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infotek 2023-12-21 08:08

用于期望视场(FOV)上光导耦合的倾斜光栅的优化

摘要 _F`RwBOjs  
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[attachment=124170] -r%k)4_  
E`#/m@:|-  
已知倾斜光栅具有将衍射光聚焦到特定级次的能力。 因此,通常用于将光耦合到光导中。 在VirtualLab Fusion中,不仅可以严格分析倾斜光栅,还可以对其进行设计。 此外,通过将VirtualLab与来自Dynardo的软件optiSLang结合使用,可进一步实现光栅结构的优化,以在期望的视场(FOV)内耦合光。 aa&\HDh*  
]6].l$%z#  
优化任务 !h70<Q^  
7e=s`j  
[attachment=124171] Xz!O}M{4  
优化流程 _n+ 5{\z  
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[attachment=124172] Lnc>O'<5P9  
j4+kL4M@H  
•采用以下优化工作流程设计倾斜光栅,实现高效光导耦合: H'?dsc  
1.定义输入及其范围,从参考输入组合开始 LLPbZ9q  
2.通过多次模拟执行优化 /-Y.A<ieN8  
3.计算相应的输出 CD pLV:  
4.评估确定的目标  h@+(VQ  
5.使用新输入进行下一次迭代 ^q\9HBHT  
•优化算法停止在某些迭代后和/或无法实现更多目标的改进。 M,g$  
N4u-tlA  
模拟结果和优化函数的配置 HME`7dw?  
qsHjqK@(  
[attachment=124173] Y\j5{;V  
P vW~EJ  
optiSLang的优化结果 -5GRit1q?  
 K2D, *w  
[attachment=124174] ,IRy. qy  
1? Im"  
优化结果的耦合效率分析 XX'mM v  
C/YjMYwKgv  
[attachment=124175] wqAj=1M\  
1Wb_>`;  
走进VirtualLab Fusion ;` ! j~  
p* tAwl  
[attachment=124176] OFn#C!  
}o7"2h ht  
•光栅结构的配置 q]wP^;\Jl  
- 使用特殊介质配置光栅结构[示例] en-HX3'  
- 倾斜光栅的高级设置[示例] M"E7= J  
• 耦合效率评估 A;gU@8m  
- 用于光导耦合光栅评估的定制检测器[示例] MXrh[QCU)  
•光栅结构优化 et}%E9  
- 使用optiSLang进行VirtualLab融合的光栅优化[示例] E\vW>g*W  
~c${?uf   
[attachment=124177] %Mr^~7nN  
m[D]4h9  
走进optiSLang Kq;s${ |G  
CQ:38l\`gd  
[attachment=124178] ':DLv{R  
YxWA] yL  
VirtualLab Fusion技术 |6!L\/}M%  
Gk]6WLi  
[attachment=124179] !EB[Lut m  
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