非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 tS2Orzc>,
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 U 49#?^?
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任务 5V|D%t2N
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 7 fE
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• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 | )7dh B
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模拟与设置：工具简介与整体流程概览 "`aNNIG&
连接建模技术：衍射光束分束器 80p? qe
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 4! Cu> 8B
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将传输函数转化为结构 63J_u-o
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衍射光束分束器表面 $yZ(c#L
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衍射光束求解器 - TEA & FMM rQ^X3J*`
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 *1 }UK9X;
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设计与评估结果： F __(iX xC
• 相位函数设计 q8 j
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• 结构设计 ` )9nBZ
• TEA 评估 j89C~xP6
• FMM 评估 l3d^V&Sk
• 高度缩放检查（用于优化/容限） EFb1Y{u^\!
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仅相位传输设计 0 i76 (2
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结构设计
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使用TEA进行性能评估 9#:b+Amzz
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使用FMM进行性能评估 qIbp0`m
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进一步的分析（优化后，容差分析） =B}a +0u!
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 ;Z\1PwT
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 :r?gD2q
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进一步优化 - 调整设计#3的零阶 . ZuRH_pI
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