用阿贝判据研究显微系统的分辨率

摘要

显微系统的分辨率一般用阿贝判据进行表征。这也解释了物镜的数值孔径(NA)决定了光栅(作为样本)衍射阶在其后焦平面上的滤波。当高衍射级次的衍射被滤除后，像面不会发生干涉，因此不会成像。本实例演示了数值孔径NA对滤波效果和分辨率的影响。

1. 案例 "5sA&^_#_
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在VirtualLab Fusion中构建系统

1. 系统构建模块 LEOa=(mN\
nLv~)IQ}:

2. 组件连接器

几何光学仿真

以光线追迹

1. 结果：光线追迹

快速物理光学仿真

以场追迹

1. NA=1.4时的光栅成像 / #rH18
M+HhTW;I=

2. NA=0.75时的光栅成像

3. NA=0.5时的光栅成像

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