光刻照明系统中复眼透镜的设计及公差分析

在超大规模集成电路中，为了实现NA=135，波长193nm处分辨率达到 45nm的目标，需要对影响光刻照明均匀性的误差源进行详细分析最终确定公差范围。复眼透镜是使光束在系统掩膜面上形成矩形均匀照明区域的关键元件。采用CODEV软件设计了复眼透镜对引起照明不均匀性的因素进行分析，结合复眼透镜组的设计方案和实际加工能力，给出X和Y向复眼曲率公差为±10%，后组曲率公差为±5%，前后组间隔公差为±50μｍ，位置精度偏心公差为±1μｍ，装配精度公差为±3μｍ。制定公差合理、可行，满足了浸没式光刻照明系统高均匀性、高能量利用率的要求。

xpwj	2023-11-24 22:52
这个没接触过，下来看看

谭健	2023-11-25 13:08
下来看看

dxawlll	2023-11-25 14:38
学习一下

albert.qian	2023-11-26 15:55
学习，感谢分享。

songshaoman	2023-11-27 08:32
能用zemax分析么？

mang2004	2023-11-27 09:08
学习，谢谢分享

krafe	2023-11-27 12:28
感谢分享

444198029	2023-11-28 11:57
谢谢分享，学习一下

谭健	2023-11-28 13:23
下来看看

daoyeer	2023-11-29 10:49
学习一下 VQc_\|z_s

caiganyuhhh	2023-11-29 14:08
学习一下

莫名其妙331	2023-11-29 17:22
这个没接触过，下来看看

sincerels	2023-11-30 12:43
学习学习 E-T)*`e

何晓龙	2023-11-30 14:10
这个没接触过，下来看看

niusir	2023-12-01 09:27
学习，感谢分享

泡泡王	2023-12-07 13:51
谢谢分享

lucky_yu	2023-12-07 15:28
学习一下，

哈哈季	2023-12-08 13:15
感谢分享 J?1h

hale1987	2023-12-09 09:42
下来看看

yuxiaohu	2023-12-13 08:38
参考一下

谭健	2023-12-17 19:21
这些主要针对非成像光学系统的设计及应用吧？ =ElO?9&

qinzyong	2023-12-18 07:29
仔细学习学习，谢谢楼主分享！

yangpeipei	2023-12-18 14:07
看看，没设计过

ninesunzq	2023-12-28 11:20
感谢分享

凉开水	2024-01-03 11:15
学习，感谢分享。

opmeman	2024-01-05 10:23
下载下来看看

努力学习光学	2024-01-10 13:45
学习一下

peanut	2024-01-15 13:06
学习一下 Z_LFIz*c

byron77	2024-01-15 13:59
光刻知识，学习一下

lillman	2024-01-18 15:26
这个没接触过，下来看看

北极星的天空	2024-01-26 09:46
看一看

北极星的天空	2024-01-26 10:14
这种公差分析，用用照明软件Lighttools仿真会更好一些吧

天蓝色3230	2024-01-26 23:31
谢谢分享。

王教主	2024-02-02 10:53
学习一下，下来看看

远辰	2024-03-19 21:14
谢谢大佬分享

ioash	2024-03-22 11:53
codev建模微镜阵列学习一下

hanxy	2024-06-27 09:29
需求，感谢 Z&G+bdA>,

yzc2ljn	2024-07-01 03:21
看起来很厉害的样子

不懂想问	2024-07-03 13:47
感谢，辛苦

麒麟飞火	2024-07-03 16:53
如何实现！

willh	2024-07-05 15:08
瑕再学习

lengyummm	2024-08-08 14:53
积分透镜，应用比较广了

香格里拉	2024-08-19 21:15
多谢分享

玛露黛儿	2024-08-26 10:07
学习一下复眼透镜公差怎么加，

yexiaowei12322	2024-09-13 14:46
好资源

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