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infotek 2023-10-11 08:07

用于光学检测的斐索干涉仪

摘要 n3 r3"~i  
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斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器,常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术,我们建立了斐索干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。 !9P';p}2  
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建模任务 CooQ>f  
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观测倾斜平面 V~;1IQd{  
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观测柱面 VrQmP  
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观测球面 j@uOOhy  
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走进VirtualLab Fusion mg.kr:  
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(uZ&V7l  
VirtualLab Fusion的工作流程 Zu("#cA.H  
 设置输入场 Bj-: #P@  
- 基本光源模型 [教学视频]  e5*hE  
 使用表面构造真实元件 OCaq3_#tZ  
A='N=^Pm  
 定义元件的位置和方向  >DZw  
- LPD II:位置和方向 [教学视频] 6){]1h"  
 为非序列场追迹设置合适的通道 ?FF4zI~  
- 非序列场追迹的频道设置 [用例] v4c[(&  
n'kG] Q  
[attachment=120989] 3L}!RB  
p(`6hWx  
VirtualLab Fusion技术 64G[|" j D  
Jx](G>F4f1  
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