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2023-11-07 08:15 |
全场光学相干扫描干涉仪
摘要 N L^;C3 u
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 L m-f0\(
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建模任务 Z= +Tw!wR>
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仿真干涉条纹 wZUZ"Y}9
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走进VirtualLab Fusion
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VirtualLab Fusion中的工作流程 !We9T )e
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•设置输入场 7+NBcZuG9
−基本光源模型[教程视频] g+j\wvx 0
•使用导入的数据自定义表面轮廓 Kj7
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•定义元件的位置和方向 \? n<UsI
− LPD II：位置和方向[教程视频] (.J 6>"K<
•正确设置通道以进行非序列追迹 oA* 88c+{f
−非序列追迹的通道设置[用例] 2^X<n{0N)
•使用参数运行检查影响/变化 Mdw"^x$7
−参数运行文档的使用[用例] r1&eA% eh
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VirtualLab Fusion技术 u0Bz]Ux/Q
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