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infotek 2023-10-19 09:03

使用傅里叶模态法分析闪耀光栅

摘要 DnB :~&Dw  
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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 +'g~3A-G  
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傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) Q\le3KB  
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建模任务 N/B-u)?\:  
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单次FMM仿真结果 @PKY>58)  
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参数扫描(1D) _s0;mvz'  
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参数扫描(2D) Fau24-g  
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[attachment=121403]
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