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infotek 2023-11-06 08:07

微透镜阵列CMOS传感器分析

摘要 ]RF(0;  
jHx\YK@e\  
[attachment=122053]
2 B_+5  
7Q&S [])  
近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 FIQHs"#T  
7sVO?:bj}  
建模任务 A\.{(,;kp  
d%p{l)Hd  
[attachment=122054]
9h6siK(F  
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模拟&设置:单平台互操作性 T~?&hZ>  
建模技术的单平台互操作性 &u (pBr8B  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 y+Bxe )6^V  
_+%p!!  
[attachment=122055] F C=N}5u  
,V;HM F.  
 平面波光源 :n?rk/F  
 微透镜阵列 \GGyz{i  
 彩色滤光片(吸收介质) %Bg>=C)^(1  
 通过基底传播 X%`:waR  
 探测 (/i|3P  
(>*L-&-  
连接建模技术:微透镜 [Z!oVSCZD%  
4-C'2?  
[attachment=122056] W/%9=g$m  
58o&Dv6?  
连接建模技术:彩色滤光片 D\pX@Sx,v[  
d"lk"R  
[attachment=122057] +.xK`_[M  
=n8M'  
连接建模技术:可编程介质 o9OCgP`Y  
c/Li,9cT'  
[attachment=122058]
(/!zHq  
~/2OK!M  
连接建模技术:自由空间传播 nu[["f~  
z|$9%uz"  
[attachment=122059] LK>;\BRe?  
i\o * =+{r  
连接建模技术:堆栈 `9|Uu#x  
在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 ]?Q<lMG  
K4OiKYq  
[attachment=122060] r<Q0zKW!jN  
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 微透镜阵列 7{NH;U t  
 彩色滤光片(吸收介质)  jQ-2SA O  
 通过基底传播 $A T kCO  
 探测 h)z2#qfc  
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元件内场分析器:FMM D@c@Dt  
q&LCMnv"P  
[attachment=122061] .k|\xR  
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模拟结果 R pT7Nr  
lZ) qV!<  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) isFxo,R9r  
?R4%z2rcW  
[attachment=122062] @H}Hjg_>m  
$|AasT5w  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) WDt6{5T  
V$dhiP z  
[attachment=122063]
SU jo%3R  
`dRqheX  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) A!R'/m'VG  
 eAG)+b  
[attachment=122064]
`X<a(5[vV3  
`^h:} V  
3D仿真与结果比较 '@HCwEuz  
Jw{ duM;]  
[attachment=122065]
Sar1NkD#  
4`") aM  
3D仿真与结果比较 <*o V-A  
-TS,~`O  
[attachment=122066]
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