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cyqdesign 2024-01-04 09:20

《光学测量原理、技术与应用》

《光学测量原理、技术与应用》以光学测量中光的特性为主线,以光学测量方法与技术为中心,全面介绍了光学测量涉及的基本理论、测量原理与方法、技术特点与典型应用等。全书共10章,第1章介绍光学测量的基本知识,第2~5章分别介绍光干涉测量、激光准直与跟踪测量、激光全息与散斑测量、激光衍射和莫尔条纹测量; 第6章介绍机器视觉测量; 第7章介绍激光测速与测距; 第8章介绍光纤传感原理与技术; 第9章介绍激光雷达三维成像技术; 第10章介绍光学探针测量。 +zdkdS,2<  
[~<',,tA0|  

[attachment=124599]
Gx!RaZ1  
第1章光学测量的基础知识 5 WppV3;  
kVrT?  
1.1基本概念、基本方法、应用领域及发展趋势 L%d?eHF  
na3kHx@  
1.1.1基本概念 X{xJ*T y'  
BNCJT$t YX  
1.1.2误差与测量不确定度 SU'1#$69F  
`Y\/US70{c  
1.1.3基本构成 ptv 4v[gQ  
'Xl>,\'6  
1.1.4主要应用范围 &{/>Sv!6#  
W-PZE|<  
1.1.5基本方法 #@6L|$iX  
>ij4z N  
1.1.6发展趋势 $JB:rozE  
G`#gV"PlC  
1.2光学测量中的常用光源  DiQkT R  
e-cb?.WU?  
1.2.1光源选择的基本要求和光源的分类 pInWKj[y1  
;]M67ma7C  
1.2.2热光源 thPH_DW>eb  
px>> ]>ZMH  
1.2.3气体放电光源 9BD|uU;0  
*6D%mrK  
1.2.4固体发光光源 70 UgKE  
TcLaWf!c5  
1.2.5激光光源 |J Q:.h  
A4Q)YY9~  
1.3光学测量中的常用光学器件 C9g~l}=$&  
WQLL[{mhS  
1.3.1激光准直镜 ;vclAsJ  
{qWG^Db  
1.3.2分光镜 f76|  
sHTePEJ_h  
1.3.3偏振分光镜 h!N&gZ[0  
T7,Gf({  
1.3.4波片 &#oZ>`Qu  
c^Gwri4  
1.3.5角锥棱镜 .(dmuV9  
C$RAJ  
1.3.6衍射光栅 y[WYH5 &DJ  
TnBGMI,g'  
1.3.7调制器 FV6he [,  
cevV<Wy+  
1.3.8光隔离器 @ U8}sH^  
&Y>~^$`J  
1.4光学测量中的常用光电探测器 /-K dCp~  
~sHZh  
1.4.1常用光电探测器的分类 Y5i`pY/}#?  
9Oo*8wvGG  
1.4.2光电探测器的主要特性参数 ?tC}M;~  
)Kk(P/s  
1.4.3常用光电探测器介绍 FX|lhwmc(  
8@W/43K8-  
1.5光学测量系统中的噪声和常用处理电路 FP'u)eU&3  
: 9?Cm`  
1.5.1光学测量系统中的噪声 -6~dJTm[t  
svq9@!go  
1.5.2光学测量系统中的常用处理电路 K]pKe" M  
>,"D9!  
1.6光学测量中的常用调制方法与技术 4=F]`Lql  
^Q)gsJY|I  
1.6.1概述 ^8-~@01.`_  
M*~v'L_sI  
1.6.2机械调制法 zsMw5C  
"'}v0*[  
1.6.3利用物理光学原理实现的光调制技术 A D}}>v  
O^R:_vb3I  
习题与思考1 ^0-e,d 9h  
ZLN_,/7  
第2章光干涉测量 }Uwkef.Q  
_5U%'\5s  
2.1光干涉基础知识 2 -p  
[zh4W*K_cq  
2.1.1光的干涉条件 0(hv#C4  
H81.p  
2.1.2干涉条纹的形状 CDnR  
LA;V}%y ?  
2.1.3干涉条纹的对比度 Y( V3P nH  
yYG3/Z3u5  
2.1.4产生干涉的途径 v/aPiFlw  
m[@%{  
2.2波面干涉测量 #GY&$8.u*  
g]==!!^<D  
2.2.1概述 w$b+R8.n)  
N[a ljC-R  
2.2.2泰曼格林干涉仪 47C(\\  
! =\DC,-CB  
2.2.3移相干涉仪 @`IXu$Wm(  
r(,= uLc  
2.2.4共路干涉仪 rTP5-4  
ebO`A2V'(  
2.3激光干涉仪 yBPt%EF  
o8};e  
2.3.1迈克尔逊干涉仪 l`v +sV^1  
7z/(V\9B  
2.3.2实用激光干涉仪主要部件的作用原理 2xL!PR-  
?ae[dif  
2.3.3实用激光干涉仪的实际构成和常见光路 SG dfhno;  
)]c]el@y  
2.4白光干涉仪 }&Wp3EWw  
;T5,T   
2.5外差式激光干涉仪 WA]%,6  
wVvqw/j*f  
2.5.1概述 RV0>-@/x  
nJtEUVMt  
2.5.2双频激光干涉仪 9S:{  
[]A"]p  
2.5.3激光测振仪 /-!&k  
cX|[WT0[I  
2.6激光自混合干涉测量 zp7V\W; &  
iA55yT+  
2.7绝对长度干涉计量 QMXD9H0{  
e5qrQwU  
2.7.1柯氏绝对光波干涉仪 u%6Irdx  
[K/O5_  
2.7.2激光无导轨测量 Q(~3pt  
/~o7Q$)-b  
2.8激光干涉测量的重大应用举例  YBYBOH  
w?]ZU-  
2.8.1激光干涉测量引力波 z +3<$Z  
j!zA+hF (  
2.8.2光刻机工件台六自由度超精密测量 ]dPVtk  
&\;<t, 3A~  
习题与思考2 2-vJv+-  
'}U_D:o.b  
第3章激光准直与跟踪测量 y-w2O]  
`ir&]jh.A  
3.1概述 *'UhlFed  
U0NOU#  
3.1.1激光准直测量基本原理 zW*}`S "  
0Y2\n-`z  
3.1.2激光准直测量系统的组成 }1U#Ve,=_  
=)(3Dp  
3.2激光测量直线度原理 Q)x?B]b-  
L*zbike  
3.2.1直线度测量概述 u~$WH, P3  
Ni+3b  
3.2.2激光测量直线度方法 lhLnygUk  
a{<p '_  
3.2.3直线度测量误差分析 [8,PO  
Sg-g^ dIN1  
3.3激光同时测量多自由度误差 )>(L{y|uYX  
kP7a:(P_g  
3.3.1滚转角测量 +68+PhHF  
W3^zIj  
3.3.2四自由度误差同时测量 BX@pt;$ek7  
V -q%r  
3.3.3五自由度误差同时测量 1*Sr5N[=  
{SF[I  
3.3.4六自由度误差同时测量 m_cO<LB  
lkV6qIj   
3.3.5激光跟踪测量 w+q?T  
, p_G/ OU  
习题与思考3 VBu8}}Ql  
d!`lsh@tF  
第4章激光全息与散斑测量 1s Br.+p  
-@rxiC:Q  
4.1全息术及其基本原理 dSwm|kIa  
sa_R$ /H  
4.1.1全息术基本原理 Xc\* 9XV:  
BR;QY1  
4.1.2全息图的类型 %PzQ\c  
k]Zo-xh4  
4.1.3全息设备基本构成 pss6Oz8  
;_iPm?Y8  
4.2激光全息干涉测量 'g]hmE  
$Z/klSEf  
4.2.1单次曝光法 Z)/6??/R  
,:^ N[b   
4.2.2二次曝光法 K>kLUcC7Z  
fCB:733H  
4.2.3时间平均法 CoJ55TAW  
*9J1$Wa  
4.3激光全息干涉测量的应用 tG/1pW  
\yM-O-{  
4.3.1位移和形状检测 prZ55MS.  
DR6]-j!FK  
4.3.2缺陷检测 oAY_sg+  
9SY(EL  
4.3.3测量光学玻璃折射率的不均匀性 BjiYv}J  
mG_BM/$  
4.4激光散斑干涉测量 Rv vh{U;t  
kBbl+1{H  
4.4.1散斑的概念 h2% J/69  
Yj3P 7k$c  
4.4.2散斑照相测量 $_)=8"Sn  
,>u=gA&}  
4.4.3散斑干涉测量 9RxO7K  
eaQ90B4  
4.4.4电子散斑干涉 >D ne? 8r  
MHo1 lrZa+  
4.4.5时域散斑干涉 ;-Ss# &  
l)Zs-V!M^\  
4.5散斑干涉测量的应用举例 ]M3# 3Ha"  
W<NmsG})_g  
习题与思考4 \X& C4#  
. |uLt J  
第5章激光衍射和莫尔条纹测量 YdI0E   
&3Tx@XhO  
5.1激光衍射测量基本原理 ?>V6P_r>  
XrS\+y3  
5.1.1单缝衍射测量 7 jjU  
6Nt$ZYS  
5.1.2圆孔衍射测量 !9r:&n.\  
?U_9{}r  
5.2莫尔条纹测量 '"'Btxz  
^mg*;8e Ga  
5.2.1莫尔条纹的形成原理 ,-'4L9  
u g\w\b  
5.2.2莫尔条纹的基本性质 se!mb _!  
Q2/.6O8  
5.2.3莫尔条纹测试技术 JRO$<  
m_* R.a  
5.3衍射光栅干涉测量 Ax!Gu$K2o  
<tbZj=*O/o  
5.3.1衍射光栅干涉测量原理 TY.FpW  
(R'+jWH  
5.3.2衍射光栅干涉测量系统与技术 z856 nl  
v7IzDz6gF  
5.4X射线衍射测量 z<pJYpxH  
Km3&N  
5.4.1X射线衍射测量原理 @u) 'yS  
zX kx7d8  
5.4.2X射线衍射测量材料应力 =MLf[   
wqD5d   
习题与思考5 ~O;y?]U  
`.=sTp2rbc  
第6章机器视觉测量 _8><| 3d  
)"`!AerJ  
6.1摄像机模型 R8&|+ya  
KrKu7]If6#  
6.2图像处理技术 TfRGA (+#  
Yv )aAWEa  
6.2.1图像滤波 H"CUZ  
?_q+&)4-o  
6.2.2图像增强 GK{{7B  
8LJ{i%  
6.3结构光视觉测量 -2i\G.,J  
l#bAl/c`  
6.3.1激光三角法的测量原理 u+D[_yd^  
Ct]A%=cZW  
6.3.2结构光视觉测量系统 /\=MBUN  
0{) $SY  
6.3.3点结构光视觉测量原理 mm[SBiFO\  
jm3G?Vnq  
6.3.4线结构光视觉测量原理 0 ^~\COa  
6EJVD!#[K  
6.3.5结构光视觉测量系统的标定方法 1S$h<RIPAc  
!gP0ndRJ=  
6.4双目立体视觉测量 O~@fXMthh  
NY.k.  
6.4.1数学模型 c ~F dx  
h`5)2n+P  
6.4.2双目立体视觉的标定方法 I*\^,ow  
M>l^%`  
6.5基于相位的视觉测量 [!"XcFY:a  
J]pa4C`  
6.5.1相移形貌测量 x<B'.3y  
uDuF#3 +"  
6.5.2立体相位偏折测量 V"RpH,  
A^Cj1:,  
6.6视觉测量的应用举例 +MUwP(U=w  
nr2r8u9r  
6.6.1基于三维视觉检测技术的白车身三维视觉检测系统 @CQb[!9C  
=AOWeLk*G  
6.6.2基于机器视觉的焊缝宽度测量方法 NZXjE$<Vr  
Mkv|TyC  
习题与思考6 <@, $hso7:  
Hs0pW5oZ  
第7章激光测速与测距 E9 Y\X  
1n%8j*bJq  
7.1多普勒效应与多普勒频移 )\ 0F7Z  
9dKul,c  
7.2激光多普勒测速 ,&]MOe4@>  
#y; yN7W  
7.2.1激光多普勒测速的基本原理 /-Qv?"  
OXhAha`R  
7.2.2激光多普勒测速技术 kA#vByf`v  
d"T Ht}  
7.2.3激光多普勒测速技术的进展 30F!kP*E  
\7Cg,Xn  
7.3激光测距 +=3CL2{An  
n:#TOU1ix<  
7.3.1脉冲激光测距 jqcz\n d  
cFZCf8:zB  
7.3.2相位激光测距 E{Vo'!LY  
B)=~8wsI:Z  
7.4激光测速和测距应用 _ PWj(});  
]~c+'E`  
7.4.1车载激光多普勒测速 pY}/j;.[  
3y`F<&sA  
7.4.2空间碎片的激光脉冲测距 YD[H  
@Hjea1@t  
7.4.3飞秒光梳色散干涉测距 B BL485`  
3 <SqoJSp  
习题与思考7  46,j9x  
;;&F1@3tBa  
第8章光纤传感原理与技术 r%=[},JQ  
G=d(*+& B  
8.1概述 &Cro2|KZhG  
| {P|.  
8.1.1光纤传感的主要类型 >bm|%Ou"  
@h9MxCE!  
8.1.2光纤传感的主要特点 j, u#K)7{T  
*^XbDg9  
8.2光在波导介质中传输的基本理论及规律 /Jlv"R 1,  
f~M8A.  
8.2.1光纤的基本结构 Fi;VDK(V9  
T] | d 5E  
8.2.2平板波导介质中的光波模式 xHkxc}h  
#MgvG,  
8.2.3光在光纤中的传输规律 8L{u}|{  
 i g71/'D  
8.2.4光纤的传输特性 S`q%ypy  
Nw<P bklz  
8.3光纤传感 Dgi~rr1`'s  
wD9a#AgEd  
8.3.1强度调制型光纤传感 %%}A|,  
,E*R,'w   
8.3.2相位调制型光纤传感 Z`_.x &Y  
{BV4h%P]:  
8.3.3偏振调制型光纤传感 tS?lB05TOR  
h%}( h2 W  
8.3.4波长调制型光纤传感 ; st\I  
$& {IKP)u  
8.3.5光纤分布式传感 rU\[SrIhz  
trYTs,KV  
习题与思考8 SgM.B  
d,F5:w&  
第9章激光雷达三维成像技术 *e4TSqC|  
ClUSrSp  
9.1激光雷达三维成像原理 )|]dm Q-  
E`D%PEps+  
9.1.1激光雷达距离方程 a39hP*  
oyeG$mpg  
9.1.2信噪比  .5Z_E O  
0D [@u3W  
9.1.3可探测距离 AXW!]=?X  
:7b-$fm  
9.1.4横向成像参数 :`W|h E^  
:c8^db`"  
9.2激光三维成像雷达技术 T@ 48qg  
Fb_S&!  
9.2.1机械扫描激光成像雷达 e3(<8]`b[  
!]b@RUU  
9.2.2面阵成像激光雷达 8l)  
RQ' H!(K  
9.2.3固态激光成像雷达 49h0^;xlo:  
U[8{_h<#  
9.2.4非机械扫描激光成像雷达 ZF{~ih*^u  
lOerrP6f(  
9.3激光雷达三维成像技术的新发展 Pl  
|nxdB&1n  
9.4激光三维成像雷达的应用 `deY i2z  
S+I^!gT  
习题与思考9 =_-C%<4  
5P ke8K  
第10章光学探针测量 l4T:d^Eb  
Cvn$]bt/s  
10.1微观表面形貌测量 9([6d.`~  
iuAq.$oi{  
10.1.1微观表面形貌测量技术的发展 [.cq{6-  
&Ocu#Cb  
10.1.2微观表面三维形貌测量的特点 ElR)Gd_8  
=ApY9`  
10.2机械式探针测量 `,#!C`E 9  
Pes =aw  
10.2.1机械式探针测量基本原理 ExrY>*v  
#A<"4#}  
10.2.2机械式探针测量系统 tOg=zXm   
YoSQN/Z  
10.3光学焦点探测 L;)v&a7[P  
=,:K)  
10.3.1强度式探测方法 Bc ^4 T1  
{bkGYx5.C  
10.3.2差动探测方法 9g@NcJ]  
d*-Xuv  
10.3.3散光方法 }76.6=~  
JvJ;bFXD  
10.3.4Foucault方法 v33T @  
LDQ e^  
10.3.5斜光束方法 ^k72{ 3N(  
QJXdb]Y^;  
10.3.6共焦方法 (%DRt4u <H  
-!R l(if  
10.3.7光学焦点探针的特点 4iBxPo(0  
x0G>ktWq<  
10.4干涉型光学探针测量 s]x2DH+_  
r)B3es&&  
10.4.1相移干涉光学探针测量方法 Vy;_GfT$  
g i4  
10.4.2扫描差分干涉光学探针测量方法 ;=p;v .l  
{B^pnLc  
10.5扫描隧道显微镜 [%~NM/xu<  
gb-tNhJa@b  
10.5.1扫描隧道显微镜的基本原理与系统结构 Au=kSSB  
wAz,vq=x  
10.5.2扫描隧道显微镜的功能  -$R5  
CWMlZ VG  
10.5.3扫描隧道显微镜设计的主要考虑因素 +]L)>$6  
0w}{(P;  
10.5.4扫描隧道显微镜的新发展与应用 l $Zs~@N  
C yf]`*  
10.6原子力显微镜 "m>};.lj  
Xz* tbW#  
10.6.1AFM的基本硬件组成 {6tx,;r(F  
}AAbhr9d}  
10.6.2AFM的工作原理 )"~=7)~<^  
q]l\`/R%u  
10.6.3AFM的工作模式 G5+]DogS  
GfNWP  
10.6.4AFM在力学测量中的应用 opnkmM&[  
n|Ma&qs  
10.7扫描近场光学显微镜 hvcR.f)C>  
O 3}P07  
10.7.1扫描近场光学显微技术的基本原理 @`2ozi~lO  
Iq@IUFpc7~  
10.7.2光子扫描隧道显微镜  p1?J  
#VR`?n?,  
10.7.3扫描近场光学显微镜的基本结构与系统 w6v1 q:20  
`#<eA*^g5  
10.7.4扫描近场光学显微镜系统的关键技术 gyg|Tno  
 qKx59  
10.8扫描探针显微镜 W7]mfy^  
dcR6KG8  
10.8.1NRC的大范围计量型AFM GiFf0c 9  
: n`0)g[(  
10.8.2PTB研制的大范围SPM ^EUQ449<p  
lDH_ Y]bM  
10.9探针式测量仪器的测量分辨力和量程 wEv*1y4  
LVWxd}0  
习题与思考10 ; ?j~8  
B8>FCF&}E  
参考文献 +E `063  
"rf\' 9=  

许鹏飞 2024-01-04 19:38
好东西
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