SYNOPSYS 光学设计软件课程四十八:从初始结构开始设计的微光刻透镜
课程四十八:从初始结构开始设计的微光刻透镜 ~=ktFuEa 你现在使用的电脑有一个中央处理器,它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成,是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计,这将是一个好的学习例子。 W|e> 本课将给出一个学习例子: R2`g?5v 1. 镜片数22片 Sq,ty{j2% 2. 物高31mm Q^rW^d 3. 物方数值孔径NA 0.2 bn35f<+ 4. 波长为UV X%CPz.G 5. 像方晶圆尺寸是12.66mm B;r$( 'UZ 6. 总长小于1200mm ~2431<YV UGt7iT<`8 这种透镜在物方和像方上都是有限共轭的,最好分两步设计。首先,我们将为左半部分设计一个镜片组,可以让光束经过遮光罩,光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组,将准直光束成像到晶圆片上。 .*blM1+6i/ uek3Y[n 首先,我们将使用 DSEARCH 为左半部分设计出11个镜片的镜头,输入的命令如下: \[EWxu 下面是对 DSEARCH 的输入: dCTpO 【评论留言添加工作人员,领取文章中运行宏文件】 JrTBe73.]j z:5ROlk0
返回一个非常好的初始结构,我们将它保存。使用命令为:SAVE LEFT11. u_8 22Z
[attachment=122668] {;DZ@2| 现在激活 ACON 2,我们使用 DSEARCH 来设计右半边的镜片组,输入命令如下: :,,y63-f4 【评论留言添加工作人员,领取文章中运行宏文件】 A5ID I<a L?+|%[ 结果很好,我们保存了这个镜头,使用命令:SAVE RIGHT11. o7XRa]O
[attachment=122667] yZ$;O0f&&
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LY1X 现在把这两部分合并起来。再次激活 ACON 1,并输入: YO0x68 COMBINE 23 1I_q3 { RIGHT11.现在它们被合并成了一个镜头。[attachment=122673] ]#.&f]6l
z{L;)U B^ 现在打开由 DSEARCH 为右半部分镜片组准备的优化宏,修改 TOTL的设置,指定1200mm长度的上限(LLL 1200 .01 1 A TOTL)。还为后焦添加一个控制目标,现在由 solve 控制。(M 11 .1 A BACK)。然后运行宏并模拟退火(33,2,50)。镜头得到了改进。[attachment=122672] )\Q|}JV
[attachment=122669] OZm[iH
=Gz>ZWF 查看多视场衍射 MTF,在像质分析中,选择 MTF(衍射) 多视场衍射 MTF,颜色为 M,然后运行 MMF[attachment=122670] *8H;KGe=
[attachment=122676] [attachment=122671] _PXo'*j 查看畸变图,在像质分析中,选择像差畸变,颜色为 M ,运行 DIS[attachment=122674] [attachment=122675] [attachment=122677] EsB'nf r
d<? :Q 我们有了一个非常好的微光刻镜头。 -yGm^EwP 很高兴您选择 SYNOPSYS 来设计您的镜头,它可以快速的做出非常好的设计。 {WOfT6y+
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