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infotek 2023-10-11 08:07

用于光学检测的斐索干涉仪

摘要 W8hf  Qpw  
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斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器,常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术,我们建立了斐索干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。 o'nju.'  
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建模任务 z 3RD*3b  
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观测倾斜平面 Nm;(M =  
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观测柱面 ?V6A:8t,  
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观测球面 rGjP|v@3^  
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J'99  
走进VirtualLab Fusion o/ Z  
K/)*P4C-  
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mI5BJ  
VirtualLab Fusion的工作流程 Af'L=0  
 设置输入场 !*Hgl\t6a  
- 基本光源模型 [教学视频] fB .xjp?  
 使用表面构造真实元件 M[aF3bbN  
3{wr*L1%-~  
 定义元件的位置和方向 Z4+S4cqnh  
- LPD II:位置和方向 [教学视频] 6:Eu[PE~w  
 为非序列场追迹设置合适的通道 khS b|mR)  
- 非序列场追迹的频道设置 [用例] $#|iKi<Y@j  
{J_1.uN=  
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rl#[HbPM  
VirtualLab Fusion技术 <G d?,}\  
VK/@jrL+  
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