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2023-11-28 10:20 |
衍射及微纳光学系统的分析、设计与加工技术
时间地点: Ls|)SiXrY 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司;苏州黉论教育咨询有限公司 9@M;\ @&g 授课时间:2023年12月28日(四)-30日(六)共3天 AM 9:00-PM 16:00 1$}Tn 授课地点:上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室 Xsb.xxK. 课程讲师:讯技光电高级工程师 VWXyN 课程费用:5000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用)课程概要: fK@UlMC]7 本课程从基本衍射原理开始,逐步阐明光的衍射本质以及衍射光学元件的工作原理。在基础衍射理论基础之上,进一步讨论衍射光学元件的设计方法。在传统衍射光学理论之上,再进一步讨论微纳光学领域中的矢量衍射理论,并以此为基础阐明多种微纳光学元件(如偏振元件)的设计理念。与理论设计相应的,课程中另一个重要方面是加工技术。如何根据需要选择合适的加工技术,是以质量为先还是需要考虑批量加工成本,这些问题也会在课程中讨论。此外,更重要的一点是,衍射和微纳元件的设计与加工技术往往是关联的,甚至是有所制约的。因此,我们会在课程中指明元件加工工艺以及设计方法之间的关系,并且在讲授相关内容的同时辅以VirtualLab Fusion在此方面的设计及建模方法,从而做到真正的学以致用,加速在微纳光学领域的领悟及开拓。 Vfq-H /+ [attachment=123152] 7PfNPz<4+ g
p|G q [attachment=123153] o"N\l{ #s 课程大纲: 3,#qt}8` 1.波动光学基础 [ot+EA □ 双光束干涉及杨氏干涉 {RsdI=% □ 相干及非相干光源的传播特性 7S=]@* □ 衍射光学与傅里叶变换 Wa?\W& 2.衍射元件概述 4ee-tKH □ 衍射光学元件概念 |l|$Q; □ 衍射光学元件优点 <[gN4x>' □ 光束分束、整形、扩散 Y?oeP^V'u □ 傅里叶变换 :W-xsw □ 角谱理论 \dB z-H'@ □ 工作装置类型 /^si(BuC^* 3.衍射光学元件理念及设计 ffOV7Dxy □ 基本理念 h}m9L!+n8 □ 透镜和衍射光学元件的作用 7|ACJv6%9 □ 分束、整形和扩散的实质 *m&'6qsS □ 衍射光学元件的特征尺寸 '|%\QWuZ
□ 衍射光学元件优化设计方法 U;
#v-'Z 4.IFTA简介 L`w_Q2{sv □ 基本设计步骤 l~1l~Gx_&n □ 光学系统结构——1f、2f、Fresnel、Far-field、角谱 Fv^>^txh □ 参数估算——周期和线宽的估算 bI;u};v □ 光学系统分辨率——不同结构的分辨率 @9]TjZd □ 配置设计过程的优化评价函数 4Dd]:2|D 5.衍射元件设计案例 nob}}w]~C □ 衍射分束器参数选择 >#;>6q9_ □ 衍射分束器设计流程:规则和任意形状 RbA.&=3 □ 衍射整形器参数选择 dHn,;Vv^6 □ 衍射整形器设计流程:1D和2D平顶型
y?*Y=," □ 衍射扩散器参数选择 )5diX
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k □ 衍射扩散器设计流程:平顶型和任意图案 %NhZTmWm 6.光栅模拟分析 )h%tEY$AJ □ 构建stack ?O#"x{Pk □ 调整模拟参数——精度因子和衍射级次 9PR?'X;4 □ 近场分析、衍射效率分析、内部场分析 wX@g>( □ 2D光栅表面镀膜分析 PC?XE8o □ 3D表面具有减反结构的光栅分析 A22'qgKm@ □ 光栅单元阵列及透镜阵列的建模与分析 c`)[- 7.光栅概述 @7?L+.r$9 □ 2D和3D光栅,亚波长光栅,及二元光学元件 z_$F)*PL □ 标量衍射和傅里叶变换 9$R}GK □ 矢量衍射和傅里叶模态法 Fy^8]u*Fu □ 纳米光学元件的应用:抗反射、偏振控制、成像、传感等 ir;az{T#U 8.微纳光学元件制作 lxLEYDGFS □ 多阶器件加工 {%Q+Pzl. □ 连续器件加工 <q4<3A □ 传统套刻法 cEPqcy
* □ 激光直写法 ^K'XlM`a □ 纳米光子器件制作概述 \q|<\~A □ 衍射光学元件公差分析 +39p5O! 9.答疑 6l(HD([_p 对此课程感兴趣的小伙伴,可以扫码加微咨询联系 s";9G^: [attachment=123148]
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