| infotek |
2023-11-06 08:07 |
微透镜阵列CMOS传感器分析
摘要 ]].~/kC^3k
Fc5.?X-
[attachment=122053] P8z%*/
3NF
|H?t+Dyn)q
近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 O
k`}\NZL
{v|!];i
建模任务 i/9iM\2
c;VqEpsbl
[attachment=122054] y8k8 Hd1<f
*:n ~j9V-
模拟&设置：单平台互操作性 =NF0 E8O
建模技术的单平台互操作性 Z}+}X|
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 \?xM% (:<Q
%bi ie
[attachment=122055] -l= 4{^pK
^K? -+
平面波光源 0caZ_-zU
微透镜阵列 7iP+!e }$.
彩色滤光片(吸收介质) ;qWu8\T+
通过基底传播 f% p T-#
探测 > yC=@Uq+
d_!Z /M,
连接建模技术：微透镜 Ehx9-*]
bJ^h{]
[attachment=122056] 1h$ ? ,
h=#w< @
连接建模技术：彩色滤光片 TR DQ+Z
! ?g+'OM
[attachment=122057] |7|S>h^
xi5"? *&Sb
连接建模技术：可编程介质 +RooU?Aq
N:lfKI
[attachment=122058] 5CY %h
ok:uTeJI
连接建模技术：自由空间传播 Li kcW#
/lBK )(
[attachment=122059] %(YQ)=w
xuioU
连接建模技术：堆栈 W" NI^OX
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 [dJ!JT/X{
981-[ga `Y
[attachment=122060] b$_8 1i
e5' I W__
微透镜阵列 42dv3bE "
彩色滤光片(吸收介质) &QHJ%c
通过基底传播 I C
探测 gm9*z.S\'
|}=eY?iXo
元件内场分析器：FMM E %mEfj7
z< % P"
[attachment=122061] "hk# p Q
o[ 5dR<
模拟结果 !&:=sA
d(q1 ?{zr4
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) Sm'Tz&!
0S{23L4C
[attachment=122062] u$T]A8 e
$bTtD< a
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) :q9!
2k .VTGak
[attachment=122063] @ Xo*TJB
@](vFb
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟)
-UhpPw 6
=D 1
[attachment=122064] fL* 7u\m:
q`<vY' &1
3D仿真与结果比较 <%)vl P#@
H*W>v[>
[attachment=122065] '09|Y#F
/QXUD.(
8
3D仿真与结果比较 2 @#yQB1
dtT n]}J
[attachment=122066]
|
|