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2023-11-07 08:15 |
全场光学相干扫描干涉仪
摘要 "~ i#9L/H
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 +(=[M]5#n
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建模任务 37<GG)
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仿真干涉条纹 M#22Zfxq
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走进VirtualLab Fusion [ ;kj,j
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VirtualLab Fusion中的工作流程 6`{)p&9
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•设置输入场 v*T@ <]f3j
−基本光源模型[教程视频] *TMM:w|1
•使用导入的数据自定义表面轮廓 qgY(S}V
•定义元件的位置和方向 E`Zh\u)
− LPD II：位置和方向[教程视频] #7E&16Fk
•正确设置通道以进行非序列追迹 fe ]T9EDA
−非序列追迹的通道设置[用例] v |hKf6
•使用参数运行检查影响/变化 uma9yIk
−参数运行文档的使用[用例] G#=b6DB
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VirtualLab Fusion技术 hc~#l #
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