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infotek 2023-10-12 08:21

用于一般光学系统的光栅元件

摘要 l]vohLz 3!  
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光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 I]sqi#h$2W  
f4]&pcK  
[attachment=121062] Xu<FDjr  
xw%)rm<t  
系统内光栅建模 +rQg7a}  
 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 b:x7)$(  
 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 #1l7FT?q  
 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 Z% Z"VoxH  
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[attachment=121063] j6X LyeG7  
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附着光栅堆栈 n2 na9dX)w  
T{ nQjYb?  
 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 3LfTGO  
 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 XIN5a~[z*  
 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 FH -p!4+]  
 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 8on[%Vk  
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[attachment=121064] vU9~[I`^p  
D5[VK `4Z  
堆栈的方向 E8;TLk4\  
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堆栈的方向可以用两种方式指定: v|y<_Ya  
4^MSX+zt  
它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 gL,"ef+nM  
Cji#?!Ra?  
请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 3#<'[TF00t  
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[attachment=121065] RR'(9QJ$  
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基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 4 f3=`[%  
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 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 0i _  
 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 ${0%tCE  
 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 ]g7HEB.Y  
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[attachment=121066] oEPNN'~3  
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高级选项和信息 o>$|SU!a  
 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 ?V6 %>RU  
 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 j$%yw4dsj  
 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 Yg|l?d"  
 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 Vy&f"4~  
w+3>DEfz  
[attachment=121067] sMN>wbHwh[  
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结构分解 /W?z0tk`  
[ArO$X3\  
 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 JYl\<Z' {  
 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 u& AQl.u  
 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 kkHTbn=!  
 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 oFwG+W /  
^,~N7`  
[attachment=121068] ZtKQ]jV&@  
A &;EV#]ge  
光栅级次通道选择 KuU3DTS85Z  
% i %ew4  
 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 ,uKs>T^  
 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 tru;;.lj8K  
 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 `X3Xz!  
JO}#f+w}  
[attachment=121069] P}+2>EU  
ntDRlX  
光栅的角度响应 <!$dp9y.  
 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 -MQZiq7H4  
 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 l@~1CMyN  
 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 Kp$_0  
 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 :Pj W:]  
xYT#!K1*  
[attachment=121070] 87&KQ_  
o(?VX`2"  
例:谐振波导光栅的角响应 >cBGw'S  
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[attachment=121071] 4!NfQk>X  
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谐振波导光栅的角响应 `wP/Zp{Hy  
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