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ueotek 2023-11-06 09:46

Ansys Zemax | 解像力仿真设计

本节介绍了一个模拟解像力图表的例子。 -R:X<eb  
作为一个例子,我们将使用一个等倍率的光学系统,如下图所示: |kseKZ3  
'$?du~L-  
[attachment=122100]
Kr]z]4.d@  
首先,检查该光学系统的MTF。 sBU_Ft  
分辨率图是用黑白的二进制图像创建的。 +j.qZ8  
MTF设置如下图所示:解析图使用的是 "方波"。 F\-Si!~oOz  
^&MK42,\  
[attachment=122101]
NV6G.x  
[attachment=122102]
7E\g &R.  
显示的是短波的MTF。 @D]lgq[  
在物体高度为-20毫米时检查20个周期/毫米,表明S图像_50% T图像6%。 AuXs B  
('JKN"3  
接下来,对解像力图进行图像模拟。 +(&|uq^  
有两种方法可供选择: )b0];&hw]  
toIYE*ocv=  
(1) 局部相干图像分析 IJ_ m  
选择分析→扩展光源分析→部分相干图像分析。 :3O5ET'1  
<h@]Ri  
[attachment=122103]
vY_eDJ~'  
[attachment=122104]
xNIGO/uI~  
作为一个假设,需要注意的是,MTF是在20周期/毫米时评估的。 ]Jn2Ra"j  
在光学行业,一个单色对被算作 "1本"。换句话说,在20周期/毫米时,单色对的宽度是1毫米/20对=0.05毫米。 @vt$MiOi  
#x)8f3I  
在这个模拟中,使用了'LINEPAIR.IMD'文件。 = ^s$ <  
该文件包含10行对,有10个0.05毫米的黑白对,所以0.05毫米×10=0.5毫米。 #w|5 jN?  
那么在图像空间中,文件的一侧长度为0.5毫米。 MMd.0JuaO  
V&iS~V0.  
真正的MTF是通过设置显示方法为X-section来计算的。 |IN[uQ  
j^nu|  
[attachment=122105]
~b6GrY"vB  
MTF计算结果显示在红色框内的区域, 该值为50%。 V^sc1ak1Q  
i ?-Y  
(2)图像模拟 n"Z |e tZ4  
这样做的好处是可以在实际图表的图像上进行模拟。 ;A"\?i Q  
许多分辨率图表有多条垂直和水平排列的线。 ]]PE#DDg  
您也可以创建自己想仿真的图像。 $DE&J4K  
例如,对于一个纵向和横向都有三条线的图像文件来说 " #v%36U  
我们将在一个文本文件中创建它,如下所示。 x*q35K^PE  
然后,通过将文件扩展名转换为IMA,该文件可以作为图像文件使用。 3AeH7g4<  
x<>YUw8`  
[attachment=122106]
N}mh}  
分析→扩展光源分析→图像模拟。 WFDCPQ@  
,Xtj;@~-  
[attachment=122107]
AY88h$a  
按照以下参数对仿真进行设置, :tbd,Uo  
c1#+Vse  
[attachment=122108]
V|: qow:F  
使用自定义的图像文件作为输入文件。 $3\,h; y  
输入0.3作为视场的高度。 z_n \5.  
输入0.3作为视场的高度。  KGT3|)QN  
因此,线的宽度是输入0.3的1/12,也就是0.025毫米。 W;TJenv  
对于一对线对,0.025 x 2 = 0.05。 MI*Sq\-i  
仿真的图像如下所示。 tvpN/p  
.iT4-  
[attachment=122109]
Hi8Y6|y$D  
你可以看到两条水平线(切线图像)。 W.[BPR  
这种现象被称为 "伪像"。 6t m \L  
用FFTMTF检查时,切向图像为15线/毫米,MTF为0。 S{:Cu}o  
然而,此后会有百分之几的对比度复现。 !*vBW/  
在这种情况下,对比度可能存在,但黑白图像可能被颠倒。 B^q<2S;  
l1r_b68  
如果在FFTMTF的设置中将类型改为相位,可以发现,在15线/毫米或更多的情况下,相位转为180°。 Nfb`YU=  
Uk'U?9O  
[attachment=122110]
a+ GJVJ  
{y-`QS  
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天蓝色3230 2023-11-09 09:07
学习一下Zemax运用,
谭健 2023-11-09 10:59
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