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infotek 2023-10-11 08:07

用于光学检测的斐索干涉仪

摘要 ?*2CpM&l  
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斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器,常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术,我们建立了斐索干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。 ={_C&57N1  
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建模任务 a<@1 -j<  
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[attachment=120984] BD68$y  
,C K{F  
观测倾斜平面 C.~,qmOP  
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2gc/3*F8  
观测柱面 ,">]`|?  
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观测球面 OJ,`  
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走进VirtualLab Fusion 3cFf#a#  
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[attachment=120988] ,X#2\r<|  
M}d_I+  
VirtualLab Fusion的工作流程 4\y/'`xm)6  
 设置输入场 BZ:H`M`n  
- 基本光源模型 [教学视频] ->sm+H-*  
 使用表面构造真实元件 }0eF~>Df  
Lilr0|U+  
 定义元件的位置和方向 !LggIk1  
- LPD II:位置和方向 [教学视频] M|6A0m#Q  
 为非序列场追迹设置合适的通道 @Gk ILFN  
- 非序列场追迹的频道设置 [用例] ;fsZ7k4]do  
V`X2> -Ex  
[attachment=120989] 5Eg1Q YVt  
G]D+Sl4<7i  
VirtualLab Fusion技术 g>Y|9Y  
d^RxQuA  
[attachment=120990]
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