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2023-11-15 08:22 |
倾斜光栅的参数优化与容差分析
摘要 !JA//{? Dfy=$:Q 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 RhkTN'vO gPIl:, d( [attachment=122629] E_Fm5zb?X 06[HE7 建模任务 q$'[&& | |