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cyqdesign 2024-01-04 09:20

《光学测量原理、技术与应用》

《光学测量原理、技术与应用》以光学测量中光的特性为主线,以光学测量方法与技术为中心,全面介绍了光学测量涉及的基本理论、测量原理与方法、技术特点与典型应用等。全书共10章,第1章介绍光学测量的基本知识,第2~5章分别介绍光干涉测量、激光准直与跟踪测量、激光全息与散斑测量、激光衍射和莫尔条纹测量; 第6章介绍机器视觉测量; 第7章介绍激光测速与测距; 第8章介绍光纤传感原理与技术; 第9章介绍激光雷达三维成像技术; 第10章介绍光学探针测量。 LGRX@nF#  
3ef]3  

[attachment=124599]
;`s/|v  
第1章光学测量的基础知识 [ V/*{Z  
7lf* vqG  
1.1基本概念、基本方法、应用领域及发展趋势 4 K)P Yk  
!XzRV?Ih;  
1.1.1基本概念 X;ijCZb3b  
3 LoB-4u?  
1.1.2误差与测量不确定度 AdR}{:ia  
vSPkm)O0)  
1.1.3基本构成 C+*: lLY  
DoNbCVZ  
1.1.4主要应用范围 <|s|6C  
W[w8@OCNf  
1.1.5基本方法 ^5j9WV  
XQHvs{P o  
1.1.6发展趋势 Pou`PNvH  
T+N%KRl  
1.2光学测量中的常用光源 rjx6Ad/\  
}(20MW8rMc  
1.2.1光源选择的基本要求和光源的分类 | u7vY/  
h6 8sQd  
1.2.2热光源 /&cb`^"U^  
b":cj:mxL  
1.2.3气体放电光源 LIirOf~e;!  
7 45Uo'  
1.2.4固体发光光源 :hCp@{  
cZ%weQa#N)  
1.2.5激光光源 W@JmG`Sy  
W32bBzhL  
1.3光学测量中的常用光学器件 W?5^cEF  
-HS(<V=a?k  
1.3.1激光准直镜 / ~w\Npf0  
P*)}ENY  
1.3.2分光镜 @/E5$mX`  
\C~Y  
1.3.3偏振分光镜 shj S^CP  
ORyFE:p$  
1.3.4波片 ]k " j  
W6 f*>  
1.3.5角锥棱镜 +8v^J8q0  
AQQeLdTq  
1.3.6衍射光栅 4{[Df$'e>  
s+h`,gg9  
1.3.7调制器 A +e ={-*  
~OAST  
1.3.8光隔离器 }{J<Wzw  
Jp=ur)Dj  
1.4光学测量中的常用光电探测器 BD\xUjd?)Q  
{^1D|y  
1.4.1常用光电探测器的分类 G= !Gy.  
#Bj.#5  
1.4.2光电探测器的主要特性参数 0 x4p!5  
gp$oQh#37;  
1.4.3常用光电探测器介绍 @M?;~M?B]J  
WIa4!\Ky!  
1.5光学测量系统中的噪声和常用处理电路 N3!x7J7A  
h%8[];*DpN  
1.5.1光学测量系统中的噪声 `lRZQ:27X  
?MHVkGD  
1.5.2光学测量系统中的常用处理电路 5<0&y3  
jn&[=Y-  
1.6光学测量中的常用调制方法与技术 t$m268m~  
xrFFmQ<_W  
1.6.1概述 XkDjA#nx`  
"W?<BpV~@!  
1.6.2机械调制法 GKTrf\"c  
/EZF5_`bT  
1.6.3利用物理光学原理实现的光调制技术 G&I\Za;   
K@)Hm\*  
习题与思考1 }Dc0 Y  
+[<|TT  
第2章光干涉测量 6FFQoE|n  
suC]  
2.1光干涉基础知识 ODyK/Q3  
O(2)A>}  
2.1.1光的干涉条件 &^=6W3RD  
f"\G"2C  
2.1.2干涉条纹的形状 jQxv` H  
\DI%/(?  
2.1.3干涉条纹的对比度 bS=aFl#  
JS]6jUB<B  
2.1.4产生干涉的途径 _z4c7_H3  
C_mPw  
2.2波面干涉测量 6 9_etv  
M0YV Qa  
2.2.1概述 )kfj+/  
vq-Tq>  
2.2.2泰曼格林干涉仪 >k)}R|tJ  
kq&xH;9=.  
2.2.3移相干涉仪 u(iEuF;7  
h; ?=:(  
2.2.4共路干涉仪 "xe %  IS  
KAVe~j"  
2.3激光干涉仪 ];P$w.0  
Nj4=  
2.3.1迈克尔逊干涉仪 M S$^m2  
Y3KKskhLx  
2.3.2实用激光干涉仪主要部件的作用原理 z UN&L7D  
P(D0ru  
2.3.3实用激光干涉仪的实际构成和常见光路 DC4O@"  
cy T,tN  
2.4白光干涉仪 \wwY?lOe  
Jn!-Wa,  
2.5外差式激光干涉仪 7DQ{#Gf#G  
2Hl0besm  
2.5.1概述 }q7rR:g  
zg L0v5vk  
2.5.2双频激光干涉仪 VUAW/  
GvQKFgO6h  
2.5.3激光测振仪 N.R,[K  
y;aZMT.YI  
2.6激光自混合干涉测量 &Z3g$R 9  
*-0tj~)>  
2.7绝对长度干涉计量 "O@L IR7  
TN!8J=sx.  
2.7.1柯氏绝对光波干涉仪 .;nU" a3'  
pD;'uEFBQ  
2.7.2激光无导轨测量 $ <'i+kK  
aly1=j  
2.8激光干涉测量的重大应用举例 0*G =~:  
H?A&P4nZ  
2.8.1激光干涉测量引力波 _nW{Q-nh  
\[u7y. b  
2.8.2光刻机工件台六自由度超精密测量 %N``EnF2  
ixc~DV+@[  
习题与思考2 \o}m]v i  
$d\]s]}`  
第3章激光准直与跟踪测量 D2<(V,h9  
G?Fqm@J{XT  
3.1概述 kC:GEY<N:Q  
Fb8~2N"3  
3.1.1激光准直测量基本原理 )> >Tj7  
B'sgCU  
3.1.2激光准直测量系统的组成 #Xdj:T<*  
4I&e_b< 30  
3.2激光测量直线度原理 +Wgp~$o4  
i b$2qy  
3.2.1直线度测量概述 cPu<:<F[  
NHI(}Ea|]  
3.2.2激光测量直线度方法 KYe@2 6   
)o4B^kq  
3.2.3直线度测量误差分析 /4K ^-  
 NW$_w  
3.3激光同时测量多自由度误差 ]dvNUD   
:&59N^So|  
3.3.1滚转角测量 $Sg5xkV,a  
F`C$F!GE  
3.3.2四自由度误差同时测量 #>[BSgW  
i6Zsn#Z7)  
3.3.3五自由度误差同时测量 b# v+_7  
|/!3N  
3.3.4六自由度误差同时测量 qGezmkNFm  
CSu}_$wC#  
3.3.5激光跟踪测量 Xo,}S\wcn  
pGO=3=O  
习题与思考3 CGYZEPRR  
5}v<?<l9\  
第4章激光全息与散斑测量 :9c[J$R4  
XXwe/>J  
4.1全息术及其基本原理 o'#ow(X  
#Cy9E"lP  
4.1.1全息术基本原理 uC2-T5n'  
^"  
4.1.2全息图的类型 a%FM)/oI|T  
r0xmDJ@y  
4.1.3全息设备基本构成 APR"%(xD#  
IXA3G7$)  
4.2激光全息干涉测量 eG&3E`[  
SAQ|1I#"/  
4.2.1单次曝光法 3$TU2-x;g  
#gQaNc?  
4.2.2二次曝光法 KO!.VxG]_  
;kE|Vx  
4.2.3时间平均法 TAE@KSPvo  
[>MPM$9F-m  
4.3激光全息干涉测量的应用 ()\=(n!J  
!Au@\/}  
4.3.1位移和形状检测 =#z8CFq[O  
JA <Hm.V#  
4.3.2缺陷检测 igGg[I1?  
m,3H]  
4.3.3测量光学玻璃折射率的不均匀性 *i`t4N A  
9^4BqAWYrV  
4.4激光散斑干涉测量 :U{$G( <  
zxD~W"R:s  
4.4.1散斑的概念 / %9DO  
7]J7'!Iz  
4.4.2散斑照相测量 dX^d\ wX  
VnU/_# n  
4.4.3散斑干涉测量 O_S%PX  
9| {t%F=-  
4.4.4电子散斑干涉 l>t0 H($  
# s}&  
4.4.5时域散斑干涉 V1]QuQ{&s  
B3';Tcs  
4.5散斑干涉测量的应用举例 nD5+&M0  
.@`5>_  
习题与思考4 yV4rS6=  
.0a,%o 8n  
第5章激光衍射和莫尔条纹测量 N"zg)MsX  
fvNj5Vq:  
5.1激光衍射测量基本原理 W{l{O1,  
<aR sogu"P  
5.1.1单缝衍射测量 o"19{ D^.  
nQm (UN  
5.1.2圆孔衍射测量 ahmxbv3f=5  
{yCE>F\  
5.2莫尔条纹测量 @?/>$  
]fdxpqz  
5.2.1莫尔条纹的形成原理 h(4&!x  
G)8H9EV  
5.2.2莫尔条纹的基本性质 <t"KNKI  
8bf~uHAr  
5.2.3莫尔条纹测试技术 7 ~9Lj  
']__V[  
5.3衍射光栅干涉测量 :< *xG&  
p?H2W-  
5.3.1衍射光栅干涉测量原理 nYE' 'g+x  
=c34MY(#X  
5.3.2衍射光栅干涉测量系统与技术 h~r&7G@[}  
=#.qe=  
5.4X射线衍射测量 % s),4  
I*`;1+`  
5.4.1X射线衍射测量原理 GS@ Zc2JPF  
C lWxL#L6~  
5.4.2X射线衍射测量材料应力 .:(T}\]R  
sz@Y$<o  
习题与思考5 dml,|k=  
#J`M R05  
第6章机器视觉测量 KGP*G BZr  
mhv ;pM6  
6.1摄像机模型 RemjiCE0'  
h{/lW#[  
6.2图像处理技术 ZQI;b0C  
n qC@dHP  
6.2.1图像滤波 Xwz'h;Ks_  
"x4}FQ  
6.2.2图像增强 N${Wh|__^l  
j|DjO?._'  
6.3结构光视觉测量 y.,li<  
z>A;|iL  
6.3.1激光三角法的测量原理 D0*+7n3  
Y0;66bfh}  
6.3.2结构光视觉测量系统 z:)z]6  
DPBWw[  
6.3.3点结构光视觉测量原理 R^Y>v5jAe  
w%uM=YmuT  
6.3.4线结构光视觉测量原理 rGgP9 (  
Mq Q'Kjo  
6.3.5结构光视觉测量系统的标定方法 2"pFAQBw~i  
,UATT]>  
6.4双目立体视觉测量 Dwbt^{N ^  
PE&$2(  
6.4.1数学模型 G"|c_qX  
 BRF4 p:  
6.4.2双目立体视觉的标定方法 [+(fN  
X(qs]:  
6.5基于相位的视觉测量 !vGJ 7  
?O.'_YS  
6.5.1相移形貌测量 [n2)6B\/  
;9)A+bD]  
6.5.2立体相位偏折测量 Q4B(NYEu(  
>7(7  
6.6视觉测量的应用举例 ( yv)zg9  
}S=m: VKH  
6.6.1基于三维视觉检测技术的白车身三维视觉检测系统 #]}]ZE  
SS7C|*-Zd  
6.6.2基于机器视觉的焊缝宽度测量方法 m* rw?nLZ  
ueu=$.^;g  
习题与思考6 gI{56Z  
 E-L>.tD  
第7章激光测速与测距  IcUE=J  
,nGZ( EBD  
7.1多普勒效应与多普勒频移 (5efNugc  
-}KW"#9c  
7.2激光多普勒测速 .&;:X )  
~4=XYYcka  
7.2.1激光多普勒测速的基本原理 mt]50}eK  
$&KiN82,  
7.2.2激光多普勒测速技术 PmlQW!gfBi  
6T-iBJT  
7.2.3激光多普勒测速技术的进展 F ,h}HlU  
J  7]LMw7  
7.3激光测距 3&5AbIZ  
r`A|2(h5B  
7.3.1脉冲激光测距 6bd{3@   
fk'DJf[M  
7.3.2相位激光测距 .Dt.7G  
Cg&:+  
7.4激光测速和测距应用 CQI\/oaO  
TQsTL2a  
7.4.1车载激光多普勒测速 0khAi|PY  
2O " ~k  
7.4.2空间碎片的激光脉冲测距 KDu~,P]  
)( W%Hmi  
7.4.3飞秒光梳色散干涉测距 'tMS5d)4:  
j38>5DM6L  
习题与思考7 c'uDK>  
WlRaD%Q  
第8章光纤传感原理与技术 gbu@&   
Mk|*=#e;  
8.1概述 wOrpp3I  
t[%ELHV  
8.1.1光纤传感的主要类型 (tz fyZ M  
,N@N4<C]  
8.1.2光纤传感的主要特点 31{) ~8  
k?`Q\  
8.2光在波导介质中传输的基本理论及规律 jOU1F1  
d;E (^l  
8.2.1光纤的基本结构 ;;<[_gp,E  
=`MMB|{6  
8.2.2平板波导介质中的光波模式 _2rxDd1#.  
e*hCf5=-  
8.2.3光在光纤中的传输规律 l4Qv$  
$X]Z-RCK3  
8.2.4光纤的传输特性 {^6<Ohe4j  
m}GEx)Y D  
8.3光纤传感 w02t9vz  
BTa#}LBZ+  
8.3.1强度调制型光纤传感 -A)/CFIZ  
#b+>O+vx8  
8.3.2相位调制型光纤传感 dY'>'1>P 9  
QI{<q<  
8.3.3偏振调制型光纤传感 oxJ#NGD  
c*Q6k<SKR  
8.3.4波长调制型光纤传感 EV|L~^Q  
.MI 5?]_  
8.3.5光纤分布式传感 m"tke'a  
:B1a2Y^"  
习题与思考8  q a}=p  
g33Y]\  
第9章激光雷达三维成像技术 P(Z\y^S  
.tt=\R  
9.1激光雷达三维成像原理 , \R,O  
CQ^I;[=d  
9.1.1激光雷达距离方程 >&l{_b\k  
C5&+1VrP  
9.1.2信噪比 Xr$hQbl5D  
*D;VZs0O  
9.1.3可探测距离 vC_O! 2E  
 cvO;xR  
9.1.4横向成像参数 e3x;(@j  
`]m/za%7  
9.2激光三维成像雷达技术 QliP9-im3  
o!}/& '(  
9.2.1机械扫描激光成像雷达 O:Ob{k  
egy#8U)Z  
9.2.2面阵成像激光雷达 ff<ad l-  
P<s:dH"  
9.2.3固态激光成像雷达 $-;x8O]u  
iWMgU:T  
9.2.4非机械扫描激光成像雷达 C 8q VYrw  
[Se0+\,&  
9.3激光雷达三维成像技术的新发展 2-.%WhE/  
Z'|A>4\  
9.4激光三维成像雷达的应用 <nE|Y@S  
7T@"2WYat  
习题与思考9 AAld2"r  
~[9(}UM  
第10章光学探针测量 TM?7F2  
} P/ x@N  
10.1微观表面形貌测量 :h)A/k_  
`8N],X  
10.1.1微观表面形貌测量技术的发展 }doJ= lc  
MtIhpTX  
10.1.2微观表面三维形貌测量的特点 VKXZA2<?'  
&4-rDR,  
10.2机械式探针测量 ky98Bz%  
ZeY kZzN  
10.2.1机械式探针测量基本原理 {qkd63 X  
{uuvgFC  
10.2.2机械式探针测量系统 B^sHFc""V  
O.~@V(7ah  
10.3光学焦点探测 qvhol  
Afq?Ps+  
10.3.1强度式探测方法 bLpGrGJs  
=*?2+ ;  
10.3.2差动探测方法 aok,qn'j  
Il9pL~u  
10.3.3散光方法 @C fxPA  
"J CvsCe  
10.3.4Foucault方法 GDj ViAFm  
i&dMX:fRd  
10.3.5斜光束方法 FI|@=l;_  
k 1   
10.3.6共焦方法 +: oD?h  
V`z2F'vT  
10.3.7光学焦点探针的特点 Sk 10"DB/  
@YfCS8 eH  
10.4干涉型光学探针测量 pr(16P  
$k&}{c8P  
10.4.1相移干涉光学探针测量方法 #Zy-X_r  
Y8yRQ zu  
10.4.2扫描差分干涉光学探针测量方法 n\Y|0\ B  
KGI0|Z]n~  
10.5扫描隧道显微镜 dQ4K^u  
K?o}B  
10.5.1扫描隧道显微镜的基本原理与系统结构 Aa;s.:?  
H21\6 GY  
10.5.2扫描隧道显微镜的功能 fC4 D#  
`y!6(xI  
10.5.3扫描隧道显微镜设计的主要考虑因素  *R6n+d  
iEf6oM  
10.5.4扫描隧道显微镜的新发展与应用 wGC)gW  
y`EcBf  
10.6原子力显微镜 SEc3`y;j%  
l&d 6G0  
10.6.1AFM的基本硬件组成 >cPB:kD'  
)A4WK+yD$z  
10.6.2AFM的工作原理 6*,8 H&  
+jD{ O @9  
10.6.3AFM的工作模式 J0U9zI4  
S)0bu(a`Z,  
10.6.4AFM在力学测量中的应用 Pb|'f(  
aO]0|<2 j  
10.7扫描近场光学显微镜 <M1XG7_I  
.FnO  
10.7.1扫描近场光学显微技术的基本原理 Lw]:/x  
.wD>0Ig  
10.7.2光子扫描隧道显微镜 q(Y<cJ?X  
o 2 5kFD  
10.7.3扫描近场光学显微镜的基本结构与系统 e_wz8]K)n  
gq6C6   
10.7.4扫描近场光学显微镜系统的关键技术 @awaN  
1a)NM#  
10.8扫描探针显微镜 26E"Ui5q  
22|f!la8n  
10.8.1NRC的大范围计量型AFM gkuI!=  
)T:{(v7 d`  
10.8.2PTB研制的大范围SPM 9Osjh G  
EO,;^RtB  
10.9探针式测量仪器的测量分辨力和量程 W&]grG2/  
k})Ag7c  
习题与思考10 QY2!.a^q  
1WPDMLuN  
参考文献 2FO.!m  
+0=u]  

许鹏飞 2024-01-04 19:38
好东西
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