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infotek 2023-12-05 08:10

非傍轴衍射分束器的设计与严格分析

摘要 [I%e Ro[  
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[attachment=123483]
   4.,|vtp  
非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 lU Zj  
vA:ZR=)F  
任务 ->51t  
• 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 Ji,;ri2i  
• 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 f eB ?  
mz1m^p)~{  
[attachment=123484]
'MYKAnZ-i  
模拟与设置:工具简介与整体流程概览 |7,$.MK-@  
连接建模技术:衍射光束分束器 XN t` 4$L  
   `UzH *w@e  
[attachment=123485] y~]D402Cx  
通过配置助手和IFTA进行相位设计 V}<<?_  
 Rh6CV  
[attachment=123486]
d!<>Fh^6,  
将传输函数转化为结构 c %Y *XJ'  
[V?HK_~  
[attachment=123487]
r%=a:GdAg  
衍射光束分束器表面 -}T7F+  
] g9SUFM  
[attachment=123488]
BR@gJ(2  
衍射光束求解器 - TEA & FMM l<=k#d  
rr`_\ut  
[attachment=123489]
%jj-\Gz!  
光栅级数 & 可编程光栅分析器 _G-6G=q  
;9)nG,P3  
[attachment=123490]
[?<v|k  
设计与评估结果: 3nhQ^zqf  
• 相位函数设计 7`L]aRS[  
• 结构设计 D8w.r"ne  
• TEA 评估 0[ "CP:u  
• FMM 评估 >(n /  
• 高度缩放检查(用于优化/容限) -u~:Gd*l0  
ZI$P Qz2i  
仅相位传输设计 (K6vXq.;\\  
d/oD]aAEr  
[attachment=123491]
VrT-6r'Y  
结构设计 Su,<idS  
py~[M'p(H  
[attachment=123492]
kd&~_=Q  
使用TEA进行性能评估 T^d<vH  
K( MZ!>{  
[attachment=123493]
SI6?b1;-:F  
使用FMM进行性能评估 /P[u vO  
4>Ht_B<<  
[attachment=123494]
Gl{2"!mt=  
进一步的分析(优化后,容差分析) (mi=I3A(  
Gz\wmH&rVz  
[attachment=123495] )knK'H(  
进一步优化 - 调整设计#1的零阶 KTo}xLT  
*hFJI9G  
[attachment=123496]
mDwuJf8}  
进一步优化 - 调整设计#2的零阶 ]x& R=)P  
(Y&gse1}!  
[attachment=123497]
2^5RQl/  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 qa: muW  
2}P{7flDY  
[attachment=123498]
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