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2023-11-07 08:15 |
全场光学相干扫描干涉仪
摘要 E\1e8Wyh
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 ,,8'29yEq
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建模任务 %t*KP = @
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仿真干涉条纹 !,<rW<&;
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走进VirtualLab Fusion ^Ycn&`s
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VirtualLab Fusion中的工作流程 %6 Y\4Fe
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•设置输入场 Ex<@:
−基本光源模型[教程视频] b
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•使用导入的数据自定义表面轮廓 f]NaQ!.
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•定义元件的位置和方向 wd*V,ZN7
− LPD II：位置和方向[教程视频] +<Y1`kV)
•正确设置通道以进行非序列追迹 *4y0Hq
−非序列追迹的通道设置[用例] ST1; i5
•使用参数运行检查影响/变化 @{@DGc
−参数运行文档的使用[用例] q|_ C j]{
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VirtualLab Fusion技术 xf3;:soC
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