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小火龙果 2023-11-16 09:24

SYNOPSYS 光学设计软件课程四十八:从初始结构开始设计的微光刻透镜

课程四十八:从初始结构开始设计的微光刻透镜 ~=ktFuEa  
你现在使用的电脑有一个中央处理器,它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成,是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计,这将是一个好的学习例子。 W|e>  
本课将给出一个学习例子: R2`g?5v  
1. 镜片数22片 Sq,ty{j2%  
2. 物高31mm Q ^rW^d  
3. 物方数值孔径NA 0.2 bn35f<+  
4. 波长为UV X%CPz.G  
5. 像方晶圆尺寸是12.66mm B;r$( 'UZ  
6. 总长小于1200mm ~2431<YV  
UGt7iT<`8  
这种透镜在物方和像方上都是有限共轭的,最好分两步设计。首先,我们将为左半部分设计一个镜片组,可以让光束经过遮光罩,光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组,将准直光束成像到晶圆片上。 .*blM1+6i/  
uek3Y[n  
首先,我们将使用 DSEARCH 为左半部分设计出11个镜片的镜头,输入的命令如下: \[EWxu  
下面是对 DSEARCH 的输入: dCTpO  
【评论留言添加工作人员,领取文章中运行宏文件】 JrTBe73.]j  
z:5ROlk0  
返回一个非常好的初始结构,我们将它保存。使用命令为:SAVE LEFT11.
u_8 22Z  
[attachment=122668]
{;DZ@2|  
现在激活 ACON 2,我们使用 DSEARCH 来设计右半边的镜片组,输入命令如下: :,,y63-f4  
【评论留言添加工作人员,领取文章中运行宏文件】 A5ID I<a  
L? +|%[  
结果很好,我们保存了这个镜头,使用命令:SAVE RIGHT11. o7XRa]O  
[attachment=122667] yZ$;O0f&&  
sLp LY1X  
现在把这两部分合并起来。再次激活 ACON 1,并输入: YO0x68  
    COMBINE 23 1I_q3{  
    RIGHT11.现在它们被合并成了一个镜头。
[attachment=122673] ]#.&f]6l  
z{L;)U B^  
现在打开由 DSEARCH 为右半部分镜片组准备的优化宏,修改 TOTL的设置,指定1200mm长度的上限(LLL 1200 .01 1 A TOTL)。还为后焦添加一个控制目标,现在由 solve 控制。(M 11 .1 A BACK)。然后运行宏并模拟退火(33,2,50)。镜头得到了改进。
[attachment=122672] )\Q|}JV  
[attachment=122669] O Zm[i H  
=Gz>ZWF  
查看多视场衍射 MTF,在像质分析中,选择 MTF(衍射)  多视场衍射 MTF,颜色为 M,然后运行 MMF
[attachment=122670] *8H;KGe=  
[attachment=122676]
[attachment=122671]
_PXo'*j  
查看畸变图,在像质分析中,选择像差畸变,颜色为 M ,运行 DIS
[attachment=122674]
[attachment=122675]
[attachment=122677] EsB'nf r  
d<? :Q  
我们有了一个非常好的微光刻镜头。 -yGm^EwP  
很高兴您选择 SYNOPSYS 来设计您的镜头,它可以快速的做出非常好的设计。 {WOfT6y+  
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