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infotek 2023-09-21 08:29

锥形相位掩模的Talbot像

摘要  g*a+$'  
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在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 wH8J?j"5>  
c#TY3Z|  
l<XYDb~op  
tTBDb  
建模任务 V?dwTc  
Zb 2pZhkW  
Uj;JN}k  
结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) @\nQ{\^;  
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某一位置的Talbot图样 Eu' ;f_s  
C jf<,x$  
k 6M D3c  
   1N(#4mE=  
某一位置的Talbot图样 L9O;K$[s  
R& t*x  
\}4Y]xjV2  
@]q^O MLY  
不同位置的Talbot图样 W+ ;=8S  
3" m]A/6C}  
mH\zSk  
AuK$KGCI=  
不同位置的Talbot图样 n4!RGq.}  
Ik^^8@z  
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[L2+k? *  
沿Z轴的强度 #M|lBYdW}  
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;Tr,BfV|Bf  
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走进VirtualLab Fusion Ic4#Tk20i  
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f~wON>$K  
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VirtualLab Fusion的工作流程 OC*28)  
_|["}M"?  
 构建光栅结构 vN^.MR+<  
- 用特殊介质构造光栅结构 [用例] zEU[u7%  
- 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] 9[zxq`qT}+  
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 通过参数运行计算不同位置的强度 T='uqKW\  
- 参数运行文件的使用 [用例] tnobqL'  
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VirtualLab Fusion技术 %<-OdyM  
R`@T<ob)  
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   N-QS/*C.~  
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