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2023-12-20 08:03 |
具有变化周期的亚波长光栅成像
摘要 oRZ98?Y\B
fc&djd`FuX 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 B#DnU;=O#+ OKPNsN [attachment=124111] "&:H }Jd $\+x7"pI 1. 建模任务 s*Nb=v.e9 Y&<]:) [attachment=124112] H+{@VB ]ZnASlc) 2. 结果 W)Ct*I^ 9Nw&l@ [attachment=124113] ?W>`skQ M5a&eO [attachment=124114] p#%*z~ui ck< `kJ`b
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