非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 vX)JJ|g
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 D.j'n-y w
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任务 L"1UUOKy
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 -wC;pA#o
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 rv&(yA
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模拟与设置：工具简介与整体流程概览 Zb8Ty~.\P
连接建模技术：衍射光束分束器 Va\dM v-b
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 _,=A\C_b@
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将传输函数转化为结构 U GQ {QH
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衍射光束分束器表面 rF2`4j&!
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衍射光束求解器 - TEA & FMM \$/)o1SG
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 $}jp=?,t
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设计与评估结果： >t)vQ&:;u
• 相位函数设计 ,icgne1j
• 结构设计 .|JJyjRA+
• TEA 评估 \acJ9N
• FMM 评估 5:Pp62
• 高度缩放检查（用于优化/容限） hq6fDRO/4
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仅相位传输设计 8s/gjEwA
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结构设计 Y|_ #yb
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使用TEA进行性能评估 ]{{A/ j\
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使用FMM进行性能评估 pzbR.L}'D
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进一步的分析（优化后，容差分析） AV Gu*
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 1 "?KQU
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 PEac0rSW
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进一步优化 - 调整设计#3的零阶 p
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