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cyqdesign 2024-01-04 09:20

《光学测量原理、技术与应用》

《光学测量原理、技术与应用》以光学测量中光的特性为主线,以光学测量方法与技术为中心,全面介绍了光学测量涉及的基本理论、测量原理与方法、技术特点与典型应用等。全书共10章,第1章介绍光学测量的基本知识,第2~5章分别介绍光干涉测量、激光准直与跟踪测量、激光全息与散斑测量、激光衍射和莫尔条纹测量; 第6章介绍机器视觉测量; 第7章介绍激光测速与测距; 第8章介绍光纤传感原理与技术; 第9章介绍激光雷达三维成像技术; 第10章介绍光学探针测量。 <n }=zu  
'ZT!a]4  

[attachment=124599]
]*i>KR@G  
第1章光学测量的基础知识 +hjc~|RK  
SKLQAE5  
1.1基本概念、基本方法、应用领域及发展趋势 ZI}m~7  
2:p2u1Q O  
1.1.1基本概念 b${Kj3(  
pe,c  
1.1.2误差与测量不确定度 'U1r}.+b>  
h^hEyrJw  
1.1.3基本构成 42z9N\ f  
k% In   
1.1.4主要应用范围 % Pa-fee  
Crpk q/M  
1.1.5基本方法 -2 tZ  
Y#]Y$n  
1.1.6发展趋势 i":-g"d  
TlBLG.-^  
1.2光学测量中的常用光源 b17p; wS  
 }O1F.5I1  
1.2.1光源选择的基本要求和光源的分类 gmLw.|-  
[&{"1Z  
1.2.2热光源 WM@uxe,  
`=-}S+  
1.2.3气体放电光源 ;"Ot\:0  
, R^Pk6m>  
1.2.4固体发光光源 U4N S.`V  
Do_L  
1.2.5激光光源 //LXbP3/  
>F-J}P  
1.3光学测量中的常用光学器件 ^<% w'*gR  
:A[bqRqe  
1.3.1激光准直镜 n]j(tP  
RhQOl9  
1.3.2分光镜 jNIM1_JjD  
e#zGLxa  
1.3.3偏振分光镜 AOWI`  
n Isi  
1.3.4波片 CJu;X[6  
$%t{O[ (  
1.3.5角锥棱镜 b-O4IDIT  
\C<rg|  
1.3.6衍射光栅 xxV{1, H2  
D 'u+3  
1.3.7调制器 "(C }Dn#  
fptW#_V2  
1.3.8光隔离器 !Uj !Oy  
1qQgAhoY  
1.4光学测量中的常用光电探测器 Z].>U!7W  
 (K?[gI  
1.4.1常用光电探测器的分类 s-C.+9  
huq6rA/i  
1.4.2光电探测器的主要特性参数 Yd<~]aXM   
g{D&|qWj  
1.4.3常用光电探测器介绍 lN1zfM  
72{kig9c  
1.5光学测量系统中的噪声和常用处理电路 D8dTw{C  
#g|j;{P  
1.5.1光学测量系统中的噪声 T@RzY2tz  
}pTj8Tr  
1.5.2光学测量系统中的常用处理电路 #!hpe^t  
_ssHRbE  
1.6光学测量中的常用调制方法与技术 92VAQU6  
QyN~Crwo  
1.6.1概述 kfVG@o?o  
ebao7r5@  
1.6.2机械调制法 J}YI-t  
8n73MF  
1.6.3利用物理光学原理实现的光调制技术 9|e"n|[  
! \gRXP}  
习题与思考1 J%A`M\  
z)]EB6uRg  
第2章光干涉测量 +(/Z=4;,[  
MkYem6  
2.1光干涉基础知识 '|q :h  
%fyb?6?Y  
2.1.1光的干涉条件 NV91{o(-7  
E8j9@BHU[r  
2.1.2干涉条纹的形状 wM yPR_  
M"FAUqz`  
2.1.3干涉条纹的对比度 P! 3$RO  
Pw7'6W1  
2.1.4产生干涉的途径 FQ87[| S  
/9yiMmr5W  
2.2波面干涉测量 ~XxD[T5  
q#778  
2.2.1概述 tFSdi. |G=  
y$&a(S]  
2.2.2泰曼格林干涉仪 .kYzB.3@]  
mvL'l)  
2.2.3移相干涉仪 g SwG=e\  
w|Mj8Lc+  
2.2.4共路干涉仪 N Hh  
U-? ^B*<  
2.3激光干涉仪 XVLuhw i  
_F*w ,b$8  
2.3.1迈克尔逊干涉仪 ,G:4H%?  
TZP{=v<  
2.3.2实用激光干涉仪主要部件的作用原理 @uE=)mP@  
nn   
2.3.3实用激光干涉仪的实际构成和常见光路 2(rZ@Wl  
%zD-gw>  
2.4白光干涉仪 o"FX+ 17  
c@^:tB  
2.5外差式激光干涉仪 p%ZiTrA1&D  
'H'+6   
2.5.1概述 MU e 'xK  
Q)@1:(V/  
2.5.2双频激光干涉仪 B5cyX*!?  
pkU e|V  
2.5.3激光测振仪 8k1 r|s@d  
"^= [*i  
2.6激光自混合干涉测量 A{J1 n  
0C p}  
2.7绝对长度干涉计量 Fa!)$eb7  
7gMtnwT  
2.7.1柯氏绝对光波干涉仪 <D dHP  
YJ^ lM\/<  
2.7.2激光无导轨测量 OT& E)eR  
G}-.xj]  
2.8激光干涉测量的重大应用举例 #rpqt{m l  
Wi5|9  
2.8.1激光干涉测量引力波 L@4zuzmlb  
QBw ZfX  
2.8.2光刻机工件台六自由度超精密测量 ^0|NmMJ]  
-h@0 1  
习题与思考2 H/3Zdj 9  
4 ufLP DH  
第3章激光准直与跟踪测量 9sCk\`n  
?R]y}6 P$  
3.1概述 uT/B}`md  
D;I`k L  
3.1.1激光准直测量基本原理 T"H )g  
I PVzV\o  
3.1.2激光准直测量系统的组成 M',D  
bQy%$7UmX,  
3.2激光测量直线度原理 J=X% xb  
--twkD  
3.2.1直线度测量概述 bX H^Bm  
o1WidJ"  
3.2.2激光测量直线度方法 y<1$^Y1/)  
D i'u%r  
3.2.3直线度测量误差分析 ^CPfo/!  
Jo3(bl %u  
3.3激光同时测量多自由度误差 V0Z7o\-J  
/plUzy2Yu  
3.3.1滚转角测量 F!&pENQ  
, imvA5  
3.3.2四自由度误差同时测量 L{LU@.;1  
3> #mO}\  
3.3.3五自由度误差同时测量 tt ]V$V  
ARdGh_yJ&  
3.3.4六自由度误差同时测量 -+rF]|Wi  
)SX6)__  
3.3.5激光跟踪测量 vif8 {S  
kr(<Y|  
习题与思考3 +z=%89GJ  
s!'A\nVV1$  
第4章激光全息与散斑测量 8M|)ojH  
~'2r&?=\  
4.1全息术及其基本原理 ~BvY8\@B  
T_x+sv=|X!  
4.1.1全息术基本原理 K@P`_yxN  
! F <] T  
4.1.2全息图的类型 sk ?'^6Xh  
Yv>BOK  
4.1.3全息设备基本构成 ^ Y7/Ow  
ZJ9Jf2 c  
4.2激光全息干涉测量 `8(h,aj;  
E ;!<Z4  
4.2.1单次曝光法 So=nB} b[?  
lW$&fuDHF  
4.2.2二次曝光法 d{yIy'+0/  
FGwnESCC  
4.2.3时间平均法 ,xYsH+ybA  
R6Zj=l[  
4.3激光全息干涉测量的应用 3_MS'&M  
;}WtJ&y=M  
4.3.1位移和形状检测 GwQZf|  
$% Ci8p  
4.3.2缺陷检测 1/2V.:bg  
M%&A.j[  
4.3.3测量光学玻璃折射率的不均匀性 +`*qlP;  
4Oy.,MDQP  
4.4激光散斑干涉测量 >7nV$.5S  
K3rBl!7v  
4.4.1散斑的概念 ^m_^  
{OO*iZ.O  
4.4.2散斑照相测量 .%?- As  
WQ[}&kY~  
4.4.3散斑干涉测量 i Y*o;z,~  
ypD<2z^  
4.4.4电子散斑干涉 %{7_E*I@n  
"Ap$ Jl B  
4.4.5时域散斑干涉 UZje>. ~?  
{N!E5*$Tr  
4.5散斑干涉测量的应用举例 m_m8c8{Y  
rFmKmV  
习题与思考4 StU  4{  
=#i4MXRZ{  
第5章激光衍射和莫尔条纹测量 X,TTM,1w  
=.36y9Mfo  
5.1激光衍射测量基本原理 K`QOU-M@}  
lt{lpH  
5.1.1单缝衍射测量 rQ~\~g[tP  
JF~1' "_f:  
5.1.2圆孔衍射测量 )MWUS;O<  
ME$2P!o  
5.2莫尔条纹测量 +0XL5( '2  
qzA`d 5rX  
5.2.1莫尔条纹的形成原理 b , juF2  
-t8hi+NK  
5.2.2莫尔条纹的基本性质 D W/1 =3  
R_Zv'y6  
5.2.3莫尔条纹测试技术 JEWL)  
kSbO[)p   
5.3衍射光栅干涉测量 (C daE!I4Q  
"]VDY)  
5.3.1衍射光栅干涉测量原理 &5\^f?'b7  
D \N \BD  
5.3.2衍射光栅干涉测量系统与技术 YD&|1h  
m\>|C1oRy  
5.4X射线衍射测量 Y^52~[w~  
Q6"uK  
5.4.1X射线衍射测量原理 @j O4EEe:  
yND"bF9  
5.4.2X射线衍射测量材料应力 o#qH2)tb  
! z11" c  
习题与思考5 C5P$ &s\  
*GQDfs`m  
第6章机器视觉测量 .VT;H1#  
NS`07#z^  
6.1摄像机模型 d1v<DU>M  
opsQn\4DZ?  
6.2图像处理技术 )4l>XlQ&  
%2f//SZ:  
6.2.1图像滤波 gtiEhCF2W  
.%=V">R  
6.2.2图像增强 +l`65!"  
\(I0wEQo$  
6.3结构光视觉测量 veeI==]  
-fE.<)m=!  
6.3.1激光三角法的测量原理 ]r4bRK[1  
Cyq?5\a  
6.3.2结构光视觉测量系统 BZK2$0  
y$X(S\W  
6.3.3点结构光视觉测量原理 57wFf-P  
Wf#VA;d  
6.3.4线结构光视觉测量原理 oM!xz1kVL  
kb71q:[  
6.3.5结构光视觉测量系统的标定方法 {~SaRB2<'  
hi ~}  
6.4双目立体视觉测量 "#yJHsu]  
iPq &Y*  
6.4.1数学模型 9mlIbEAb  
'OwyyPBF  
6.4.2双目立体视觉的标定方法 ~C-,G"zw&G  
9'?se5\  
6.5基于相位的视觉测量 bB!#:j>(v  
G8nrdN-9  
6.5.1相移形貌测量 c.A Yx I"  
UiH!Dl}<  
6.5.2立体相位偏折测量 A4.4Dji,x  
+Y}V3(w9X  
6.6视觉测量的应用举例 =pcF:D#+  
G O{ . 9_2  
6.6.1基于三维视觉检测技术的白车身三维视觉检测系统 :_ROJ  
~. YWV  
6.6.2基于机器视觉的焊缝宽度测量方法 ~e `Bq>  
<A >)[u  
习题与思考6 VIC0}LT0R  
CS 8jA\  
第7章激光测速与测距 <[Q3rJ  
& $'z  
7.1多普勒效应与多普勒频移 o!OMm!  
nOb?-rR  
7.2激光多普勒测速 0fm*`4Q  
&gtG~mp<L  
7.2.1激光多普勒测速的基本原理 L[g0&b%%-  
LJFG0 W  
7.2.2激光多普勒测速技术 W#'c 5:m 4  
MZV_5i@:  
7.2.3激光多普勒测速技术的进展 !ErH~<f%K  
-`b8T0?oK  
7.3激光测距 ?m7:if+ y  
p8}(kHUp(  
7.3.1脉冲激光测距 8j5<6Cv_  
oR .cSGh  
7.3.2相位激光测距 ~1 ~Xfo>  
P`$!@T0=  
7.4激光测速和测距应用 &Lm-()wb  
uR;gVO+QC  
7.4.1车载激光多普勒测速 UlcH%pxTt1  
6"/WZmOp  
7.4.2空间碎片的激光脉冲测距 59r_#(uo  
g7\,{Bw#E  
7.4.3飞秒光梳色散干涉测距 'sh~,+g  
h.eM RdlO  
习题与思考7 yWDTjY/  
6at1bQ$  
第8章光纤传感原理与技术 7F^#o-@=J  
Yd EptAI  
8.1概述 .zg8i_  
,Lpixnm]  
8.1.1光纤传感的主要类型 *\}}Bv+9  
1'.7_EQ4T  
8.1.2光纤传感的主要特点 {@W93=Vq8  
F&RgT1*  
8.2光在波导介质中传输的基本理论及规律 ;U9J++\d<A  
XV3C`:b  
8.2.1光纤的基本结构 _"@CGXu  
7c|bc6?  
8.2.2平板波导介质中的光波模式 cD*}..-/4  
k%s_0 @  
8.2.3光在光纤中的传输规律 =m89z}Ot  
VKp*9%9  
8.2.4光纤的传输特性 Tm}rH]F&  
&H}r%%|A  
8.3光纤传感 cH' iA.  
N`@NiJ(O;  
8.3.1强度调制型光纤传感 /1N6X.Zb  
b-ll  
8.3.2相位调制型光纤传感 M_v?9L  
+gd4\ZG  
8.3.3偏振调制型光纤传感 {]_uMg#!  
&LO"g0w  
8.3.4波长调制型光纤传感 f() FY<b  
[x=jH>Y  
8.3.5光纤分布式传感 "Z Htr<+  
L`f^y;Y.  
习题与思考8 1"Z@Q`}  
*IgE)N >  
第9章激光雷达三维成像技术 |-sPLU&s%  
:NJ_n6E  
9.1激光雷达三维成像原理 ]]7 mlQ  
-;f*VM.a  
9.1.1激光雷达距离方程 <,o>Wx*1C  
0a8/B>  
9.1.2信噪比 E_Z{6&r  
fjvN$NgVs  
9.1.3可探测距离 +$4(zP s@  
'z76 Sa  
9.1.4横向成像参数 x{D yTtX<  
B9p?8.[  
9.2激光三维成像雷达技术 b0 iSn#$  
^ ,m< 9  
9.2.1机械扫描激光成像雷达 DPi_O{W>  
X%yO5c\l2  
9.2.2面阵成像激光雷达 fYKOJ5f  
"$s~SIUB  
9.2.3固态激光成像雷达 :0Z^uuk`gq  
 "KcA  
9.2.4非机械扫描激光成像雷达 c/c$D;T  
:#dE:L;T  
9.3激光雷达三维成像技术的新发展 R$;n)_H  
d%l{V6  
9.4激光三维成像雷达的应用 %%(R@kh9  
{U&.D [{&  
习题与思考9 rG,5[/l  
$w"$r$K9K  
第10章光学探针测量 Ol4+_n8xj  
^C2\`jLMY  
10.1微观表面形貌测量 [+O"<Ua  
5 ae2<Y=  
10.1.1微观表面形貌测量技术的发展 pr%nbl  
u2 `b'R9  
10.1.2微观表面三维形貌测量的特点 j*~T1i  
6e&>rq6C  
10.2机械式探针测量 J2uZmEt  
AwQ?l(iZ"p  
10.2.1机械式探针测量基本原理 M Zmb`%BZ  
g{5A4|_7  
10.2.2机械式探针测量系统 f/CuE%7BR  
C6rg<tCH  
10.3光学焦点探测 Z7 E  
$9?cP`hmi  
10.3.1强度式探测方法 R8.CC1Ix  
Y@PI {;!  
10.3.2差动探测方法 2NB L}x  
q^6+!&"  
10.3.3散光方法 Ef<b~E@  
|_u aS  
10.3.4Foucault方法 'Ei;^Y 1e  
S_~z-`;h!  
10.3.5斜光束方法 LM2TZ   
@LJpdvb  
10.3.6共焦方法 ?yh}/T\qp  
vTv]U5%:>%  
10.3.7光学焦点探针的特点 aL\nT XakX  
0OGCilOb*  
10.4干涉型光学探针测量 ;NNe!}C  
#A]-ax?Qc}  
10.4.1相移干涉光学探针测量方法 fxgr`nC  
7Pa@1']  
10.4.2扫描差分干涉光学探针测量方法 52o x`t|  
*OQG 4aWy  
10.5扫描隧道显微镜 LzYO$Ir:g  
*5xJv  
10.5.1扫描隧道显微镜的基本原理与系统结构  ,m,)I  
37;$-cFE  
10.5.2扫描隧道显微镜的功能 7 [g/TB  
Y@ZaJ@%9@  
10.5.3扫描隧道显微镜设计的主要考虑因素 [e1S^pI  
cV`E>w=D0  
10.5.4扫描隧道显微镜的新发展与应用 -,["c9'3  
j;+?HbL  
10.6原子力显微镜 Un6/e/6,  
^FnfJ:  
10.6.1AFM的基本硬件组成 s`#(   
7#wn<HDY%  
10.6.2AFM的工作原理 ^ "\R\COQ  
Q:$Zy  
10.6.3AFM的工作模式 ] Eh}L  
hTwA%  
10.6.4AFM在力学测量中的应用 `%j~|i)4  
`)QCn<  
10.7扫描近场光学显微镜 5aa<qtUjH  
o-o'z'9  
10.7.1扫描近场光学显微技术的基本原理  \lSU  
JAI)Eqqv]  
10.7.2光子扫描隧道显微镜 nJ" '  
t+Op@*#%  
10.7.3扫描近场光学显微镜的基本结构与系统 8iekEG$H  
5/O'R9A4  
10.7.4扫描近场光学显微镜系统的关键技术 x|{IwA9  
k#5}\w!  
10.8扫描探针显微镜 GLGz 2 ,#  
D0BI5q  
10.8.1NRC的大范围计量型AFM asC_$tsMe  
}mZwd_cK  
10.8.2PTB研制的大范围SPM aj}(E +  
xz:J  
10.9探针式测量仪器的测量分辨力和量程 %e@#ux m  
~.!c~fke  
习题与思考10 (#;`"Yu  
SvR7e C  
参考文献 TXZv2P9  
mLL340c#\  

许鹏飞 2024-01-04 19:38
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