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2023-11-06 08:07 |
微透镜阵列CMOS传感器分析
摘要 y0~ttfv
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 2U( qyC
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建模任务 ? Dn}
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模拟&设置：单平台互操作性 <Y2$'ETD
建模技术的单平台互操作性 |q z%6w=
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 beSU[
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平面波光源 Ps{vN
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微透镜阵列 -4P `:bF
彩色滤光片(吸收介质) tw&v@HUP
通过基底传播 &b7_%,Bx4
探测 5;,h8vW
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连接建模技术：微透镜 D /GE-lq
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连接建模技术：彩色滤光片 1hE{(onI
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连接建模技术：可编程介质 _(I6o
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连接建模技术：自由空间传播 ,wXmJ)/WZ
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连接建模技术：堆栈 S#$Kmm
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在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 z|X6\ 8f
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微透镜阵列 ~ BX=n9
彩色滤光片(吸收介质) RtzS e$O
通过基底传播 2E[7RBFY+\
探测 >]z^. U7=
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元件内场分析器：FMM (QJe-)0_y
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模拟结果 d]" 4aS
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) IA({RE
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) Xq&B L,lS
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟)
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3D仿真与结果比较 T?t/[iuHrj
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