SYNOPSYS 光学设计软件课程四十八：从初始结构开始设计的微光刻透镜
课程四十八：从初始结构开始设计的微光刻透镜 8 t`lRWJ
你现在使用的电脑有一个中央处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上最精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。 hj,y l&
本课将给出一个学习例子: NM+ (ss'
1. 镜片数22片 ndHUQ$/(
2. 物高31mm # 83pitcc
3. 物方数值孔径NA 0.2 ;VS$xnZ
4. 波长为UV .O6(Q I*
5. 像方晶圆尺寸是12.66mm =XFyEt
6. 总长小于1200mm =f K6P6'B
~PyZh5 x
这种透镜在物方和像方上都是有限共轭的，最好分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。 c]68$;Z7
_B7+n"t\r
首先，我们将使用 DSEARCH 为左半部分设计出11个镜片的镜头，输入的命令如下： xjh(;S'
下面是对 DSEARCH 的输入： dO4J f9)
【评论留言添加工作人员，领取文章中运行宏文件】 J KA%$l0
65U&P5W
返回一个非常好的初始结构，我们将它保存。使用命令为：SAVE LEFT11. LG;U?:\
[attachment=122668] ffR<G&"n~b
现在激活 ACON 2，我们使用 DSEARCH 来设计右半边的镜片组，输入命令如下： :gTtWJ04]
【评论留言添加工作人员，领取文章中运行宏文件】 +g&M@8XO&
S |r,RBeZ
结果很好，我们保存了这个镜头，使用命令：SAVE RIGHT11. sFw;P`
[attachment=122667] |p`}vRv
Uh
N#GMvU#R
现在把这两部分合并起来。再次激活 ACON 1，并输入： 6e%ZNw{#=
COMBINE 23 x9\]C' *sO
RIGHT11.现在它们被合并成了一个镜头。[attachment=122673] l7#2
e ORm
+}iuTqu5
现在打开由 DSEARCH 为右半部分镜片组准备的优化宏，修改 TOTL的设置，指定1200mm长度的上限(LLL 1200 .01 1 A TOTL)。还为后焦添加一个控制目标，现在由 solve 控制。(M 11 .1 A BACK)。然后运行宏并模拟退火(33,2,50)。镜头得到了改进。[attachment=122672] i2E@5 v=|Y
[attachment=122669] yOO@v6jO)
oAgU rl;R
查看多视场衍射 MTF，在像质分析中，选择 MTF（衍射） 多视场衍射 MTF，颜色为 M，然后运行 MMF[attachment=122670] <=]:ED $V@
[attachment=122676] [attachment=122671] P
c'\
查看畸变图，在像质分析中，选择像差畸变，颜色为 M ，运行 DIS[attachment=122674] [attachment=122675] [attachment=122677] 3|BB#;
RV ),E:?
我们有了一个非常好的微光刻镜头。 LerRrN}~
很高兴您选择 SYNOPSYS 来设计您的镜头，它可以快速的做出非常好的设计。 ]h'*L`
|