首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题
光行天下 -> 光学薄膜设计,工艺与设备 -> 更换完修正板后材料参数异常 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

bilong 2023-12-12 17:41

更换完修正板后材料参数异常

请教哪位大佬知道,新科隆机台右枪更换完修正板后与模拟曲线有差异(实线是模拟曲线,虚线是实测曲线,H4镀了5000,伞差可以,就是与模拟不拟合,是修正板太宽的原因吗) -x\l<\*  
,zw=&)W1  
[attachment=123739] `"mK\M  
a&aIkD  
请各位大佬赐教!
ouyuu 2023-12-16 00:32
为啥要换修正板?换了离子源栅网? "_@+/Iy.  
感觉像是栅网的问题,离子源能量不够
bilong 2023-12-16 11:55
ouyuu:为啥要换修正板?换了离子源栅网? ']e4 !  
感觉像是栅网的问题,离子源能量不够 (2023-12-16 00:32)  :?6$}GcW  
zR_l ^NK  
原修正板固定孔变大了,又重新做了一个,比原来的板稍微宽一点,没用离子源,镀的AR膜
谭健 2023-12-17 12:17
路过看看了 0MGK3o)  
wflney 2023-12-19 14:28
材料折射率和软件的有差异
bilong 2023-12-19 14:35
wflney:材料折射率和软件的有差异 (2023-12-19 14:28) vG:,oB}  
vjS7nR"T  
是的,看结果应该是实际镀出来的曲线有问题,曲线谷值应该都在一条线上,但实际镀出来的不是在一条线上 vB4qJ{f  
嘤击长空 2023-12-21 13:37
修正板宽会有影响的,相当于速率降了,折射率也会降
bilong 2023-12-21 17:58
嘤击长空:修正板宽会有影响的,相当于速率降了,折射率也会降 (2023-12-21 13:37)  f}3bYF  
aS 2 Y6  
请教大佬,怎样找到一个合适的板宽度
ouyuu 2023-12-22 09:36
照理来讲只要是原板描的应该问题不大,稍微宽一点也没多大影响的。 '(*D3ysU  
速率控制是水晶在控制,水晶不受修正板影响,所以修正板宽度只影响实际的膜厚, b2H6}s"=w  
(如果你TOOLING不改的话),不会影响膜的物理参数。 n_hD  
&2^V<(19  
如果没有发生漏气之类的问题的话,我怀疑你修正板挡到水晶了。 ['j,S<Bu~  
是不是修正板做的很长?
bilong 2023-12-22 11:41
ouyuu:照理来讲只要是原板描的应该问题不大,稍微宽一点也没多大影响的。 ~qF9*{~!  
速率控制是水晶在控制,水晶不受修正板影响,所以修正板宽度只影响实际的膜厚, R<)uvW_@  
(如果你TOOLING不改的话),不会影响膜的物理参数。 EUgs2Fsb3  
如果没有发生漏气之类的问题的话,我怀疑你修正板挡到水晶了。 KN=Orx7Gy  
....... (2023-12-22 09:36)  CpXv?uU   
~jaGf  
受教,我们又试了一炉,用的两槽H4,其中一槽充氧异常,把参数改后,正常了,应该是这个原因,充氧异常
bilong 2023-12-22 11:42
bilong:受教,我们又试了一炉,用的两槽H4,其中一槽充氧异常,把参数改后,正常了,应该是这个原因,充氧异常 (2023-12-22 11:41)  {`:!=  
"^\4xI  
用手电在坩埚处打上去,没有遮挡晶控
度魔银 2023-12-22 12:51
是不是充氧过大又吸收了
bilong 2023-12-22 14:11
度魔银:是不是充氧过大又吸收了 (2023-12-22 12:51)  *yB!^O  
'h:4 Fzo<  
应该是的,有一槽充氧有点大
嘤击长空 2024-02-29 17:41
bilong:请教大佬,怎样找到一个合适的板宽度 (2023-12-21 17:58)  #u#s'W  
8,%y`tUn>u  
调好单层之后用膜系去试,用膜系判断不同材料的均匀性
查看本帖完整版本: [-- 更换完修正板后材料参数异常 --] [-- top --]

Copyright © 2005-2025 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计