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infotek 2023-09-21 08:29

锥形相位掩模的Talbot像

摘要 o~\.jQQxa  
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在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 Umzb  
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建模任务 42 lw>gzr!  
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结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) aT}Hc5L,b  
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某一位置的Talbot图样 =H;'.!77Hx  
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某一位置的Talbot图样 jn(!6\n"  
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不同位置的Talbot图样 :3 Hz!iZM  
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不同位置的Talbot图样 6jgP/~hP>N  
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沿Z轴的强度 Y%0rji  
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走进VirtualLab Fusion lMu-,Z="  
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F!u)8>s+z{  
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VirtualLab Fusion的工作流程 V V}"zc^  
#\^=3A|b  
 构建光栅结构 c*E7nc)u  
- 用特殊介质构造光栅结构 [用例] h4 9q(085V  
- 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] 4^:dmeMZ`  
<8kCmuGlk  
 通过参数运行计算不同位置的强度 r*$f^T!|  
- 参数运行文件的使用 [用例] % 33O)<?  
U YJ>L  
f"*4R kG  
71P. 9Iz  
VirtualLab Fusion技术 F {L#  
>]gB@tn[  
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   YlG#sBzl  
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