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2023-11-06 09:46 |
Ansys Zemax | 解像力仿真设计
本节介绍了一个模拟解像力图表的例子。 ooByGQ90V: 作为一个例子,我们将使用一个等倍率的光学系统,如下图所示: '>Y"s| 6.2_UN^<
[attachment=122100] ld4QhZia 首先,检查该光学系统的MTF。 6Ez}A|i 分辨率图是用黑白的二进制图像创建的。 N9Yc\?_NU_ MTF设置如下图所示:解析图使用的是 "方波"。 y_38;8ex qp_kILo~
[attachment=122101] 8\`]T%h
[attachment=122102] |~W!Y\l- 显示的是短波的MTF。 2Q)"~3 在物体高度为-20毫米时检查20个周期/毫米,表明S图像_50% T图像6%。 (J][(=s;a w:Tz&$&Y$ 接下来,对解像力图进行图像模拟。 d5%A64? 有两种方法可供选择: FlRbGg^ \Zqgr/.w/ (1) 局部相干图像分析 ;_,= 选择分析→扩展光源分析→部分相干图像分析。 U/m6% )Yx( ]0zXpMNI
[attachment=122103] .#6Dad=S*
[attachment=122104] &n6mXFF#>P 作为一个假设,需要注意的是,MTF是在20周期/毫米时评估的。 Ytc 在光学行业,一个单色对被算作 "1本"。换句话说,在20周期/毫米时,单色对的宽度是1毫米/20对=0.05毫米。 P8Fq %k t*<.^+Vd 在这个模拟中,使用了'LINEPAIR.IMD'文件。 fnG&29x 该文件包含10行对,有10个0.05毫米的黑白对,所以0.05毫米×10=0.5毫米。 )Rn}4)9!iT 那么在图像空间中,文件的一侧长度为0.5毫米。 0ho+Y@8 Z'>Xn^ 真正的MTF是通过设置显示方法为X-section来计算的。 C6ZM#}I$l +y>D3I
[attachment=122105] M&~3fRb4 MTF计算结果显示在红色框内的区域, 该值为50%。 $xyG0Q. hUcG3IOBf (2)图像模拟 j Aw&5, 这样做的好处是可以在实际图表的图像上进行模拟。 )$I;)`q 许多分辨率图表有多条垂直和水平排列的线。 DHW;*A- 您也可以创建自己想仿真的图像。 M ZB0vdx 例如,对于一个纵向和横向都有三条线的图像文件来说 xXE/pIXw 我们将在一个文本文件中创建它,如下所示。 3lqR(Hh3 然后,通过将文件扩展名转换为IMA,该文件可以作为图像文件使用。 zJOjc/\
0iinr:=u
[attachment=122106] '%yWz)P 分析→扩展光源分析→图像模拟。 E#`=xg YW}q@AY7
[attachment=122107] ;+g
p#&i` 按照以下参数对仿真进行设置, 3aQWzEnh =da_zy
[attachment=122108] `$jc=ZLm 使用自定义的图像文件作为输入文件。 =2BGS\$# 输入0.3作为视场的高度。 D:e9609 输入0.3作为视场的高度。 =LL5E}xP 因此,线的宽度是输入0.3的1/12,也就是0.025毫米。 YBN@{P$ 对于一对线对,0.025 x 2 = 0.05。 ~&[Wqn@MZ 仿真的图像如下所示。 .vj`[?T nKp='>Th
[attachment=122109] ^<'5 V) 你可以看到两条水平线(切线图像)。 r
ioNP( 这种现象被称为 "伪像"。 H2l/9+ 用FFTMTF检查时,切向图像为15线/毫米,MTF为0。 XL>cTM 然而,此后会有百分之几的对比度复现。 M%7{g"J* 在这种情况下,对比度可能存在,但黑白图像可能被颠倒。 t>. mB@se| mVg-z~44T 如果在FFTMTF的设置中将类型改为相位,可以发现,在15线/毫米或更多的情况下,相位转为180°。 k, & | |