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infotek 2023-11-07 08:15

全场光学相干扫描干涉仪

摘要 Zy !^HS$  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 WdQR^'b$   
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建模任务 WC2sRv4]3  
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仿真干涉条纹 [2h 4%{R&  
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走进VirtualLab Fusion y Skz5K+|g  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 pZeJ$3@vk  
[S Jx\Os  
•设置输入场 JDbRv'F:(  
基本光源模型[教程视频] /6Bm <k%  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 4MM /i}  
•定义元件的位置和方向 CEQs}bz  
LPD II:位置和方向[教程视频] 3^!Y9$y1  
•正确设置通道以进行非序列追迹 |aD8  
非序列追迹的通道设置[用例] *;E\,,Io  
•使用参数运行检查影响/变化 2~ [  
参数运行文档的使用[用例] _+B{n^ {  
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QOT|6)Yb  
VirtualLab Fusion技术 $p(  
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