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infotek 2023-09-21 08:29

锥形相位掩模的Talbot像

摘要 xkn;,`t^lJ  
4R*,VR.K  
在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 8- i#8'/x  
CWlw0 X  
M_8{]uo  
g5yJfRLxp  
建模任务 a =QCp4^  
$C\BcKlmv  
ZW}_DT0  
结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) MJvp6n  
#F#%`Rv1  
某一位置的Talbot图样 L$-T,Kze  
SdWV3  
9iq_rd]  
   *or(1DXP8  
某一位置的Talbot图样 TNth   
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不同位置的Talbot图样 (?c-iKGc  
] @'!lhLi  
}}[2SH'nH  
Zh,71Umz  
不同位置的Talbot图样 P%6~&woF  
FtZ?C@1/  
T |p"0b A  
liZxBs :%i  
沿Z轴的强度 [~ fraK,)  
^_6|X]tz1T  
g*Phv|kI  
O}P`P'Y|'  
走进VirtualLab Fusion hc1N ~$3!G  
Rv=YFo[B  
~zgGa:uU  
Si7*& dw=  
VirtualLab Fusion的工作流程 @oNXZRg6  
?(PKeq6  
 构建光栅结构 y(&Ac[foS}  
- 用特殊介质构造光栅结构 [用例] phK/   
- 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] 4JEpl'5^Q  
[e q&C_|D  
 通过参数运行计算不同位置的强度 4W])}C %  
- 参数运行文件的使用 [用例] O8o3O 6[Y  
C+]I@Go'Tk  
~?dI*BZ)]  
Z G:{[sT  
VirtualLab Fusion技术 *#2h/Q.  
GVz6-T~\>  
B[}6-2<>?C  
   N;R^h? '  
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