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infotek 2023-08-09 08:21

非近轴衍射分束器的设计与严格分析

摘要 %heX06  
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直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 5<1,`Bq@  
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设计任务 @mM])V  
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使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 'J*)o<%  
CH h]v.V  
OG}auM4  
i^hgs`hvU  
光栅级次分析模块设置 bqB gq  
                       &j2fh!\4  
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使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 !L5[s  
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1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 $O|J8;"v  
2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 i7^_y3dG  
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 P<@Yux#  
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 S].=gR0:  
G[U'-a}I  
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衍射分束器表面 +bnz%/v  
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为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 X2#;1 ku  
;jb+x5t  
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衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 0q%=Vs~@g  
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P<iS7Ys+  
 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 ^FLuhLS\*  
 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 Q^q G=  
 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 ?&Y3Fr)%  
,"/<N*vh  
h[c HCVM:  
; *G[3kk  
光栅级次和可编程光栅分析仪 pf.T{/%  
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光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 7QiJ1P.z  
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使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 Gq5)>'D?  
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设计与评估结果 i>bFQ1Rdx  
相位功能设计 ;D_6u(IC4:  
结构设计 ~Ra1Zc$o:  
TEA评价 'Mjbvh4  
FMM评估 x9PEYhL?  
高度标度(公差)
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通用设置 &libC>a[  
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BY: cSqAW  
提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 .ao'o,|vE  
通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
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纯相位传输设计
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结构设计 WPyd ^Y<  
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更深的分析 ^sH1YE}0  
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 {Z;W|w1t  
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 _p{ag 1gP  
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 J.":oD  
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'rf='Y  
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使用TEA进行性能评估 ik~hL/JD\  
h bj^!0m  
#.}Su+XF  
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使用FMM进行性能评估 ~;m~)D  
0*:]eM};P  
pM[UC{  
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进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 A@'):V8_%C  
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CNcH)2Mk  
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进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 ZH:#~Zyj  
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进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 }9P)<[>  
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VirtualLab Fusion技术 P9`i6H'~  
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