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2023-10-23 08:06 |
光栅阶次分析器
摘要 kI>Iq
Q-h k_rtsN 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 C.r9)#G E\5cb[Y [attachment=121468] 9/rX% tL?nO#Qx 光栅详细说明 *5DOTWos mK3U*)A
[attachment=121469] 7l"N%e TI{W(2O * •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 rrGsam\. •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 ,Db+c3 y{~l&zrl 光栅阶次分析器设置 #GBe=tm\K \de824 •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 hjB G`S# •可以指定各种输出选项。 2QUZAV\ Y •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 '&/"_ Sb=cWn P [attachment=121470] $:I~y|
!1 .6Swc? 常规设置 \Uun2.K $gsn@P>" [attachment=121471] B_w;2ZuA &j}\ZD •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 R v61*F4 •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 Hcw@24ic 5gP#V
K 单个阶次设置 5}3Q}o# eWvL(2`T x [attachment=121472] m2[q*k]AtS d[+ xLa •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 >W,1s •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 -DwqoWZ &P>wIbE 单个阶次设置 IxwOzpr K'[H`x^ [attachment=121473] @`<v d@ |r"1
&ow5 [attachment=121474] RsJj*REO /esSM~*H 探测器标签页中的输出 kN9pl^2 = :rR%L!a [attachment=121475] unqX<6hu MR$Bl"d •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。 MF/359r)Et •这些值在参数运行和参数优化中也可用。 [xT2c.2__J ($^XF: #5 极坐标图中的输出 g_Wf3o857J a%>p"4WL [attachment=121476] o0Qy?14T- ^ g`1SU` •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中角度的关系。 vS%r_gf( •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。 -[?q?w!? YC\~PVG 极坐标图设置 ye1kI~LO( CK1Xdyf_S [attachment=121477] `INcZr" 1P&XG@ •可以使用鼠标滚轮、属性窗口和功能区来放大极坐标图。 cF_hU" •可以通过右键单击图表来配置显示哪些阶次。 :70cOt~Z Eh;SH^&6 阶次汇集输出 2`,{IHu*! c;l
d [attachment=121478] /X)fWO S6 •“光栅阶次汇集”对象用于在不同坐标上可视化计算出的光栅效率或瑞利系数。 \k;)m-0bj{ •用户可以通过属性浏览器设置各种选项来配置应显示的数据 " FI]l<G& '7}s25[{\ 阶次汇集设置 R?g
qPi- 4-efnB [attachment=121479] 'M2Jw8i yjZxD[
Z [attachment=121480] B3uv>\ &G?b|Tb2 阶次汇集设置 P
X?!R4S GbG!vo [attachment=121481] ?g2Wu0< 6& | |