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2023-09-11 08:27 |
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)
x< 2]UB` 内容简介 ZCc23UwI Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Pvi2j&W84 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 S\A0gOL^ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 2sk7E'2( K|-m6!C!7
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ?#(LH\$l_ 目录 Hv,ll1@h Preface 1 KRT&]2 内容简介 2 A-=hvJ5T 目录 i la-:"gKC 1 引言 1 W&|?8%"l] 2 光学薄膜基础 2 MQN~I^v3 2.1 一般规则 2 f)z(9JJL 2.2 正交入射规则 3 n9={D 2.3 斜入射规则 6 KhB775 2.4 精确计算 7 3I~.'>Pd 2.5 相干性 8 jmaw-Rx 2.6 参考文献 10 vCJa%} 3 Essential Macleod的快速预览 10 @!!u>1 4 Essential Macleod的特点 32 K2xHXziQ 4.1 容量和局限性 33 \ Voly 4.2 程序在哪里? 33 &DGz/o 4.3 数据文件 35 * BR#^Wt 4.4 设计规则 35 o)@nnqa 4.5 材料数据库和资料库 37 ^ `";GnH0 4.5.1材料损失 38 Y]0c%Fd 4.5.1材料数据库和导入材料 39 [(#)9/3, 4.5.2 材料库 41 l~]] RgU 4.5.3导出材料数据 43 PN]hG,q*4O 4.6 常用单位 43 ^?""'1iuQx 4.7 插值和外推法 46 K)J_q3qo 4.8 材料数据的平滑 50 a_5s'Dh 4.9 更多光学常数模型 54 ?i#x13 4.10 文档的一般编辑规则 55 Pm)*zdZ8 4.11 撤销和重做 56 6#CswSpS 4.12 设计文档 57 ]zJO)(d$> 4.10.1 公式 58 P*
0kz@ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
O]=jI 4.10.3 沉积密度 59 a"U3h[;$y 4.10.4 平行和楔形介质 60 FauASu,A 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 |au`ph5 4.10.4 性能 61 @#,/6s7? 4.10.5 保存设计和性能 64 |*g#7YL 4.10.6 默认设计 64 BX[IWP\% 4.11 图表 64 4uoZw3O 4.11.1 合并曲线图 67 hui
#<2{ 4.11.2 自适应绘制 68 eu$VKLY* 4.11.3 动态绘图 68 N^[
F+y 4.11.4 3D绘图 69 #1'q'f:7& 4.12 导入和导出 73 TCyev[( 4.12.1 剪贴板 73 95@u|#n 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 N^oP,^+U 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 )$E){(Aa 4.13 背景 77 v0 :n:q 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 SEzjc ~@3 4.15 生成Rugate 84 dR\yRC]I 4.16 参考文献 91 JX5/PCO 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 _%2ukuJ ` 5.1 Jobs 92 `0]N#G
T 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ms}o[Z@n 5.3 输入材料 94 RNB&!NC
5.4 设计数据文件夹 95 h]& 5.5 默认设计 95 (!{*@?S 6 细化和合成 97 C;JW\J~W 6.1 优化介绍 97 unn2I|XH 6.2 细化 (Refinement) 98 Jaw1bUP!oK 6.3 合成 (Synthesis) 100 ^ei[1# 6.4 目标和评价函数 101 sd%)g<t 6.4.1 目标输入 102 Ij4q &i" 6.4.2 目标 103 -avxH?;?7 6.4.3 特殊的评价函数 104 zx\-He 6.5 层锁定和连接 104 `H:`JBe=+[ 6.6 细化技术 104 q9ra 6.6.1 单纯形 105 }1 qQ7}v 6.6.1.1 单纯形参数 106 dX1jn;7 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 nsi?.c&0! 6.6.2.1 Optimac参数 108 $nmt&lm 6.6.3 模拟退火算法 109 AH'c:w]~ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 sv%E5@ 6.6.4 共轭梯度 111 @,sjM] 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 u=qK_$d4 6.6.5 拟牛顿法 112 vJ&D>Vh4e 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 `x
_(EZ 6.6.6 针合成 113 I(R%j]LX& 6.6.6.1 针合成参数 114 (,o@/ -o 6.6.7 差分进化 114 JGvhw,g 6.6.8非局部细化 115 ghB&wOm/ 6.6.8.1非局部细化参数 115 <]G'& iv> 6.7 我应该使用哪种技术? 116 HJg&fkHn1 6.7.1 细化 116 P/ 6$TgQ 6.7.2 合成 117 "0PsCr}! 6.8 参考文献 117 S"G(_% 7 导纳图及其他工具 118 Rf`_q7fm 7.1 简介 118
$6UU58>n 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 n^{h@u 7.2.1 四分之一波长规则 119 yKj}l,i~8 7.2.2 导纳图 120 H0"'jd 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 $k&v
juB. 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 *)w+xWmM3w 7.5 斜入射导纳图 141 y(g]:# 7.6 对称周期 141 Hm'fK$y( 7.7 参考文献 142 ZHZxr 8 典型的镀膜实例 143 \`~YW<D 8.1 单层抗反射薄膜 145 D['J4B 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 .>TG{>sH 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 n;:.UGl9. 8.4 W-膜层 148 `!N}u 8.5 V-膜层 149 SN{A@dyt 8.6 V-膜层高折射基底 150 /# Jvt 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 %.`u2'^ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ,_YI:xie|c 8.9 四层抗反射薄膜 153
G-1qxK 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 5L2j,] 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ~x9J&*zxM 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 bl>W i@GL 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 dDl+ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 h9m|f|cH 8.15十五层宽带抗反射膜 159 5>%^"f 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 M/.M~/~ 8.17 1/4波长堆栈 162 /dg?6XT/ 8.18 陷波滤波器 163 J/Y9 X, 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 25`W"x_ 8.20 褶皱 165 dpS@: 8.21 消偏振分光器1 169 WG A&Lr 8.22 消偏振分光器2 171 LvS5N)[ 8.23 消偏振立体分光器 172 Eu&$Rq} 8.24 消偏振截止滤光片 173 yc]_ ?S>9 8.25 立体偏振分束器1 174 9*FA=E 8.26 立方偏振分束器2 177 E<-W & a } 8.27 相位延迟器 178 #y#TEw, 8.28 红外截止器 179 -eK0 +beQ 8.29 21层长波带通滤波器 180 5|eX@?QF58 8.30 49层长波带通滤波器 181 8i;drvf 8.31 55层短波带通滤波器 182 VFZyWX@#u 8.32 47 红外截止器 183
[>GblL 8.33 宽带通滤波器 184 f2gh|p` 8.34 诱导透射滤波器 186 : 9(kU 8.35 诱导透射滤波器2 188 3C!|!N1Hn 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 AaB1H7r- 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 BTr;F]W 8.35 增益平坦滤波器 193 1&e8vVN 8.38 啁啾反射镜 1 196 Q?j '4 8.39 啁啾反射镜2 198 ,^mEi 8.40 啁啾反射镜3 199 S"Vr+x? 8.41 带保护层的铝膜层 200 3v3cK1K@oE 8.42 增加铝反射率膜 201 & ;5f/ 8.43 参考文献 202 ,)\G<q
yO6 9 多层膜 204 ,V]FAIJ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 T;Kv<G; 9.2 内部透过率 204 %2D'NZS 9.3 内部透射率数据 205 o92BGqA>& 9.4 实例 206 >#r0k|3J^J 9.5 实例2 210 _G-6G=q 9.6 圆锥和带宽计算 212 +K'YVB
U} 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ]5*H/8Ke7 10 光学薄膜的颜色 216
l8+1{6xP 10.1 导言 216 7`L]aRS[ 10.2 色彩 216 D8w.r"ne 10.3 主波长和纯度 220 0[
"CP:u 10.4 色相和纯度 221 > (n/ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 -u~:Gd*l0 10.6 色差 226 ZI$P Qz2i 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 (K6vXq.;\\ 10.8 颜色渲染指数 234 D?Ol)aj? 10.9 色差计算 235 F\;l) 10.10 参考文献 236 {7IZN< e 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 1n2Pr'|s 11.1 短脉冲 238 e]!`94f 11.2 群速度 239 K(MZ!>{ 11.3 群速度色散 241 SI6?b1;-:F 11.4 啁啾(chirped) 245 2XBHo ( 11.5 光学薄膜—相变 245 dwvc;f- 11.6 群延迟和延迟色散 246 X eis_ 11.7 色度色散 246 *}HDq(/>w 11.8 色散补偿 249 `3K."/N6c 11.9 空间光线偏移 256 fRk'\jzT 11.10 参考文献 258 WQw11uMt@q 12 公差与误差 260 rjfWty%6pX 12.1 蒙特卡罗模型 260 Yqu/_6wLx 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 Xsb.xxK. 12.2.1 误差工具 267 VWXyN 12.2.2 灵敏度工具 271 fK@UlMC]7 12.2.2.1 独立灵敏度 271 33}p02# 12.2.2.2 灵敏度分布 275 g(jn
/Cx 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 [UdJ(cGf 12.3 参考文献 276 `tH F} 13 Runsheet 与Simulator 277 bTYR=^9 13.1 原理介绍 277 _q-k1$o$ 13.2 截止滤光片设计 277 FDGzh/ 14 光学常数提取 289 Bq4@I_b 14.1 介绍 289 Q}lY1LT` 14.2 电介质薄膜 289 4|jPr J
14.3 n 和k 的提取工具 295 :[_k .1-+ 14.4 基底的参数提取 302 = =KDr0|G 14.5 金属的参数提取 306
NQ '|M 14.6 不正确的模型 306 /^~)iTwH 14.7 参考文献 311 44^jE{,9 15 反演工程 313 qMO(j%N5 15.1 随机性和系统性 313 _!vuDv% 15.2 常见的系统性问题 314 "0>AefFd# 15.3 单层膜 314 JGhK8E
15.4 多层膜 314 vvG*DGL)qL 15.5 含义 319 Yv{$XI7 15.6 反演工程实例 319 |D;I>O^"R 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 FV OPC:}bj 15.6.2 反演工程提取折射率 327 0eA|Uq~ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 PGTjOkx 16.1 光学性质的热致偏移 329 \<}e?Yx% 16.2 应力工具 335 ^m.%FIwR 16.3 均匀性误差 339 8RZqoQDH 16.3.1 圆锥工具 339 _>t6]?* 16.3.2 波前问题 341 \$,;@H5I^ 16.4 参考文献 343 e/)Vx'd`+ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ~^3U@(: 17.1 引言 345 (f"LD8MJ/ 17.2 操作数 345 $U^ Ms!'L 18 如何在Function中编写脚本 351 p{0rHu[ 18.1 简介 351 *MCkezW7{ 18.2 什么是脚本? 351 K[-G2 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ``h*A 18.4 基础 352 6099w0fR` 18.4.1 Classes(类别) 352 >bw q 18.4.2 对象 352 )RT:u)N 18.4.3 信息(Messages) 352 *@ S+J$ 18.4.4 属性 352 7X/B9Hee 18.4.5 方法 353 B1U7z1< 18.4.6 变量声明 353 @7?L+.r$9 18.5 创建对象 354 `qy@Qo 18.5.1 创建对象函数 355 9$R}GK 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ^7`gf 18.5.3 丢弃对象 356 SUoUXh^!w 18.5.4 总结 356 NrcxuItkYn 18.6 脚本中的表格 357 {%Q+Pzl. 18.6.1 方法1 357 <q4<3A 18.6.2 方法2 357 cEPqcy
* 18.7 2D Plots in Scripts 358 =kW7|c5Z 18.8 3D Plots in Scripts 359 7t%
|s!~ 18.9 注释 360 `jGG^w3 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 o7fJ@3B/ 18.11 一个更高级的脚本 362 F^wm&:%{` 18.12 <esc>键 364 R6irL!akAd 18.13 包含文件 365 S1*xM 18.14 脚本被优化调用 366 *b(nX,e 18.15 脚本中的对话框 368 JjH141 n%D 18.15.1 介绍 368 @B>pPCowa 18.15.2 消息框-MsgBox 368 WSx0o} 18.15.3 输入框函数 370 h}GzQry1 18.15.4 自定义对话框 371 T5TAkEVl 18.15.5 对话框编辑器 371 @t#Ju1Y 18.15.6 控制对话框 377 6PRP&|.# 18.15.7 更高级的对话框 380 (5=B^9{R 18.16 Types语句 384 YGCBDH%6 18.17 打开文件 385 e:;u_be~ 18.18 Bags 387 'iEu1! t\0 18.13 进一步研究 388 =D^R,Q 19 vStack 389 v6'k`HnK 19.1 vStack基本原理 389 4Mv] z^ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 -pm%F8{T] 19.3 五棱镜 393 o;{BI
Q1 19.4 光束距离 396 Nb/Z + 19.5 误差 399 z CFXQi 19.6 二向分色棱镜 399 67P@YL 19.7 偏振泄漏 404 39Tlt~Psz 19.8 波前误差—相位 405 %_ Vj'z~T 19.9 其它计算参数 405 nW_cjYS% 20 报表生成器 406 QWAtF@qTV 20.1 入门 406
D~t 20.2 指令(Instructions) 406 ![aa@nOSa 20.3 页面布局指令 406 0hOps5c8= 20.4 常见的参数图和三维图 407 #HmZe98[% 20.5 表格中的常见参数 408 9 EV. ![ 20.6 迭代指令 408 2$yNryd 20.7 报表模版 408 cFloaCz 20.8 开始设计一个报表模版 409 %bgUU|CdA 21 一个新的project 413 ~>>^7oq 21.1 创建一个新Job 414 '>#8
F. 21.2 默认设计 415 V*F |Yo: 21.3 薄膜设计 416 KWiP`h8 21.4 误差的灵敏度计算 420 8QFg6#"O 21.5 显色指数计算 422 *w23(f 21.6 电场分布 424 18G=j@k7 后记 426 !4(QeV-= 有兴趣扫码加微联系[attachment=120025] MW|:'D`
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