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cyqdesign 2024-01-04 09:20

《光学测量原理、技术与应用》

《光学测量原理、技术与应用》以光学测量中光的特性为主线,以光学测量方法与技术为中心,全面介绍了光学测量涉及的基本理论、测量原理与方法、技术特点与典型应用等。全书共10章,第1章介绍光学测量的基本知识,第2~5章分别介绍光干涉测量、激光准直与跟踪测量、激光全息与散斑测量、激光衍射和莫尔条纹测量; 第6章介绍机器视觉测量; 第7章介绍激光测速与测距; 第8章介绍光纤传感原理与技术; 第9章介绍激光雷达三维成像技术; 第10章介绍光学探针测量。 g886RhCe  
$2'Q'Mx[gd  

[attachment=124599]
xR`M#d5"  
第1章光学测量的基础知识 !bg2(2z  
czu?]9;^ Z  
1.1基本概念、基本方法、应用领域及发展趋势 4<(U/58a*  
d:SLyFD$q  
1.1.1基本概念 ;r.0=Uo9]  
NGq@x%T  
1.1.2误差与测量不确定度 bHf> EU  
S?K x:]  
1.1.3基本构成 K 0Gm ?(  
}I>h<O  
1.1.4主要应用范围 (N 0kTi]b  
 8PXjdHR  
1.1.5基本方法 _Z{EO|L  
tTcff9ee  
1.1.6发展趋势 q88;{?T1  
}ofx?s}  
1.2光学测量中的常用光源 ;VW->i a6  
]**h`9MF  
1.2.1光源选择的基本要求和光源的分类 :Cdqj0O3u  
aTU[H~dTU  
1.2.2热光源 }Md5a%s<  
5[5|_H+0  
1.2.3气体放电光源 ![H{ndH!Q  
])tUXU>  
1.2.4固体发光光源 n3B#M}R  
&V77Wn OY  
1.2.5激光光源 OLs<]0H  
ScCA8JgY  
1.3光学测量中的常用光学器件 Iy8fN"I9D  
odsLFU(  
1.3.1激光准直镜 Ehw2o-s^  
ONU,R\jMb-  
1.3.2分光镜 -.!+i8d>  
J_`a}ox  
1.3.3偏振分光镜 W:hg*0z-*  
Ygs:Ox"[-G  
1.3.4波片 \qZ>WCp>r  
-Wm'@4bH  
1.3.5角锥棱镜 d$qi. %<kh  
/C\tJs  
1.3.6衍射光栅 E - +t[W  
tB{HH%cV  
1.3.7调制器 Fz.Ij'8.H  
+ J` Qv,0  
1.3.8光隔离器 6tZ ak1=V  
1<;RI?R[9  
1.4光学测量中的常用光电探测器 < 19A=  
?mn&b G  
1.4.1常用光电探测器的分类 Bk2j|7  
dKJ-{LV  
1.4.2光电探测器的主要特性参数 Y5z5LG4  
OuMj%I  
1.4.3常用光电探测器介绍 [MXyOE  
VKMgcfbHr/  
1.5光学测量系统中的噪声和常用处理电路 J?"v;.K|hU  
>1  %|T  
1.5.1光学测量系统中的噪声 K3xt,g  
FFq8LM8  
1.5.2光学测量系统中的常用处理电路 <i~=-Z(  
d.xT8l}sS  
1.6光学测量中的常用调制方法与技术 7Q0vwKC8>  
3-v&ktD&N'  
1.6.1概述 9}A\Bh tiM  
K,5_{pj  
1.6.2机械调制法 8DGPA  
":!1gC  
1.6.3利用物理光学原理实现的光调制技术 u9u'!hAGH  
Nh[H[1"J  
习题与思考1 ~c`%k>$  
Av>xgfX  
第2章光干涉测量 rH$M6S  
*-X`^R  
2.1光干涉基础知识 Ejt?B')aB5  
"h7Np/ m3  
2.1.1光的干涉条件  {HbSty  
wnjAiIE5  
2.1.2干涉条纹的形状 Go)}%[@w  
4 z^7T  
2.1.3干涉条纹的对比度 js;k,`  
+:3s f%0  
2.1.4产生干涉的途径 )(+q~KA}  
Y?AvcY.  
2.2波面干涉测量 8lFYk`|g  
I<qG{PA  
2.2.1概述  %m##i  
"EBCf.3-  
2.2.2泰曼格林干涉仪 BVG.ZZR})  
}poLH S/  
2.2.3移相干涉仪 4}-G<7*  
t1ers> h  
2.2.4共路干涉仪 <9]J/w+  
zNM*xPgS  
2.3激光干涉仪 >Z>s R0s7  
:Q ?p^OC  
2.3.1迈克尔逊干涉仪 VE)) `?  
49=L9:  
2.3.2实用激光干涉仪主要部件的作用原理 C:.>*;?7  
MIY`"h0*  
2.3.3实用激光干涉仪的实际构成和常见光路 >{[  
M44$E4a20  
2.4白光干涉仪 (Rsf;VPO  
y#FFxSH>  
2.5外差式激光干涉仪 vG:S(/\>  
:cKdl[E4z  
2.5.1概述 X*M2 O%g`L  
9^E!2CJ  
2.5.2双频激光干涉仪 d%:J-UtG"  
5DJ!:QY!  
2.5.3激光测振仪 ujf7r`;u.  
S^iT &;,  
2.6激光自混合干涉测量 LtGjHB\+  
T%aM~dp  
2.7绝对长度干涉计量 ee {K5G  
Z|xgZG{  
2.7.1柯氏绝对光波干涉仪 @M6F?;  
j>G|Xv  
2.7.2激光无导轨测量 xy4P_  
v oO7W"  
2.8激光干涉测量的重大应用举例 N%9?8X[5  
Y*sw;2Z;a  
2.8.1激光干涉测量引力波 nF]zd%h  
9W&nAr  
2.8.2光刻机工件台六自由度超精密测量 yIg^iZD  
vXg^K}a#  
习题与思考2 vj|#M/3>  
sF3@7~m4  
第3章激光准直与跟踪测量 OHt^e7\  
zU'7x U-  
3.1概述 QZJnb%]  
=t %;mi,M  
3.1.1激光准直测量基本原理 N~P1^x~  
T.W^L'L `  
3.1.2激光准直测量系统的组成 M\RHFTB<C  
`3*QKi$  
3.2激光测量直线度原理 jp|*kBDq\  
N*+WGsxl$z  
3.2.1直线度测量概述 c]"w0a-`^@  
9CAu0N5<  
3.2.2激光测量直线度方法 WM7LCP  
! F<::fN  
3.2.3直线度测量误差分析 "\u<\CL  
Awr(}){  
3.3激光同时测量多自由度误差 <d O ~;  
{^k7}`7,  
3.3.1滚转角测量 pG22Nx  
3p]\l ]=  
3.3.2四自由度误差同时测量 +U4';[LG1C  
' H4m"  
3.3.3五自由度误差同时测量 "{kE#`c6<n  
;.^! 7j  
3.3.4六自由度误差同时测量 (M<l}pl)  
Dl,sl>{  
3.3.5激光跟踪测量 {$ > .I  
B>c2 *+Bk  
习题与思考3 "&o"6ra }  
I@IE0+ [n  
第4章激光全息与散斑测量 ia,5=SKJ  
/1_O5'5+v  
4.1全息术及其基本原理 Hp5.F>-  
QEMT'Cs  
4.1.1全息术基本原理 %:j`%F;R  
Nw(hN+_u  
4.1.2全息图的类型 =RZ PDu  
+hX =  
4.1.3全息设备基本构成 2vhP'?;K  
 S9^S W3  
4.2激光全息干涉测量 YW"uC\kg|  
?zfm"o  
4.2.1单次曝光法 <"}t\pT]  
)2#q i/  
4.2.2二次曝光法 ym_as8A*Q  
mg" _3].j  
4.2.3时间平均法 kU#k#4X4g  
=)Fb&h]G^  
4.3激光全息干涉测量的应用 fs-LaV 0  
cc>b#&s  
4.3.1位移和形状检测 "zkQu  
`VvQems  
4.3.2缺陷检测 rz&'wCiOO  
[Jj@A(Cz  
4.3.3测量光学玻璃折射率的不均匀性 vif)g6,  
u~>G8y)k9O  
4.4激光散斑干涉测量 L=fy!R  
/^v!B`A @  
4.4.1散斑的概念 W*Ow%$%2  
 <4< y  
4.4.2散斑照相测量 i7cUp3  
78 ]Kv^l^_  
4.4.3散斑干涉测量 n-{d7haOa  
HF"TS*  
4.4.4电子散斑干涉 e\^}PU  
 \m+=|  
4.4.5时域散斑干涉 9%53 _nx?  
wmIe x  
4.5散斑干涉测量的应用举例 5 8 7;2  
g-B{K "z  
习题与思考4 o!U(=:*b  
g$zGiqzMK  
第5章激光衍射和莫尔条纹测量 /y|ZAN  
!^s -~`'\~  
5.1激光衍射测量基本原理 +6$ -"lf  
{qU;;`P]|  
5.1.1单缝衍射测量 U@CAQ?  
>Vg [ A  
5.1.2圆孔衍射测量 VW*?(,#j{  
gK@`0/k{  
5.2莫尔条纹测量 t\'MB  
^fH)E"qq5  
5.2.1莫尔条纹的形成原理 W7gY$\1<&  
/xcXd+k]  
5.2.2莫尔条纹的基本性质 #sBL E  
ZJc{P5a1J  
5.2.3莫尔条纹测试技术 #:P$a%V  
I/!AjB8W4  
5.3衍射光栅干涉测量 >d&0a:  
mEu2@3^E }  
5.3.1衍射光栅干涉测量原理 4;3Vc%  
RgJbM\`} ?  
5.3.2衍射光栅干涉测量系统与技术 |=0w_)Fa]  
d*VvQU8C  
5.4X射线衍射测量 Bha("kG  
Bg[yn<) ]  
5.4.1X射线衍射测量原理 TJZ/lJU  
e$WAf`*  
5.4.2X射线衍射测量材料应力 8 hhMuh  
J\w4N",  
习题与思考5 BfCnyL%  
:uB?h1|  
第6章机器视觉测量  8y  
D&I/Tbc  
6.1摄像机模型 U<Qi`uoj!  
>)='.aR<  
6.2图像处理技术 8 5)C7tJ-g  
Eb@**%  
6.2.1图像滤波 5uahfJk  
2boyBz}=S  
6.2.2图像增强 Z 4i5,f  
FG+pR8aA$  
6.3结构光视觉测量 ,c$tKj5ulQ  
nM:<l}~v{  
6.3.1激光三角法的测量原理 ::'Y07  
@ S[As~9X  
6.3.2结构光视觉测量系统 7l/lY-zO  
M!mw6';k  
6.3.3点结构光视觉测量原理 =+Odu  
O(2c_!d  
6.3.4线结构光视觉测量原理 Bq HqS  
W)J5[p?  
6.3.5结构光视觉测量系统的标定方法  f+ !J1  
hmOGteAf-  
6.4双目立体视觉测量 'J-a2oiM(  
!OQ5AF$  
6.4.1数学模型 "S6";G^I  
:_:)S  
6.4.2双目立体视觉的标定方法 .9=4Af  
\'[tfSB  
6.5基于相位的视觉测量 ]s^+/8d=  
4e.19H9  
6.5.1相移形貌测量 9W]OtSG  
8Dtpb7\o  
6.5.2立体相位偏折测量 ;|oft-y  
XNfl  
6.6视觉测量的应用举例 b=\chCRJJ  
42tZBz&  
6.6.1基于三维视觉检测技术的白车身三维视觉检测系统 ^'M^0'_"v  
nw+^@|4  
6.6.2基于机器视觉的焊缝宽度测量方法 \}W3\To_  
pjTJZhT2I  
习题与思考6 $N}t)iA  
PN 8#T:E  
第7章激光测速与测距 d0ht*b  
g[t paQ  
7.1多普勒效应与多普勒频移 [q3zs_nz  
mVYfyLZ,(  
7.2激光多普勒测速 5p}j{f  
);JWrkpz  
7.2.1激光多普勒测速的基本原理 4vN:Kj  
3RGmmX"?G  
7.2.2激光多普勒测速技术 ok:L]8UN 3  
D_JGbNigA  
7.2.3激光多普勒测速技术的进展 kRwUR34yc  
[xrsa!$   
7.3激光测距 &g5PPQ18  
"M-';;  
7.3.1脉冲激光测距 7%? bl  
o3|4PAA/  
7.3.2相位激光测距 +^esL9RG:  
U_izKvEh  
7.4激光测速和测距应用 y9R%%i  
:;+_<pk  
7.4.1车载激光多普勒测速 #|(>UM\  
|94o P>d  
7.4.2空间碎片的激光脉冲测距 F:P2:s<d-  
|?{V-L  
7.4.3飞秒光梳色散干涉测距 z_R^C%0k  
[pm IQ228  
习题与思考7 u=W[ S)w  
_4L6  
第8章光纤传感原理与技术 =. \hCgq  
: -#w  
8.1概述 ,<#Rk 'y$  
Keo<#Cc?  
8.1.1光纤传感的主要类型 uo2k  
ilJ`_QN  
8.1.2光纤传感的主要特点 /J_ ],KdU  
m> P\}A^N  
8.2光在波导介质中传输的基本理论及规律 gYrB@W; 2  
!DSm[Z1  
8.2.1光纤的基本结构 ] L#c <0  
j[A(@ w"  
8.2.2平板波导介质中的光波模式 7 rRI-wZ  
~M H ^R1=]  
8.2.3光在光纤中的传输规律 !a:e=b7g  
EKF4 ]  
8.2.4光纤的传输特性 FI?J8a  
yn]Sc<uK  
8.3光纤传感 &@CUxK  
~!PWJ~U  
8.3.1强度调制型光纤传感 1?|"33\03R  
M$@~|pQ<  
8.3.2相位调制型光纤传感 KU(BY}/ ^  
nM.g8d K  
8.3.3偏振调制型光纤传感 ?K:\WW  
.$}z</#!  
8.3.4波长调制型光纤传感 &Lt$~}*&6  
j_}:=3  
8.3.5光纤分布式传感 P%l?C?L  
#CI0G  
习题与思考8 Ym\<@[3+!  
^(C4Q?[2m  
第9章激光雷达三维成像技术 @SxZ>|r-|v  
8+gp"!E  
9.1激光雷达三维成像原理 ^VMCs/g6  
u4xtlGt5  
9.1.1激光雷达距离方程 >}~[ew  
;K8}Yq9p9  
9.1.2信噪比 A~nqSe  
H^S<bZ  
9.1.3可探测距离 }`QZV_  
59j`Z^e  
9.1.4横向成像参数 8[X"XThj  
WUz69o be  
9.2激光三维成像雷达技术 B1~`*~@  
Yq|_6zbYf  
9.2.1机械扫描激光成像雷达 L(Twclrb  
Nb ~J'"  
9.2.2面阵成像激光雷达 xsRkO9x  
vI(LIfe;  
9.2.3固态激光成像雷达 1DAU *^-  
fm^`   
9.2.4非机械扫描激光成像雷达 _)= e`9%  
%SIll  
9.3激光雷达三维成像技术的新发展 Nk\ni>Du3  
qCrpc=  
9.4激光三维成像雷达的应用 0F- +)S?M[  
FT6CKsM"  
习题与思考9 psIo[.$rTk  
P#!g P3  
第10章光学探针测量 0Mn |Yb4p  
 C&qo$C  
10.1微观表面形貌测量 W>+`e]z  
?b(wZ-/  
10.1.1微观表面形貌测量技术的发展 Lks+FW  
wI 7gHp  
10.1.2微观表面三维形貌测量的特点 9"S iHp\)  
p>?(u GV  
10.2机械式探针测量 ydOG8EI  
)_j(NX-C:  
10.2.1机械式探针测量基本原理 `.~S/$a.&  
x(EwHg>;  
10.2.2机械式探针测量系统 nPI$<yW7F  
LD?\gK "  
10.3光学焦点探测 -UidU+ES;  
n>eDN\5  
10.3.1强度式探测方法 b#6mUl2  
zTMLE~w  
10.3.2差动探测方法 BH}Cx[n?~  
J^#g?RHN>m  
10.3.3散光方法 (m! kg  
5 Slz ^@n  
10.3.4Foucault方法 @ls/3`E/5E  
G+2fmVB*X  
10.3.5斜光束方法 V73/q  
2<8l&2}7]  
10.3.6共焦方法 ^4]=D nd%  
:!CnGKgt  
10.3.7光学焦点探针的特点 vdUKIP =|_  
"S'Yn-  
10.4干涉型光学探针测量 0w TOdCvmb  
R%2.N!8v  
10.4.1相移干涉光学探针测量方法 Ici4y*`M  
,']CqhL6=R  
10.4.2扫描差分干涉光学探针测量方法 Q{=r9&&  
l0t(t*[Mj  
10.5扫描隧道显微镜 l-c:'n  
Zz:%KUl3  
10.5.1扫描隧道显微镜的基本原理与系统结构 q6E 'W" Q  
1]0;2THx  
10.5.2扫描隧道显微镜的功能 ;m.6 ~A  
|%XcI3@*  
10.5.3扫描隧道显微镜设计的主要考虑因素 jbZTlG  
)AcevEHB  
10.5.4扫描隧道显微镜的新发展与应用 uR2|>m  
/ s Apj  
10.6原子力显微镜 `mD!z.`U  
&CXk=Wj  
10.6.1AFM的基本硬件组成 ^a /q6{  
,S(Z\[x0  
10.6.2AFM的工作原理 ^A\(M%*F  
AH'3 5Kf)  
10.6.3AFM的工作模式 TT3GGHR  
cotySio$  
10.6.4AFM在力学测量中的应用 ->IZZ5G<  
wmR~e  
10.7扫描近场光学显微镜 *m>[\)  
2PeMt^  
10.7.1扫描近场光学显微技术的基本原理 2-UD^;0  
BL>~~  
10.7.2光子扫描隧道显微镜 UB8n,+R  
|${ImP  
10.7.3扫描近场光学显微镜的基本结构与系统 \AoqOC2u  
<f.Eog  
10.7.4扫描近场光学显微镜系统的关键技术 ra^%__N}  
q6sb;?I  
10.8扫描探针显微镜 %}~(%@qB>+  
6pC1C.  
10.8.1NRC的大范围计量型AFM g__s(  IJ  
uxKO"  
10.8.2PTB研制的大范围SPM e9Gu`$K  
S{MB$JA  
10.9探针式测量仪器的测量分辨力和量程 p NQ7uy  
mv,a>Cvs[  
习题与思考10 (igB'S5wf  
2g_mQT  
参考文献 7l*vmF6Z  
t3^`:T\  

许鹏飞 2024-01-04 19:38
好东西
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