首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题
光行天下 -> 讯技光电&黉论教育 -> 锥形相位掩模的Talbot像 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

infotek 2023-09-21 08:29

锥形相位掩模的Talbot像

摘要 Ih.o;8PpK  
zU(U^  
在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 U!('`TYe  
h5F1mr1Sa  
sx6` g;  
K]RkKMT,  
建模任务 b.$Gc!g  
MVV<&jho{^  
Q?vGg{>  
结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) k+&|*!j  
JTVCaL3Z  
某一位置的Talbot图样 SwQb"  
\OOj]gAe  
Tmq:,.^}  
   TN&1C8xr  
某一位置的Talbot图样 REw!@Y."  
mgS%YG  
<MY_{o8d  
4rv3D@E  
不同位置的Talbot图样 ?!Y2fK=h0  
>zXw4=J  
r3#H]c  
6zyozJA  
不同位置的Talbot图样 HZR~r:_ i  
aVd{XVE  
-8g ;t3z  
xZBmQ:s',S  
沿Z轴的强度 o: TO[  
$BCqz! 4K  
W*gu*H^s~  
"#(]{MY  
走进VirtualLab Fusion `XQM)A  
Z|E( !"zE9  
'R= r9_%  
pS9CtQqvgy  
VirtualLab Fusion的工作流程 K" Y,K  
$KKrl  
 构建光栅结构 &%rX RP  
- 用特殊介质构造光栅结构 [用例] .hnGHX  
- 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] aHS.U^2  
W%) foJ  
 通过参数运行计算不同位置的强度 Z3=t"  
- 参数运行文件的使用 [用例] .BuY[,I+  
Bm1yBKjO  
 !1;DRF  
Qr$ uFh/y  
VirtualLab Fusion技术 &!a[rvtZ+  
Sw>AgES  
P6dIU/w  
   "C%;9_ig$  
查看本帖完整版本: [-- 锥形相位掩模的Talbot像 --] [-- top --]

Copyright © 2005-2025 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计