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2023-11-06 08:07 |
微透镜阵列CMOS传感器分析
摘要 gT+/CVj R
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 nv8,O= #s
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建模任务 ]O \6.>H
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模拟&设置：单平台互操作性 [NFAdE
建模技术的单平台互操作性 /2U.,vw
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 REsT hB
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平面波光源 CkflEm fe
微透镜阵列 8q0 .yhb
彩色滤光片(吸收介质) }i[jJb`bY
通过基底传播 VEn%_9(]
探测 H _2hr[
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连接建模技术：微透镜 ~ cez+VQe
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连接建模技术：彩色滤光片 2V0R|YUt
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连接建模技术：可编程介质 ML]?`qv '
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连接建模技术：自由空间传播 xtnB: 3
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连接建模技术：堆栈 y>o#Hq&qM
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 RHBEC@d[}
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微透镜阵列 X}Csl~W8in
彩色滤光片(吸收介质) aR\=p:%jGI
通过基底传播 m1<B6*iG"
探测 + :t1P V;l
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元件内场分析器：FMM v3/cNd3
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模拟结果 `b2 I)xC#
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) s 2$R2,
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) ?e@Ff"Y@e
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) S38D
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3D仿真与结果比较 h{! @^Q
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