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infotek 2023-08-24 08:17

用阿贝判据研究显微系统的分辨率

摘要 jJNCNH*0  
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显微系统的分辨率一般用阿贝判据进行表征。这也解释了物镜的数值孔径(NA)决定了光栅(作为样本)衍射阶在其后焦平面上的滤波。当高衍射级次的衍射被滤除后,像面不会发生干涉,因此不会成像。本实例演示了数值孔径NA对滤波效果和分辨率的影响。 yvoz 3_!  
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1. 案例 cS9jGD92  
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在VirtualLab Fusion中构建系统 Rt+-ud{O  
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1. 系统构建模块 x'I!f? / &  
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2. 组件连接器 c Pf_B=  
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几何光学仿真 (jDz[b#OPz  
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以光线追迹 ^D$|$=|DH  
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1. 结果:光线追迹 5z!$=SFz  
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快速物理光学仿真 LD}~]  
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以场追迹 @5S'5)4pB  
Lr$M k#'B  
1. NA=1.4时的光栅成像 $z jdCg<  
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Ey|_e3Lf[  
f|~{j(.v  
2.  NA=0.75时的光栅成像 o'!=x$Ky  
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M}V!;o<t^  
MxIa,M <  
3. NA=0.5时的光栅成像 5FoZ$I  
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