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ueotek 2023-11-06 09:46

Ansys Zemax | 解像力仿真设计

本节介绍了一个模拟解像力图表的例子。 ooByGQ90V:  
作为一个例子,我们将使用一个等倍率的光学系统,如下图所示: '>Y"s|  
6.2_UN^<  
[attachment=122100]
ld4QhZia  
首先,检查该光学系统的MTF。 6Ez}A|i  
分辨率图是用黑白的二进制图像创建的。 N9Yc\?_NU_  
MTF设置如下图所示:解析图使用的是 "方波"。 y_38;8ex  
qp_kILo~  
[attachment=122101]
8\`]T%h  
[attachment=122102]
|~W!Y\l-  
显示的是短波的MTF。 2Q)"~3  
在物体高度为-20毫米时检查20个周期/毫米,表明S图像_50% T图像6%。 (J][(=s;a  
w:Tz&$&Y$  
接下来,对解像力图进行图像模拟。 d5%A64?  
有两种方法可供选择: FlRbGg^  
\Zqgr/.w/  
(1) 局部相干图像分析 ;_,=  
选择分析→扩展光源分析→部分相干图像分析。 U/m6% )Yx(  
]0zXpMNI  
[attachment=122103]
.#6Dad=S*  
[attachment=122104]
&n6mXFF#>P  
作为一个假设,需要注意的是,MTF是在20周期/毫米时评估的。 Ytc  
在光学行业,一个单色对被算作 "1本"。换句话说,在20周期/毫米时,单色对的宽度是1毫米/20对=0.05毫米。 P8Fq %k  
t*< .^+Vd  
在这个模拟中,使用了'LINEPAIR.IMD'文件。 fnG&29x  
该文件包含10行对,有10个0.05毫米的黑白对,所以0.05毫米×10=0.5毫米。 )Rn}4)9!iT  
那么在图像空间中,文件的一侧长度为0.5毫米。 0ho+Y@8  
Z'>Xn^  
真正的MTF是通过设置显示方法为X-section来计算的。 C 6ZM#}I$l  
+y>D3I  
[attachment=122105]
M&~3fRb 4  
MTF计算结果显示在红色框内的区域, 该值为50%。 $xyG0Q.  
hUcG3IOBf  
(2)图像模拟 j Aw&5,  
这样做的好处是可以在实际图表的图像上进行模拟。 )$I;)` q  
许多分辨率图表有多条垂直和水平排列的线。 DHW;*A-  
您也可以创建自己想仿真的图像。 MZB0vdx  
例如,对于一个纵向和横向都有三条线的图像文件来说 xXE/pIXw  
我们将在一个文本文件中创建它,如下所示。 3lqR(Hh3  
然后,通过将文件扩展名转换为IMA,该文件可以作为图像文件使用。 zJOjc/\  
0iinr:=u  
[attachment=122106]
'%yWz)P  
分析→扩展光源分析→图像模拟。 E#`=xg  
YW}q@AY7  
[attachment=122107]
;+g p#&i`  
按照以下参数对仿真进行设置, 3aQWzEnh  
=da_zy  
[attachment=122108]
`$jc=ZLm  
使用自定义的图像文件作为输入文件。 =2BGS\$#  
输入0.3作为视场的高度。 D:e9609  
输入0.3作为视场的高度。 =LL5E}xP  
因此,线的宽度是输入0.3的1/12,也就是0.025毫米。 YBN@{P$  
对于一对线对,0.025 x 2 = 0.05。 ~&[Wqn@MZ  
仿真的图像如下所示。 .vj`[?T  
nKp='>Th  
[attachment=122109]
^<'5 V)  
你可以看到两条水平线(切线图像)。 r ioNP(  
这种现象被称为 "伪像"。 H2l/9+  
用FFTMTF检查时,切向图像为15线/毫米,MTF为0。 XL>c TM  
然而,此后会有百分之几的对比度复现。 M%7{g"J*  
在这种情况下,对比度可能存在,但黑白图像可能被颠倒。 t>.mB@se|  
mVg-z~44T  
如果在FFTMTF的设置中将类型改为相位,可以发现,在15线/毫米或更多的情况下,相位转为180°。 k, &*d4  
yjaX\Wb[z[  
[attachment=122110]
!s06uh  
G4vXPx%a8  
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