非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 UnI 48Y
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 FQ
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任务 KII *az
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 =bEd a]
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 X]P:C Y
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模拟与设置：工具简介与整体流程概览 p.LFVFPT
连接建模技术：衍射光束分束器 jDQZQ NS
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 %-d]X{J:
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将传输函数转化为结构 ?O>V%@
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衍射光束分束器表面 a 'z)
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衍射光束求解器 - TEA & FMM 6`f2-f9%iq
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 33!oS&L
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设计与评估结果： Th=eNL]
• 相位函数设计 x
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• 结构设计 -|E!e.^7:
• TEA 评估 aG^4BpIP
• FMM 评估 ;<leKcvhQ&
• 高度缩放检查（用于优化/容限） o<N nV
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仅相位传输设计 ztw@Y|<2
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结构设计 u,&^&0K,
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使用TEA进行性能评估 B>2tZZ ko
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使用FMM进行性能评估 /n>qCuw
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进一步的分析（优化后，容差分析） 1PpyV f
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 /oriW;OF
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 h@[R6G|
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进一步优化 - 调整设计#3的零阶 $g
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