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2023-11-15 08:23 |
高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计
摘要 R4}G@&Q
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光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Xu HJy
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光栅特性与参数的严格分析 txr!3-Ne'!
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不同光栅周期的衍射效率 wb 4 4
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考虑光栅周期的选择 Q*$x!q
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偏振相关衍射特性 C& Nd|c
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偏振相关衍射特性 ;
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基于参数优化的光栅设计 .M:,pw"S]
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具有固定周期的二维参数优化 m/Yi;>I(
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二维参数优化 - 设计＃1 vn}Vb+@R
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不同光栅周期的三维参数优化 bk4% lYJ"
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制造公差分析 y'pG'"U]_
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