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2023-11-07 08:15 |
全场光学相干扫描干涉仪
摘要 h$y0>eMWs
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 J+6bp0RIh
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建模任务 ~ kAen
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仿真干涉条纹 -P>f2It
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VirtualLab Fusion中的工作流程 <MH| <hP
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•设置输入场 ` d[ja,
−基本光源模型[教程视频] " )87GQ( R
•使用导入的数据自定义表面轮廓 1"Z61gXrz
•定义元件的位置和方向 h5?yr t i
− LPD II：位置和方向[教程视频] T] tG,W1>i
•正确设置通道以进行非序列追迹 hVAP
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−非序列追迹的通道设置[用例] S4?N_"m9
•使用参数运行检查影响/变化 H,!3s<1
−参数运行文档的使用[用例] #D-L>7,jA
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