| infotek |
2023-10-12 08:21 |
用于一般光学系统的光栅元件
摘要 WUdKj fh
)QX 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 5}~*,_J2Z i,FG?\x@ [attachment=121062] <Ky\ ^ U{LDtn%@h6 系统内光栅建模 {{[).o/ 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 |RwD]2H 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 DhY9)>4M 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 rc*&K#? B (Y'rEc#H&z [attachment=121063] >;HbDp ,ye>D=' 附着光栅堆栈 IL}pVa00{n ~DPg):cZ 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 eP'e_E 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 x7l)i!/$ 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 \"_;rJ{!aE 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 |>A1J: }%y_LcL [attachment=121064] f&ZxG,]Hi 1
xiq]~H 堆栈的方向 h^~eTi;c]Q AT+|}B! 堆栈的方向可以用两种方式指定: H4KwbTT"+ \@['V 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 fbwo2qe@K phl5E:fIKx 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 T!pWU*aB EiP_V&\ [attachment=121065] v=i[s T
{(6*^g<B 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 ')bx1gc(? 11X-X 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 27t:-O 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 [_L:.,]g8 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 N^h,[ '8i
np[_ [attachment=121066] O<iE,PN) -q(,}/Xf 高级选项和信息 }.o
rfW 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 yXppu[= 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 `8xe2=Ub 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 :8E(pq|1PB 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 +%?_1bGX> 0}PW?t76 [attachment=121067] 2p@Rr7 4rwfY<G 结构分解 /r[0Dw sUfH1w)0 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 &UbNp8h 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 twNZ^=S Gr 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 }n:'@} 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 l]T|QhiVd <z %zzc1s [attachment=121068] Q++lgVh)E
7I^(vQ 光栅级次通道选择 !ygh`]6V RQ9fA1YP 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 ztgSd8GGE 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 Cj_cu 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 PM7*@~. 1f~unb\Gg [attachment=121069] T1M4@j p!|Wp 光栅的角度响应 #XQEfa 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 BGLJ>zkq 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 asj^K|.z 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 k/j]*~" 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 mAk)9`f/ $khWu>b [attachment=121070] HS="t3 UXDd8OJL 例:谐振波导光栅的角响应 'r(}7>~fC jGb+bN5U7 [attachment=121071] %^2LTK(P $;@^coz9U 谐振波导光栅的角响应 Dx 4?6 (](:0H [attachment=121072]
|
|