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2023-11-07 08:15 |
全场光学相干扫描干涉仪
摘要 C/+8lA6NV
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 fV_(P_C
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建模任务 #kV`G. EX
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仿真干涉条纹 It4 J \S
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走进VirtualLab Fusion x 1$tS#lS
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VirtualLab Fusion中的工作流程 XWbe |K!e
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•设置输入场 . c+RFX@0
−基本光源模型[教程视频] Bj J$I^
•使用导入的数据自定义表面轮廓 oG5JJpLT
•定义元件的位置和方向 ]RQQg,|D
− LPD II：位置和方向[教程视频] VWmZ|9Ri
•正确设置通道以进行非序列追迹 V zMoWD;
−非序列追迹的通道设置[用例] &S<tX]v
•使用参数运行检查影响/变化 'j!7
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−参数运行文档的使用[用例] >0 i?}
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VirtualLab Fusion技术 e0*',
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