集成微透镜阵列的CMOS传感器分析
1. 摘要 0!`!I0 HA.
O"A8` 在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。 ,@t#)HV }j,G)\g# 2. 建模任务 Wl3fR[@3Q < !]7Gt
采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010) %xt\|Lt k?=_p6> 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010) p fg>H O9F#gO|! 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) {1W,-% |R (rb-v
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