SYNOPSYS 光学设计软件课程四十八:从初始结构开始设计的微光刻透镜
课程四十八:从初始结构开始设计的微光刻透镜 M!=v"C# 你现在使用的电脑有一个中央处理器,它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成,是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计,这将是一个好的学习例子。 W #qM$ 本课将给出一个学习例子: K;-:C9@ 1. 镜片数22片 Q=gVxS 2. 物高31mm h|%d=`P, 3. 物方数值孔径NA 0.2 }tx~y-QQ 4. 波长为UV M.d{:&@`% 5. 像方晶圆尺寸是12.66mm i(,R$AU 6. 总长小于1200mm xVKx#X9yk u!nt0hS 这种透镜在物方和像方上都是有限共轭的,最好分两步设计。首先,我们将为左半部分设计一个镜片组,可以让光束经过遮光罩,光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组,将准直光束成像到晶圆片上。 rN{&$+"2 ~srmlBi6 首先,我们将使用 DSEARCH 为左半部分设计出11个镜片的镜头,输入的命令如下: KE YM@,' 下面是对 DSEARCH 的输入: >K-O2dry* 【评论留言添加工作人员,领取文章中运行宏文件】 <g,k[ Qkqn~>
返回一个非常好的初始结构,我们将它保存。使用命令为:SAVE LEFT11. f]5bAs
[attachment=122668] 4pq >R 现在激活 ACON 2,我们使用 DSEARCH 来设计右半边的镜片组,输入命令如下: GWA_,/jS% 【评论留言添加工作人员,领取文章中运行宏文件】 sj. eJX"z wGISb\rr 结果很好,我们保存了这个镜头,使用命令:SAVE RIGHT11. s&y
[attachment=122667] m98k/w_
m^T$H_*; 现在把这两部分合并起来。再次激活 ACON 1,并输入: &.7\{q\( COMBINE 23 $z@e19g T RIGHT11.现在它们被合并成了一个镜头。[attachment=122673] 9z_Gf]J~
uVu`TgbZ 现在打开由 DSEARCH 为右半部分镜片组准备的优化宏,修改 TOTL的设置,指定1200mm长度的上限(LLL 1200 .01 1 A TOTL)。还为后焦添加一个控制目标,现在由 solve 控制。(M 11 .1 A BACK)。然后运行宏并模拟退火(33,2,50)。镜头得到了改进。[attachment=122672] [Bpgb57En
[attachment=122669] ,[Cl 'B
M?$-u 查看多视场衍射 MTF,在像质分析中,选择 MTF(衍射) 多视场衍射 MTF,颜色为 M,然后运行 MMF[attachment=122670] W
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[attachment=122676] [attachment=122671] fb`VYD9[^ 查看畸变图,在像质分析中,选择像差畸变,颜色为 M ,运行 DIS[attachment=122674] [attachment=122675] [attachment=122677]
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r<"*< 我们有了一个非常好的微光刻镜头。 sd8o&6 很高兴您选择 SYNOPSYS 来设计您的镜头,它可以快速的做出非常好的设计。 A7|"0*62
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