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infotek 2023-11-08 15:30

倾斜光栅的参数优化与容差分析

摘要 ;X+G6F'  
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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 } 9MW! Ss  
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VirtualLab Fusion一瞥 [,\'V0  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 !1ie:z>s  
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构建光栅结构 [+ %p!T  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] m _t(rn~f6  
−倾斜光栅高级设定[用例] "uV0Oj9:  
•光栅衍射效率分析 :vn0|7W4  
−光栅阶序分析器[用例] }e&KO?x+  
•使用参数优化进行光栅参数优化 9`nP(~  
•使用参数运行的容差分析 K1m!S9d`x  
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VirtualLab Fusion技术 :ofE8]  
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