| infotek |
2023-12-20 08:03 |
具有变化周期的亚波长光栅成像
摘要 !d1}IU-h
y\
nR0m
当用近轴光照明时，亚波长光栅仅产生一个衍射级，因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题，可以使用非傍轴照明。如在此示例中，采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明，并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程，包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 6 , Q{/
NVnKgGlHgd
[attachment=124111] F:/ R'0
g~L1e5C]z
1. 建模任务 ksxacRA7\
uTRa]D _q
[attachment=124112]
*it(o
|Hbe]2"x>
2. 结果 I(8,D[G.m
b'$j* N
[attachment=124113] JlsR P
*JG?^G"l
[attachment=124114] 9 Byk/&$U
xDBEs*
|
|