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2023-09-07 08:17 |
反射式5×5衍射光束分束器的分析
摘要 '0E^th#u-0 0HS"Oxx'
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b}u x[eho,6) 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 4qLH3I[Y ){ ,v&[ 建模任务 p#fV|2'
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81/t)Cp a2`|6M; 微结构 I?IAZa) $56Z/*
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`q(eB=6;[ v`KYhqTUl 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: ,aQ{ j`$d W H/2 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 v6_fF5N/ >z1q\cz 微结构组件的配置 _^"0"<, I2<t?c:Pn<
Wk&g!FR *1clPK - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 Dwp-*QK^G - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 n{v[mqm^ - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 c2fbqM~ - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 bQu1L>c,Uw ~^pV>>LX| 总结-组件… f-/zR %s{ j6{9XIRo_
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ag\xwS#i5H ]M#OS$_O@ 监测器平面上的衍射图案 c$[cDf~ Qt+;b
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,Rh6(I 监测器平面上的衍射图案 \9GJa"xA` op]HF4
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b*h nVVQ^i}`G 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 Q(J6;s#b |Q)c{9sD 高度缩放调制 Tf1G827 /^T XGc.
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X0UE> )k}UjU`! 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 :_y}8am;H~ 6!GO{2d"
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