非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 zLPCWP.u B5_QH8kt7
[attachment=123483] $?9u;+jIR 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 w1
A-_ 9e&*++vf 任务 9h<iw\$' • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 Z*(OcQ- • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 ^}kYJvqA iphdJZ/f
[attachment=123484] @?</8;%3W 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 aw7pr464 连接建模技术:衍射光束分束器 Y"dTm;& m-qOyt
[attachment=123485] >f;oY9 {m 通过配置助手和IFTA进行相位设计 9gZS)MZ .:(gg
[attachment=123486] VotI5O $ 将传输函数转化为结构 \_+Af` syb$%
[attachment=123487] ]ij:>O@{$ 衍射光束分束器表面 Eb8z`@p |+=ctpx9&
[attachment=123488] 3 >^B%qg6 衍射光束求解器 - TEA & FMM ul"Z%
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[attachment=123489] @d|]BqQ4jh 光栅级数 & 可编程光栅分析器 .o8pC 2 xi@5;!
[attachment=123490] 1+-F3ROP 设计与评估结果: 8
;=?Lw? • 相位函数设计 x
o72JJ • 结构设计 d"+ _`d=` • TEA 评估 3W3d $ • FMM 评估 J^Wqa$<;" • 高度缩放检查(用于优化/容限) w aDJ x6|QTO 仅相位传输设计 XsMETl"Av4 y|WOw(#
[attachment=123491] ,UD5>Ai 结构设计 ~>}7+p
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[attachment=123492] b~K-mjJI 使用TEA进行性能评估 1$"wN z {dV!sQD
[attachment=123493] ML
X: S? 使用FMM进行性能评估 2f9%HX(5 ~ o5h}OU"
[attachment=123494] Q\$cBSJC1 进一步的分析(优化后,容差分析) lpefOnO[ hPUYq7B
[attachment=123495] Zr;(a;QKs 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 cp+eh 79U7<]-!
[attachment=123496] m RtE~~p 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 a#,lf9M 6EG`0h6
[attachment=123497] +]{PEnJ 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 q5~fU$ , YZp]vlm~
[attachment=123498]
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