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2023-11-06 08:07 |
微透镜阵列CMOS传感器分析
摘要 ]RF(0; jHx\YK@e\ [attachment=122053] 2B_+5 7Q&S []) 近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 FIQHs"#T 7sVO?:bj} 建模任务 A\.{(,;kp d%p{l)Hd [attachment=122054] 9h6siK(F "|PX5 模拟&设置:单平台互操作性 T~?&hZ> 建模技术的单平台互操作性 &u(pBr8B 在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 y+Bxe)6^V _+%p!!
[attachment=122055] F C=N}5u ,V;HMF.
平面波光源 :n?rk/ F 微透镜阵列 \GGyz{i 彩色滤光片(吸收介质) %Bg>=C)^(1 通过基底传播 X%`:waR 探测 (/i|3 P (>*L-&- 连接建模技术:微透镜 [Z!oVSCZD% 4-C'2? [attachment=122056] W/%9=g$m 58o&Dv6? 连接建模技术:彩色滤光片 D\pX@Sx,v[ d"lk"R [attachment=122057] +.xK`_[M =n8M' 连接建模技术:可编程介质 o9OCgP`Y c/Li,9cT' [attachment=122058] (/!zHq ~/2OK!M 连接建模技术:自由空间传播 nu[["f~ z|$9%uz" [attachment=122059] LK>;\BRe? i\o * =+{r 连接建模技术:堆栈 `9|Uu#x 在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 ]?Q<lMG K4OiKYq [attachment=122060] r<Q0zKW!jN _93:_L 微透镜阵列 7{NH;U t 彩色滤光片(吸收介质) jQ-2SA O 通过基底传播 $A T kCO 探测 h)z2#qfc ,!P}Y[| 元件内场分析器:FMM D@c@Dt q&LCMnv"P [attachment=122061] .k|\xR BUyKiMW 49 模拟结果 R
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qV!< 像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) isFxo,R9r ?R4%z2rcW [attachment=122062] @H}Hjg_>m $|AasT5w 像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) WDt 6{5T V$dhiP
z [attachment=122063] SUjo%3R `dRqheX 像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) A!R'/m'VG eAG)+b [attachment=122064] `X<a(5[vV3 `^h:}V 3D仿真与结果比较 '@HCwEuz Jw{duM;] [attachment=122065] Sar1NkD# 4`")aM 3D仿真与结果比较 <*oV-A -TS,~`O [attachment=122066]
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