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ueotek 2023-11-06 09:46

Ansys Zemax | 解像力仿真设计

本节介绍了一个模拟解像力图表的例子。 5 2@udp  
作为一个例子,我们将使用一个等倍率的光学系统,如下图所示: ;;w6b:}-c  
Z"n'/S:q  
[attachment=122100]
L>~@9a\jO  
首先,检查该光学系统的MTF。 MX`Wg  
分辨率图是用黑白的二进制图像创建的。 0qL V(L  
MTF设置如下图所示:解析图使用的是 "方波"。 2 ]DCF  
&ap`}^8pM  
[attachment=122101]
3:~l2KIP4  
[attachment=122102]
IglJEH[+  
显示的是短波的MTF。 )`s;~_ZZ  
在物体高度为-20毫米时检查20个周期/毫米,表明S图像_50% T图像6%。 %EVV-n@  
(U(/ C5'  
接下来,对解像力图进行图像模拟。 pqH( Tbjq  
有两种方法可供选择: <=m 30{;f  
)+w/\~@  
(1) 局部相干图像分析 xOV A1p b,  
选择分析→扩展光源分析→部分相干图像分析。 | z#m  
t(j_eq}J  
[attachment=122103]
lRv#1'Y  
[attachment=122104]
8!uL-_Bn  
作为一个假设,需要注意的是,MTF是在20周期/毫米时评估的。 T\2) $  
在光学行业,一个单色对被算作 "1本"。换句话说,在20周期/毫米时,单色对的宽度是1毫米/20对=0.05毫米。 zJfK4o  
Esz1uty  
在这个模拟中,使用了'LINEPAIR.IMD'文件。 L_Y9+ e  
该文件包含10行对,有10个0.05毫米的黑白对,所以0.05毫米×10=0.5毫米。 49xp2{  
那么在图像空间中,文件的一侧长度为0.5毫米。 rb *C-NutE  
CQBT::  
真正的MTF是通过设置显示方法为X-section来计算的。 ![a/kj  
- - i&"  
[attachment=122105]
@Xq&t}*8  
MTF计算结果显示在红色框内的区域, 该值为50%。 L,b|Iq  
?#BZ `H  
(2)图像模拟 '0R/6Z|/Y  
这样做的好处是可以在实际图表的图像上进行模拟。 e0v9uQ%F5  
许多分辨率图表有多条垂直和水平排列的线。 `jb0 +{08  
您也可以创建自己想仿真的图像。 u\()E|?p  
例如,对于一个纵向和横向都有三条线的图像文件来说 :k ME  
我们将在一个文本文件中创建它,如下所示。 ]r/(n]=(  
然后,通过将文件扩展名转换为IMA,该文件可以作为图像文件使用。 tp1KP/2w[  
Kf05<J!  
[attachment=122106]
u Q:ut(  
分析→扩展光源分析→图像模拟。 G}=`VYK  
|'U,/  
[attachment=122107]
eW%L$I  
按照以下参数对仿真进行设置, VO. -.  
lFiq<3Nk  
[attachment=122108]
UOR _M5  
使用自定义的图像文件作为输入文件。 E6'8Zb  
输入0.3作为视场的高度。 4NpHX+=P  
输入0.3作为视场的高度。 <S\;k@f  
因此,线的宽度是输入0.3的1/12,也就是0.025毫米。 gB/;clCdX)  
对于一对线对,0.025 x 2 = 0.05。 ?G4iOiyt  
仿真的图像如下所示。 HCX!P4Hj  
lq>*x=<  
[attachment=122109]
0M#N=%31  
你可以看到两条水平线(切线图像)。 :kWZSN8.D  
这种现象被称为 "伪像"。 vQ:x% =]  
用FFTMTF检查时,切向图像为15线/毫米,MTF为0。 VFilF<jvu  
然而,此后会有百分之几的对比度复现。 Y)'!'J  
在这种情况下,对比度可能存在,但黑白图像可能被颠倒。 5wzQ?07T_  
tv 4s12&  
如果在FFTMTF的设置中将类型改为相位,可以发现,在15线/毫米或更多的情况下,相位转为180°。 8`:M\*  
" t5 +*  
[attachment=122110]
?gd'M_-J,  
f*{M3"$E  
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天蓝色3230 2023-11-09 09:07
学习一下Zemax运用,
谭健 2023-11-09 10:59
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