集成微透镜阵列的CMOS传感器分析
1. 摘要 ;l ()3; %
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> 在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。 [r8 d+ b<AE}UK 2. 建模任务 lg>AWTW[ PEEY;x
采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010) 7V
(7JV<> vs|6ww 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010) #\BI-zt k+$4?/A 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) %n25Uq ;|QR-m2/
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g/Jj]X#r Os 2YZ<t 6. 3D仿真与结果对比 L"7`
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