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2023-11-07 08:15 |
全场光学相干扫描干涉仪
摘要 dq4t@:\o0
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 K%@#a}kRb
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建模任务 3?x}48
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仿真干涉条纹 P3_ &(
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走进VirtualLab Fusion 4|INy =<"t
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VirtualLab Fusion中的工作流程 Yw6d-5=:
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•设置输入场 0ZJN<AzbA
−基本光源模型[教程视频] *USzzLq
•使用导入的数据自定义表面轮廓 bBp('oEJu
•定义元件的位置和方向 ,AuejMd
− LPD II：位置和方向[教程视频]
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•正确设置通道以进行非序列追迹 JfVGs;_,
−非序列追迹的通道设置[用例] rXF=/
•使用参数运行检查影响/变化 cS;O]>/5
−参数运行文档的使用[用例] & m~
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VirtualLab Fusion技术 r.10b]b
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