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cyqdesign 2024-01-04 09:20

《光学测量原理、技术与应用》

《光学测量原理、技术与应用》以光学测量中光的特性为主线,以光学测量方法与技术为中心,全面介绍了光学测量涉及的基本理论、测量原理与方法、技术特点与典型应用等。全书共10章,第1章介绍光学测量的基本知识,第2~5章分别介绍光干涉测量、激光准直与跟踪测量、激光全息与散斑测量、激光衍射和莫尔条纹测量; 第6章介绍机器视觉测量; 第7章介绍激光测速与测距; 第8章介绍光纤传感原理与技术; 第9章介绍激光雷达三维成像技术; 第10章介绍光学探针测量。 bk5~t'  
K_ RrSI&>  

[attachment=124599]
% 3FI>\3  
第1章光学测量的基础知识 h#;yA"j1&  
1a%*X UT  
1.1基本概念、基本方法、应用领域及发展趋势 DNL TJrN  
]QpR>b=[j  
1.1.1基本概念 A~h8 >zz*  
HLk/C[`u,  
1.1.2误差与测量不确定度 !(+?\+U lE  
{x-g?HB  
1.1.3基本构成 Q}I. UG_  
4 9#I  
1.1.4主要应用范围 .p0;y3so4  
`L:wx5?  
1.1.5基本方法 sba0Q[IY  
+y-:(aP  
1.1.6发展趋势 `.><$F  
Av/|={i  
1.2光学测量中的常用光源 1no$|n#  
P^&+ehp  
1.2.1光源选择的基本要求和光源的分类 r}XD{F}"  
$KtMv +m"  
1.2.2热光源 7_A(1Lx/l7  
RCoz;|c`P  
1.2.3气体放电光源 6`EyzB%.$  
[rGR1>U?i  
1.2.4固体发光光源 ]\Ez{MdAT  
y<B "  
1.2.5激光光源 $z` jR*  
t XfB.[U  
1.3光学测量中的常用光学器件 UIzk-.<  
Be-gGJG  
1.3.1激光准直镜 I8?egDkk  
b$g.">:$  
1.3.2分光镜 3DgI.V6un  
4?8GK  
1.3.3偏振分光镜 nEs l  
!74*APPHR  
1.3.4波片 ~*G I<n  
V GM/ed5-  
1.3.5角锥棱镜 M}us^t*  
-@AGQ+e  
1.3.6衍射光栅 a'Aru^el  
yp!Xwq#n  
1.3.7调制器 QULrE+@  
/&vUi7'  
1.3.8光隔离器 mo <g'|0  
>YPfk=0f0  
1.4光学测量中的常用光电探测器 n j1 cqh  
oSE'-8(  
1.4.1常用光电探测器的分类 >iaZGXje  
`\#Q r|GC  
1.4.2光电探测器的主要特性参数  #]n[  
d0 |Q1R+3  
1.4.3常用光电探测器介绍 ]+,Z()  
R?^FO:nM%!  
1.5光学测量系统中的噪声和常用处理电路 >uxak2nM-  
~H?RHYP~  
1.5.1光学测量系统中的噪声 :Im_=S[0  
0]NjsOU =  
1.5.2光学测量系统中的常用处理电路 l--xq^,`o]  
.viA+V  
1.6光学测量中的常用调制方法与技术 R%}OZJ_  
R"K{@8b  
1.6.1概述 33-=Z9|r  
<9B43  
1.6.2机械调制法 (S1$g ~t;  
L"#Tas\5  
1.6.3利用物理光学原理实现的光调制技术 b abDLaC@  
)HR'FlxOd  
习题与思考1 awo=%vJ&  
vPpbm  
第2章光干涉测量 '[:].?M  
[Fj h  
2.1光干涉基础知识 :9]23'Md  
aU5t|S6  
2.1.1光的干涉条件 q0SvZw]f1  
%k1*&2"1#  
2.1.2干涉条纹的形状 YIt:_][*  
0+M1,?+GfF  
2.1.3干涉条纹的对比度 W:hR8 1ci  
$ 'HiNP {c  
2.1.4产生干涉的途径 &)<]AG.vd!  
E70  
2.2波面干涉测量  m ,qU})  
2{#*z%|z  
2.2.1概述 ^:LF  
0nG& LL5  
2.2.2泰曼格林干涉仪 :cIE8<\%  
`Fu|50_@V  
2.2.3移相干涉仪 Koahd =  
+=U`  
2.2.4共路干涉仪 t55CT6Se  
{I`B?6K5  
2.3激光干涉仪 [,xFk* #  
T\. 8og  
2.3.1迈克尔逊干涉仪 g)xzy^2e  
%|r@q  
2.3.2实用激光干涉仪主要部件的作用原理 tE<L4;t  
Lp1wA*  
2.3.3实用激光干涉仪的实际构成和常见光路 Ff%m.A8d,4  
V ;"?='vVe  
2.4白光干涉仪 eAm7*2  
) Q~Q .  
2.5外差式激光干涉仪 Z/:( *FC  
{tF=c0Z  
2.5.1概述 tgc&DT; E  
k:`^KtBMl  
2.5.2双频激光干涉仪 x8tRa0-q  
A7~)h}~   
2.5.3激光测振仪 kZSe#'R's  
#d(6q$IE  
2.6激光自混合干涉测量 *E+) mB"~  
4$SW~BpQ  
2.7绝对长度干涉计量 H*;J9{  
G@ed2T  
2.7.1柯氏绝对光波干涉仪 r3p fG  
{%b>/r  
2.7.2激光无导轨测量 f5mk\^  
-D38>#Y  
2.8激光干涉测量的重大应用举例 vTU"c>]  
-V_e=Y<J/  
2.8.1激光干涉测量引力波 r(%#@?&  
e>sr)M  
2.8.2光刻机工件台六自由度超精密测量  2Np9*[C  
ls 'QfJm  
习题与思考2 V +*Vi^  
ww+XE2,  
第3章激光准直与跟踪测量 ax'Dp{Q  
t~,!a?S7  
3.1概述 ag[yM  
{K_YW  
3.1.1激光准直测量基本原理 jk) V[7P  
-wvJZ  
3.1.2激光准直测量系统的组成 ++Az~{W7  
~EE*/vX  
3.2激光测量直线度原理 @*A(#U8p3  
)Ky 0q-W  
3.2.1直线度测量概述 >SSF:hI"J  
SYa!IL-B  
3.2.2激光测量直线度方法 B6OggJ9Iq  
dKZffDTZ  
3.2.3直线度测量误差分析 _pjpPSV6J  
H)t8d_^|j  
3.3激光同时测量多自由度误差 4Q_2GiF_ ?  
]5rEwPB  
3.3.1滚转角测量 k3^S^Bv\  
jpOi Eo  
3.3.2四自由度误差同时测量 J cvK]x  
/of,4aaK7  
3.3.3五自由度误差同时测量 f0MHh5  
a+r0@eFLc  
3.3.4六自由度误差同时测量 @0n #Qs|E!  
V"T;3@N/4  
3.3.5激光跟踪测量 V..m2nQj  
Kax85)9u  
习题与思考3 -L1{0{Z  
!{r Gt`y  
第4章激光全息与散斑测量 vseuk@>  
%|l*=v  
4.1全息术及其基本原理 .NwHr6/s*  
*8X: fq  
4.1.1全息术基本原理 }3M\&}=8  
u_zp?Nc  
4.1.2全息图的类型 0o(/%31]  
!mq+Oz~  
4.1.3全息设备基本构成 w9c  
j/dNRleab  
4.2激光全息干涉测量 t6s#19g  
txTDuS  
4.2.1单次曝光法 %UgyGQeo  
611:eLyy&l  
4.2.2二次曝光法 `4(k ?Pk2  
Tx],- U  
4.2.3时间平均法 @ ;rU#  
el-%#0  
4.3激光全息干涉测量的应用 IuB0C!'  
5I t+ S+a  
4.3.1位移和形状检测 =,,!a/U  
NWv1g{M  
4.3.2缺陷检测 LGRX@nF#  
'0/t|V<  
4.3.3测量光学玻璃折射率的不均匀性 LI"ghz=F  
v:s~Y  
4.4激光散斑干涉测量 sq&$   
ix*n<lCoC  
4.4.1散斑的概念 xNE<$Bz  
uK3,V0 yz  
4.4.2散斑照相测量 n#bC ,  
u@[D*c1!H  
4.4.3散斑干涉测量 #pE : !D  
ndW? ?wiM  
4.4.4电子散斑干涉 z/6eP`jj  
a:v&pj+|<  
4.4.5时域散斑干涉 'd0]`2tVg4  
I:bi8D6  
4.5散斑干涉测量的应用举例 ~Ci|G3BW  
8]'qJ;E2  
习题与思考4 A;q}SO%b  
GC#3{71  
第5章激光衍射和莫尔条纹测量 fh}\#WE"  
?uOdqMJV  
5.1激光衍射测量基本原理 /nGsl<  
I tp7X  
5.1.1单缝衍射测量 [p[Kpunr{l  
lUUeM\  
5.1.2圆孔衍射测量 MXSPD# gN  
b2r@vZ]D  
5.2莫尔条纹测量 gtVI>D'(W  
cZ%weQa#N)  
5.2.1莫尔条纹的形成原理  ()=  
W32bBzhL  
5.2.2莫尔条纹的基本性质 GC~Tfrf=r  
-HS(<V=a?k  
5.2.3莫尔条纹测试技术 yG2j!D  
50Pz+:  
5.3衍射光栅干涉测量 #3\F<AJ<VB  
.E"hsGH9h  
5.3.1衍射光栅干涉测量原理 pDrM8)r  
b P4R  
5.3.2衍射光栅干涉测量系统与技术 aXhgzI5]  
x.xfMM2n  
5.4X射线衍射测量 (7;}F~?h  
PIsMx-i0  
5.4.1X射线衍射测量原理 : H0+}=  
Jf YO|,  
5.4.2X射线衍射测量材料应力 3a"4Fn  
^CDQ75tR  
习题与思考5 -|"mB"Dc  
{ajaM'x  
第6章机器视觉测量 :,]V 03  
uIiE,.Uu}  
6.1摄像机模型 @s b\0}  
sas;<yh  
6.2图像处理技术 #\GWYWkR  
8^CL:8lI^\  
6.2.1图像滤波 ~(~fuDT~O  
sFT-aLpL@V  
6.2.2图像增强 b(wW;C'#0p  
4 B"tz!  
6.3结构光视觉测量 _qR1M):yJ  
b$l@Z&[]  
6.3.1激光三角法的测量原理 >RG }u  
Uw8O"}U8  
6.3.2结构光视觉测量系统 Rjqeuyj:  
n? e&I>1W  
6.3.3点结构光视觉测量原理 WSz#g2a  
UpF,e>s  
6.3.4线结构光视觉测量原理  Cdin"  
J'G 6Z7  
6.3.5结构光视觉测量系统的标定方法 RLu y;z  
$8kc1Q  
6.4双目立体视觉测量 A36dj  
}S\\"SBC  
6.4.1数学模型 -R?~Yysd7K  
Gc^w,n[E  
6.4.2双目立体视觉的标定方法 PO%Z.ol9  
zYvf}L&]h  
6.5基于相位的视觉测量 O-[lL"T  
Eaf6rjD  
6.5.1相移形貌测量 N,0l5fD~T  
_DnZ=&=MA  
6.5.2立体相位偏折测量 ,_,Z<X/  
D(yU:^L  
6.6视觉测量的应用举例 {dM18;  
l}:&}  
6.6.1基于三维视觉检测技术的白车身三维视觉检测系统 ] ?w hx &+  
C_mPw  
6.6.2基于机器视觉的焊缝宽度测量方法 6 9_etv  
M0YV Qa  
习题与思考6 )kfj+/  
vq-Tq>  
第7章激光测速与测距 >k)}R|tJ  
kq&xH;9=.  
7.1多普勒效应与多普勒频移 DgQw`D)+  
#EQwl6  
7.2激光多普勒测速 xdGmiHN  
FR"yGx#$  
7.2.1激光多普勒测速的基本原理 ZV=O oL t,  
ca%s$' d  
7.2.2激光多普勒测速技术 wl|cipy"  
`a2%U/U  
7.2.3激光多普勒测速技术的进展 p uEu v6F  
BQmHYar  
7.3激光测距 r%QTUuRXC3  
JR>#PJ,N-  
7.3.1脉冲激光测距 do@`(f3 g  
-T3 z@k  
7.3.2相位激光测距 Sqw:U|h\FS  
COvcR.*0F  
7.4激光测速和测距应用 ' P5t tI#|  
xXkP(^ Y  
7.4.1车载激光多普勒测速 `}<x"f7.z  
+ExXhT  
7.4.2空间碎片的激光脉冲测距 gx,BF#8}  
-]HPDN,OB  
7.4.3飞秒光梳色散干涉测距 fl%X>\i/7  
k@vN_Un  
习题与思考7 6%?bl{pNn  
l-4+{6lz  
第8章光纤传感原理与技术 H&Jp,<\x  
GxjmHo  
8.1概述 mNhVLB  
]'+PJdA  
8.1.1光纤传感的主要类型  |e49F  
5~)m6]-6  
8.1.2光纤传感的主要特点 vU= +  
t6m&+N  
8.2光在波导介质中传输的基本理论及规律 2UqLV^ZY  
R <Mvwu  
8.2.1光纤的基本结构 5A^$!q P  
YhQ;>Ko  
8.2.2平板波导介质中的光波模式 6_xPk`m  
BOqu$f+  
8.2.3光在光纤中的传输规律 N<XS-XB,  
zb<YYJ]  
8.2.4光纤的传输特性 6jS:_[p  
;J<K/YdI  
8.3光纤传感 oZVq }}R  
Q[sj/  
8.3.1强度调制型光纤传感 dZ]['y%  
, gYbi-E  
8.3.2相位调制型光纤传感 ]nmVT~lBe"  
vq(ElXTO  
8.3.3偏振调制型光纤传感 r5#8V zr  
^xz*%2@  
8.3.4波长调制型光纤传感 B+)HDIPa-  
UqsJ44QEZ  
8.3.5光纤分布式传感 b{X,0a{*  
VAGQR&T?  
习题与思考8 E(%_aFx>/  
-l)u`f^n|  
第9章激光雷达三维成像技术 _6O\*|'6  
0Z{;sW  
9.1激光雷达三维成像原理 FR5P;Yz%H  
T-.Q  
9.1.1激光雷达距离方程 Wycood*  
SLGo/I*  
9.1.2信噪比 ~6bf-Wg'X  
b"JJ3$D  
9.1.3可探测距离 /^Ckk  
)7`2FLG  
9.1.4横向成像参数 8 16OV  
TAd~#jB9  
9.2激光三维成像雷达技术 %t.L;G  
aFfd!a" n  
9.2.1机械扫描激光成像雷达 Ej;BI#gx=  
gjbSB6[  
9.2.2面阵成像激光雷达 Y:;]qoF  
= ^NTHc^*  
9.2.3固态激光成像雷达 8l<4OgoK  
* |dz.Tr  
9.2.4非机械扫描激光成像雷达 >5%;NI5 G  
PjxZ3O  
9.3激光雷达三维成像技术的新发展 4ju=5D];   
=eHoJq  
9.4激光三维成像雷达的应用 V DN@=/  
)fGIe rS  
习题与思考9 {D>@ZC  
I=;.o>  
第10章光学探针测量 Q)lN7oD  
-G|?Kl  
10.1微观表面形貌测量 gL/D| =  
IGKtugU%  
10.1.1微观表面形貌测量技术的发展 :"im2J  
eI@nskq#  
10.1.2微观表面三维形貌测量的特点 QGq8r>  
<F%c"Rkh  
10.2机械式探针测量 e]!`Cl-f80  
@,\J\ rb  
10.2.1机械式探针测量基本原理 C2a2K={  
7kT&}`g.  
10.2.2机械式探针测量系统 &;x*uG  
lL<LJ :L  
10.3光学焦点探测 +m>)q4e  
:svKE.7{  
10.3.1强度式探测方法 Sy0-tK4  
aS $ J `  
10.3.2差动探测方法 [ 11D7L%1t  
Y<WA-dYoF  
10.3.3散光方法 +9fQ YJBA  
j=U^+jAn  
10.3.4Foucault方法 s` $YY_  
{^ jRV@  
10.3.5斜光束方法 l'Kx#y$  
+qiI;C_P\  
10.3.6共焦方法 Rk$  
\r5L7y$9 h  
10.3.7光学焦点探针的特点 *u)#yEJ)  
. l>.  
10.4干涉型光学探针测量  &e%eIz  
g)**)mz[  
10.4.1相移干涉光学探针测量方法 `=.A]) >  
$p)e.ZMgE  
10.4.2扫描差分干涉光学探针测量方法 ;4s7\9o  
j0.E!8Ae{  
10.5扫描隧道显微镜 ^U.t5jj  
$ vt6~nfI  
10.5.1扫描隧道显微镜的基本原理与系统结构 C9VtRq  
6$5?%ZLJ  
10.5.2扫描隧道显微镜的功能 nYE' 'g+x  
"">{8  
10.5.3扫描隧道显微镜设计的主要考虑因素 i%3q*:A]2  
zEMZz$Y  
10.5.4扫描隧道显微镜的新发展与应用 m2j]wUh"  
NxGSs_7  
10.6原子力显微镜 " Z2D@l  
t^|GcU]  
10.6.1AFM的基本硬件组成 iQ8T3cC+  
6Z>G%yK  
10.6.2AFM的工作原理 {;^GKb+  
hx$b Y  
10.6.3AFM的工作模式 /$=<RUE  
mrGfu:r  
10.6.4AFM在力学测量中的应用 `7$Sga6M  
UPGS/Xs]1  
10.7扫描近场光学显微镜 MY>*F[~ 2  
[ ;LP6n7v  
10.7.1扫描近场光学显微技术的基本原理 /1z3Q_M  
iw=~j  
10.7.2光子扫描隧道显微镜 h~-cnAMt  
#8CeTR23cw  
10.7.3扫描近场光学显微镜的基本结构与系统 ~(P\'H&(h  
 <6STw  
10.7.4扫描近场光学显微镜系统的关键技术 rk7d7`V  
z:)z]6  
10.8扫描探针显微镜 DPBWw[  
?atHZLF  
10.8.1NRC的大范围计量型AFM i@o'Fc  
)n{9*{Ch  
10.8.2PTB研制的大范围SPM NhRKP"<CO  
1`F25DhhY  
10.9探针式测量仪器的测量分辨力和量程 s#4Q?<65u  
=`/GB T$  
习题与思考10 7Rl/F1G o}  
 BRF4 p:  
参考文献 [+(fN  
X(qs]:  

许鹏飞 2024-01-04 19:38
好东西
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