《光学测量原理、技术与应用》
《光学测量原理、技术与应用》以光学测量中光的特性为主线,以光学测量方法与技术为中心,全面介绍了光学测量涉及的基本理论、测量原理与方法、技术特点与典型应用等。全书共10章,第1章介绍光学测量的基本知识,第2~5章分别介绍光干涉测量、激光准直与跟踪测量、激光全息与散斑测量、激光衍射和莫尔条纹测量; 第6章介绍机器视觉测量; 第7章介绍激光测速与测距; 第8章介绍光纤传感原理与技术; 第9章介绍激光雷达三维成像技术; 第10章介绍光学探针测量。 qC=ZH# d7x6r3J$
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第1章光学测量的基础知识 W>,D$ naeppBo 1.1基本概念、基本方法、应用领域及发展趋势 +(w9! 5?F f{\[+> 1.1.1基本概念 C nD3%% x
#|t#N% 1.1.2误差与测量不确定度 .%\||1F< %+;am Rb 1.1.3基本构成 )U0I|dx Y9%zo~]-W' 1.1.4主要应用范围 =NPo<^Lae o?3C -A| 1.1.5基本方法 D*_.4I {n<1uh9~$8 1.1.6发展趋势 U9%^gC 6pZ/C<Y|W 1.2光学测量中的常用光源 YW8Odm EIg:@o&Jj 1.2.1光源选择的基本要求和光源的分类 Y]B9*^d< &s\/Uq 1.2.2热光源 YPw=iF] ,ob)6P^rw 1.2.3气体放电光源 /
=v1.9( c.>OpsF 1.2.4固体发光光源 /$FpceB!W 7L]Y.7> 1.2.5激光光源 5fp&!HnG wc}4:~ 1.3光学测量中的常用光学器件 Oe k$f,J- aLQ]2m 1.3.1激光准直镜 SuBUhzR nQfSQMg 1.3.2分光镜 Xcg+ SOB |4` ;G(ta 1.3.3偏振分光镜 1nE`Wmo.2 3Z%jx# 1.3.4波片 TF,([p* e\*N Lj_( 1.3.5角锥棱镜 q~xs4?n1U i[vOpg]J 1.3.6衍射光栅 VlxHZ <sjz_::V8R 1.3.7调制器 T{F
' Y% 2 rS`ViicD 1.3.8光隔离器 7q#R,\ dQNW1-s 1.4光学测量中的常用光电探测器 0j' Xi_uM gy5R"_ M U 1.4.1常用光电探测器的分类 njb{ M-C>I;a 1.4.2光电探测器的主要特性参数 }SS~uQ;8 dp'k$el 1.4.3常用光电探测器介绍 (
D@U% ;!H]&2`'( 1.5光学测量系统中的噪声和常用处理电路 :8lqo%5 (.g?|c 1.5.1光学测量系统中的噪声 lfLLk?g3k (<Kf 1.5.2光学测量系统中的常用处理电路 73+)> "x> N[xa= 1.6光学测量中的常用调制方法与技术 K|rGJ a0&R! E; 1.6.1概述 l -6W]\v Z XhJYs q]]J 1.6.2机械调制法 5VE9DTE f;,^
]mw 1.6.3利用物理光学原理实现的光调制技术 2nB{oF-Z xG,L*3c{o 习题与思考1 aByd,uSe)_ l}9E0^AS 第2章光干涉测量 U#(#U0s*-
TsI%M 2.1光干涉基础知识 'w`9lIax B>e},! 2.1.1光的干涉条件 '2S?4Z [d6TwKv 2.1.2干涉条纹的形状 b3+F~G-I" .J2tm2]"EZ 2.1.3干涉条纹的对比度 %OT?2-d <;zcz[~ 2.1.4产生干涉的途径 >8w=Vlp [xl+/F7 2.2波面干涉测量 N7dI}ju E:$r" oS 2.2.1概述 l1"* [?VkwFD0 2.2.2泰曼格林干涉仪 QlH,-]N$L e!1am%aE 2.2.3移相干涉仪 f^@DuI b("M8}o 2.2.4共路干涉仪 Q>l5:2lq (aSY.#; 2.3激光干涉仪 #PA 9bM U
oG+du[ 2.3.1迈克尔逊干涉仪 C{FE*@U. }+GIrEDId 2.3.2实用激光干涉仪主要部件的作用原理 Bx ru7E" WXJ%hA 2.3.3实用激光干涉仪的实际构成和常见光路 _{y4N0 M IR))j; 2.4白光干涉仪 i-`J+8|d ]E}eM@xdD 2.5外差式激光干涉仪 [D<"qT^*z6 '\/|K 2.5.1概述 fzW!- e c4vX 2.5.2双频激光干涉仪 ?m:,hI ~cb7]^#u1l 2.5.3激光测振仪 U6LENY+Ja 0z`-fQfK 2.6激光自混合干涉测量 )|E617g |)b:@q3k+n 2.7绝对长度干涉计量 m 9.BU2. K7}]pk,AG 2.7.1柯氏绝对光波干涉仪 pij%u< k/2TvEV3= 2.7.2激光无导轨测量 2#`9OLu8X {*AYhZ 2.8激光干涉测量的重大应用举例 i6$q1* W&;,7T8@ 2.8.1激光干涉测量引力波 RKO}
W#? 4ZrRgx2MD 2.8.2光刻机工件台六自由度超精密测量 T<K/bzB3z th`pf 习题与思考2 >A ?,[p`< d3tr9B 第3章激光准直与跟踪测量 4LkW`Sbm ^/DP%^D 3.1概述 ,^uQw/ xpB*>zb 3.1.1激光准直测量基本原理 ]@hN&W(+ x U\x$@J 3.1.2激光准直测量系统的组成 4O:y
?D/e Vl%UT@D| 3.2激光测量直线度原理 agp7zw=N pra0:oHN 3.2.1直线度测量概述 NM0s*s42 ANq3r( 3.2.2激光测量直线度方法 r!y3VmJ'm VhLS*YiSY 3.2.3直线度测量误差分析 A Y_GD ^ :'X:cL 3.3激光同时测量多自由度误差 [SU;U['7 J*;= f8 3.3.1滚转角测量 YWF Hv@ 0N`N 3.3.2四自由度误差同时测量 $tB `dDj L-[A1#n 3.3.3五自由度误差同时测量 A&D<}y/% KuZZKh 3.3.4六自由度误差同时测量 ^"] ]rZ) !v<`^`x9I 3.3.5激光跟踪测量 ob]j1gYb !Wz4BBU8o 习题与思考3 "2z&9`VIY R^&.:;Wi> 第4章激光全息与散斑测量 vq:?a 9NeHN@D) 4.1全息术及其基本原理 '9@AhiNV >9< |