SYNOPSYS 光学设计软件课程四十八：从初始结构开始设计的微光刻透镜
课程四十八：从初始结构开始设计的微光刻透镜 y'
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你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。 =^5, ua6
本课将给出一个学习例子: 4DTT/ER'qA
1. 镜片数22片 R5b!Ao
2. 物高31mm @
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3. 物方数值孔径NA 0.2 g^mnYg5
4. 波长为UV fvNj5 Vq:
5. 像方晶圆尺寸是12.66mm hN"cXz"/
6. 总长小于1200mm r:~ q {
o"19{ D^.
这种透镜在物方和像方上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 CTP!{<ii
UzKB "Q
首先，我们将使用 DSEARCH 为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下： W|I<hY\X
下面是对 DSEARCH 的输入： q L-Ni
【评论留言添加工作人员，领取文章中运行宏文件】 }fqy vI
25H=RTw
返回一个非常好的初始结构，我们将它保存。使用命令为：SAVE LEFT11. k;~*8i=%,\
[attachment=122668] 2E$K='H:,
现在激活 ACON 2，我们使用 DSEARCH 来设计右半边的镜片组，输入命令如下： bQ `|G(g-d
【评论留言添加工作人员，领取文章中运行宏文件】 F`e o3z
UV#DN`%n
结果很好，我们保存了这个镜头，使用命令：SAVE RIGHT11. 14S_HwX
[attachment=122667] @p 2XaqZ
yLY$1#Sa
现在把这两部分合并起来。再次激活 ACON 1，并输入： Gl]z@ZXWIw
COMBINE 23 .:(T}\]R
RIGHT11.现在它们被合并成了一个镜头。[attachment=122673] szw|`S>o
`Re {j{~s
现在打开由 DSEARCH 为右半部分镜片组准备的优化宏，修改 TOTL的设置，指定1200mm长度的上限(LLL 1200 .01 1 A TOTL)。还为后焦添加一个控制目标，现在由 solve 控制。(M 11 .1 A BACK)。然后运行宏并模拟退火(33,2,50)。镜头得到了改进。[attachment=122672] 6Q~(ibKx
[attachment=122669] Nq >"vEq)
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查看多视场衍射 MTF，在像质分析中，选择 MTF（衍射） 多视场衍射 MTF，颜色为 M，然后运行 MMF[attachment=122670] ^o-)y"GJ
[attachment=122676] [attachment=122671] 5ST k"
查看畸变图，在像质分析中，选择像差畸变，颜色为 M ，运行 DIS[attachment=122674] [attachment=122675] [attachment=122677] R\Of ,
CYn56eRK
我们有了一个非常好的微光刻镜头。 K4vOy_wT
很高兴您选择 SYNOPSYS 来设计您的镜头，它可以快速的做出非常好的设计。 r=cm(AHF
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