非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 YvK8;<k@-?
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 gI^*O@Q4{b
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任务 7>J8\=
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 K_B-K K(^
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 7m=tu?@
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模拟与设置：工具简介与整体流程概览 mPxph>o
连接建模技术：衍射光束分束器 F XOA1VEg
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 g%Ap <iT
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将传输函数转化为结构 Hs8c%C
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衍射光束分束器表面 P/?`
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衍射光束求解器 - TEA & FMM oxb #{o9G
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 Z!m0nx
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设计与评估结果： =$IjN v (?
• 相位函数设计 hof:+ aW
• 结构设计 ]v3 9ag_hu
• TEA 评估 &V[m{.
• FMM 评估 |jniI(
• 高度缩放检查（用于优化/容限） %9xz[Ng
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仅相位传输设计 ]z,W1Zs?
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结构设计 &'UY V>
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使用TEA进行性能评估 =9e( )j
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使用FMM进行性能评估 *?K3jy{
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进一步的分析（优化后，容差分析） ]n0kO&
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 wGE:U`
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 -82Rz
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进一步优化 - 调整设计#3的零阶 `AeId/A4n
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