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2023-12-20 08:03 |
具有变化周期的亚波长光栅成像
摘要 'F3Xb b=v 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 TB9{e!4 |r5 n p [attachment=124111] uTGd{w@]0| I*_@WoI* 1. 建模任务 wjW>#DE pUx~ [attachment=124112] KCd}N f$$l,wo 2. 结果 X[b= 25Ct E>f+ E8? [attachment=124113] j#d=V@=a YL\d2 [attachment=124114] DJ;il)^ @~%R%Vu
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