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cyqdesign 2024-01-04 09:20

《光学测量原理、技术与应用》

《光学测量原理、技术与应用》以光学测量中光的特性为主线,以光学测量方法与技术为中心,全面介绍了光学测量涉及的基本理论、测量原理与方法、技术特点与典型应用等。全书共10章,第1章介绍光学测量的基本知识,第2~5章分别介绍光干涉测量、激光准直与跟踪测量、激光全息与散斑测量、激光衍射和莫尔条纹测量; 第6章介绍机器视觉测量; 第7章介绍激光测速与测距; 第8章介绍光纤传感原理与技术; 第9章介绍激光雷达三维成像技术; 第10章介绍光学探针测量。 )kNyl@m  
<?iwi[S  

[attachment=124599]
axi%5:I  
第1章光学测量的基础知识 $f<Rj/`&  
F%QVn .  
1.1基本概念、基本方法、应用领域及发展趋势 rru `% ~'O  
I"+;L4o`  
1.1.1基本概念 CpICb9w  
=Wk!mGc  
1.1.2误差与测量不确定度 2myHn/%C  
enJE#4Z5&s  
1.1.3基本构成 |+i?FYA\  
)zVD!eG_9  
1.1.4主要应用范围 fM)RO7  
dPRGL hWF  
1.1.5基本方法 w_i$/`i+  
H\<C@OkJS}  
1.1.6发展趋势 . RNQlh3  
(UTt_ry g  
1.2光学测量中的常用光源 sL tsvH#  
vg1p{^N !  
1.2.1光源选择的基本要求和光源的分类 52#@.Qa  
Ye_)~,{,p  
1.2.2热光源 -3c?Yaf"  
U(=cGA.$  
1.2.3气体放电光源 EkqsE$52  
%8+'L4  
1.2.4固体发光光源 rm4j8~Ef  
ef!V EtEOv  
1.2.5激光光源 ;wz YZ5=Di  
5X-cDY*|  
1.3光学测量中的常用光学器件 dDy9yw%f?  
@Tr8.4  
1.3.1激光准直镜 3u8HF-  
&`63"^y  
1.3.2分光镜 A_@#V)D2  
p_ QL{gn  
1.3.3偏振分光镜 '5eW"HGU]`  
{j E}mzi  
1.3.4波片 mOyBSOad4  
p9 |r y+t  
1.3.5角锥棱镜 ([ xYOxcp5  
` oYrW0Vm  
1.3.6衍射光栅 W6~B~L  
@&d/}Mx"t  
1.3.7调制器 !T|X/B R  
?!-2G  
1.3.8光隔离器 [N925?--S  
-q\1Tlc]3  
1.4光学测量中的常用光电探测器 VHB5  
 >kK  
1.4.1常用光电探测器的分类 z&d&Ky  
0*8[m+j1  
1.4.2光电探测器的主要特性参数 dM7-,9Vc  
'LR5s[$j  
1.4.3常用光电探测器介绍 vh+Ih Gi  
}} l04kN_  
1.5光学测量系统中的噪声和常用处理电路 ? S>"yAoe  
>t O(S  
1.5.1光学测量系统中的噪声 ~FM5]<X)  
qV.*sdS>  
1.5.2光学测量系统中的常用处理电路 R y0n_J:7  
Yt7R[|  
1.6光学测量中的常用调制方法与技术 4jj@"*^a  
2bfKD'!aH  
1.6.1概述 +dk}$w[ g  
Z@ * ^4Ve  
1.6.2机械调制法 a%sr*`  
W)?B{\  
1.6.3利用物理光学原理实现的光调制技术 aDTNr/I  
/WB^h6qg  
习题与思考1 4r5?C;g  
M"#xjP.  
第2章光干涉测量 %X O97  
{o4m3[C7=}  
2.1光干涉基础知识 ;2-,Xzz8  
8AVM(d@  
2.1.1光的干涉条件 TB4|dj-%  
CbA!  
2.1.2干涉条纹的形状 {d(@o!;Fi  
<MI>>$seiJ  
2.1.3干涉条纹的对比度 kc\^xq~  
gEMxK2MNXj  
2.1.4产生干涉的途径 1pVagLlb:7  
:e`;["(,  
2.2波面干涉测量 noC ]&4b  
`[w:l[i  
2.2.1概述 )}1 J.>5  
M;,Q8z%  
2.2.2泰曼格林干涉仪 U|={LU  
34Q l7LQp[  
2.2.3移相干涉仪 &[}b HX /  
r:2G11[  
2.2.4共路干涉仪 +HQX]t:Y  
(2Z-NVU#  
2.3激光干涉仪 %:sQ[^0  
Tf) qd\  
2.3.1迈克尔逊干涉仪 x-,+skZs  
9"K EHf!  
2.3.2实用激光干涉仪主要部件的作用原理 r'#5ncB  
Q}2aBU.f  
2.3.3实用激光干涉仪的实际构成和常见光路 /mX/ "~  
;z/Z(7<; ;  
2.4白光干涉仪 ^+^#KC8]W  
#!l\.:h%  
2.5外差式激光干涉仪 B>WAlmPA  
;"$Wfy  
2.5.1概述 *Fb]lM7D  
'.r_6X$7Jt  
2.5.2双频激光干涉仪 }9<pLk  
Pk!RgoWF  
2.5.3激光测振仪 d`q<!qFZh  
lM~ 3yBy  
2.6激光自混合干涉测量 HKbyi~8N=  
)HQ':ZE$  
2.7绝对长度干涉计量 _ ]@   
U}<5%"!;  
2.7.1柯氏绝对光波干涉仪 9AO`Zk{/Ez  
zgXg-cr  
2.7.2激光无导轨测量 7)tkqfb]  
^pruQp1X  
2.8激光干涉测量的重大应用举例 N"1o> !  
PTrKnuM\J_  
2.8.1激光干涉测量引力波 UKV0xl  
(3~h)vaJ  
2.8.2光刻机工件台六自由度超精密测量 }W^%5o87{  
n@xC?D:t*  
习题与思考2 u0 myB/`  
A[:0?Ez=  
第3章激光准直与跟踪测量 ^3"~ T  
ICA p  
3.1概述 2o2jDQ|7  
yNCd} 4Ym5  
3.1.1激光准直测量基本原理 @lpo$lN0R  
Cw6\'p%l-\  
3.1.2激光准直测量系统的组成  @oE^(  
@h7)M:l  
3.2激光测量直线度原理 E><$sN6  
nSY3=Edx=  
3.2.1直线度测量概述 3L}eF g,d  
* -uA\  
3.2.2激光测量直线度方法 'KvS I=$  
K#Ia19au5  
3.2.3直线度测量误差分析 .n$c+{  
6S K;1Bp-{  
3.3激光同时测量多自由度误差 U'~M(9uv:  
{txW>rZX  
3.3.1滚转角测量 y7pwYRY  
@^P<(%p  
3.3.2四自由度误差同时测量 8/W(jVO(-  
c8z6-6`i0  
3.3.3五自由度误差同时测量 ^UU@7cSi|G  
WB)pE'5  
3.3.4六自由度误差同时测量 `CpfQP&^  
Sc b'  
3.3.5激光跟踪测量 u@&e{w~0  
;wGoEN  
习题与思考3 0'wchy>  
Me;XG?`  
第4章激光全息与散斑测量 5@QJ+@j|  
(\8IgQ{  
4.1全息术及其基本原理 gq%U5J"x;J  
;|qbz]t2(  
4.1.1全息术基本原理 W%ml/ 4  
M./1.k&@  
4.1.2全息图的类型 Ei>.eXUD5  
P^(uS'j)+  
4.1.3全息设备基本构成 &{4KymB:  
Cb4.N 8  
4.2激光全息干涉测量 Z  FIy  
3~q#P   
4.2.1单次曝光法 --OAsbr  
DpCe_Vb%M  
4.2.2二次曝光法 ,FIG5-e,}  
;t~Y>,  
4.2.3时间平均法 SfSWjq  
tt&#4Z  
4.3激光全息干涉测量的应用 rX(Ol,&oP  
hy&WG&qf  
4.3.1位移和形状检测 ?,}:)oA_  
hZIbN9)8A  
4.3.2缺陷检测 i/{dD"HwM  
|@W|nbAfX  
4.3.3测量光学玻璃折射率的不均匀性 U8S<wf&  
xiv8q/  
4.4激光散斑干涉测量 `y3*\l  
4 :phq  
4.4.1散斑的概念 :(Ak:  
LbkQuq/d  
4.4.2散斑照相测量 }!uwWBw`  
Z-j?N{3&  
4.4.3散斑干涉测量 Prc (  
~%eZQgqA*  
4.4.4电子散斑干涉 &>n:7  
b{BiC&3  
4.4.5时域散斑干涉 ?%cZO "  
lb{X6_.  
4.5散斑干涉测量的应用举例 42f\]R,  
(I/ZI'Ydy  
习题与思考4 y@h v#;  
:FUxe kz  
第5章激光衍射和莫尔条纹测量 BN&eU'Dl]  
B.A;1VE5  
5.1激光衍射测量基本原理 =qvn?I^/  
FwE<_hq//  
5.1.1单缝衍射测量 18^K!:Of  
}0Q T5   
5.1.2圆孔衍射测量 %H[~V f?d  
a8YFH$Xh  
5.2莫尔条纹测量 hbe";(  
Xz?7x0)Z  
5.2.1莫尔条纹的形成原理 %!7A" >ai  
oj=% < a  
5.2.2莫尔条纹的基本性质 xyP 0haE  
ov5g`uud  
5.2.3莫尔条纹测试技术 !'C8sNs  
Z,-J tl  
5.3衍射光栅干涉测量 4d_Az'7`4  
HXN. ,[  
5.3.1衍射光栅干涉测量原理 e6>[ZC  
;Kh[6{W  
5.3.2衍射光栅干涉测量系统与技术 G?^w <  
@X2zIFm  
5.4X射线衍射测量 -k  }LW4  
l1.eAs5U  
5.4.1X射线衍射测量原理 Z6zLL   
.NJ Ne  
5.4.2X射线衍射测量材料应力 ]5Q)mWF  
{`Z= LLL  
习题与思考5 l*Q OM  
fo=@ X>S  
第6章机器视觉测量 z%]3`_I  
NxzAlu  
6.1摄像机模型 RWB]uHzE  
Zbr1e5?  
6.2图像处理技术 sC ?e%B  
&k`/jl;u  
6.2.1图像滤波 hXD`OlX  
o{' J O3  
6.2.2图像增强 cR&d=+R&  
QO>)ug+  
6.3结构光视觉测量 t]{, 7.S  
oore:`m;  
6.3.1激光三角法的测量原理 #'m#Q6`  
g2vt(Gf;  
6.3.2结构光视觉测量系统 cpH*!*S  
RDeI l&  
6.3.3点结构光视觉测量原理 rcf#8  
=y^ g*9}_  
6.3.4线结构光视觉测量原理 8/}S/$  
7H)tF&  
6.3.5结构光视觉测量系统的标定方法 ivSpi?   
ug/P>0  
6.4双目立体视觉测量 qL$\[(  
fc<,kRp  
6.4.1数学模型 cef:>>6_  
)7m.n%B!5V  
6.4.2双目立体视觉的标定方法 k#2b3}(,  
#UnGU,J  
6.5基于相位的视觉测量 BOl*. t  
Q@s G6 iz  
6.5.1相移形貌测量 m[w~h\FS  
2{G7ignv  
6.5.2立体相位偏折测量 yn2k!2]&T<  
pW&8 =Ew  
6.6视觉测量的应用举例 h  m(  
;?gR,AKZ  
6.6.1基于三维视觉检测技术的白车身三维视觉检测系统 ZV!*ZpTe~  
0 d2to5 (  
6.6.2基于机器视觉的焊缝宽度测量方法 CelM~W$=u  
'1lz`CAB+  
习题与思考6 <2\Q Y  
`)H| &!wT  
第7章激光测速与测距 ?YM0VB,y  
UFE~6"t(  
7.1多普勒效应与多普勒频移 8WwLKZ}  
5?TjuGc  
7.2激光多普勒测速 ?o(Y\YJf  
<*opVy^  
7.2.1激光多普勒测速的基本原理 7D4I>N'T  
/j:-GJb*!u  
7.2.2激光多普勒测速技术 s3)T}52  
Uc j>gc=  
7.2.3激光多普勒测速技术的进展 !_:|mu'  
."j*4  
7.3激光测距 C 2?p>S/q  
peU1 t:k?  
7.3.1脉冲激光测距 &^ =Y76  
L_AQS9a^D  
7.3.2相位激光测距 f q*V76F  
(P nrY~9  
7.4激光测速和测距应用 zh4m`}p  
M5B?`mTl  
7.4.1车载激光多普勒测速 T) cbpkH4  
3]/Y= A  
7.4.2空间碎片的激光脉冲测距 YifTC-Q;  
x{{ZV]  
7.4.3飞秒光梳色散干涉测距 [u8JqX  
/7b$C]@k  
习题与思考7 Y.o-e)zX  
f>+:UGmP  
第8章光纤传感原理与技术 ;<v9i#K5  
bhT:MW!  
8.1概述 !%YV0O0  
MtK5>mhZI`  
8.1.1光纤传感的主要类型 >c@1UEwkm  
v:Z.8m8D  
8.1.2光纤传感的主要特点 9/50+2F  
0bG2YMs  
8.2光在波导介质中传输的基本理论及规律 xW'(]Z7_  
J_ `\}55n  
8.2.1光纤的基本结构 O0> ^?dsL  
[3hOc/]s  
8.2.2平板波导介质中的光波模式 %-[U;pJe;  
 4K$d%  
8.2.3光在光纤中的传输规律 C AF{7 `{  
3.I:`>;EO  
8.2.4光纤的传输特性 zI3Bb?4.  
qn@:A2e d  
8.3光纤传感 .cm$*>LW:x  
Uzd\#edxJ  
8.3.1强度调制型光纤传感 =Qw`F0t  
54, (;  
8.3.2相位调制型光纤传感 ,(CIcDJ2U_  
fmq9u(!R  
8.3.3偏振调制型光纤传感 _cH 7lO[  
)3~):+  
8.3.4波长调制型光纤传感 +0WI;M4i  
q/yL={H?  
8.3.5光纤分布式传感 '#0'_9}  
)k|_ CW~  
习题与思考8 *f$wmZ5A  
Sj<WiQ%<  
第9章激光雷达三维成像技术 B@2VI 1%  
}W k!):=y  
9.1激光雷达三维成像原理 + %07J6  
IPT\d^|f  
9.1.1激光雷达距离方程 5m&Zq_Qe  
DJf!{:b)  
9.1.2信噪比 *_7%n-k  
DZ Q=Sinry  
9.1.3可探测距离 _}-Ed,.=  
$Y5m"wySZ  
9.1.4横向成像参数 &*N;yW""f  
ix]t>2r  
9.2激光三维成像雷达技术 S( r Fa  
^p 4 33  
9.2.1机械扫描激光成像雷达 %^$7z,>;  
4R/cN' -  
9.2.2面阵成像激光雷达 h+7THMI  
N8^ AH8l  
9.2.3固态激光成像雷达 [~<X|_L G  
XNJPf) T  
9.2.4非机械扫描激光成像雷达  iFy_ D  
]hL `HP  
9.3激光雷达三维成像技术的新发展 aqk0+  
~SRK}5E  
9.4激光三维成像雷达的应用 ?W(>Yefk  
TxD,A0  
习题与思考9 s8/y|HN^  
9zKrFqhNo  
第10章光学探针测量 #r}O =izi  
6RLYpQ$+  
10.1微观表面形貌测量 "NgfdLz  
k_hV.CV  
10.1.1微观表面形貌测量技术的发展 ? 2#MU  
)E.!jL:g  
10.1.2微观表面三维形貌测量的特点 S_VZ^1X]  
=x/Ap1  
10.2机械式探针测量 fvDt_g9oI  
i0y^b5@MOb  
10.2.1机械式探针测量基本原理 *+ql{\am4N  
n5~7x   
10.2.2机械式探针测量系统 0Y81B;/F  
>vPDF+u  
10.3光学焦点探测 1sqBBd"=PY  
S}Q/CT?au  
10.3.1强度式探测方法 u._B7R&>  
' R!pc  
10.3.2差动探测方法 msyC."j0jU  
W/3,vf1  
10.3.3散光方法 KTm^0:V[Oy  
(|EnRk-E  
10.3.4Foucault方法 em+dQ15  
NT6OGBl&  
10.3.5斜光束方法 s^@?+<4:  
ok"v`76~f5  
10.3.6共焦方法 CHeU?NtFps  
`5V=U9zdE  
10.3.7光学焦点探针的特点 K\7\  
avmuI^LLs  
10.4干涉型光学探针测量 ?+]prbt)  
!y&uK&1  
10.4.1相移干涉光学探针测量方法 6 K+DgNK  
rff=ud>Jf  
10.4.2扫描差分干涉光学探针测量方法 Li jisE  
]ZD W+<  
10.5扫描隧道显微镜 4;]<#u  
:ub 4p4h*  
10.5.1扫描隧道显微镜的基本原理与系统结构 0UJ% tPS  
J|9kWjOf+i  
10.5.2扫描隧道显微镜的功能 KxZO.>,  
g[]UM;D*  
10.5.3扫描隧道显微镜设计的主要考虑因素 IMKyFp]h-  
PJq;OM|  
10.5.4扫描隧道显微镜的新发展与应用 FUVoKX! #  
o7/S'Haxc]  
10.6原子力显微镜 uANG_sX^n  
>tUi ;!cQ  
10.6.1AFM的基本硬件组成 ^PnXnH?  
Nl[]8G};  
10.6.2AFM的工作原理 0Jz5i4B  
4GA9oLl  
10.6.3AFM的工作模式 3@qy}Nm  
SXYH#p  
10.6.4AFM在力学测量中的应用 9Q~9C9{+  
gRnn}LL^  
10.7扫描近场光学显微镜 rd*`8B  
mv5=>Xc6  
10.7.1扫描近场光学显微技术的基本原理 {:D8@jb[  
2 L>;M  
10.7.2光子扫描隧道显微镜 a.n;ika]-  
7$;#-l  
10.7.3扫描近场光学显微镜的基本结构与系统 #GDnV/0)  
O_9M /[<  
10.7.4扫描近场光学显微镜系统的关键技术 [~3[Tu( C  
/6=IL  
10.8扫描探针显微镜 B3+9G,or  
',7LVT7  
10.8.1NRC的大范围计量型AFM e -!6m #0  
#\|Ac*>  
10.8.2PTB研制的大范围SPM Z~g6C0  
)\S3Q  
10.9探针式测量仪器的测量分辨力和量程 TY."?` [FK  
''bh{ .x  
习题与思考10 }Y}f7 3-|  
v r=va5  
参考文献 0}'xoYv f  
50s1o{xwc  

许鹏飞 2024-01-04 19:38
好东西
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