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2023-11-28 10:20 |
衍射及微纳光学系统的分析、设计与加工技术
时间地点： %M)oHX1p
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司；苏州黉论教育咨询有限公司 uCP6;~Ns
授课时间：2023年12月28日（四）-30日(六）共3天 AM 9:00-PM 16:00 FX|lhwmc(
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室 Kpp * ^
课程讲师：讯技光电高级工程师 aBVEk2 p
课程费用：5000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用)课程概要： VVQ7 4b
本课程从基本衍射原理开始，逐步阐明光的衍射本质以及衍射光学元件的工作原理。在基础衍射理论基础之上，进一步讨论衍射光学元件的设计方法。在传统衍射光学理论之上，再进一步讨论微纳光学领域中的矢量衍射理论，并以此为基础阐明多种微纳光学元件（如偏振元件）的设计理念。与理论设计相应的，课程中另一个重要方面是加工技术。如何根据需要选择合适的加工技术，是以质量为先还是需要考虑批量加工成本，这些问题也会在课程中讨论。此外，更重要的一点是，衍射和微纳元件的设计与加工技术往往是关联的，甚至是有所制约的。因此，我们会在课程中指明元件加工工艺以及设计方法之间的关系，并且在讲授相关内容的同时辅以VirtualLab Fusion在此方面的设计及建模方法，从而做到真正的学以致用，加速在微纳光学领域的领悟及开拓。 svq9@!go
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课程大纲： }u3H4S<o
1.波动光学基础 >.O*gv/ _
□ 双光束干涉及杨氏干涉 hKH$AEHEU}
□ 相干及非相干光源的传播特性 G x h~
□ 衍射光学与傅里叶变换 bDZ K Q&
2.衍射元件概述 8 `inRfpY
□ 衍射光学元件概念 tgvpf /cQ
□ 衍射光学元件优点 S1az3VJI\
□ 光束分束、整形、扩散 Hc&uE3=%sL
□ 傅里叶变换 = 8$0 $d
□ 角谱理论 Ql:
b1C,
□ 工作装置类型 RlslF9f
3.衍射光学元件理念及设计 }KD7 Y
□ 基本理念 A"BtVy[[9
□ 透镜和衍射光学元件的作用 o! 2 n}C
□ 分束、整形和扩散的实质 J hhUg
□ 衍射光学元件的特征尺寸 *m| t =9E
□ 衍射光学元件优化设计方法 RvPniT(<?
4.IFTA简介 "BLv4s|y7L
□ 基本设计步骤 RI5g+Du?
□ 光学系统结构——1f、2f、Fresnel、Far-field、角谱 G>[
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□ 参数估算——周期和线宽的估算 XAQ\OX#
□ 光学系统分辨率——不同结构的分辨率 PzMlua
□ 配置设计过程的优化评价函数 \`P2Yq
5.衍射元件设计案例 n?ZL"!$
□ 衍射分束器参数选择 /jZaU`
□ 衍射分束器设计流程：规则和任意形状 0\EpH[m}-
□ 衍射整形器参数选择 +#-kIaU
□ 衍射整形器设计流程：1D和2D平顶型 `' [7~ Ew[
□ 衍射扩散器参数选择 *w'q
□ 衍射扩散器设计流程：平顶型和任意图案 )p/=u@8_f
6.光栅模拟分析 {8!ZKlB
□ 构建stack f!M[awj%
□ 调整模拟参数——精度因子和衍射级次 +7i7`'9pd
□ 近场分析、衍射效率分析、内部场分析 "}'8`k+d
□ 2D光栅表面镀膜分析 J8GXI :y
□ 3D表面具有减反结构的光栅分析 D0Vyh" ua
□ 光栅单元阵列及透镜阵列的建模与分析 i14[3bPLk!
7.光栅概述 9S:{
□ 2D和3D光栅,亚波长光栅,及二元光学元件 Ism^ hyL
□ 标量衍射和傅里叶变换 .])>A')r
□ 矢量衍射和傅里叶模态法 cX|[WT0[ I
□ 纳米光学元件的应用：抗反射、偏振控制、成像、传感等 6?1s`{yy
8.微纳光学元件制作 J{Y6fHFi
□ 多阶器件加工 F,p`- m[q
□ 连续器件加工 V- D}U$fw
□ 传统套刻法 #D|!
.I)
□ 激光直写法 Xmap9x
□ 纳米光子器件制作概述 0On? {Bw
□ 衍射光学元件公差分析 yCF"Z/.
9.答疑 Z&+NmOY4
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