非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 /2c?+04+
~o+u: ]
[attachment=123483] )gE:@ 3
非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 h od|o1C&
GYBM]mW^ W
任务 Fw|5A"9'a'
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 7w9) ^
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 ^'} Td~(
~
60J
[attachment=123484] PpbW+}aCF
模拟与设置：工具简介与整体流程概览 bz@4obRqf
连接建模技术：衍射光束分束器 rHMsA|xz6
BQ m H9g|2
[attachment=123485] j0Q ;OKu
通过配置助手和IFTA进行相位设计 SQ@@79A
%f@]-
[attachment=123486] $Uzc
将传输函数转化为结构 ex-`+cF
WHU& 9N
[attachment=123487] %;gD_H4mm
衍射光束分束器表面 TygR G+G-
sYvO "|
[attachment=123488] ZI1[jM{4^F
衍射光束求解器 - TEA & FMM D.RHvo~6
es .`:^A
[attachment=123489] rXA7<_V g
光栅级数 & 可编程光栅分析器 K%S k{'
x X}vx hN
[attachment=123490] (HY|0Bgr
设计与评估结果： |[gnWNdR$M
• 相位函数设计 sC/T)q2
• 结构设计 0%vXPlfnY
• TEA 评估 {W @Y4Qqq
• FMM 评估 #bnFR
• 高度缩放检查（用于优化/容限） Q|:\
GeE|&popO
仅相位传输设计 oSxHTbp?
zc(- dMlK
[attachment=123491] c" yf>0
结构设计 ZYg="q0x&
^ G15]Pyw
[attachment=123492] P\SE_ *&
使用TEA进行性能评估 ,rQznE1e
/+%1Kq.hP
[attachment=123493] 8He^j5
使用FMM进行性能评估 (ZDRjBth[
RzXxnx)]q
[attachment=123494] \ B<(9
进一步的分析（优化后，容差分析） hb`(d_= 7F
Aj-}G^>#
[attachment=123495] X=-pNwO
进一步优化 - 调整设计#1的零阶 ]kR 93
Q9{%
[attachment=123496] FD[* mCGZ
进一步优化 - 调整设计#2的零阶 JTrxh]
H+F'K
XP*K
[attachment=123497] 6M F%$ K3
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 .BZw7
YV
87y$=eZ
[attachment=123498]
|