非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 [I%eRo[ =/'>.p3/S
[attachment=123483] 4.,|vtp 非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 lU
Zj vA:ZR=)F 任务 ->51t • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 Ji,;ri2i • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 feB ?
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[attachment=123484] 'MYKAnZ-i 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 |7,$.MK-@ 连接建模技术:衍射光束分束器 XN
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[attachment=123485] y~]D402Cx 通过配置助手和IFTA进行相位设计 V}<<?_ Rh6CV
[attachment=123486] d!<>Fh^6, 将传输函数转化为结构
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[attachment=123487] r%=a :GdAg 衍射光束分束器表面 -}T7F+ ]g9SUFM
[attachment=123488] BR@gJ(2 衍射光束求解器 - TEA & FMM l<=k#d rr`_\ut
[attachment=123489] %jj-\Gz! 光栅级数 & 可编程光栅分析器 _G-6G=q ;9)nG,P3
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设计与评估结果: 3nhQ^zqf • 相位函数设计 7`L]aRS[ • 结构设计 D8w.r"ne • TEA 评估 0[
"CP:u • FMM 评估 > (n/ • 高度缩放检查(用于优化/容限) -u~:Gd*l0 ZI$P Qz2i 仅相位传输设计 (K6vXq.;\\ d/oD]aAEr
[attachment=123491] VrT-6r'Y 结构设计 Su,<idS py~[M'p(H
[attachment=123492] kd&~_=Q 使用TEA进行性能评估 T^d<vH K(MZ!>{
[attachment=123493] SI6?b1;-:F 使用FMM进行性能评估 /P[u vO 4>Ht_B<<
[attachment=123494] Gl{2"!mt= 进一步的分析(优化后,容差分析) (mi=I3A( Gz\wmH&rVz
[attachment=123495] )knK'H ( 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 KTo}xLT
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[attachment=123496] mDwuJf8} 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 ]x& R=)P (Y&gse1}!
[attachment=123497] 2^5RQl/ 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 qa:muW 2}P{7flDY
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