SYNOPSYS 光学设计软件课程四十八:从初始结构开始设计的微光刻透镜
课程四十八:从初始结构开始设计的微光刻透镜 MY1
tYO 你现在使用的电脑有一个中央处理器,它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成,是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计,这将是一个好的学习例子。 `b9oH^}n j 本课将给出一个学习例子: I|iI
,l/9 1. 镜片数22片 {SK8Mdn 2. 物高31mm [-Q"A
6!Zd 3. 物方数值孔径NA 0.2 !.3
MtXr 4. 波长为UV i?*&1i@ 5. 像方晶圆尺寸是12.66mm @JN%P}4) 6. 总长小于1200mm j-yD;N }yB@? 这种透镜在物方和像方上都是有限共轭的,最好分两步设计。首先,我们将为左半部分设计一个镜片组,可以让光束经过遮光罩,光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组,将准直光束成像到晶圆片上。 Jz3 q
Pr t(}&<<1Bz 首先,我们将使用 DSEARCH 为左半部分设计出11个镜片的镜头,输入的命令如下: 7g(rJGjtg 下面是对 DSEARCH 的输入: Wy4v~]xd% 【评论留言添加工作人员,领取文章中运行宏文件】 5<d
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返回一个非常好的初始结构,我们将它保存。使用命令为:SAVE LEFT11. qJISB7F[%O
[attachment=122668] PB }$.8 现在激活 ACON 2,我们使用 DSEARCH 来设计右半边的镜片组,输入命令如下: ,QG,tf? 【评论留言添加工作人员,领取文章中运行宏文件】 |vEfE{ *%8,G'"r? 结果很好,我们保存了这个镜头,使用命令:SAVE RIGHT11. FVF:1DT
[attachment=122667] C-4I
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G_dia6 现在把这两部分合并起来。再次激活 ACON 1,并输入: 3OM\R%M COMBINE 23 "q]v2t RIGHT11.现在它们被合并成了一个镜头。[attachment=122673] Blaj07K
[nG/>Z]W 现在打开由 DSEARCH 为右半部分镜片组准备的优化宏,修改 TOTL的设置,指定1200mm长度的上限(LLL 1200 .01 1 A TOTL)。还为后焦添加一个控制目标,现在由 solve 控制。(M 11 .1 A BACK)。然后运行宏并模拟退火(33,2,50)。镜头得到了改进。[attachment=122672] 14zo0ANM
[attachment=122669] D(Xv shQ
s'LG3YV-< 查看多视场衍射 MTF,在像质分析中,选择 MTF(衍射) 多视场衍射 MTF,颜色为 M,然后运行 MMF[attachment=122670] C"0gAN
[attachment=122676] [attachment=122671] Z.YsxbH3 查看畸变图,在像质分析中,选择像差畸变,颜色为 M ,运行 DIS[attachment=122674] [attachment=122675] [attachment=122677] 0}P&G^%"
Zvr(c|Q 我们有了一个非常好的微光刻镜头。 p8F|]6Z 很高兴您选择 SYNOPSYS 来设计您的镜头,它可以快速的做出非常好的设计。 z!RA=]3h
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