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2023-11-07 08:15 |
全场光学相干扫描干涉仪
摘要 ev_' .t'
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 >V] 9<*c
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建模任务 C4|OsC7J
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仿真干涉条纹 e+{lf*"3
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走进VirtualLab Fusion # h4FLF_w
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VirtualLab Fusion中的工作流程 &o y')\H
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•设置输入场 n+YUG
−基本光源模型[教程视频] SO[ u4b_"h
•使用导入的数据自定义表面轮廓 RgQs`aI
•定义元件的位置和方向 X;l/D},.
− LPD II：位置和方向[教程视频] MtN!Xx
•正确设置通道以进行非序列追迹 aJA( UN45
−非序列追迹的通道设置[用例] yTZ o4c "
•使用参数运行检查影响/变化 n^O!93a
−参数运行文档的使用[用例] % %>nM'4<
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VirtualLab Fusion技术 p3{Ff5FZ
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