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2023-11-15 08:23 |
高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计
摘要 E$ B7E@(U
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光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Wn61;kV_)
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光栅特性与参数的严格分析 :bJT2o[
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不同光栅周期的衍射效率 0 5]y*I
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考虑光栅周期的选择 G /l 28yt
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偏振相关衍射特性 `:=af[ n
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偏振相关衍射特性 dj>ZHdTn
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基于参数优化的光栅设计 tw<mZd2H
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具有固定周期的二维参数优化 0keq tr
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制造公差分析 - 设计＃2 <B+xE ?v4
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