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2023-11-06 08:07 |
微透镜阵列CMOS传感器分析
摘要 *<*0".#
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 hWq. #e 6
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建模任务 gohAp
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模拟&设置：单平台互操作性 @gt)P4yE
建模技术的单平台互操作性 M"= 8O>NZ2
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 lpl8h4d
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平面波光源 uy/y wm/?=
微透镜阵列 `%-4>jI9-
彩色滤光片(吸收介质) Y%<`;wK=^
通过基底传播 `9.dgV
探测 6m4Te|
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连接建模技术：微透镜 )46
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连接建模技术：彩色滤光片 i]it5
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连接建模技术：可编程介质 3c c1EQ9
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[attachment=122058] `5 ~7IPl3
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连接建模技术：自由空间传播 H76E +AY
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连接建模技术：堆栈 p1+7 <Y:
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 `SCy<w3$+[
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[attachment=122060] i-`,/e~XT
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微透镜阵列 X]qCS0GD'
彩色滤光片(吸收介质) x_yF|]aI!
通过基底传播 f2NA=%\
探测 $4=Ne3 y
z VdKYs i^
元件内场分析器：FMM g;8M<`qvf
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[attachment=122061] l{8CISO*
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模拟结果 H ZPc d_(
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) ~L~]QN\3
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) -TgUyv.
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) *|oPxQCtK
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3D仿真与结果比较 V7:\q^$
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3D仿真与结果比较 GMBJjP&R]
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