SYNOPSYS 光学设计软件课程四十八：从初始结构开始设计的微光刻透镜
课程四十八：从初始结构开始设计的微光刻透镜 rjAn@!| :+
你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。 ,vawzq[oSy
本课将给出一个学习例子:
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1. 镜片数22片 KV aiugQ
2. 物高31mm r~8 $1"
3. 物方数值孔径NA 0.2 ?V.cOR`6
4. 波长为UV $am$ EU?s
5. 像方晶圆尺寸是12.66mm be Ga#JH,
6. 总长小于1200mm E h vX)s
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这种透镜在物方和像方上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 {.|CdqwY
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首先，我们将使用 DSEARCH 为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下： "ycJ:Xv49
下面是对 DSEARCH 的输入： FFpT ~.
【评论留言添加工作人员，领取文章中运行宏文件】 4G 0m\[Du
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返回一个非常好的初始结构，我们将它保存。使用命令为：SAVE LEFT11. R nE 4<Cy
[attachment=122668] h0f;F@I
现在激活 ACON 2，我们使用 DSEARCH 来设计右半边的镜片组，输入命令如下： q5+4S5R*^
【评论留言添加工作人员，领取文章中运行宏文件】 D|p9qe5%
o5GcpbZ3k
结果很好，我们保存了这个镜头，使用命令：SAVE RIGHT11. 1{. |+S Z!
[attachment=122667] ~P,lz!h e_
e}7lBLK]*
现在把这两部分合并起来。再次激活 ACON 1，并输入： RJ&RTo
COMBINE 23 MUc$ j&
RIGHT11.现在它们被合并成了一个镜头。[attachment=122673] 7"x;~X
T2W eE@o
现在打开由 DSEARCH 为右半部分镜片组准备的优化宏，修改 TOTL的设置，指定1200mm长度的上限(LLL 1200 .01 1 A TOTL)。还为后焦添加一个控制目标，现在由 solve 控制。(M 11 .1 A BACK)。然后运行宏并模拟退火(33,2,50)。镜头得到了改进。[attachment=122672] |F[+k e
[attachment=122669] wo/\]5
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查看多视场衍射 MTF，在像质分析中，选择 MTF（衍射） 多视场衍射 MTF，颜色为 M，然后运行 MMF[attachment=122670] #L;dI@7C
[attachment=122676] [attachment=122671] ! E5HN :#
查看畸变图，在像质分析中，选择像差畸变，颜色为 M ，运行 DIS[attachment=122674] [attachment=122675] [attachment=122677] Y =I' czg
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我们有了一个非常好的微光刻镜头。 i$#;Kpb`^
很高兴您选择 SYNOPSYS 来设计您的镜头，它可以快速的做出非常好的设计。 [yQt^!;
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