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2023-10-07 08:21 |
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)
[attachment=120796] 'L/TaP/3 内容简介 N> Y3[G+ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ]S ,GHPEN 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 %C<eR_ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 EMbsKG e:
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讯技科技股份有限公司 h+@t8Q;gGw
2015年9月3日 th,qq 目录 "(qO}&b> Preface 1 l/LUwDI{ 内容简介 2 w2L)f,X 目录 i k$!&3Rh 1 引言 1 w"|c;E1;_ 2 光学薄膜基础 2 dM$S|,H 2.1 一般规则 2 ppjrm 2.2 正交入射规则 3 p?@D' 2.3 斜入射规则 6 :9Pqy
pd+ 2.4 精确计算 7 d+'+z %s% 2.5 相干性 8 qFk(UazN 2.6 参考文献 10 f?6=H^_> 3 Essential Macleod的快速预览 10 tEj5WEnNE8 4 Essential Macleod的特点 32 Op{Mc$5a 4.1 容量和局限性 33 /([aD~. 4.2 程序在哪里? 33 6"(&lK\^ 4.3 数据文件 35 :e;fs.C 4.4 设计规则 35 <T]kpP<lC 4.5 材料数据库和资料库 37 ZlzFmNe60 4.5.1材料损失 38 ]\U'_G2] 4.5.1材料数据库和导入材料 39 {w++)N2sh 4.5.2 材料库 41 T9A5L"-6T 4.5.3导出材料数据 43 kn.z8%^( 4.6 常用单位 43 w[&BY 4.7 插值和外推法 46 VbYapPu4b! 4.8 材料数据的平滑 50 yrX]w3kr% 4.9 更多光学常数模型 54 8ZDq
KQ1; 4.10 文档的一般编辑规则 55 \!3='~2:=o 4.11 撤销和重做 56 =Sq7U^(> 4.12 设计文档 57 5`Bb0=j 4.10.1 公式 58 8TZe=sD~cr 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ^8iy( 4.10.3 沉积密度 59 h!
<8=V( 4.10.4 平行和楔形介质 60 T$e_ao| 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 gnGw7V 4.10.4 性能 61 ;Mz]uk 4.10.5 保存设计和性能 64 ?)&TewP 4.10.6 默认设计 64 n|.;g!QDA 4.11 图表 64 JY,+eD 4.11.1 合并曲线图 67 92i#It}-/ 4.11.2 自适应绘制 68 va0
a4s1O 4.11.3 动态绘图 68 *))|ZE6jI 4.11.4 3D绘图 69 ?:E;C<Ar 4.12 导入和导出 73 R/W&~t 4.12.1 剪贴板 73 b%BwGS(z 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 `
T!O
)5 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 KB^IGF 4.13 背景 77 RUEUn 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 I
zT%Kq 4.15 生成Rugate 84 =ZQIpc 4.16 参考文献 91 rZEu@63 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
]%." 5.1 Jobs 92 gS%J`X$ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 GCoqKE
5.3 输入材料 94 |Bid(`t. 5.4 设计数据文件夹 95 cmTZ))m 5.5 默认设计 95 ?2M15Q 6 细化和合成 97 OQq7|dZu 6.1 优化介绍 97 L2$%h1 6.2 细化 (Refinement) 98 1\McsX4 6.3 合成 (Synthesis) 100 n;U|7it7 6.4 目标和评价函数 101 6= 6.4.1 目标输入 102 ,oCr6 ] 6.4.2 目标 103 S%4K-I 6.4.3 特殊的评价函数 104 y!#1A?|k 6.5 层锁定和连接 104 pr2d}~q4{ 6.6 细化技术 104 'BC-'Ot 6.6.1 单纯形 105 *VH1(E`hl 6.6.1.1 单纯形参数 106 ,O2F}5|; 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Ul=`]@]] 6.6.2.1 Optimac参数 108 1#'wR3[+ 6.6.3 模拟退火算法 109 l6&R
g- 6.6.3.1 模拟退火参数 109 W `Soa&9 6.6.4 共轭梯度 111 loZfzN&6A 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 vn8Ez6<27 6.6.5 拟牛顿法 112 _]\mh,} 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ()7=(<x{ 6.6.6 针合成 113 aU3&=aN+ 6.6.6.1 针合成参数 114 [L 8gG.wy 6.6.7 差分进化 114 f /jN $p 6.6.8非局部细化 115 i@2?5U>h 6.6.8.1非局部细化参数 115 ' :Te#S 6.7 我应该使用哪种技术? 116 d;
M&X!Y 6.7.1 细化 116 .JzO f[g5 6.7.2 合成 117 .(sT?M`\J 6.8 参考文献 117 lY~xoHT;[ 7 导纳图及其他工具 118 th]9@7UE, 7.1 简介 118
I{E10; 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 Z#F2<*+Pe 7.2.1 四分之一波长规则 119 f.,-KIiF 7.2.2 导纳图 120 A >x{\ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 9TF[uC)-2 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 A81kb 7.5 斜入射导纳图 141 '{J!5x?L^ 7.6 对称周期 141 Sh"} c2 7.7 参考文献 142 *P_TG"^{W 8 典型的镀膜实例 143 Cc=`:ED+ 8.1 单层抗反射薄膜 145 )wKuumet 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 `0sa94H1[ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
~d
}- 8.4 W-膜层 148 y"7?]#$9/ 8.5 V-膜层 149 5!AzEB 8.6 V-膜层高折射基底 150 pdE=9l' 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 6Up,B=sX0 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 %
$
5hC9 8.9 四层抗反射薄膜 153 Tj.;\a|d 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 u~G,=n 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 [E=t{&t 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 7OT}V}iP 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ^*iZN
=\ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Jk`A } 8.15十五层宽带抗反射膜 159 md<%Z4+ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 TIS}'c'C 8.17 1/4波长堆栈 162 /P,J);Y 8.18 陷波滤波器 163 )2\6Fy0S 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 &
K7+V 8.20 褶皱 165 JK,k@RE y] 8.21 消偏振分光器1 169 T9u/|OP 8.22 消偏振分光器2 171 W$,c]/u| 8.23 消偏振立体分光器 172 Ij#?r2Z% 8.24 消偏振截止滤光片 173 s7=]!7QGS! 8.25 立体偏振分束器1 174 sR #( \ 8.26 立方偏振分束器2 177 L8!xn&uyP= 8.27 相位延迟器 178 \5J/? 8.28 红外截止器 179 iA=9Lel 8.29 21层长波带通滤波器 180 @ij}|k%* 8.30 49层长波带通滤波器 181 W[+E5I 8.31 55层短波带通滤波器 182 -[ F<u 8.32 47 红外截止器 183 YT#"HYO 8.33 宽带通滤波器 184 Pg5 1}{ 8.34 诱导透射滤波器 186 514;!Q4K 8.35 诱导透射滤波器2 188 QarA.Ne~ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 l^fz 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 .4U::j} 8.35 增益平坦滤波器 193 m\j'7mZ1 8.38 啁啾反射镜 1 196 1J^{h5?lU 8.39 啁啾反射镜2 198 1 [dza5 8.40 啁啾反射镜3 199 Cvq2UNz(R 8.41 带保护层的铝膜层 200 kIM* K%L} 8.42 增加铝反射率膜 201 Uw4KdC 8.43 参考文献 202 MLaH("aen 9 多层膜 204 M,:GMO:?a 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ]Y:|%rvVH 9.2 内部透过率 204 4K:p 9.3 内部透射率数据 205 entO"~*EX 9.4 实例 206 iYBs ) 9.5 实例2 210 sJ!AI
n< 9.6 圆锥和带宽计算 212 jF{zcYU 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 )mJl-u[0+ 10 光学薄膜的颜色 216 l3-;z)SgH 10.1 导言 216 FjVC&+c 10.2 色彩 216 lY0^Z 10.3 主波长和纯度 220 e<>(c7bF 10.4 色相和纯度 221 *cJ GrLC 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 .\qZkk}2l 10.6 色差 226 <SOC 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 {dhG SM7 10.8 颜色渲染指数 234 *r$(lf 10.9 色差计算 235 $!ka8)
~ 10.10 参考文献 236 G5?Dt-;I 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 o|(-0mWBQA 11.1 短脉冲 238 ma vc$!y 11.2 群速度 239 }5FdX3YR 11.3 群速度色散 241 g.zJ[- 11.4 啁啾(chirped) 245 M+9G^o)u 11.5 光学薄膜—相变 245 8E ^yHd4Y 11.6 群延迟和延迟色散 246 %jim] ]<S[ 11.7 色度色散 246 ~~]L!P 11.8 色散补偿 249 MW6d- 11.9 空间光线偏移 256 v4DF
#O 11.10 参考文献 258 RL
SP?o2J 12 公差与误差 260 A9!%H6 12.1 蒙特卡罗模型 260 :dLfM)8} 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 7xz|u\?_2 12.2.1 误差工具 267
]8<;,}# 12.2.2 灵敏度工具 271 V)oUSHillH 12.2.2.1 独立灵敏度 271 u+~Ta 12.2.2.2 灵敏度分布 275 $ohIdpZLH2 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 =i4 Ds 12.3 参考文献 276 +K])&}Dw 13 Runsheet 与Simulator 277 U8PSJ0ny 13.1 原理介绍 277 4&2aJ_ 2y 13.2 截止滤光片设计 277 ]=m
'| 0} 14 光学常数提取 289 Yw vXSA 14.1 介绍 289 : ) SLi 14.2 电介质薄膜 289 ^duNEu0* 14.3 n 和k 的提取工具 295 )#N)w5DU 14.4 基底的参数提取 302 CfNHv-jDL 14.5 金属的参数提取 306 d;daYjOm 14.6 不正确的模型 306 HY4X;^hF 14.7 参考文献 311 D9*GS_K2t 15 反演工程 313 `B}(Ln 15.1 随机性和系统性 313 !'Q/9%g 15.2 常见的系统性问题 314 w(zlHj 15.3 单层膜 314 y'(l]F1] 15.4 多层膜 314 Es/\/vF7]D 15.5 含义 319 JBo/<W#| 15.6 反演工程实例 319 ^F"Q~?D) 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 NjIe2)}' 15.6.2 反演工程提取折射率 327 &.,ZU\`zT 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 5zWxI]4d\ 16.1 光学性质的热致偏移 329 hz\Fq1 16.2 应力工具 335 4W
&HUQ?^ 16.3 均匀性误差 339 !~u;CMR 16.3.1 圆锥工具 339 5*l~7R 16.3.2 波前问题 341 \BOZhXfl' 16.4 参考文献 343 jO)UK.H# 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 M.iR5Uh 17.1 引言 345 2>Bx/QF@< 17.2 操作数 345 `j{q$Y=AG 18 如何在Function中编写脚本 351 Av:5v3% 18.1 简介 351 j'Z};3y 18.2 什么是脚本? 351 B`3RyM"J @ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 03Pa; n 18.4 基础 352 ~3<Li}W 18.4.1 Classes(类别) 352 8.3888 18.4.2 对象 352 ua#sW 18.4.3 信息(Messages) 352 'yu M=Pb 18.4.4 属性 352 ^|M\vO 18.4.5 方法 353 @.T(\Dq^ 18.4.6 变量声明 353 ]:m>pI*z. 18.5 创建对象 354 $R4[TQY).! 18.5.1 创建对象函数 355 yNMnByg3? 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ?9hw]Q6r} 18.5.3 丢弃对象 356 JDrh-6Zgj 18.5.4 总结 356 P{v>o,a. 18.6 脚本中的表格 357 zY6{ OP!# 18.6.1 方法1 357 ^_BHgbS%; 18.6.2 方法2 357 l ps
6lnh 18.7 2D Plots in Scripts 358 k$1ya7-@ 18.8 3D Plots in Scripts 359 C50&SrnBU1 18.9 注释 360 chv0\k"' 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 G66A]FIg 18.11 一个更高级的脚本 362 ""Nu["|E 18.12 <esc>键 364 hyqsMkW| 18.13 包含文件 365 U9GmkXRix 18.14 脚本被优化调用 366 -7\Rl3c 18.15 脚本中的对话框 368 2gLa4B- 18.15.1 介绍 368 'wB6- 18.15.2 消息框-MsgBox 368 `vs=
CYs 18.15.3 输入框函数 370 c#X9d8> 18.15.4 自定义对话框 371 !pY=\vK; 18.15.5 对话框编辑器 371 9fp@d 18.15.6 控制对话框 377 mGR}hsQpn 18.15.7 更高级的对话框 380 aVsA5t\zi 18.16 Types语句 384 Gh;Ju[6 18.17 打开文件 385 )f(.{M 18.18 Bags 387 ljg2P5 18.13 进一步研究 388 JQ|qg\[ 19 vStack 389 8;2UP`8s ? 19.1 vStack基本原理 389 AY{#!RtV 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 z*?-*6W 19.3 五棱镜 393 J-C3k`%O 19.4 光束距离 396 ]l\'1-/
19.5 误差 399 ^3B)i= 19.6 二向分色棱镜 399 q2v:lSFY 19.7 偏振泄漏 404 \z"0lAv" 19.8 波前误差—相位 405 PAG.],"D 19.9 其它计算参数 405 M ,qX 20 报表生成器 406 F&?55@b 20.1 入门 406 pE.f} 20.2 指令(Instructions) 406 -WiOs;2~/ 20.3 页面布局指令 406 $B6CLWB 20.4 常见的参数图和三维图 407 Fr{u=0 X 20.5 表格中的常见参数 408 ($a ?zJr 20.6 迭代指令 408 <WXO].^ 20.7 报表模版 408 h_Ky2IB$ 20.8 开始设计一个报表模版 409 0].x8{~o 21 一个新的project 413 "JI FF_ 21.1 创建一个新Job 414 EX^}#|e*h 21.2 默认设计 415 =2&/Cn4 21.3 薄膜设计 416 yU*upQ 21.4 误差的灵敏度计算 420 eeIaH
> 21.5 显色指数计算 422 eZDqW)x 21.6 电场分布 424 =@%;6`AVcp 后记 426 /7W N,a e1Kxqw7 有兴趣可以扫码加微咨询 ;A^0="x& *Z0 Y:" [attachment=120780]
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