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2023-11-07 08:15 |
全场光学相干扫描干涉仪
摘要 X,~8 ) W
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 U5Rzfm4
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仿真干涉条纹 Vb /J`
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走进VirtualLab Fusion S!rUdxO
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VirtualLab Fusion中的工作流程 k/C r ^J"
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•设置输入场 Y8Mo . v
−基本光源模型[教程视频] <{e0 i
•使用导入的数据自定义表面轮廓 qbB.Z#w
•定义元件的位置和方向 x`a@h\ n
− LPD II：位置和方向[教程视频] S7-?&[oeJ
•正确设置通道以进行非序列追迹 !m78 /[LW
−非序列追迹的通道设置[用例] NJn ~X Cq
•使用参数运行检查影响/变化 d@`yRueWiV
−参数运行文档的使用[用例] d
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VirtualLab Fusion技术 2f F )I&
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