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infotek 2023-09-07 08:17

反射式5×5衍射光束分束器的分析

摘要 o"j$*o=  
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衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 *?3c2Jg=E  
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建模任务 ]114\JE  
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微结构 \e9rXh%  
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反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: CmxQb,Uls  
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衍射光学元件(DOE)和微结构组件 tA8O( 9OV  
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微结构组件的配置 O9ar|8y  
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- Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 <j}A=SDZ)  
- 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 KBa ]s q_  
- 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 <Uc?#;% Y}  
- 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 A)_HSIVi  
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总结-组件 nArG I}@  
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监测器平面上的衍射图案 xmi@ XL@t  
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监测器平面上的衍射图案 [`kk<$=,&  
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分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 89x;~D1  
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高度缩放调制 ^^B~v<uK  
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探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 o Vpq*"  
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