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2023-11-06 08:07 |
微透镜阵列CMOS传感器分析
摘要 2nz^%pLT
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 IPHZ~'M
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建模任务 ,r_%p<lOFu
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模拟&设置：单平台互操作性 9fQ[:Hl"
建模技术的单平台互操作性 ^?<gz!(-
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 3mP251"dIW
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Bl$Hg,in-
平面波光源 >8;EeR vI
微透镜阵列 sx1w5rj.Y0
彩色滤光片(吸收介质) e)BU6m%
通过基底传播 4J5 RtK
探测 0) N u
H"5=z7w
连接建模技术：微透镜 Gv\39+9 =
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连接建模技术：彩色滤光片 |&u4Q /0
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连接建模技术：可编程介质 [ikW3 '99,
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连接建模技术：自由空间传播 'f_[(o+n
4ux^K :z
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连接建模技术：堆栈 lY $9-Q(
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 Gr&YzbSX
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微透镜阵列 FKWL{"y
彩色滤光片(吸收介质) X+KQ%Efo
通过基底传播
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探测 1ir~WFP
S; Fj9\2)I
元件内场分析器：FMM 9.>he+
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模拟结果 |C`.m |
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) :{=2ih-}
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ana?;NvC
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) mO^ )k
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[attachment=122063] > A.m`w
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) kWZ /O
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3D仿真与结果比较 - F&*>?I
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3D仿真与结果比较 n-x%<j(Xf
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