上海|薄膜设计与镀膜工艺 2023年10月25(三)-27日(五)
时间地点主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 苏州黉论教育咨询有限公司 'mYUAVmSC# 授课时间: 2023年10月25日(三)-27日(五)共3天 AM 9:00-PM 16:00 l|sC\;S 授课地点:上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室 )MeeF-Ad6 课程讲师:讯技光电高级工程师&资深顾问 ZW%;"5uVm) 课程费用:4800RMB/人(课程包含课程材料费、开票税金)特邀专家介绍 Ft<B[bQ [attachment=120542] WPDi)UX 易葵:中国科学院上海光机所正高级工程师,研究生导师,主要从事光学薄膜设计、制备工艺和测试相关方面的研究工作,尤其是在高功率激光薄膜、空间激光薄膜、X射线多层膜、真空镀膜技术与薄膜制备工艺研究等方面有较为深入的研究。 &F~97F)A) 获得国家技术发明奖二等奖、上海市技术发明奖一等奖、上海市科技进步二等奖、军队科技进步二等奖等奖项,入选2014年度中科院“现有关键技术人才”。课程概要 WwF2Ry^a 随着现代科技的飞速发展,光学薄膜的应用越来越广泛。光学薄膜的发展极大地促进了现代光学仪器性能的提高,其种类非常广泛,如增透膜,高反膜,分光膜,滤光片等,光学薄膜器件如今已经广泛应用到光通信技术、光伏产业技术、激光技术、光刻技术、航空航天技术等诸多领域。 Ci$?Hm9 n 本次课程第一天主要为国际知名的光学薄膜分析软件Essential Macleod的使用,第二天为各种类型的光学薄膜的设计模拟方法,前两天主讲人为讯技光电高级工程师,第三天特别邀请上海光学精密机械研究所专家易葵,分享光学薄膜制备工艺、激光薄膜关键技术以及光学薄膜的测量方法等相关内容。课程大纲 jX&/ e'B 1. Essential Macleod软件介绍 %`\=qSf* 1.1 介绍软件 yn|U<Hxl~H 1.2 创建一个简单的设计 5bo')^xa 1.3 绘图和制表来表示性能 qQp;i{X 1.4 通过剪贴板和文件导入导出数据 IN?6~O
p 1.5 可用的材料模型(Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann) e)f!2'LL 1.6 特定设计的公式技术 bBY7^k 1.7 交互式绘图 2Dw}o;1' 2. 光学薄膜理论基础
&Y jUoe 2.1 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 x:iLBYf 2.2 后表面对光学薄膜特性的影响 ZmAo9>'Kg 3. 材料管理 SYA0Hiw7P 3.1 材料模型 R 6
-RH7. 3.2 介质薄膜光学常数的提取 a[ yyEgm2 3.3 金属薄膜光学常数的提取 u[6aSqwC| 3.4 基板光学常数的提取 qCy
SL lp0 4. 光学薄膜设计优化方法 s[Whg!2~ 4.1 参考波长与g W%@0Y m`7 4.2 四分之一规则 -0>s`ruor 4.3 导纳与导纳图 JYrOE"!h 4.4 斜入射光学导纳 ^\g?uH6k U 4.5 光学薄膜设计的进展 ?wpl
88z 4.6 Macleod软件的设计与优化功能 TEQs9-Uy 4.6.1 优化目标设置 j5!pS xOC 4.6.2 优化方法(单一优化,合成优化,模拟退火法,共轭梯度法,准牛顿法,针形优化,差分演化法) NX8.
\Pf# 4.6.3 膜层锁定和链接 kE854Ej 5. Essential Macleod中各个模块的应用 (05a9 5.1 非平行平面镀膜-棱镜镀膜透反吞吐量评估 l,ic-Y1 5.2 光通信用窄带滤光片模拟 ?U3~rro! 5.3 光控机器设置显示镀膜过程中预期的监测信号 R c 5.4 镀膜沉积过程噪声信号模拟 r<!/!}fE, 5.5 如何在Function中编写脚本 jIjW +D` 6. 光学薄膜系统案例 sI`oz|$ 6.1 常规光学薄膜案例-高反、增透、滤光片等 `>u^Pm
6.2 仿生蛾眼/复眼结构等 PQXCT|iJ 6.3 Stack应用范例说明 +6s6QeNS8 7. 薄膜性能分析 %mRnJgV5k 7.1 电场分布 }BAe
7.2 公差与灵敏度分析
C:p` 7.3 反演工程 (97&mhs3 7.4 均匀性,掺杂/孔隙材料仿真 s&M#]8x;x 8. 真空技术 juB /?'$~ 8.1 常用真空泵介绍 y*T@_on5 8.2 真空密封和检漏 ,U.|+i{ 9. 薄膜制备技术 %afz{a5 9.1 常见薄膜制备技术 LF ;gdF%@ 10. 薄膜制备工艺 [<.dOe7| 10.1 薄膜制备工艺因素 FDTC?Ii O 10.2 薄膜均匀性修正技术 jH[{V[<#X 10.3 光学薄膜监控技术 ;CDa*(e 11. 激光薄膜 ;aDYw [ 11.1 薄膜的损伤问题 =U}!+ 8f 11.2 激光薄膜的制备流程 zKFiCP
K 11.3 激光薄膜的制备技术 %<\tN^rP 12. 光学薄膜特性测量 !RwMUnp 12.1 薄膜光谱测量 #YK=e&da 12.2 薄膜光学常数测量 G$t:#2 12.3 薄膜应力测量 }b+$S'`Bv 12.4 薄膜损伤测量 D<lV WP 12.5 薄膜形貌、结构与组分分析[attachment=120543] o$Z]qhq
有兴趣的小伙伴可以扫码加微联系[attachment=120541] 书籍——《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装) [attachment=120544] wUH:l
内容简介 $?y\3GX Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 wLKC6@
W 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 y<m}dW6[\ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 qv8B$}F U gM&4Ur
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 lh-zE5; }@vf=jm> 目录 /gP"X1. Preface 1 K
Vnz{cx` 内容简介 2 6t'vzcQs 目录 i $u,
~183 1 引言 1 mV|Z5 =f 2 光学薄膜基础 2 M<ba+Qn$ 2.1 一般规则 2 sPRs;to- 2.2 正交入射规则 3 6A-nhvDP 2.3 斜入射规则 6 %D>cY! 2.4 精确计算 7 h%] D[g 2.5 相干性 8 'h>CgR^NM1 2.6 参考文献 10 `t2Y IwOK 3 Essential Macleod的快速预览 10 K}tC8D 4 Essential Macleod的特点 32 ?S'Wd= 4.1 容量和局限性 33 D:XjJMW3r 4.2 程序在哪里? 33 |fPR7- 4.3 数据文件 35 >(Fy6m 4.4 设计规则 35 s\.\z[1 4.5 材料数据库和资料库 37 wcL|{rUXba 4.5.1材料损失 38 `Gh#2U 4.5.1材料数据库和导入材料 39 'e8O
\FOf 4.5.2 材料库 41 G`z=qa j 4.5.3导出材料数据 43 CUx[LZR7m 4.6 常用单位 43 4B@Ir)^(* 4.7 插值和外推法 46 )@6iQ 4.8 材料数据的平滑 50 ,R=)^Gh{ 4.9 更多光学常数模型 54 (4IH%Ez){ 4.10 文档的一般编辑规则 55 moE!~IroG 4.11 撤销和重做 56 tw&biLM5T 4.12 设计文档 57 ?;DzWCL~9 4.10.1 公式 58 ZQ[ s/ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 J"Nn.iVq 4.10.3 沉积密度 59 {$'oKJy* 4.10.4 平行和楔形介质 60 .:iO$wjp5 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 #{zF~/Qq 4.10.4 性能 61 `}#n#C) 4.10.5 保存设计和性能 64 VTn6@z_ x 4.10.6 默认设计 64 h%! ,|[| 4.11 图表 64 ]Mj N)%hT 4.11.1 合并曲线图 67 O[R
4.11.2 自适应绘制 68 _s+_M+@et 4.11.3 动态绘图 68 Im@Yx^gc 4.11.4 3D绘图 69 z*`nfTw l 4.12 导入和导出 73 uk)D2.eS, 4.12.1 剪贴板 73 A3Y}|7QA 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 @Wd1+Yky 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 >(a[b@[K 4.13 背景 77 qKNHhXi 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 gk4DoO j#P 4.15 生成Rugate 84 |?ma? 4.16 参考文献 91 6QNO#!; 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 kV$VKag*A 5.1 Jobs 92 G9h B p 5.2 创建一个新Job(工作) 93 *[tLwl. 5.3 输入材料 94 1V;,ZGI* 5.4 设计数据文件夹 95 v.Xmrry 5.5 默认设计 95 CwsC)]{/o 6 细化和合成 97 >RXDuCVi 6.1 优化介绍 97 8:jakOeT 6.2 细化 (Refinement) 98 &\<?7Qj3U| 6.3 合成 (Synthesis) 100 $rH}2 6.4 目标和评价函数 101 PRN%4G 6.4.1 目标输入 102 1qh SN#s{_ 6.4.2 目标 103 /qweozW_+ 6.4.3 特殊的评价函数 104 [+b&)jN*2 6.5 层锁定和连接 104 :6W* ;<o 6.6 细化技术 104 k9iB-=X?4s 6.6.1 单纯形 105 E 7"`D\* 6.6.1.1 单纯形参数 106 ^Dys#^ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 h
F *c 6.6.2.1 Optimac参数 108 JmbWEX| 6.6.3 模拟退火算法 109 hvF>Tu]^r 6.6.3.1 模拟退火参数 109 lVS.XQ2< 6.6.4 共轭梯度 111 xU'% 6/G 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 6='x}Qb \H 6.6.5 拟牛顿法 112 =B"^#n ; 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ]/od p/jm 6.6.6 针合成 113 vSGvv43G 6.6.6.1 针合成参数 114 #80M+m 6.6.7 差分进化 114 |\SwZTr 6.6.8非局部细化 115 _[S<Cb*1 6.6.8.1非局部细化参数 115 DQ= /Jr~ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 myDcr|j-a 6.7.1 细化 116 zE]h]$oi 6.7.2 合成 117 >:f&@vwm 6.8 参考文献 117
|:5[` 7 导纳图及其他工具 118 HI{IC!6 7.1 简介 118 $mF9os- 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 VZr AZV^c 7.2.1 四分之一波长规则 119 /t_AiM,( 7.2.2 导纳图 120 ~A-D>.ZH 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 "%K[kA6 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 e%JH q 7.5 斜入射导纳图 141 `r*bG= 7.6 对称周期 141 "[\),7&03 7.7 参考文献 142 ^"EK:|Y4%K 8 典型的镀膜实例 143 #~6au6LMC 8.1 单层抗反射薄膜 145 | gP%8nh'C 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 1ika' 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 td(4Fw||1y 8.4 W-膜层 148 ~3qt<" 8.5 V-膜层 149 #>O>=#Q 8.6 V-膜层高折射基底 150 yIma7H@=L 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 CG[04y 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 0 LIRi%N5* 8.9 四层抗反射薄膜 153 \Culf'iX 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 9AHxa 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 8U7X/L
8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 (zIIC"~5 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 O@sJ#i> 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 T:!Re*=JJ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 & _mp!&5XV 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 _BBs{47{E 8.17 1/4波长堆栈 162 Hjc *WTu 8.18 陷波滤波器 163
03a<Cd/S 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 Gw?$.@L'I6 8.20 褶皱 165 KN"<f:u 8.21 消偏振分光器1 169 >2dF^cDE-3 8.22 消偏振分光器2 171 6:qh%ZR 8.23 消偏振立体分光器 172 0'~Iv\s 8.24 消偏振截止滤光片 173 g0A,VX:2 8.25 立体偏振分束器1 174 _4~q&?}V 8.26 立方偏振分束器2 177 fkJE lO-F 8.27 相位延迟器 178 ]$i~;f 8I 8.28 红外截止器 179 i[m-&
8.29 21层长波带通滤波器 180 btWvoKO* 8.30 49层长波带通滤波器 181 ::8c pUc`f 8.31 55层短波带通滤波器 182 \wxLt}T-Q 8.32 47 红外截止器 183 l$3YJ.n|s~ 8.33 宽带通滤波器 184 9O\N
K:2 8.34 诱导透射滤波器 186 b]@@x;v$@ 8.35 诱导透射滤波器2 188 f%Vdao[ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 |ZJ<N\\h- 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 v7G&`4~ 8.35 增益平坦滤波器 193 1eMz"@Q9 8.38 啁啾反射镜 1 196 41NVF_R6J 8.39 啁啾反射镜2 198 = `oGH 8.40 啁啾反射镜3 199 tW}At 8.41 带保护层的铝膜层 200 6;#Rd| 8.42 增加铝反射率膜 201 6>j0geFyE2 8.43 参考文献 202 W;!)Sj4<T! 9 多层膜 204 q1vsvL9Q 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 1cY,)Z%l # 9.2 内部透过率 204 &~#y-o" 9.3 内部透射率数据 205 !TeI Jm/l 9.4 实例 206 R/?ZbMn]! 9.5 实例2 210 lq}g*ih 9.6 圆锥和带宽计算 212 p@jwHlX 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 y sFp` 10 光学薄膜的颜色 216 p5JRG2zt 10.1 导言 216 52#Ac;Y 10.2 色彩 216 iuS*Vw 10.3 主波长和纯度 220 Ym$=^f]- 10.4 色相和纯度 221 g<PglRr" 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 Pj{Y 10.6 色差 226 Rxk0^d:sNi 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 g~]?6;uu 10.8 颜色渲染指数 234 feG#*m2g 10.9 色差计算 235 )k6kK} 10.10 参考文献 236 Q+a"Z^Z| 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 se&Q\!&M 11.1 短脉冲 238 6"<q{K 11.2 群速度 239 a+PVi 11.3 群速度色散 241 S0mzDLgE 11.4 啁啾(chirped) 245 -SN6&-#c_ 11.5 光学薄膜—相变 245 YK%rTbB( 11.6 群延迟和延迟色散 246 6gTc)rhRT 11.7 色度色散 246 0UOjk.~b 11.8 色散补偿 249 'o%6TWl9s 11.9 空间光线偏移 256 h"t\x}8qq 11.10 参考文献 258 +wxDK A_ 12 公差与误差 260 G*%:"qleT$ 12.1 蒙特卡罗模型 260 JUdQ Q 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 @23~)uiZa 12.2.1 误差工具 267 5Sx.'o$ 12.2.2 灵敏度工具 271 *:V+whBY 12.2.2.1 独立灵敏度 271 MkX=34oc^ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 }0idFotck 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 U*:E|'> 12.3 参考文献 276 ^/fasl$# 13 Runsheet 与Simulator 277 Usq.'y/o 13.1 原理介绍 277 -T{G8@V0I 13.2 截止滤光片设计 277 r>cN,C 14 光学常数提取 289 njckPpyb@ 14.1 介绍 289 {.o@XP,. 14.2 电介质薄膜 289 9A ?)n<3d 14.3 n 和k 的提取工具 295 \h5!u1{L 14.4 基底的参数提取 302 4}F~h 14.5 金属的参数提取 306 2(H-q( 14.6 不正确的模型 306 P$5K[Y4f 14.7 参考文献 311 '^%k TNn 15 反演工程 313 RZP7h>y6@ 15.1 随机性和系统性 313 e-*-91D 15.2 常见的系统性问题 314 hO; XJyv 15.3 单层膜 314 -mw`f)?Ev 15.4 多层膜 314 h&2l0|8k 15.5 含义 319 FwUgMR*xq 15.6 反演工程实例 319 ip!-~HNwJ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 Mh~E]8b 15.6.2 反演工程提取折射率 327 v-DZW, 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 KZ@'NnQ 16.1 光学性质的热致偏移 329 8\Bb7* 16.2 应力工具 335 d
r$E:kr 16.3 均匀性误差 339 L :Ldk 16.3.1 圆锥工具 339 :*Y2na)qQ 16.3.2 波前问题 341 Go(Td++HS 16.4 参考文献 343 *" +u^ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 `#"xgOSP> 17.1 引言 345 ym_p49 17.2 操作数 345 T{)_vQ 18 如何在Function中编写脚本 351 *USG
p<iH 18.1 简介 351 {r'+icvLX 18.2 什么是脚本? 351 EYA=fU 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 <.&84c]/& 18.4 基础 352 `T{'ufI4B 18.4.1 Classes(类别) 352 0ZJj5<U 18.4.2 对象 352 33g$mUB 18.4.3 信息(Messages) 352 &O#,"u/q` 18.4.4 属性 352 BhhFij4 18.4.5 方法 353 B>g(i=E 18.4.6 变量声明 353 H*Tzw,f~ v 18.5 创建对象 354 :0Z\-7iK 18.5.1 创建对象函数 355 J4u>77I 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
hLj7i? 18.5.3 丢弃对象 356 (AZAQ xt 18.5.4 总结 356 L~AU4Q0o 18.6 脚本中的表格 357 ~G 3txd 18.6.1 方法1 357 c(aykIVOo 18.6.2 方法2 357 ]kd:p*U6P 18.7 2D Plots in Scripts 358 ;8a9S0eS 18.8 3D Plots in Scripts 359 ~;#sj&~ 18.9 注释 360 pQ>|dH+. 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 E+lr{~ 18.11 一个更高级的脚本 362 W/g_XQ 18.12 <esc>键 364 fbD,\ rjT 18.13 包含文件 365 -iKoQkHt 18.14 脚本被优化调用 366 {@6:kkd 18.15 脚本中的对话框 368 UE/JV_/S; 18.15.1 介绍 368 Y&H<8ez 18.15.2 消息框-MsgBox 368 O_]hbXV0 18.15.3 输入框函数 370 w!'y,yb% 18.15.4 自定义对话框 371 QiK-|hFj 18.15.5 对话框编辑器 371 #k?. dWZ! 18.15.6 控制对话框 377 .f"1(J8 18.15.7 更高级的对话框 380 IqiU 18.16 Types语句 384 )ZI#F] 18.17 打开文件 385 ] E:NmBN< 18.18 Bags 387 Jy\0y[f* 18.13 进一步研究 388 h,n}=g+? 19 vStack 389 #ID
fJ2 19.1 vStack基本原理 389 [!4xInS 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 t+_\^Oa) 19.3 五棱镜 393 `!$6F:d_l 19.4 光束距离 396 {xeJO:M3/ 19.5 误差 399 JOJuGB-d 19.6 二向分色棱镜 399 ,J,Rup">h 19.7 偏振泄漏 404 D<|$ZuB4 19.8 波前误差—相位 405 @Pf9;7,TV 19.9 其它计算参数 405 h3-^RE5\`S 20 报表生成器 406 6~Dyr82"B 20.1 入门 406 HNCu:$Wr@ 20.2 指令(Instructions) 406 bN7m[GRO. 20.3 页面布局指令 406 yjsj+K
pL 20.4 常见的参数图和三维图 407 qoOwR[NDcq 20.5 表格中的常见参数 408 ul#y'iY] 20.6 迭代指令 408 /QWXEL/M= 20.7 报表模版 408 ?dbSm3 20.8 开始设计一个报表模版 409 qS9<_if2 21 一个新的project 413 z~3GgR"1d 21.1 创建一个新Job 414 heL`"Y2'y> 21.2 默认设计 415 ,SidY\FzH 21.3 薄膜设计 416 ;i\N!T{> 21.4 误差的灵敏度计算 420 ]E$NJq| 21.5 显色指数计算 422 Q4_r) &np 21.6 电场分布 424 }79O[& 后记 426 #4./>}G $}{[_2 1ANFhl(l 书籍名称:《Essential Macleod中文手册》 URs]S~tk _cE_\Ay 《Essential Macleod中文手册》[attachment=120545]
ti (Hx f;Oh"Yt 目 录 [^s;Ggi9 ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 &+&@;2 第1章 介绍 ..........................................................1第2章 软件安装 ..................................................... 3 w;yzgj:n&f 第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 tsL
; wT_ 第5章 软件结构 ............................................................... 21第6章 应用窗口 ................................................................. 44 5a'`%b{{ 第7章 设计窗口 .................................................................. 62第8章 图形窗口 .................................................................. 100 ^3BPOK[*gB 第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 |Y05 *!\P* 第11章 表格窗口 ................................................................. 116第12章 优化和综合 ..................................................................120 :\JCxS=EW 第13章 材料管理 ........................................................................ 149第14章 多层膜 ........................................................................... 167 =PciLh 第15章 分析和设计工具 ........................................................180第16章 逆向工程 ................................................................ 200 kl]MP}wc 第17章 报告生成器 ............................................................. 208第18章 堆栈 ......................................................................... 213 5{oc 第19章 功能扩展 .................................................................. 229第20章 运行表单 .................................................................... 251 +Wg/O
- 第21章 模拟器 ...................................................................... 271第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 9?MzIt 第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 !u@P\8M} 第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 D\b$$z]q 第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 nH&z4-1Y? 第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 ~abyjM :CW^$Zvq 价 格:400元
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