非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 cs,%Zk.xjw
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 crUt8L-B4
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任务 }_Jr[iaB
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 @M S;qoc
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 nUD)G<v
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模拟与设置：工具简介与整体流程概览 l}># p'$
连接建模技术：衍射光束分束器 V07e29w
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 zaf%%
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将传输函数转化为结构 " 8>*O;x k
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衍射光束分束器表面 ]G#o g)z4
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衍射光束求解器 - TEA & FMM p=V (_
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 _0<qS{RW
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设计与评估结果： 3FR'N%+
• 相位函数设计 4Bsx[~ u&
• 结构设计 3~iIo&NZ
• TEA 评估 <H::{
• FMM 评估 "hdc B
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• 高度缩放检查（用于优化/容限） 18jI6$DY
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仅相位传输设计 :'' ^a
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结构设计 +q[puFfl
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使用TEA进行性能评估 Ii_X^)IL(
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使用FMM进行性能评估 Ze[ezu
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进一步的分析（优化后，容差分析） Q&S\?cKe
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 !)FM/Xj,o
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 dt%wa M!
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进一步优化 - 调整设计#3的零阶 :yO. Te
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