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与日月兮齐光	2023-08-10 13:47
透过率高低不一致的问题在8寸的硅晶圆上做一个中远红外长波通，平面行星盘，用Te和ZnS两种材料，都用阻蒸蒸发，不用离子源辅助镀膜，为什么同一片测出来透过率高低差异会这么大，而且每次透过率高低分布的规律都不一样 hy@e(k\|S]U Y+3r{OI [attachment=119500]

ouyuu	2023-08-13 20:08
阻蒸的速率不稳定吧？用晶控控制的速率还是直接电流控制？

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