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2023-10-11 08:07 |
用于光学检测的斐索干涉仪
摘要 \s3]_1F;t ikWtC]y [attachment=120983] `%+ mO88o !D!~^\ 斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器,常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术,我们建立了斐索干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。 '$4O!YI9@ %r&-gWTQ, 建模任务 q$1PG+- hcVJBK [attachment=120984] i)#:qAtP* %WqNiF0- 观测倾斜平面 bjAnaya + OV')oE [attachment=120985] 8/)qTUx: ;8!Z5H 观测柱面 G-9iowS/A ARcv;H 5 [attachment=120986] VMoSLFp^R BpX6aAx 观测球面 *yl>T^DjTC >]o}}KF? [attachment=120987] M#|dIbns
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