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2023-11-06 08:07 |
微透镜阵列CMOS传感器分析
摘要 |=s3a5sl
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 NY
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建模任务 }q9f,mz
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模拟&设置：单平台互操作性 kx[8#+P
建模技术的单平台互操作性 *OiHrI9y
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 Bx F
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平面波光源 Q*:
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微透镜阵列 7[L C*nrr
彩色滤光片(吸收介质) {Hu0
通过基底传播 7(H/|2;-d8
探测 t
At+5H
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连接建模技术：微透镜 .+yJ'*i$d
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连接建模技术：彩色滤光片 s/V[tEC*z
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连接建模技术：可编程介质 d Im m},
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连接建模技术：自由空间传播 +J i dP
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连接建模技术：堆栈 F~EriO
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 "T PMSx&Ei
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微透镜阵列 U/>5C :
彩色滤光片(吸收介质) ;\ h'A(
通过基底传播 n):VuOjm
探测 vsK>?5{C-
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元件内场分析器：FMM [eImP
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模拟结果 b~r ?#2K
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) ,M9'S;&^
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) '2NeuK -KD
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) K|iNEhuc
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3D仿真与结果比较 |nD`0 Rbw
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3D仿真与结果比较 mWZV O,t$
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