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infotek 2023-09-21 08:29

锥形相位掩模的Talbot像

摘要 {YCquoF  
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在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 zS*X9|p  
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建模任务 5@$b@jTd  
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结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) &#'[]V%^F  
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某一位置的Talbot图样 =kq!e  
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某一位置的Talbot图样 iPMI$  
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不同位置的Talbot图样 A*BIudli  
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不同位置的Talbot图样 %,rUN+vW  
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走进VirtualLab Fusion oB:tio4DE  
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VirtualLab Fusion的工作流程 ~A+D H  
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 构建光栅结构 IZczHHEL`b  
- 用特殊介质构造光栅结构 [用例] 6R1){,8  
- 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] T~UKWAKX}  
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 通过参数运行计算不同位置的强度 =& ~*r  
- 参数运行文件的使用 [用例] ajuwP1I  
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VirtualLab Fusion技术 yZbO{PMr  
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