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2023-11-08 15:30 |
倾斜光栅的参数优化与容差分析
摘要 'Em5AA`> ''Lf6S`4X~ 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 ?)x"+[2 :Fe}.* t [attachment=122253] NGsG4y^g?z WX@a2c.' 设计任务 vUtA@ 3zdm-5R.b [attachment=122254] -+9,RtHR7 ozF173iI 1级参数优化 jIpc^iu`, 2`2S94' [attachment=122255] j5eX?bi_v QLr.5Wcg> 结果-容差分析 ,OGXH2!h '3h"Ol{b [attachment=122256] P*9vs %W puE!7:X7 结果-容差分析 VZ69s{/.B <$ H-/~Y [attachment=122257] W7R`})F ?g7O([*[ VirtualLab Fusion一瞥 )?L H_ecb;|mP [attachment=122258] mpcO-%a YfB8
VirtualLab Fusion中的工作流程 h5+L/8+J^z Wzm!:U2R* 构建光栅结构 )HaW# ,XB −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] ~Vh< mt −倾斜光栅高级设定[用例] 'aLTiF+ •光栅衍射效率分析 ^p@ # −光栅阶序分析器[用例] D'
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