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2023-11-06 08:07 |
微透镜阵列CMOS传感器分析
摘要 weU'3nNN
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 ow!utAF
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建模任务 ? gY^,Ckj
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模拟&设置：单平台互操作性 uwXquOw
建模技术的单平台互操作性 C,P>7
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 O[U^{~iM
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平面波光源 N BwxN
微透镜阵列 NGOc:>}k>
彩色滤光片(吸收介质) `|P fa
通过基底传播 T
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探测 + )h *)
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连接建模技术：微透镜 PTW P7A[
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连接建模技术：彩色滤光片 c
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连接建模技术：可编程介质 U a\]]<hj"
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连接建模技术：自由空间传播 1G$fU
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连接建模技术：堆栈 X P'<\
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。
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微透镜阵列 yB0xa%
彩色滤光片(吸收介质) 3 eT5~Lbs
通过基底传播 ]CHO5' %,$
探测 ySAkj-< /P
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元件内场分析器：FMM N3O3V5':!
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模拟结果 < %@e<,8
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) ZeM~13[
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) \ OPJ*/U
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) O?\UPNb:K
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3D仿真与结果比较 Q1f)u wh
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3D仿真与结果比较 QIl=Ho"c
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