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2023-10-12 08:21 |
用于一般光学系统的光栅元件
摘要 J/QqwoR
RG=i74a 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 OnH3Ss$ v cUGBGX_& [attachment=121062] 53$;ZO3 }lXor~_i 系统内光栅建模 H&
$M/` 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 wv`ar>qVL 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 MJ$.ST 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 M~h.MPI ?-~<Vc* [attachment=121063] ]4r&Q4d>O w5yX~8UzJ 附着光栅堆栈 /x)i}M) (5A8# 7a 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 AiL80W^=d) 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 >xA(*7 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 ,:#h;4!VRF 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 (J?_~(,`" M(yWE0 3 [attachment=121064] ]0O3kiVQ DZ1.Bm0 堆栈的方向 ;W|GUmADf .2U3_1dX 堆栈的方向可以用两种方式指定: 3}8L!2_p N]14~r= 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 f~,Ml*Zp k'*vG6! 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 ?p/}eRgi DAg* [attachment=121065] Pe-rwM hT,rcIkg: 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 mfF `K2R `DE_<l 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 w ~"%&SNN 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 Q"uK6ANp' 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 <CJy3<$u ji\&?%(B [attachment=121066] zk!7TUZ">w {2QP6X sJ 高级选项和信息 ;y{(#X# 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 @4Zkkjc4b 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 _mk@1ft 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 >y,. `ECn 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 u.G aMl4 ( Q1{9>NI [attachment=121067] =}@1Z~
DUH DFG 结构分解 -E3cS sP}u zS 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 4\nGWi{2 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 9ZG:2ncdJ 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 DajN1}] 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 _yX.Apv] X 5X D1[ [attachment=121068] ycwkF$7 :>o0zG[;f 光栅级次通道选择 FA;-D5= !! )W` 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 +V9xKhR;x 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 *0eV9!y 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 AlG5n' |:Maa6(W [attachment=121069] .)Pul|)d =F Y2O`%a 光栅的角度响应 D%LYQ
在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 XN>bv|*q 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 Owgy<@C 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 Ww\ WuaY 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 @$ju Qm 61_-G#W [attachment=121070] )''V}Zn.X _ WPt
zL 例:谐振波导光栅的角响应 v`jHd*&6) $o;c:Kh$$ [attachment=121071] 6w(r}yO] Ziub%C[oV 谐振波导光栅的角响应 <%`Rku ij~- [attachment=121072]
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