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infotek 2023-10-30 08:19

用于光学测量的菲索干涉仪

摘要 tR1 kn&w  
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斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 1 Nv_;p.{  
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建模任务 7cH[}v`pn  
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倾斜平面下的观测条纹 n>{ >3?  
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圆柱面下的观测条纹 7i`8 c =.  
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球面下的观测条纹 !>+YEZ"  
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VirtualLab Fusion 视窗 F|9 W7  
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VirtualLab Fusion 流程 ;CD@RP{$n  
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设置入射场 Srg `Tt]  
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- 基本光源模型[教程视频] CNQ>J`4  
定义元件的位置和方向 BNL Q]  
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- LPD II: 位置和方向[教程视频] q3n(Z  
正确设置通道的非序列追迹 {dTtYL$'"  
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- 非序列追迹的通道设置[用户案例] Q0s!]Dk  
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VirtualLab Fusion 技术 u6j\@U6I  
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