非傍轴衍射分束器的设计与严格分析
摘要 M-71 1|eGI
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 Upe%rC(
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任务 S c0w.5m6
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 ^sw?gH*
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 [WmM6UEVS
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模拟与设置：工具简介与整体流程概览 l **X^+=$
连接建模技术：衍射光束分束器 z_HdISy0
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 L,\Iasv
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将传输函数转化为结构 p {_ " bB
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衍射光束分束器表面 3BI1fXT4=j
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衍射光束求解器 - TEA & FMM h{Y ",7] !
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 3`g^
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设计与评估结果： 7.Op<
• 相位函数设计 0B2t"(&
• 结构设计 4RO}<$Nx}
• TEA 评估 ]^E?;1$f?
• FMM 评估 :TbgFQ86~
• 高度缩放检查（用于优化/容限） @ JMiO^
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仅相位传输设计 ?,mmYW6TjB
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结构设计 ,+k\p5P
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使用TEA进行性能评估 9WHddDA
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使用FMM进行性能评估 !>tL6+yj
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进一步的分析（优化后，容差分析） pAEx# ck
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 L];b< *d
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 2 c}E(8e]
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进一步优化 - 调整设计#3的零阶 $'TM0Yu,
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