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infotek 2023-09-11 08:27

《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)

&/2+'wCp5  
内容简介 hO{&bY0  
Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 s-(c-E09  
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 Gd`7Tf)'  
薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 z C$F@  
-5]lHw}  
讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
oR!h eCnu  
目录 Z]WX 7d  
Preface 1 E(_k#X  
内容简介 2 EE|c@M^  
目录 i ut]UU*g^$  
1  引言 1 >?)_, KL  
2  光学薄膜基础 2 P*>?/I`G  
2.1  一般规则 2 i `p1e5$  
2.2  正交入射规则 3 !>ZBb\EyK  
2.3  斜入射规则 6 R >SZE"  
2.4  精确计算 7 2 M\7j  
2.5  相干性 8 *?C8,;=2r  
2.6 参考文献 10 .@EzHe ^W  
3  Essential Macleod的快速预览 10 :w Y%=  
4  Essential Macleod的特点 32 Z%LS{o~LK.  
4.1  容量和局限性 33 ,3eN&  
4.2  程序在哪里? 33 WlY\R>x#  
4.3  数据文件 35 v$x)$/]n  
4.4  设计规则 35 | 2<zYY  
4.5  材料数据库和资料库 37 -|s% 5p|  
4.5.1材料损失 38 iRcac[uV  
4.5.1材料数据库和导入材料 39 J}4RJ9  
4.5.2 材料库 41 f\=,_AQ  
4.5.3导出材料数据 43 \L$]2"/v-  
4.6  常用单位 43 [+CFQf>  
4.7  插值和外推法 46 3D5adI<aq"  
4.8  材料数据的平滑 50 bA$ElKT  
4.9 更多光学常数模型 54 tn _\E/Q  
4.10  文档的一般编辑规则 55 >gq=W5vN(  
4.11 撤销和重做 56 :RZ'_5P[If  
4.12  设计文档 57  P s|[  
4.10.1  公式 58 Er8F_,M+  
4.10.2 更多关于膜层厚度 59 "R-j  
4.10.3  沉积密度 59 [AFGh L+t3  
4.10.4 平行和楔形介质 60  lA4J#  
4.10.5  渐变折射率和散射层 60 r4gLoHD)  
4.10.4  性能 61  r3OtQ  
4.10.5  保存设计和性能 64 /#"9!8%V  
4.10.6  默认设计 64 W>?aZv  
4.11  图表 64 S;iD~>KP  
4.11.1  合并曲线图 67 qC& xuu|  
4.11.2  自适应绘制 68 Sx Bo%  
4.11.3  动态绘图 68 !Q%r4Nr  
4.11.4  3D绘图 69 qPUACuF'  
4.12  导入和导出 73 ;[g~h |{6  
4.12.1  剪贴板 73 rW~G'  
4.12.2  不通过剪贴板导入 76 MIZ!+[At  
4.12.3  不通过剪贴板导出 76 \>w 2D  
4.13  背景 77 ?v F8 y;Jh  
4.14  扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 kDE:KV<"c  
4.15  生成Rugate 84 9!2$?xqym  
4.16  参考文献 91 G%i&C)jZ  
5  在Essential Macleod中建立一个Job 92 A]o3 MoSt  
5.1  Jobs 92 0lcwc"_DZX  
5.2  创建一个新Job(工作) 93 ntL%&wY  
5.3  输入材料 94 c^&:':Z%'  
5.4  设计数据文件夹 95 VzcW9'"#  
5.5  默认设计 95 AGVipI #  
6  细化和合成 97 kZ:~m1dd  
6.1  优化介绍 97 6OQ\f,h@  
6.2  细化 (Refinement) 98 )^ )|b5,  
6.3  合成 (Synthesis) 100 o@} qPvt0  
6.4  目标和评价函数 101 $m+Pl[s  
6.4.1  目标输入 102 bOV]!)o  
6.4.2  目标 103 G"vEtNoV  
6.4.3  特殊的评价函数 104 s>>lf&7  
6.5  层锁定和连接 104 }y*rO(cu7G  
6.6  细化技术 104 9N) Ea:N  
6.6.1  单纯形 105 : 9zEne4  
6.6.1.1 单纯形参数 106 %6@m~;c0  
6.6.2  最佳参数(Optimac) 107 /wHfc[b>  
6.6.2.1 Optimac参数 108 q'biTn]2  
6.6.3  模拟退火算法 109 (51;cj>J  
6.6.3.1 模拟退火参数 109 ]tbl1=|  
6.6.4  共轭梯度 111 H a`V"X{}  
6.6.4.1 共轭梯度参数 111 3}.OSt'=  
6.6.5  拟牛顿法 112 +]VW[ $W  
6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 :{Iv ]d  
6.6.6  针合成 113 jwwst\f  
6.6.6.1 针合成参数 114 *vzj(HGO  
6.6.7 差分进化 114 '1 \UFz  
6.6.8非局部细化 115 q }9n.  
6.6.8.1非局部细化参数 115 ]}_Ohe]X  
6.7  我应该使用哪种技术? 116 l~*d0E-$  
6.7.1  细化 116 AAc2u^spx  
6.7.2  合成 117 %9t=Iu*  
6.8  参考文献 117 MPsm)jqX  
7  导纳图及其他工具 118 LQ"xm  
7.1  简介 118 f{D~ZC.*  
7.2  薄膜作为导纳的变换 118 ^"$~&\+x5  
7.2.1  四分之一波长规则 119 k~$}&O  
7.2.2  导纳图 120 u$x'P <b  
7.3  用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 KVpQ,x&q~  
7.4  全介质抗反射薄膜中的应用 125 Pj*"2 LBW#  
7.5  斜入射导纳图 141 ]#$r TWMl'  
7.6  对称周期 141 _eaK:EW  
7.7  参考文献 142 8.' THLI  
8  典型的镀膜实例 143 yf e4}0}  
8.1  单层抗反射薄膜 145 G0x!:[  
8.2  1/4-1/4抗反射薄膜 146 #j"N5e}U  
8.3  1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 .OF2O}  
8.4  W-膜层 148 Z3A"GWY  
8.5  V-膜层 149 sH)40QmO{  
8.6  V-膜层高折射基底 150 7!8R)m^1[  
8.7  V-膜层高折射率基底b 151 TJ(vq]|&  
8.8  高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 +r__>V,  
8.9  四层抗反射薄膜 153 RsP^T:M}$  
8.10  Reichert抗反射薄膜 154 Q .cL1uHc  
8.11  可见光和1.06 抗反射薄膜 155 _,|N`BBqd  
8.12  六层宽带抗反射薄膜 156 Cqw`K P  
8.13  宽波段八层抗反射薄膜 157 zLVk7u{e  
8.14  宽波段25层抗反射薄膜 158 AjO|@6  
8.15十五层宽带抗反射膜 159 K6oQx)|  
8.16  四层2-1 抗反射薄膜 161 ",Fqpu&M  
8.17  1/4波长堆栈 162 6b=7{nLF  
8.18  陷波滤波器 163 xy<)zKp  
8.19 厚度调制陷波滤波器 164 @LDu08lr  
8.20  褶皱 165 ~2U5Wt  
8.21  消偏振分光器1 169 (k5d.E]CK  
8.22  消偏振分光器2 171 !tv+,l&L  
8.23  消偏振立体分光器 172 TZS:(MJ9M  
8.24  消偏振截止滤光片 173 \EeK<)4:  
8.25  立体偏振分束器1 174 >]l7AZ:,  
8.26  立方偏振分束器2 177 gS ^Y?  
8.27  相位延迟器 178 :.NCS`z_  
8.28  红外截止器 179 q8f nUK?i  
8.29  21层长波带通滤波器 180 l#%G~c8x  
8.30  49层长波带通滤波器 181 YU%U  
8.31  55层短波带通滤波器 182 -D,kL  
8.32  47 红外截止器 183 jD'$nKpg  
8.33  宽带通滤波器 184 P}bwEj  
8.34  诱导透射滤波器 186 Gw}b8N6E  
8.35  诱导透射滤波器2 188 V']1j  
8.36  简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 tY $4k26  
8.37  高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 r#' E;Yx  
8.35  增益平坦滤波器 193 Z"g6z#L&  
8.38  啁啾反射镜 1 196 *v9 {f?  
8.39  啁啾反射镜2 198 GF awmNZ  
8.40  啁啾反射镜3 199 ]5i]2r1  
8.41  带保护层的铝膜层 200 B"fKv0  
8.42  增加铝反射率膜 201 M/a5o|>8  
8.43  参考文献 202 } {m.\O  
9  多层膜 204 t_ZWd#x+;  
9.1  多层膜基本原理—堆栈 204 p3z%Y$!Tm  
9.2  内部透过率 204 ^6I8a"  
9.3 内部透射率数据 205  8&KqrA86  
9.4  实例 206 0w ] pDj  
9.5  实例2 210 )Aa  h  
9.6  圆锥和带宽计算 212 ?o6\>[O  
9.7  在Design中加入堆栈进行计算 214 s~MCt|a  
10  光学薄膜的颜色 216 ?{*/VJl$  
10.1  导言 216 wZ =*ejo  
10.2  色彩 216 "?TKz:9r  
10.3  主波长和纯度 220 7[u$!.4{*  
10.4  色相和纯度 221 #^&.*' z%z  
10.5  薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 xSoXf0zq:  
10.6 色差 226 j*}2AI  
10.7  Essential Macleod中的色彩计算 227 5Dlx]_  
10.8  颜色渲染指数 234 OLM}en_L  
10.9  色差计算 235  #mcU);s  
10.10  参考文献 236 xKC{P{:  
11  镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ac??lHtH9  
11.1  短脉冲 238 TZ+2S93c  
11.2  群速度 239 X mX .)h'Y  
11.3  群速度色散 241 f'3sT(1&  
11.4  啁啾(chirped) 245 [?Ub =sp  
11.5  光学薄膜—相变 245 K+s xO/}h  
11.6  群延迟和延迟色散 246 w_eUU)z  
11.7  色度色散 246 v\?J$Hdd  
11.8  色散补偿 249 =C.WM*='  
11.9  空间光线偏移 256 a2N4Jg@  
11.10  参考文献 258 P",E/beV  
12  公差与误差 260 !~~j&+hK\  
12.1  蒙特卡罗模型 260 J=qPc}+  
12.2  Essential Macleod 中的误差分析工具 267 y()Si\9v  
12.2.1  误差工具 267 GBsM?A:  
12.2.2  灵敏度工具 271 ;BMm47<  
12.2.2.1 独立灵敏度 271 &BDdJwE  
12.2.2.2 灵敏度分布 275 znl_~:.4]X  
12.2.3  Simulator—更高级的模型 276 Rr>h8Ni <  
12.3  参考文献 276 .}l&lj@#  
13  Runsheet 与Simulator 277 v/B:n   
13.1  原理介绍 277 P?P))UB5  
13.2  截止滤光片设计 277 19t'  
14  光学常数提取 289 8^Ov.$rP  
14.1  介绍 289 8fwM)DKS  
14.2  电介质薄膜 289 3qc o2{nz  
14.3  n 和k 的提取工具 295 E5b JIC(  
14.4  基底的参数提取 302 ';z5]O~  
14.5  金属的参数提取 306 {? dW-  
14.6  不正确的模型 306 op%?V :  
14.7  参考文献 311 ]XH}G9X^  
15  反演工程 313 wzRIvm{  
15.1  随机性和系统性 313 sR1 &2hB  
15.2  常见的系统性问题 314 nE)|6  
15.3  单层膜 314 }@V ,v[&e  
15.4  多层膜 314 D< 4!7*9%  
15.5  含义 319 >%D=#}8l@  
15.6  反演工程实例 319 !B3lsXLSY  
15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 tyLR_@i%%  
15.6.2 反演工程提取折射率 327 <C'S#5,2  
16  应力、张力、温度和均匀性工具 329 rGe^$!QB  
16.1  光学性质的热致偏移 329 |e@Bi#M[  
16.2  应力工具 335 G Riu]   
16.3  均匀性误差 339 ymsqJ   
16.3.1  圆锥工具 339 d">Ya !W  
16.3.2  波前问题 341 \O7?!i  
16.4  参考文献 343 0+\~^  
17  如何在Function(模块)中编写操作数 345 '*KP{"3\  
17.1  引言 345 Z)U#5|sf  
17.2  操作数 345 ZREAEGi{  
18  如何在Function中编写脚本 351 ~"*;lT5KX  
18.1  简介 351 ):_x  
18.2  什么是脚本? 351 4D/mm(2d$  
18.3  Function中脚本和操作数对比 351 Vo%UiVHy  
18.4  基础 352 B`4[@$  
18.4.1  Classes(类别) 352 2,>q(M6,EA  
18.4.2  对象 352 R<!WW9IM  
18.4.3  信息(Messages) 352 e XU;UO^  
18.4.4  属性 352 KcB  ?[  
18.4.5  方法 353 i`g>Y5   
18.4.6  变量声明 353 uxto:6),P<  
18.5  创建对象 354 '7F`qL\/#(  
18.5.1  创建对象函数 355 Z6b3gV  
18.5.2  使用ThisSession和其它对象 355 )W@H  
18.5.3 丢弃对象 356 Oed&B  
18.5.4  总结 356 P-~Avb  
18.6  脚本中的表格 357  *ihg'  
18.6.1  方法1 357 |7zm!^t$  
18.6.2  方法2 357 qvOBvUR}  
18.7 2D Plots in Scripts 358 oh;F]*k6  
18.8 3D Plots in Scripts 359 J<_&f_K0]  
18.9  注释 360 q\[31$i$  
18.10  脚本管理器调用Scripts 360 is}Fy>9i  
18.11  一个更高级的脚本 362 MjU>qx::  
18.12  <esc>键 364 uF T\a=  
18.13 包含文件 365 <,0& Ox  
18.14  脚本被优化调用 366 2|~& x~  
18.15  脚本中的对话框 368 \Mlj 7.u]  
18.15.1  介绍 368 t:M({|m Y  
18.15.2  消息框-MsgBox 368 k#%19B  
18.15.3  输入框函数 370 gWS4 9*O  
18.15.4  自定义对话框 371 Smk]G))o{  
18.15.5  对话框编辑器 371 ?NI)3-l  
18.15.6  控制对话框 377 B>47Ic  
18.15.7  更高级的对话框 380 ? =IbiT  
18.16 Types语句 384 #U/B,`= >  
18.17 打开文件 385 No[xf9>t  
18.18 Bags 387 W,agP G\+  
18.13  进一步研究 388 U(./LrM05  
19  vStack 389 1'_OM h*;  
19.1  vStack基本原理 389 33Mr9Doon  
19.2  一个简单的系统——直角棱镜 391 3F}d,aB A  
19.3  五棱镜 393 y i@61XI  
19.4 光束距离 396 72-@!Z0e  
19.5 误差 399 ur#"f'|-  
19.6  二向分色棱镜 399 *rEW@06^\  
19.7  偏振泄漏 404 Q}2w~Cn\S  
19.8  波前误差—相位 405 g dC=SFb b  
19.9  其它计算参数 405 TU. h  
20  报表生成器 406 Eun%uah6c  
20.1  入门 406 R4qk/@]t  
20.2  指令(Instructions) 406 V,M8RYOnC!  
20.3  页面布局指令 406 G8oQSo;D  
20.4  常见的参数图和三维图 407 cRg$~rYd  
20.5  表格中的常见参数 408 rbtPG=t_R  
20.6  迭代指令 408 K->p&6s  
20.7  报表模版 408 ]c5GG!E-g  
20.8  开始设计一个报表模版 409 9)YG)A~<  
21  一个新的project 413 xU rfH$$!`  
21.1  创建一个新Job 414 rfPJBD{Ve  
21.2  默认设计 415 f CVSVn"o  
21.3  薄膜设计 416 E_yh9lk  
21.4  误差的灵敏度计算 420 @/7Rp8Fr  
21.5  显色指数计算 422 \|&5eeE@  
21.6  电场分布 424 Q'=!1^&  
后记 426 0^[$0]Mt[  
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MoF Z  
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