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infotek 2023-11-15 08:23

高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计

摘要 (>,}C/-UG  
cT.8&EEW  
光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 {P7 I<^,  
df R?O#JPU  
[attachment=122557]  QUb#84  
Aq*,cOF+  
设计任务 E]&tgZO  
5T-CAkR{n  
[attachment=122558] +eVm+4WK  
/4Sul*{hc  
光栅特性与参数的严格分析 rx\f:-3g  
%7SGQE#W_~  
不同光栅周期的衍射效率 Y- tK  
X B[C&3I  
[attachment=122559] 3FQXp  
`]$H\gNI[8  
考虑光栅周期的选择 Pm=i(TBS/  
OlcWptM$  
[attachment=122560] FNHJHuTe  
偏振相关衍射特性 nK>D& S_!  
QG]*v=Z  
[attachment=122561] IuOQX}  
Uv|^k8(  
偏振相关衍射特性 zz[[9Am!  
3BK_$Fy  
[attachment=122562] r.10b]b  
Y}hz UKJ  
偏振相关衍射特性 'l41];_  
tKLAA+Z  
[attachment=122563] 1vL$k[^&d  
W't.e0L<6  
基于参数优化的光栅设计 QV*W#K\7q  
L.$+W}  
具有固定周期的二维参数优化 q@ %9Y3  
-FW'i10\2+  
[attachment=122564] ;o?Wn=J  
二维参数优化 - 设计#1 jKhj 7dR  
S+M:{<AR  
[attachment=122565] idGhWV'  
H\RuYCn2G  
二维参数优化 - 设计#2 fudLm  
gt:Ot0\7  
[attachment=122566]  j.vBld  
xyaU!E*  
制造公差分析 - 设计#2 }c;h:CE#  
ba"a!#wA  
[attachment=122567] c[E>2P2-_  
* ~4m!U_s  
不同光栅周期的三维参数优化 ^ ^R4%C  
RWK##VHK  
[attachment=122568] VkDFR [k_  
hP]zC1s  
制造公差分析 @V5'+^O  
T7!=KE_z  
[attachment=122569] }hX"A!0  
9KLhAYaq  
走进VirtualLab Fusion   +H8;*uZ|k,  
xrky5[XoD  
[attachment=122570] Gj(UA1~1  
||vQW\g  
VirtualLab Fusion 工作流程 js8GK  
;3k6_ub  
[attachment=122571] uH?lj&  
DU: sQS4  
VirtualLab Fusion技术 /DQcM.3  
2\1\Jn#q  
[attachment=122572]
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