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2023-10-11 08:07 |
用于光学检测的斐索干涉仪
摘要 ?*2CpM&l
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斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器，常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术，我们建立了斐索干涉仪，并将其用于测试不同的光学表面，如柱面和球面，可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。 ={_C&57N1
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建模任务 a<@1 -j<
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观测倾斜平面 C.~,qmOP
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观测柱面 , ">]`|?
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观测球面 OJ ,`
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走进VirtualLab Fusion 3cFf#a #
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M}d_I+
VirtualLab Fusion的工作流程 4\y/'`xm)6
设置输入场 BZ:H`M`n
- 基本光源模型 [教学视频] ->sm+H-*
使用表面构造真实元件 }0eF~>Df
Lilr0|U+
定义元件的位置和方向 !Lgg Ik1
- LPD II：位置和方向 [教学视频] M|6A0m#Q
为非序列场追迹设置合适的通道 @Gk ILFN
- 非序列场追迹的频道设置 [用例] ;fsZ7k4]do
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VirtualLab Fusion技术 g>Y|9 Y
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