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2023-11-06 08:07 |
微透镜阵列CMOS传感器分析
摘要 yDCooX0
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 _'? 8s6 H
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建模任务 eZ8Y"i\!y
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模拟&设置：单平台互操作性 oW
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建模技术的单平台互操作性 42n@:5`{+
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 # `N6<n b
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平面波光源 ;qMnO_ E
微透镜阵列 h-?q6O/ |
彩色滤光片(吸收介质) >,]
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通过基底传播 [B2>*UPl
探测 4y]: Gq z~
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连接建模技术：微透镜 c{]r{FAx9o
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连接建模技术：彩色滤光片 Up /eV}C
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v)C:E 9!|
连接建模技术：可编程介质 RF,=bOr19
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连接建模技术：自由空间传播 LAK-!!0X
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连接建模技术：堆栈 JucxhjV#,
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 Q[ 9rA
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微透镜阵列 Q#J>v wi=
彩色滤光片(吸收介质) cvs"WX 3
通过基底传播 v'bd.eqw
探测 H(%] Os
}VGI Y>v
元件内场分析器：FMM '^-4{Y^2E
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模拟结果 <R`,zE@t'(
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) PG v}fEH"
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) N?mY|x\}wK
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) 21/a3Mlx#
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3D仿真与结果比较 R/Dy05nloe
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3D仿真与结果比较 HDW\S#
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