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2023-11-07 08:15 |
全场光学相干扫描干涉仪
摘要 .!yXto:
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 6CoDn(+z
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建模任务 {C6,h#|pg
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仿真干涉条纹 i,5mH$a&u:
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走进VirtualLab Fusion koQ\]t'*As
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VirtualLab Fusion中的工作流程 R5_xli%
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•设置输入场 `;?`X C"m
−基本光源模型[教程视频] Pc"g
•使用导入的数据自定义表面轮廓 Npq_1L
•定义元件的位置和方向 RM/q\100
− LPD II：位置和方向[教程视频] #^|"dIZ_M
•正确设置通道以进行非序列追迹 ;[pY>VJ(
−非序列追迹的通道设置[用例] vwA d6Tm
•使用参数运行检查影响/变化 9|y?jb5im
−参数运行文档的使用[用例] OAGI|`E$/-
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VirtualLab Fusion技术 z=YHR S
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