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infotek 2023-12-05 08:10

非傍轴衍射分束器的设计与严格分析

摘要 zLPCWP.u  
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   $?9u;+jIR  
非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 w1 A-_  
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任务 9h<iw\ $'  
• 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 Z*(OcQ-  
• 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 ^}kYJvqA  
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模拟与设置:工具简介与整体流程概览 aw7pr464  
连接建模技术:衍射光束分束器 Y"dTm;&  
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[attachment=123485] >f;oY9 {m  
通过配置助手和IFTA进行相位设计 9gZS )MZ  
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VotI5O $  
将传输函数转化为结构 \_+Af`  
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衍射光束分束器表面 Eb8z`@p  
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衍射光束求解器 - TEA & FMM ul"Z% 1]  
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 .o8pC  
2 xi@5;!  
[attachment=123490]
1+-F3ROP  
设计与评估结果: 8 ;=?Lw?  
• 相位函数设计 x o72JJ  
• 结构设计 d"+ _`d=`  
• TEA 评估 3W3d $  
• FMM 评估 J^Wqa$<;"  
• 高度缩放检查(用于优化/容限) w aDJ  
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仅相位传输设计 XsMETl"Av4  
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[attachment=123491]
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结构设计 ~>}7+p ?;  
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[attachment=123492]
b~K-mjJI  
使用TEA进行性能评估 1$"wN z  
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[attachment=123493]
ML X: S?  
使用FMM进行性能评估 2f 9%HX(5  
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[attachment=123494]
Q\$cBSJC1  
进一步的分析(优化后,容差分析) lpefOnO[  
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[attachment=123495] Zr;(a;QKs  
进一步优化 - 调整设计#1的零阶 cp+eh  
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[attachment=123496]
m RtE~~p  
进一步优化 - 调整设计#2的零阶 a#,lf9M  
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[attachment=123497]
+]{PEnJ  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 q5~fU$ ,  
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[attachment=123498]
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