| infotek |
2023-11-06 08:07 |
微透镜阵列CMOS传感器分析
摘要 /M;#_+VK<
B
vo5-P6XY
[attachment=122053] )n49lr6 X
`p
b5*h6r!
近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 u]NZ`t%AP
bzDIhnw
建模任务 I:bD~F b3
8$s9(n-_Y
[attachment=122054] UJfT!= =U
T{qTj6I
模拟&设置：单平台互操作性 G+ xt5n.%
建模技术的单平台互操作性 {t"+
3zy'
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 &cWjE x
/-bF$)vN
[attachment=122055] ;*ix~taL%
|7,L`utp
平面波光源 S##1GOO
微透镜阵列 :@W. K5
彩色滤光片(吸收介质) iv`O /T
通过基底传播 ;6@r-r
探测 WW+l' 6.
"mL++>ZSQ
连接建模技术：微透镜 6S6f\gAM
HEL !GC>#
[attachment=122056] DRqZ,[!+
b" xmqWa
连接建模技术：彩色滤光片 MMB@.W
5aad$f
[attachment=122057] {3})=>u:S
L9pvG(R%
连接建模技术：可编程介质 43?^ 7_l-
+^*iZ6{+7
[attachment=122058] SN4Q))dAU
D=:04V}2+
连接建模技术：自由空间传播 (feTk72XX
&g2 Eptx #
[attachment=122059] `V)Z )uN{0
0 a]/%y3V
连接建模技术：堆栈 gtUUsQ%y .
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 J=.`wZQkS
Rqwzh@}
[attachment=122060] iA T)VQ&
2G$Spfe Iu
微透镜阵列 7+x? " 4
彩色滤光片(吸收介质) 1 n%? @+W
通过基底传播 $$:ZX
探测 r{L4]|(utY
zlR?,h-[3
元件内场分析器：FMM omWJJ|b ~
Ai D [SR
[attachment=122061] Bp X6aAx
%| G"-%_E
模拟结果 >] o}}KF?
f+rz|(6vs{
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) cA6lge<{~
)%!XSsY.N|
[attachment=122062] Sa19q.~%
xBu1Ak8w
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) :xKcpY[{
$gBd <N9|c
[attachment=122063] <~
J O
s2
:4v3\+T
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) iH^z: %dP
@( n^T
[attachment=122064] 8kP3+
-W,}rcj*|
3D仿真与结果比较 j~ j\\Y
(E]!Z vE
[attachment=122065] Kscd}f)yx?
wP,JjPUt
3D仿真与结果比较 s,a}? W
1s1=rZ!
[attachment=122066]
|
|