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infotek 2023-11-06 08:07

微透镜阵列CMOS传感器分析

摘要 weU'3nNN  
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[attachment=122053]
z^T/kK3I  
/G9wW+1  
近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 ow!utAF  
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建模任务 ?gY^,Ckj  
d0"Hu^]  
[attachment=122054]
"6w-jT  
Z O5_n  
模拟&设置:单平台互操作性 uwXquOw  
建模技术的单平台互操作性 C,P>7  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 O[U^{~iM  
Ya<S/9c  
[attachment=122055] 6.ASLH3#  
[ma'11?G  
 平面波光源 NBwxN  
 微透镜阵列 NGOc:>}k>  
 彩色滤光片(吸收介质) `|P fa  
 通过基底传播 T ]hVO'z  
 探测 +)h*)  
3s<~}&"  
连接建模技术:微透镜 PTWP7A[  
:3pJGMv(  
[attachment=122056] eY)ugq>'  
vxhs1vh  
连接建模技术:彩色滤光片 c Owa^;  
rG|lRT3-K  
[attachment=122057] w=Ac/ 12  
9=O`?$y  
连接建模技术:可编程介质 Ua\]]<hj"  
C#d .3t  
[attachment=122058]
4{=zO(>  
[KR|m,QWp  
连接建模技术:自由空间传播 1G$fU zS  
ecDni>W  
[attachment=122059] k&wCa<Rs~R  
Yj3j?.JJk  
连接建模技术:堆栈 XP'<\  
在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 YRa{6*M  
0tyoH3o/d  
[attachment=122060] _&)^a)Nu  
KX D&FDkF  
 微透镜阵列 yB0xa%  
 彩色滤光片(吸收介质) 3 eT5~Lbs  
 通过基底传播 ]CHO5'%,$  
 探测 ySAkj-< /P  
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元件内场分析器:FMM N3O3V5':!  
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[attachment=122061] P'%#B&LZo  
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模拟结果 < %@e<,8  
U4)x"s[CP  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) ZeM~13[  
HYU-F_|N=  
[attachment=122062] zG-pqE6  
& \tD$g~"  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) \OPJ*/U  
`#@#e Z  
[attachment=122063]
aT|SKb`  
Q^13KWvuV  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) O?\UPNb:K  
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[attachment=122064]
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3D仿真与结果比较 Q1f)uwh  
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[attachment=122065]
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3D仿真与结果比较 QIl=Ho"c  
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[attachment=122066]
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