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2023-11-06 08:07 |
微透镜阵列CMOS传感器分析
摘要 R*5;J`TW
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[attachment=122053] Z*Hxrw\!0
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 8gKR<X .G
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建模任务 Ch!Q? 4
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模拟&设置：单平台互操作性 p$G3r0 @
建模技术的单平台互操作性 5dEO_1q
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在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 +Y^F>/ 4=Y
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[attachment=122055] $ u.T1v
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平面波光源 ?4?jG3p
微透镜阵列 R;,HtN
彩色滤光片(吸收介质) !eoec2h#5
通过基底传播 5GxM?%\
探测 K KXb, /
a ^/20UFq
连接建模技术：微透镜 @"7dk.|
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pXlBKJmW
连接建模技术：彩色滤光片 JNg5?V;.U
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l"!;Vkg.5
连接建模技术：可编程介质 qNVw+U;2P
#zD+DBTAu
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连接建模技术：自由空间传播 &WU*cfJn)A
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连接建模技术：堆栈 6oBt<r?CJ
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 SO<K#HfE$?
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微透镜阵列 >2a#|_-T
彩色滤光片(吸收介质) Mxp4 YQl
通过基底传播 Bq8 <FZr#!
探测 iW$i%`>
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元件内场分析器：FMM 1vd+p!n
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[attachment=122061] IT33E%G
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模拟结果 n_2 LkW<?
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) R:<AR.)K
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) h*%1Jkxu
u%'22q$
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) w]XBq~KO
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[attachment=122064] h UDEjW@S
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3D仿真与结果比较 4B(qVf&M
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3D仿真与结果比较 Jy$- )
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