二元光栅设计流程
具有直壁或倾斜侧壁的二元光栅已成为许多光学应用中的关键部件。 感谢纳米压印技术,使小尺寸的光栅的制造已经变得可行。 VirtualLab Fusion采用内置的傅里叶模态方法(FMM,也称为RCWA)和不同的优化算法,为二元光栅提供了完整的用户友好的设计工作流程,和随后的制造误差分析,如圆边效应。 yR(x+Gs{] [1.+HyJ} 高效偏振无关透射光栅的分析与设计 8Q_SRwN OS8q( 2z?s
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