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2023-11-06 08:07 |
微透镜阵列CMOS传感器分析
摘要 TsTc3
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 >-A@6Qe_
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建模任务 . Ima M
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模拟&设置：单平台互操作性 ~w>h# {RB
建模技术的单平台互操作性 ;>?h/tS6
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 o & q>[c
{]^Ixm-,f
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平面波光源 OjUPvR2 0
微透镜阵列 @o A z
彩色滤光片(吸收介质) /d3Jd .l!
通过基底传播 ~ 29p|X<
探测 qE~_}4\Z9
hN-@_XSw<I
连接建模技术：微透镜 4KH492Nq9
Nwi|>'\C
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(wDE!H7
连接建模技术：彩色滤光片 (9'^T.J
7N 9NeSH
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5W Ql?yMP
连接建模技术：可编程介质 W'[V$*
?"d$SK"6Z
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连接建模技术：自由空间传播 z K<af
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\fA{ sehdL
连接建模技术：堆栈 C ^Y\?2h1
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 cSb;a\el$
L)sg W(@2
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微透镜阵列 %nZl`<M
彩色滤光片(吸收介质) ":Wq<Z'
通过基底传播 EbC!tR
探测 ~e{ @ 5.g
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元件内场分析器：FMM =kd$??F
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模拟结果 }s }g}t8v-
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) r\Nfq(w
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U.7fMc#
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) d ]P~
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) O viS(}v4@
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3D仿真与结果比较 Jz@~$L
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3D仿真与结果比较 j|eA*UE
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