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2023-11-08 08:05 |
白光迈克尔逊干涉仪
1.摘要 ~`nm<
=!1-AR%.^ 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 "ZA$"^ 'xLM>6[wz [attachment=122216] i?1js ! 8 >
{'5>6u 2. 建模任务 a2(D!_dZR WI*^+E&=* [attachment=122217] t1.zWe+C>3 2XETQ; 9 3. 干涉条纹的变化 2|T|K?R^ (R;)
9I\ [attachment=122218] X\c1q4oB[ kz$6}&uk 4. 走进VirtualLab Fusion !4qps$p{ s/W!6JX4 [attachment=122219] }(f.uN_v rE
bx%u7Q 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 ^cKv JSY Q5`+eQ?_\ [attachment=122220] ,N))=/ Kdryl 6. VirtualLab Fusion 技术 .dg 4gr\D m-Z'K_oQ [attachment=122221]
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