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2023-11-06 08:07 |
微透镜阵列CMOS传感器分析
摘要 weU'3nNN {l%Of [attachment=122053] z^T/kK3I /G9wW+1 近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 ow!utAF 6UG7lH!M 建模任务 ?gY^,Ckj d0"Hu^] [attachment=122054] "6w-jT ZO5_n 模拟&设置:单平台互操作性 uwXquOw 建模技术的单平台互操作性 C,P>7 在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 O[U^{~iM Ya<S/9c [attachment=122055] 6.ASLH3# [ma'11?G 平面波光源 NBwxN 微透镜阵列 NGOc:>}k> 彩色滤光片(吸收介质) `|Pfa 通过基底传播 T
]hVO'z 探测 +)h *) 3s<~}&" 连接建模技术:微透镜 PTWP7A[ :3pJGMv( [attachment=122056] eY)ugq>' vxhs1vh 连接建模技术:彩色滤光片 c
Owa^; rG|lRT3-K [attachment=122057] w=Ac/12 9=O`?$y 连接建模技术:可编程介质 Ua\]]<hj" C#d.3t [attachment=122058] 4{=zO(> [KR|m,QWp 连接建模技术:自由空间传播 1G$fU
zS ecDni>W [attachment=122059] k&wCa<Rs~R Yj3j?.JJk 连接建模技术:堆栈 XP'<\ 在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。
YRa{6*M 0tyoH3o/d [attachment=122060] _&)^a)Nu KX D&FDkF 微透镜阵列 yB0xa% 彩色滤光片(吸收介质) 3eT5~Lbs 通过基底传播 ]CHO5'%,$ 探测 ySAkj-< /P > Dy<@e 元件内场分析器:FMM N3O3V5':! 7iMBDkb7 [attachment=122061] P'%#B&LZo wX5Yo{ 模拟结果 < %@e<,8 U4)x "s[CP 像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) ZeM~13[ HYU-F_|N=
[attachment=122062] zG-pqE6 &\tD$g~"
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) \ OPJ*/U `#@#eZ [attachment=122063] aT|SKb` Q^13KWvuV 像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) O?\UPNb:K ! |4fww [attachment=122064] "/H B# :kU#5Aj gK 3D仿真与结果比较 Q1f)uwh YX*NjXL [attachment=122065] 5i71@?q; <"/b 5kc 3D仿真与结果比较 QIl=Ho"c )/4eT\ = [attachment=122066]
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