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2023-11-06 08:07 |
微透镜阵列CMOS传感器分析
摘要 7#[8t d
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 T$IwrTF@?
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建模任务 + t7n6
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模拟&设置：单平台互操作性 SCL8.%z D
建模技术的单平台互操作性 De`p@`+<#~
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 GX#SCZ&}C
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平面波光源
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微透镜阵列 ,a'Y^[4k?
彩色滤光片(吸收介质) vE{L `,\ q
通过基底传播 .H# <yPty
探测 Ql]+,^kA@
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连接建模技术：微透镜 nvbKW.[<f{
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连接建模技术：彩色滤光片 [Ol~}@gV
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连接建模技术：可编程介质 ZwOX ,D
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连接建模技术：自由空间传播 e1/{b X5
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连接建模技术：堆栈 ZG$PW< 73~
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 9p4=iXfR
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微透镜阵列 ~ UNK[
彩色滤光片(吸收介质) Xkp?)x3~X
通过基底传播 y8j6ttQv=t
探测 }l7@:ezZZ7
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元件内场分析器：FMM 0s! ';g Q
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模拟结果 b '%)?{E
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) W2BZG( dm
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) fM`.v+
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) 7 T
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3D仿真与结果比较 {s>V'+H(F
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3D仿真与结果比较 ap gR[=Oy
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