SYNOPSYS 光学设计软件课程四十八：从初始结构开始设计的微光刻透镜
课程四十八：从初始结构开始设计的微光刻透镜 P c4R!T c
你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。 u
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本课将给出一个学习例子: T8q[7Zn
1. 镜片数22片 w ~v<v&
2. 物高31mm 5fq. *1f
3. 物方数值孔径NA 0.2 OLFt;h
4. 波长为UV @aB9%An1
5. 像方晶圆尺寸是12.66mm RV]a% mVlM
6. 总长小于1200mm n2 na9dX)w
T{ nQjYb?
这种透镜在物方和像方上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 %<S7
e 2*F;.)
首先，我们将使用 DSEARCH 为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下： ~|=rwDBZ8l
下面是对 DSEARCH 的输入： XWF7#xM
【评论留言添加工作人员，领取文章中运行宏文件】 2E$i_jc
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返回一个非常好的初始结构，我们将它保存。使用命令为：SAVE LEFT11. =dn1}
[attachment=122668] ftW{C1,U7
现在激活 ACON 2，我们使用 DSEARCH 来设计右半边的镜片组，输入命令如下： zg0%>iq O
【评论留言添加工作人员，领取文章中运行宏文件】 77_g}N
H:E5xz3V Q
结果很好，我们保存了这个镜头，使用命令：SAVE RIGHT11. :xN 8R^(
[attachment=122667] %g-0O#8}
b.6ZfB,+G
现在把这两部分合并起来。再次激活 ACON 1，并输入： T:)% P6/
COMBINE 23 9C1b^^Kb
RIGHT11.现在它们被合并成了一个镜头。[attachment=122673] |)'; CBb
zK /f$}
现在打开由 DSEARCH 为右半部分镜片组准备的优化宏，修改 TOTL的设置，指定1200mm长度的上限(LLL 1200 .01 1 A TOTL)。还为后焦添加一个控制目标，现在由 solve 控制。(M 11 .1 A BACK)。然后运行宏并模拟退火(33,2,50)。镜头得到了改进。[attachment=122672] .='3bQ(UZ4
[attachment=122669] d.b?! kn
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查看多视场衍射 MTF，在像质分析中，选择 MTF（衍射） 多视场衍射 MTF，颜色为 M，然后运行 MMF[attachment=122670] As p8qHS
[attachment=122676] [attachment=122671] q1<Fg.-r
查看畸变图，在像质分析中，选择像差畸变，颜色为 M ，运行 DIS[attachment=122674] [attachment=122675] [attachment=122677] I-,X wj-
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我们有了一个非常好的微光刻镜头。 tbRE/L<
很高兴您选择 SYNOPSYS 来设计您的镜头，它可以快速的做出非常好的设计。 XzlIW&" uC
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