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infotek 2023-10-11 08:07

用于光学检测的斐索干涉仪

摘要 R2{X? 2|$  
Si(?+bda0c  
[attachment=120983] -8: @xG2  
TW$^]u~v  
斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器,常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术,我们建立了斐索干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。 UbXz`i  
[&&4lKC}u  
建模任务 6I<`N  
RdjUw#\33b  
[attachment=120984] ~5zhK:7c  
QS_xOQ '  
观测倾斜平面 *HUqW}_r  
2TO1i0  
[attachment=120985] :8FH{sqR  
Spb'jAKj'  
观测柱面 c_ i;'  
m;|I}{r  
[attachment=120986] sT ONkd  
z'o+3 zq^  
观测球面 7UiU3SUcg  
;F- kE4w  
[attachment=120987] .)Q'j94Q  
7>TG ]&  
走进VirtualLab Fusion |gNOv;l  
~EymD *  
[attachment=120988] G}g+2`  
gvX7+F=}B  
VirtualLab Fusion的工作流程 2P*O^-zRp  
 设置输入场 u&:jQ:[  
- 基本光源模型 [教学视频] 0&)4^->c  
 使用表面构造真实元件 "lm3o(Dk  
+|N"i~f>j  
 定义元件的位置和方向 o5d)v)Rx=  
- LPD II:位置和方向 [教学视频] 4 0eNgm^  
 为非序列场追迹设置合适的通道 !|]%^G  
- 非序列场追迹的频道设置 [用例] <_}u5E)7(  
]dH; +3 }  
[attachment=120989] ?:,j9:m?  
 zcc]5>  
VirtualLab Fusion技术 $t^`Pt*:u  
L=>N#QR7  
[attachment=120990]
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