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锥形相位掩模的Talbot像
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infotek
2023-09-21 08:29
锥形相位掩模的Talbot像
摘要
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在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。
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建模任务
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结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015)
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某一位置的Talbot图样
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某一位置的Talbot图样
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不同位置的Talbot图样
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不同位置的Talbot图样
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沿Z轴的强度
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走进VirtualLab Fusion
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VirtualLab Fusion的工作流程
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构建光栅结构
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- 用特殊介质构造光栅结构 [用例]
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- 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例]
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通过参数运行计算不同位置的强度
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- 参数运行文件的使用 [用例]
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VirtualLab Fusion技术
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