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2023-10-26 08:10 |
高效偏振无关透射光栅的分析与设计
摘要 vXLiYWo
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当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 g+t-<D "L5
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建模任务 H ifKa/}P8
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光栅特性与参数的严格分析 ' 7+x,TszI
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不同光栅周期下的衍射效率 Xt^ld W
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关于光栅周期选择的考虑 M(KsLu1
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偏振相关的衍射特性 U(P^-J<n1
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通过参数优化进行光栅设计 WfpQ
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固定周期的2D参数优化 SQ8xfD*
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2D参数优化–设计1 2t 6m#
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2D参数优化–设计2 g>G+?PY
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制造公差分析–设计2
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变化光栅周期的3D参数优化 (4o<U%3kGq
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制造公差分析 n%|og^\ 0
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走进VirtualLab Fusion {W+IUvn
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VirtualLab Fusion中的工作流程 @E 8P>k q
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AH{#R D
•构造光栅结构 /KL krW
−通过使用界面来配置光栅结构 t4iD<{4
[用例] WNY:H H
•分析光栅衍射效率 w73?E#8
−光栅级次分析器[用例] V&*|%,q
•使用参数运行搜索初始解决方案 =t^jl b
−参数运行文档的使用[用例] 7nm'v'\u+V
•通过参数优化找到最终设计 7u{V1_ n1
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VirtualLab Fusion技术 }DQTy.d;P
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