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2023-11-13 14:41 |
激光干涉仪:机床导轨平行度垂直度精密测量工具
[attachment=122481]激光干涉仪是一种利用激光干涉原理进行测量的精密仪器。广泛应用于光学、机械、电子等各种领域的测量。其中,平行度和垂直度的测量是激光干涉仪的重要应用之一。 p6[a"~y p.q:vI$J 传统的测量方法通常采用机械测量或光学测量,但这些方法存在着精度低、误差大、易受环境影响等缺点。而激光干涉仪具有高精度、高灵敏度、非接触性等优点,能够实现平行度和垂直度的高精度测量。 ?@9kVB*| [attachment=122478] w:Fi
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Qgg|; 激光干涉仪平行度测量原理 c/ wzV 平行度测量是在直线度测量的基础上而扩展的应用。平行度测量由平行轴的两组直线度测量组成,参见下面平行度测量光路原理构件图,其中直线度反射镜作为共同的参考基准,在测量过程中保持原位,且不进行调整。由第1运动轴的斜度θ1中减去第2运动轴的斜度θ2,即可得出平行度=θ1-θ2。 <@n/[ +3 [attachment=122479] @<--5HbX ^RG6h 平行度测量配置及应用 sk!v!^\_r 平行度测量配置主要由SJ6000主机、短直线度镜组(或长直线度镜组)、SJ6000静态测量软件等组件构成。Z轴的平行度测量需增添可调转向镜。 @EzSosmF [attachment=122480] @.fuR# BVxg=7%St SU"-%}~O#, 激光干涉仪垂直度测量原理 PIo/|1 垂直度的测量是直线度测量在二维方向上的延伸。垂直度测量由正交轴的两组直线度测量组成,详见下面垂直度测量光路原理构件图,其中直线度反射镜作为共同的参考基准,在测量过程中保持原位,且不进行调整;光学角尺用于至少在其中一次直线度测量中,允许调整激光束与轴的准直。垂直度误差=光学直角尺误差-斜度θ1-斜度θ2。 %4U;Rdq&Ud [attachment=122481] !v|j C *L8Pj`zR 垂直度测量配置及应用 9^J8V]X 垂直度测量配置主要由SJ6000主机、短直线度镜组(或长直线度镜组)、垂直度镜组(含光学直角尺)、SJ6000静态测量软件等组件构成。 d$s1l [attachment=122482] k,M%/AXd v$"#9oh IC+Z C 激光干涉仪测量优点 %'j)~ 1. 高精度 Y((s<]7 SJ6000激光干涉仪采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出,精度可以达到纳米级别,可以准确地测量出平行度和垂直度的微小变化。 K1Nhz'^=D 2. 非接触性 |@={:gRJ{x SJ6000激光干涉仪不需要接触被测物体,不会对被测物体产生影响,也不会因为磨损而导致误差。 ,+P!R0PNH 3. 快速稳定 ^jb55X} SJ6000激光干涉仪采用高速干涉信号采集、调理及细分技术,可实现高4m/s的测量速度,以及纳米级的分辨率,测量速度非常快;而且干涉镜与主机分离设计,避免干涉镜受热影响,干涉光路稳定可靠,保证了长时间的稳定测量。 1?"vKm 4. 适用范围广 AJSe +1 激光干涉仪可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。 <OF7:f [attachment=122483] dg 0`0k R-J\c+C>W 总之,激光干涉仪是一种强大的测量工具,可以广泛应用于各种领域的平行度和垂直度测量工作。它的出现为各种精密制造和科学实验提供了强有力的技术支持。
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