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2023-11-07 08:15 |
全场光学相干扫描干涉仪
摘要 Zy !^HS$
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 WdQR^'b$
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建模任务 WC2sRv4]3
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仿真干涉条纹 [2h 4%{R&
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走进VirtualLab Fusion y Skz5K+|g
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VirtualLab Fusion中的工作流程 pZeJ$3@vk
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•设置输入场 JDbRv'F:(
−基本光源模型[教程视频] /6Bm
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•使用导入的数据自定义表面轮廓 4MM /i}
•定义元件的位置和方向 CEQs}bz
− LPD II：位置和方向[教程视频] 3^!Y9$y1
•正确设置通道以进行非序列追迹 |aD 8
−非序列追迹的通道设置[用例] *;E\,,Io
•使用参数运行检查影响/变化 2 ~ [
−参数运行文档的使用[用例] _+B{n^ {
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VirtualLab Fusion技术 $p(
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