| infotek | 2023-09-21 08:29 |
锥形相位掩模的Talbot像在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。  建模任务  结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 某一位置的Talbot图样  某一位置的Talbot图样  不同位置的Talbot图样  不同位置的Talbot图样  沿Z轴的强度  走进VirtualLab Fusion  VirtualLab Fusion的工作流程 构建光栅结构 - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] 通过参数运行计算不同位置的强度 - 参数运行文件的使用 [用例]  VirtualLab Fusion技术  |
|