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infotek 2023-11-07 08:15

全场光学相干扫描干涉仪

摘要 jSI1tW8  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 A8% e _XA  
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建模任务 "wcaJ;Os  
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仿真干涉条纹 ]IuZT  
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走进VirtualLab Fusion "Bd-h|J  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 v5[gFY(?  
Rw+r1vW:A  
•设置输入场 9qap#A  
基本光源模型[教程视频] [2@:jLth=  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 ZF7n]LgSc&  
•定义元件的位置和方向 F_@B ` ,  
LPD II:位置和方向[教程视频] `l|Oj$  
•正确设置通道以进行非序列追迹 ZF>:m>  
非序列追迹的通道设置[用例] S{^x]h|?  
•使用参数运行检查影响/变化 |f_'(-v`E  
参数运行文档的使用[用例] z^9oaoTl  
ka_m Q<{9  
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VirtualLab Fusion技术 RP~nLh3=\  
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[attachment=122186]
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