.7.2激光无导轨测量 su*'d:L  
:x tXQza"-  
2.8激光干涉测量的重大应用举例 g !rQ4#4  
/YZr~|65  
2.8.1激光干涉测量引力波 l c+g&f  
b )B? F  
2.8.2光刻机工件台六自由度超精密测量  o4|M0  
R8ZK]5{o  
习题与思考2 &YF^j2  
Ney/[3 A  
第3章激光准直与跟踪测量 j'A_'g'^  
vQ;Ex  
3.1概述 9WyAb3d'  
!\7!3$w'8,  
3.1.1激光准直测量基本原理 |Y?H A&  
"wNJ  
3.1.2激光准直测量系统的组成 3j\1S1  
FoN|i"*l  
3.2激光测量直线度原理 7@D@ucL  
$<}$DH_Y  
3.2.1直线度测量概述 vEJWFoeEFm  
wne,e's}   
3.2.2激光测量直线度方法 OX\A|$GS  
Yt;MV)  
3.2.3直线度测量误差分析 Tf'hc]`vS  
C{U?0!^  
3.3激光同时测量多自由度误差 }H^+A77v  
 # 1OOU  
3.3.1滚转角测量 &litXIvT>  
?l9XAW t\  
3.3.2四自由度误差同时测量 4 o Fel.o  
o]4*|ARPs  
3.3.3五自由度误差同时测量 37s0e;aF  
sB7# ~p A  
3.3.4六自由度误差同时测量 .+$ Q<L  
$g> IyT[  
3.3.5激光跟踪测量 Sc;BCl{=|  
.(K)?r-g5  
习题与思考3 t'n pG}`tE  
nLXlU*ES  
第4章激光全息与散斑测量 KVclhT<F  
fp`;U_-&0  
4.1全息术及其基本原理 k>;`FFQU>  
F1*>y  
4.1.1全息术基本原理 uXn1 'K<'2  
r>>%2Z-P  
4.1.2全息图的类型 eA2@Nkw~)  
$a.JSXyxL  
4.1.3全息设备基本构成 z&zP)>Pv  
H\ F :95  
4.2激光全息干涉测量 Cd#(X@n  
O%Xf!4Z  
4.2.1单次曝光法 +^60T$  
ag [ZW  
4.2.2二次曝光法 jeoz* Dz  
9X}10u:  
4.2.3时间平均法 ^aItoJq  
&u$Q4  
4.3激光全息干涉测量的应用 Q /U2^  
.*OdqLz  
4.3.1位移和形状检测 5_GYrR2  
=^M/{51j  
4.3.2缺陷检测 XP!S$Q]D  
/:m-> T  
4.3.3测量光学玻璃折射率的不均匀性 , qMzWa  
+}Dw3;W}m  
4.4激光散斑干涉测量 YvaK0p0Z  
R@1xt@?  
4.4.1散斑的概念 <FV1Wz  
.s?L^Z^  
4.4.2散斑照相测量 &* M!lxDN  
T<n  
4.4.3散斑干涉测量 X _q\Sg  
W!Gq.M  
4.4.4电子散斑干涉 6AAz  
}|h# \$w  
4.4.5时域散斑干涉 9}rS(/@ }  
X-bcQ@Oj  
4.5散斑干涉测量的应用举例 YL!P0o13r  
(nQ^  
习题与思考4 KI"#f$2&  
$0W|26;  
第5章激光衍射和莫尔条纹测量 G30-^Tr   
Ouk ^O}W6  
5.1激光衍射测量基本原理 uy>q7C  
k =>oO9`  
5.1.1单缝衍射测量 *3+4[WT0]a  
D}-/c"':}  
5.1.2圆孔衍射测量 !z\h| wU+  
G<L;4nA)  
5.2莫尔条纹测量 {5Q!Y&N.%  
S,88*F(<^q  
5.2.1莫尔条纹的形成原理 x+\`gK5  
ju8> :y8  
5.2.2莫尔条纹的基本性质 LQ@"Xe]5  
hZm"t/aKc  
5.2.3莫尔条纹测试技术 yl'u'-Zb6  
cn3#R.G~  
5.3衍射光栅干涉测量 "BM#4  
/!0={G  
5.3.1衍射光栅干涉测量原理 &h}#HS>l  
|Tv#4st  
5.3.2衍射光栅干涉测量系统与技术 Sj3+l7S?  
y'3rNa]G1  
5.4X射线衍射测量 =}~hWL  
#$.;'#u'so  
5.4.1X射线衍射测量原理 D, k6$`  
J"0`%'*/  
5.4.2X射线衍射测量材料应力 z}.e]|b^H  
dn& s*  
习题与思考5 !Lu2  
'lH|eU&-  
第6章机器视觉测量 B`EJb71^Xy  
u^&^UxCA  
6.1摄像机模型  4j*  
!hm]fh_j  
6.2图像处理技术 [CY9^N  
hqD*z6aH  
6.2.1图像滤波 @="Pn5<]C  
ez7A4>/  
6.2.2图像增强 |NlO7aQ>2H  
:@yEQ#nFp  
6.3结构光视觉测量 ${DUCud,kY  
(|2t#'m  
6.3.1激光三角法的测量原理 ]>!K3kB  
xH ]Ct~ md  
6.3.2结构光视觉测量系统 RTYvS5 G  
HVRZ[Y<^  
6.3.3点结构光视觉测量原理 [DuttFX^x  
jV i) Efy  
6.3.4线结构光视觉测量原理 {$oj.V 4  
YqscZ(L:y  
6.3.5结构光视觉测量系统的标定方法 _T60;ZI+^  
)+#` CIv  
6.4双目立体视觉测量 yNPVOp*  
/l3V3B7  
6.4.1数学模型 ,CJWO bn3  
hDDn,uzpd  
6.4.2双目立体视觉的标定方法 I^.Om])  
/WcG{Wdp  
6.5基于相位的视觉测量 6bg ;q(*7  
~g91Pr   
6.5.1相移形貌测量 YP oSRA L  
#mxPw  
6.5.2立体相位偏折测量 cZ,b?I"Q%  
x>K Or,f  
6.6视觉测量的应用举例 ROI7eU  
KYm0@O>;  
6.6.1基于三维视觉检测技术的白车身三维视觉检测系统 3Tcms/n  
X0HZH?V+  
6.6.2基于机器视觉的焊缝宽度测量方法 b! t0w{^w  
h4gXvPS&r  
习题与思考6 : $1?i)  
G[PtkPSJ  
第7章激光测速与测距 @?sRj&w  
H*n-_{h"t  
7.1多普勒效应与多普勒频移 =jN.1}  
.^`{1%  
7.2激光多普勒测速 T=DbBy0-  
fgTg7 m  
7.2.1激光多普勒测速的基本原理 ~ah~cwmpS  
LE Nq_@$  
7.2.2激光多普勒测速技术 u[;\y|75  
+fB5w?Rg  
7.2.3激光多普勒测速技术的进展 ;fTKfa  
tAd%#:K  
7.3激光测距 LVM%"sd?  
Y(y kng  
7.3.1脉冲激光测距 b#%hY{$j  
mthA4sz  
7.3.2相位激光测距 ;+R&}[9,A)  
u {cW:  
7.4激光测速和测距应用 5{WE~8$  
gx/,)> E.  
7.4.1车载激光多普勒测速 QE+g j8  
`,(4]tlL  
7.4.2空间碎片的激光脉冲测距 bSlF=jT[S  
+.PxzL3?  
7.4.3飞秒光梳色散干涉测距 n+9=1Oo"  
NN{?z!  
习题与思考7 /U*C\ xMm  
df+l%9@  
第8章光纤传感原理与技术 M] %?>G  
[85spub&}  
8.1概述 8NJqV+jn)t  
}"H,h)T  
8.1.1光纤传感的主要类型 .hb:s,0mP  
M<Ncb   
8.1.2光纤传感的主要特点 a.\:T,cP>  
wU36sCo  
8.2光在波导介质中传输的基本理论及规律 < NY^M!  
p`dU2gV  
8.2.1光纤的基本结构 SHxNr(wJ<Q  
Mj3A5;#  
8.2.2平板波导介质中的光波模式 EJ.SW5  
2jItq2.>  
8.2.3光在光纤中的传输规律 2zA4vZkbcw  
p4rL}Jm&  
8.2.4光纤的传输特性 ^)S;xb9  
M/'sl;  
8.3光纤传感 B]wk+8SMY.  
2wg5#i  
8.3.1强度调制型光纤传感 W\,s:6iqz  
Kk0g0C:"EO  
8.3.2相位调制型光纤传感 x+:UN'"r  
\)904W5R  
8.3.3偏振调制型光纤传感 .G. 0WR/2  
=ho}oL,ZO  
8.3.4波长调制型光纤传感 [!uG1GJ>  
I*{ nP)^9  
8.3.5光纤分布式传感 On:il$MU  
8W(*~}ydYY  
习题与思考8 t9`.bx8  
[({nj`  
第9章激光雷达三维成像技术 (N6i4 g6  
J1|\Q:-7p  
9.1激光雷达三维成像原理 Lx1FpHo  
(Z q/  
9.1.1激光雷达距离方程 G6P?2@  
.V/Rfq  
9.1.2信噪比 x"=f+Mr  
P6`u._mX  
9.1.3可探测距离 bHYy}weZ  
Yui3+}Ms  
9.1.4横向成像参数 hbDXo:  
iL&fgF"'  
9.2激光三维成像雷达技术 O, wJR  
.t-4o<7 3  
9.2.1机械扫描激光成像雷达 Oc#syfO  
Tbih+# ?  
9.2.2面阵成像激光雷达 $y&E(J  
+F` S>U  
9.2.3固态激光成像雷达 #aJ(m&  
faX#**r  
9.2.4非机械扫描激光成像雷达 T^t# c  
DB|Y  
9.3激光雷达三维成像技术的新发展 ~9]hV7y5C  
Jy:Qlx`  
9.4激光三维成像雷达的应用 YeL#jtC  
o Q2Fjj  
习题与思考9 NjScc%@y  
:yr+vcD?  
第10章光学探针测量 =pO^7g  
;>yxNGV`  
10.1微观表面形貌测量 gIa+5\qYY  
[Cz-i  
10.1.1微观表面形貌测量技术的发展 Egp/f|y  
W=><)miQ@  
10.1.2微观表面三维形貌测量的特点 !8d{q)JZ  
.CABH,Po:  
10.2机械式探针测量 ?k&Vy  
,t?B+$E  
10.2.1机械式探针测量基本原理 g`' !HGY  
F=e8IUr  
10.2.2机械式探针测量系统 O!#g<`r{K  
@/.;Xw]  
10.3光学焦点探测 XbKYiy  
xd?f2=dd~h  
10.3.1强度式探测方法 _Xc8Yg }`  
p!7FpxZY  
10.3.2差动探测方法 OJuG~euy  
Smn;(K  
10.3.3散光方法 Uw. `7b>B  
O7m(o:t x3  
10.3.4Foucault方法 U0y%u  
QL&ZjSN  
10.3.5斜光束方法 -`kW&I0  
^e_hLX\SW  
10.3.6共焦方法 ThajHK|U  
H9`)BbR  
10.3.7光学焦点探针的特点 IqaT?+O\?r  
N=5a54!/  
10.4干涉型光学探针测量 ]?kZni8j_  
e "4 ''/  
10.4.1相移干涉光学探针测量方法 qFCOUl  
B$fPgW-  
10.4.2扫描差分干涉光学探针测量方法 q]ku5A\y  
p Z|V 3  
10.5扫描隧道显微镜 M#4p E_G  
_LEK%  
10.5.1扫描隧道显微镜的基本原理与系统结构 2ozax)GY  
y| i,|  
10.5.2扫描隧道显微镜的功能 { M4gF8(M  
}(J}f)  
10.5.3扫描隧道显微镜设计的主要考虑因素 rxvx  
{tuYs:  
10.5.4扫描隧道显微镜的新发展与应用 .PIL +x*]N  
7Jyy z,!5  
10.6原子力显微镜 +s,=lL  
jUYWrYJ  
10.6.1AFM的基本硬件组成 [2!w_Iw'  
oi&VgnSk  
10.6.2AFM的工作原理 DZ'P@f)]  
Ha0M)0Anv  
10.6.3AFM的工作模式 S}m)OmrmA  
m<T%Rb4?@  
10.6.4AFM在力学测量中的应用 i/;\7n  
Db}j?ik/  
10.7扫描近场光学显微镜 n`B:;2X,  
17%,7P9pg  
10.7.1扫描近场光学显微技术的基本原理 Pe_W;q.  
by1<[$8r  
10.7.2光子扫描隧道显微镜 shy-Gu&  
urs,34h  
10.7.3扫描近场光学显微镜的基本结构与系统 p SH=%u>  
K*vt;L  
10.7.4扫描近场光学显微镜系统的关键技术 rK6l8)o  
2+ N]PW\V  
10.8扫描探针显微镜 b5dD/-Vj  
hP%M?MKC  
10.8.1NRC的大范围计量型AFM oQ/E}Zk@  
(&Kk7<#`  
10.8.2PTB研制的大范围SPM T?CdZc.  
$Ps|HN  
10.9探针式测量仪器的测量分辨力和量程 }#RakV4  
~|D Ut   
习题与思考10 A7Cm5>Y_S  
`iFmrC<  
参考文献 \g&,@'uh  
!OhC/f(GBZ  

许鹏飞 2024-01-04 19:38
好东西
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