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2023-11-07 08:15 |
全场光学相干扫描干涉仪
摘要 o!Y7y1$
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 Z',pQ{rD
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建模任务 T a_#Rg*!
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仿真干涉条纹 8IO4>CMkv
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走进VirtualLab Fusion &Mol8=V)
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VirtualLab Fusion中的工作流程 .RdnJ& K*
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•设置输入场 LBTf}T\
−基本光源模型[教程视频] PA Jt M
•使用导入的数据自定义表面轮廓 |(]XZ !{
•定义元件的位置和方向 WmeV[iI
− LPD II：位置和方向[教程视频] 8RB\P:6h
•正确设置通道以进行非序列追迹 mk}8Cu4
−非序列追迹的通道设置[用例] d4~!d>{n|c
•使用参数运行检查影响/变化 3= PRe
−参数运行文档的使用[用例] }5EvBEv-)
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VirtualLab Fusion技术 A2..gs/
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