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2023-11-06 08:07 |
微透镜阵列CMOS传感器分析
摘要 J,G /L!Bp
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 r\A|fiL
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建模任务 y(<+ =
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模拟&设置：单平台互操作性 \E
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建模技术的单平台互操作性 ,UYe OM2Ao
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 f4O}WU}l{s
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平面波光源 (%j V [Q
微透镜阵列 qXprD.; }
彩色滤光片(吸收介质) x .9[c m-!
通过基底传播 |Ed?s
探测 FM=XoMP q
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连接建模技术：微透镜 WN $KS"b6}
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连接建模技术：彩色滤光片 C).+h7{nd
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连接建模技术：可编程介质 ' %&-`/x
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连接建模技术：自由空间传播 _1jbNQa
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连接建模技术：堆栈 ?AVnv(_
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 TyvUdU
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微透镜阵列 CD.
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彩色滤光片(吸收介质) HqI [ ]T@
通过基底传播 | 2G rOM&S
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元件内场分析器：FMM ?Ld:HE
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模拟结果 /uPMzl
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) (S?qxW?
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) _dc ,}C
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) H?
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3D仿真与结果比较 @7sHFwtar?
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3D仿真与结果比较 Wt=%.Y( x
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