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xzaxd	2023-10-24 17:03
RF源暖机时间问题请教请教各位大佬： Sy<io@df 1、RF源最少暖机时间设置多少合适？source和beam eu?P6>urA 2、暖机时间少了或者不暖机，会不会直接导致离子源容易灭弧，影响机理是什么？

大剑宿意琦行	2023-10-24 21:35
一般不是两分钟吗？容易灭弧是因为脏，没保养到位罢了。

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