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2023-11-06 08:07 |
微透镜阵列CMOS传感器分析
摘要 eq$.np
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 m 3 W
GA"zO,
建模任务 `"qSr%|
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模拟&设置：单平台互操作性 GC^>o F
建模技术的单平台互操作性 mvt%3zCB!
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 8iUj9r _
J`d;I#R%c
[attachment=122055] NN@'79x
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平面波光源 F'9#dR?
微透镜阵列 5? 1:RE(1
彩色滤光片(吸收介质) tsN,yI]-VA
通过基底传播 % * Lv
探测 ) i=.x+Q
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连接建模技术：微透镜 *V giJ
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3D S& -rN
连接建模技术：彩色滤光片 M)j.Uu
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连接建模技术：可编程介质 ;dZuO[4\
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连接建模技术：自由空间传播 R-J^%4U`7
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连接建模技术：堆栈 yU'<b.]
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 6 w)a.^yx7
=a^}]k}
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微透镜阵列
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彩色滤光片(吸收介质) X_aC$_b
通过基底传播 cogIkB&Ju
探测 kmT5g gy
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元件内场分析器：FMM _T\cJcWf
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模拟结果 TP{2q51yM
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) y7 ~y@ 2
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) cPy/}A
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y ~n1S~5cI
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) .bY
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[attachment=122064] gE: ?C2
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3D仿真与结果比较 Hg5 :>?Lw@
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3D仿真与结果比较 7z q@T]
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