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ueotek 2023-11-06 09:46

Ansys Zemax | 解像力仿真设计

本节介绍了一个模拟解像力图表的例子。 gT0N\oU"  
作为一个例子,我们将使用一个等倍率的光学系统,如下图所示: (Rs052m1  
TRzL":  
[attachment=122100]
 J]4pPDm  
首先,检查该光学系统的MTF。 n5s2\(  
分辨率图是用黑白的二进制图像创建的。 <4%cKW0  
MTF设置如下图所示:解析图使用的是 "方波"。 "f N=Y$G  
t;/s^-}  
[attachment=122101]
OGWZq(c"6  
[attachment=122102]
;t\oM7J|  
显示的是短波的MTF。 ,(y6XUV~  
在物体高度为-20毫米时检查20个周期/毫米,表明S图像_50% T图像6%。 u?%FD~l:uU  
%k =c9ll@:  
接下来,对解像力图进行图像模拟。 ,.,spoV  
有两种方法可供选择: ]X\p\n'@j  
#BhDC.CcW  
(1) 局部相干图像分析 rF\L}& Sw  
选择分析→扩展光源分析→部分相干图像分析。 Z(wj5;[G  
H7?Sd(U  
[attachment=122103]
X')t6DQ(I  
[attachment=122104]
["N_t:9I  
作为一个假设,需要注意的是,MTF是在20周期/毫米时评估的。 DNu-Ce%  
在光学行业,一个单色对被算作 "1本"。换句话说,在20周期/毫米时,单色对的宽度是1毫米/20对=0.05毫米。 ^SvGSx i  
F\Q X=n  
在这个模拟中,使用了'LINEPAIR.IMD'文件。 IlfH  
该文件包含10行对,有10个0.05毫米的黑白对,所以0.05毫米×10=0.5毫米。 h,@tfd U^  
那么在图像空间中,文件的一侧长度为0.5毫米。 \ Dccf_(Pb  
cP2n,>:  
真正的MTF是通过设置显示方法为X-section来计算的。 p:?h)'bA<  
{ YMO8  
[attachment=122105]
E x )fXQ+  
MTF计算结果显示在红色框内的区域, 该值为50%。 Y{D?&x%yq  
4`zK`bRcK#  
(2)图像模拟 Lc! t  
这样做的好处是可以在实际图表的图像上进行模拟。 %@MO5#)NI  
许多分辨率图表有多条垂直和水平排列的线。 f~ P~%  
您也可以创建自己想仿真的图像。 ~jD~_JGp  
例如,对于一个纵向和横向都有三条线的图像文件来说 ;|r<mT/,  
我们将在一个文本文件中创建它,如下所示。 S=_*<[W%4  
然后,通过将文件扩展名转换为IMA,该文件可以作为图像文件使用。 |*> s%nF|  
:3A^5}iz  
[attachment=122106]
7!PU}[:  
分析→扩展光源分析→图像模拟。 3 4:Y_*  
ZO8r8 [  
[attachment=122107]
k< $(  
按照以下参数对仿真进行设置, `;)op3A'  
)~be<G( a  
[attachment=122108]
vn1*D-?  
使用自定义的图像文件作为输入文件。 XDyFe'1I  
输入0.3作为视场的高度。 K_GqM9  
输入0.3作为视场的高度。 (q}{;  
因此,线的宽度是输入0.3的1/12,也就是0.025毫米。 zT+ "Z(oz,  
对于一对线对,0.025 x 2 = 0.05。 bZ[ay-f6oK  
仿真的图像如下所示。 @d_9NOmNT  
-GODM128 ^  
[attachment=122109]
BT|n+Y[  
你可以看到两条水平线(切线图像)。 on.m '-s  
这种现象被称为 "伪像"。 (Qd@Q,@(s  
用FFTMTF检查时,切向图像为15线/毫米,MTF为0。 W(o#2;{ ln  
然而,此后会有百分之几的对比度复现。 O &}`R5Y;  
在这种情况下,对比度可能存在,但黑白图像可能被颠倒。  Q5 =  
iLk"lcX  
如果在FFTMTF的设置中将类型改为相位,可以发现,在15线/毫米或更多的情况下,相位转为180°。 rYO~/N  
(nAg ~i  
[attachment=122110]
ks7id[~&iY  
1 EwCF  
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学习一下Zemax运用,
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