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2023-10-23 08:06 |
光栅阶次分析器
摘要 eOnl
sx/ j`-y"6) 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 x?&xz; WiCM,wDi [attachment=121468] n'(n4qH2#s 9%'HB\A 光栅详细说明 f$*9J ?ut juMdl [attachment=121469] G Z[5m[ qk{UO
< •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 UDq KF85H •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。
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X K`83C`w. 光栅阶次分析器设置 1|$Rzt%ge xI),0db •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 <cc0 phr •可以指定各种输出选项。 T#;*I#A: •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 ee?Mo` $GKm`I" [attachment=121470] aV%rq9Tp i(;u6Rk 常规设置 ^i k|l= Uwil*Jh [attachment=121471] 1s\hJATfz L|'ME|
' •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 QnAf A% •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 <^Nj~+G' i*E`<9 单个阶次设置 H%gD[!^ xR%ayT. [attachment=121472] hWe}(Ks V zx(J) •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 b-/x •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 =_:L
wmI jmNj#R@t 单个阶次设置 ,H1~_|)< K1WoIv<Ym [attachment=121473] ;;H:$lx D6:J*F&? [attachment=121474] ]>i0;RME /Day5\Q# 探测器标签页中的输出 U2?gODh' 1g.9R@Kc$ [attachment=121475] NUtyUv + # >%bq x •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。 3k0%H]wt •这些值在参数运行和参数优化中也可用。 T#f@8 -XUE PTZ1oD 极坐标图中的输出 z1 px^#
@zq{#7%z [attachment=121476] ml2z *s4!;2ZhsU •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中角度的关系。 m%\[1|N •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。 b(Xg6 B K;w!] 极坐标图设置 |O2PcYNu Qq`\C0RZ [attachment=121477] wpI4P: Q~{@3<yEI •可以使用鼠标滚轮、属性窗口和功能区来放大极坐标图。 P9^h>sV •可以通过右键单击图表来配置显示哪些阶次。 7T Bo*-! { "c,P:S] 阶次汇集输出 dVfDS-v! h;M2ylOu. [attachment=121478] eP?|U.on •“光栅阶次汇集”对象用于在不同坐标上可视化计算出的光栅效率或瑞利系数。 ijYLf.R< •用户可以通过属性浏览器设置各种选项来配置应显示的数据 qm8RRDG ~.PYS!" + 阶次汇集设置 .>&fwG uHCgIR
l> [attachment=121479] FCPRg^=<!~ 5al{[mi [attachment=121480] A'EA ! h`j gF 阶次汇集设置 0xcqX!( B E)l77=/ [attachment=121481] uSjMqfK RGLqn{< | |