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2023-10-30 08:19 |
用于光学测量的菲索干涉仪
摘要 "J%dI9tM{ V<t!gT#&o! 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 B>e},! 'oZdMl& [attachment=121757] b3+F~G-I" lXu6=r 建模任务 `"eIzLc%o6 -D^v:aC [attachment=121758] I8 mP-Y9*k
倾斜平面下的观测条纹 =_vW7-H Y86mg7[U/ [attachment=121759] b("M8}o ,<]~/5-f 圆柱面下的观测条纹
7D\:i1~ -X,[NI3 [attachment=121760] xC -&<s &K-0ld(; 球面下的观测条纹 w8(z\G_0 [?moS! [attachment=121761] YG#.L}X@C E6s)J -a VirtualLab Fusion 视窗 g66SCr} yFjjpEpnFt [attachment=121762] ] 5:0.$5 VirtualLab Fusion 流程 9"b =W@ ) 0|X];sD 设置入射场 p[7?0 ( a0
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