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2023-11-06 08:07 |
微透镜阵列CMOS传感器分析
摘要 ~1XC5.*-
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 WL|71?@C
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建模任务 2kOaKH[(q
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模拟&设置：单平台互操作性 *%\Xw*\0
建模技术的单平台互操作性 %__ @G_M
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 nTw:BU4jd
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平面波光源 >0u*E *Y
微透镜阵列 eY% Ep=J
彩色滤光片(吸收介质) Lctp=X4
通过基底传播 tKeozV[V
探测 lfG',hlI;
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连接建模技术：微透镜 C^LxJG{L5
4jlwu0L+
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连接建模技术：彩色滤光片 GY5JPl
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连接建模技术：可编程介质 < WbO&;%
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连接建模技术：自由空间传播 "r8N-
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连接建模技术：堆栈 Gm > =s
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 ?!$Dr0r
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微透镜阵列 J9f]=1`
彩色滤光片(吸收介质) GO*D4<#u
通过基底传播 a[,p1}!_
探测 VV#'d
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元件内场分析器：FMM 3[?;s} 61
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模拟结果 sO!m,pK(
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) (dy: d^
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) A ;6ew4
C1qlB8(Wh>
[attachment=122063] _ /Eg_dQ~@
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) h0A%K L
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[attachment=122064] Q. '2 v%i
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3D仿真与结果比较 ``@e7~F{
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3D仿真与结果比较 Y Y$Z-u(
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