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2023-11-28 10:20 |
衍射及微纳光学系统的分析、设计与加工技术
时间地点: {4u8~whLp 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司;苏州黉论教育咨询有限公司 hVQ
TW[ 授课时间:2023年12月28日(四)-30日(六)共3天 AM 9:00-PM 16:00 iO^z7Y7 授课地点:上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室 XRU^7@Ylks 课程讲师:讯技光电高级工程师 Vg1!
u+`< 课程费用:5000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用)课程概要: Qg]8~^Q< 本课程从基本衍射原理开始,逐步阐明光的衍射本质以及衍射光学元件的工作原理。在基础衍射理论基础之上,进一步讨论衍射光学元件的设计方法。在传统衍射光学理论之上,再进一步讨论微纳光学领域中的矢量衍射理论,并以此为基础阐明多种微纳光学元件(如偏振元件)的设计理念。与理论设计相应的,课程中另一个重要方面是加工技术。如何根据需要选择合适的加工技术,是以质量为先还是需要考虑批量加工成本,这些问题也会在课程中讨论。此外,更重要的一点是,衍射和微纳元件的设计与加工技术往往是关联的,甚至是有所制约的。因此,我们会在课程中指明元件加工工艺以及设计方法之间的关系,并且在讲授相关内容的同时辅以VirtualLab Fusion在此方面的设计及建模方法,从而做到真正的学以致用,加速在微纳光学领域的领悟及开拓。 0:K4, [attachment=123152] 1S!<D)n u+7B-l=u* [attachment=123153] W`zY\] 课程大纲: <a>\.d9#)7 1.波动光学基础 4fe$0mye □ 双光束干涉及杨氏干涉 Wj N0KA □ 相干及非相干光源的传播特性 Z,~"`9>Ss □ 衍射光学与傅里叶变换 v] *(Wd~| 2.衍射元件概述 BaSNr6
YW □ 衍射光学元件概念 gemjLuf □ 衍射光学元件优点 F12tOSfu* □ 光束分束、整形、扩散 qK
,mG{ □ 傅里叶变换 (`0dO8 □ 角谱理论 h'8w<n+%) □ 工作装置类型 ;bJ2miO"e 3.衍射光学元件理念及设计 lLuAZoH □ 基本理念 yKR0]6ahA □ 透镜和衍射光学元件的作用 <,S0C\la= □ 分束、整形和扩散的实质 9T*%CI □ 衍射光学元件的特征尺寸 ;d17xu?ks □ 衍射光学元件优化设计方法 {V&
2k9* 4.IFTA简介 ;0}8vs □ 基本设计步骤 {.7ve<K □ 光学系统结构——1f、2f、Fresnel、Far-field、角谱 (n{sp □ 参数估算——周期和线宽的估算 y]OW{5( □ 光学系统分辨率——不同结构的分辨率 B7Um G)C □ 配置设计过程的优化评价函数 a$p2I+lX 5.衍射元件设计案例 5BKmp-m □ 衍射分束器参数选择 @Yua%n6]#D □ 衍射分束器设计流程:规则和任意形状 }K=TB}yY □ 衍射整形器参数选择 &lYKi3}x □ 衍射整形器设计流程:1D和2D平顶型 ,j~R ^j □ 衍射扩散器参数选择 ?
C2 bA5M □ 衍射扩散器设计流程:平顶型和任意图案 _q([k_4h 6.光栅模拟分析 )=\W
sQ □ 构建stack ^iJMUV| □ 调整模拟参数——精度因子和衍射级次 ^&t(O1.- □ 近场分析、衍射效率分析、内部场分析 uNLB3Rdy} □ 2D光栅表面镀膜分析 06bl$% □ 3D表面具有减反结构的光栅分析 fTi,S)F' □ 光栅单元阵列及透镜阵列的建模与分析 !M~p __ 7.光栅概述 {aq\sf;i{ □ 2D和3D光栅,亚波长光栅,及二元光学元件 sV7dgvVd □ 标量衍射和傅里叶变换 OwGl& □ 矢量衍射和傅里叶模态法 2aUz.k8o □ 纳米光学元件的应用:抗反射、偏振控制、成像、传感等 }I7/FqrD 8.微纳光学元件制作 %l@Q&)f8e □ 多阶器件加工 Hk-)fl#dr □ 连续器件加工 3mn0 □ 传统套刻法 P[{w23`4 □ 激光直写法 ^o't& □ 纳米光子器件制作概述 +P6#7.p`Z □ 衍射光学元件公差分析 f}bUuQrH-! 9.答疑 }+`W[ h&u 对此课程感兴趣的小伙伴,可以扫码加微咨询联系 /2oTqEqaV [attachment=123148]
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