《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》（第二版 精装）

*Hy-D</w%   -?`^^v   内容简介 ,j^ /~   Macleod软件自带的用户手册功能全面，其介绍涵盖了软件的方方面面，能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而，为了顺应目前薄膜行业的需求，急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍，以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作，因此，我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 @6 uB78U4O   《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》（原著第二版）是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结，结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod，其内容丰富，实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法，还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题，如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节，首先，从光学薄膜的基本理论出发（第2章），为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次，在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作，以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后，从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合，从而使大家将理论知识与实际经验结合起来，对实际镀膜提出实用的建议，以减少设计时间并降低生产成本。 YU.aZdA&V3   薄膜光学涵盖范围很广，书中并附设计光盘和参考文献，有兴趣者可依此深入研究，为精准起见，在不影响理解的情况下，尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助，通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限，书中错误纰漏之处在所难免，本书若有不周之处，尚请读者不吝赐教。 c1M/:*?%   讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 fOCLN$x^   f4)fa yAVp   目录 ya3A^&:   Preface 1 6=s!~   内容简介 2 9F)+p7VJq   目录 i FjqoO.   1  引言 1 #L5H-6nz   2  光学薄膜基础 2 x zu)``?   2.1  一般规则 2 |uId:^{   2.2  正交入射规则 3 ms8de>A|H   2.3  斜入射规则 6 )WavG1   2.4  精确计算 7 ;rYL\`6L   2.5  相干性 8 /"?yB$s   2.6 参考文献 10 +<7~yZ[Z8   3  Essential Macleod的快速预览 10 yEIM58 l   4  Essential Macleod的特点 32 TZ{';oU   4.1  容量和局限性 33 e/JbRbZX   4.2  程序在哪里？ 33 J7q^4M+o:   4.3  数据文件 35 ;`',M6g   4.4  设计规则 35 kx0(v1y3gT   4.5  材料数据库和资料库 37 U8qb2'a8   4.5.1材料损失 38 OjTb2[Q   4.5.1材料数据库和导入材料 39 P*Va<'{:{   4.5.2 材料库 41 $q,2VH:Ip   4.5.3导出材料数据 43 ~``oKiPg@   4.6  常用单位 43 b{J cV   4.7  插值和外推法 46 }M-^A{C\%   4.8  材料数据的平滑 50 N|-M|1w96   4.9 更多光学常数模型 54 ekC 1wN l   4.10  文档的一般编辑规则 55 &7_xr.c7   4.11 撤销和重做 56 K8M[xaI@   4.12  设计文档 57 69ZGdN   4.10.1  公式 58 r:0F("},   4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ? cU9~=   4.10.3  沉积密度 59 " j-Z<F]]   4.10.4 平行和楔形介质 60 @-=0T!/   4.10.5  渐变折射率和散射层 60 EYWRTh   4.10.4  性能 61 t4(Z@X$   4.10.5  保存设计和性能 64 C$?gt-tJ'   4.10.6  默认设计 64 0Cd)w4C   4.11  图表 64 VbX+`CwH   4.11.1  合并曲线图 67 z6 T3vw    4.11.2  自适应绘制 68 vpnQs#8O   4.11.3  动态绘图 68 R5OP=Q8   4.11.4  3D绘图 69 D! TFb E   4.12  导入和导出 73 APY^A6^:j   4.12.1  剪贴板 73 yu3: Hv}   4.12.2  不通过剪贴板导入 76 VwJA   4.12.3  不通过剪贴板导出 76 ?5'EP|<   4.13  背景 77 qj|P0N{7   4.14  扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 cW%QKdTQY0   4.15  生成Rugate 84 tDw(k[aK@   4.16  参考文献 91 &w15GO;4   5  在Essential Macleod中建立一个Job 92 tNpBRk(}   5.1  Jobs 92 u~b;m   5.2  创建一个新Job（工作） 93 6L5j   5.3  输入材料 94 ~4gOv   5.4  设计数据文件夹 95 ][vm4UY   5.5  默认设计 95 E%Tpby}^'   6  细化和合成 97 Z[9) hGh   6.1  优化介绍 97 -_@zyF<G   6.2  细化 (Refinement) 98 uBpnfIe   6.3  合成 (Synthesis) 100 DpD19)ouy   6.4  目标和评价函数 101 Yf1&"WW4   6.4.1  目标输入 102 E3..$x-/   6.4.2  目标 103 |w; hu]   6.4.3  特殊的评价函数 104 X=C*PWa7   6.5  层锁定和连接 104 Qc4r?7S<   6.6  细化技术 104 ;IV   6.6.1  单纯形 105 /Z3 Mlm{   6.6.1.1 单纯形参数 106 QjT$.pUd   6.6.2  最佳参数(Optimac) 107 c_V^~hq   6.6.2.1 Optimac参数 108 P"-*'q,9   6.6.3  模拟退火算法 109 d `MTc   6.6.3.1　模拟退火参数 109 |h^[/   6.6.4  共轭梯度 111 D;? cf+6$   6.6.4.1 共轭梯度参数 111 '%Fg+cZN\   6.6.5  拟牛顿法 112 \NZ(Xk   6.6.5.1 拟牛顿参数： 112 FZFYwU\~.L   6.6.6  针合成 113 Fw{:fFZC[   6.6.6.1 针合成参数 114 &,DZ0x A   6.6.7 差分进化 114 b@v_db]|t.   6.6.8非局部细化 115 yP<ngi^s=   6.6.8.1非局部细化参数 115 "mk@p=d   6.7  我应该使用哪种技术？ 116 ?Z^?A^; }$   6.7.1 　细化 116 ;-0 d2Z   6.7.2　 合成 117 gWk?g^KJL   6.8  参考文献 117 > b;o&E`\   7  导纳图及其他工具 118 4 H<.   7.1  简介 118 {UeS_O>(   7.2  薄膜作为导纳的变换 118 jmORKX+)   7.2.1  四分之一波长规则 119 mV>l`&K=   7.2.2  导纳图 120 W(4Mvd   7.3  用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ~`Y!_'(x   7.4  全介质抗反射薄膜中的应用 125 s78MXS?py   7.5  斜入射导纳图 141 6 4 ,('+   7.6  对称周期 141 !l(D0 C   7.7  参考文献 142 uqot Vil,   8  典型的镀膜实例 143 &u`]Zn   8.1  单层抗反射薄膜 145 ?2(52?cJ   8.2  1/4-1/4抗反射薄膜 146 @1w[~QlV   8.3  1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 Tv[h2_+E   8.4  W-膜层 148 aRV.;S   8.5  V-膜层 149 G-6k[-@-v   8.6  V-膜层高折射基底 150 !-veL1r   8.7  V-膜层高折射率基底b 151 !jQj1QZR`   8.8  高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 OH >#f6`[   8.9  四层抗反射薄膜 153 $,.XPK5Qu   8.10  Reichert抗反射薄膜 154 fEo5j`}   8.11  可见光和1.06 抗反射薄膜 155 0:iR=S   8.12  六层宽带抗反射薄膜 156 u~xfI[8C   8.13  宽波段八层抗反射薄膜 157 <da-iY\5   8.14  宽波段25层抗反射薄膜 158 Hk8lHja+\   8.15十五层宽带抗反射膜 159 ,*kh{lJ   8.16  四层2-1 抗反射薄膜 161 5 r1u_8)'   8.17  1/4波长堆栈 162 O7"16~a   8.18  陷波滤波器 163 @=ro/.   8.19 厚度调制陷波滤波器 164 gbrn'NT   8.20  褶皱 165 eKUP,y;[I   8.21  消偏振分光器1 169 9,?7mgZp   8.22  消偏振分光器2 171 rD;R9b"J   8.23  消偏振立体分光器 172 ]*Cq'<h$   8.24  消偏振截止滤光片 173 `nCVO;B   8.25  立体偏振分束器1 174 f6,?Yex8B   8.26  立方偏振分束器2 177 G"F)t(iX   8.27  相位延迟器 178 _. &N@k   8.28  红外截止器 179 j.ZXLe~   8.29  21层长波带通滤波器 180 m9=93W?    8.30  49层长波带通滤波器 181 $'x#rW>v   8.31  55层短波带通滤波器 182 F{G.dXZZ<   8.32  47 红外截止器 183 +;ylld   8.33  宽带通滤波器 184 M<nH   8.34  诱导透射滤波器 186 *e25!#o1   8.35  诱导透射滤波器2 188 :w<Ga8\tZ   8.36  简单密集型光波复用（DWDM）滤波器 190 K`0'2   8.37  高级密集型光波复用技术（DWDM）滤波器 192 #F=!g?   8.35  增益平坦滤波器 193 5S*aZ1t18   8.38  啁啾反射镜 1 196 n_{az{~   8.39  啁啾反射镜2 198 ._q}lWT   8.40  啁啾反射镜3 199 BR-4L2[   8.41  带保护层的铝膜层 200 vD^Uod1   8.42  增加铝反射率膜 201 6)veuA3]   8.43  参考文献 202 a$5 P\_   9  多层膜 204 @R_ON"h   9.1  多层膜基本原理—堆栈 204 g/4ipcG;N   9.2  内部透过率 204 +O)Y7k{?C5   9.3 内部透射率数据 205 (DkfLadB   9.4  实例 206 90 > V he   9.5  实例2 210 mpNS}n6   9.6  圆锥和带宽计算 212 *zwo="WA\t   9.7  在Design中加入堆栈进行计算 214 W1&"dT@   10  光学薄膜的颜色 216 1+#E|YWJ   10.1  导言 216 qg2Vmj<H   10.2  色彩 216 v ?YxF}   10.3  主波长和纯度 220 f~R+Q/Gtz`   10.4  色相和纯度 221  20]p<   10.5  薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 f@ILC=c<   10.6 色差 226 nT%ko7~-   10.7  Essential Macleod中的色彩计算 227 Kk).KgR   10.8  颜色渲染指数 234 }tO>&$ Z6f   10.9  色差计算 235 8+ ]'2{   10.10  参考文献 236 ^ib =fLu   11  镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 g`w46X   11.1  短脉冲 238 <1#hX(Q   11.2  群速度 239 )O2IEw Pd.   11.3  群速度色散 241 $)eS Gslz   11.4  啁啾(chirped) 245 N9s+Tm   11.5  光学薄膜—相变 245 \YSprXe   11.6  群延迟和延迟色散 246 [$c"}=g [+   11.7  色度色散 246 i<(~J4}b   11.8  色散补偿 249 F5y&"Y_   11.9  空间光线偏移 256 ME66B Wg{   11.10  参考文献 258 $*:g~#bh   12  公差与误差 260 q+} \(|   12.1  蒙特卡罗模型 260 !X9^ L^v}   12.2  Essential Macleod 中的误差分析工具 267 P;eXUF+jn   12.2.1  误差工具 267 A&A{Thz   12.2.2  灵敏度工具 271 ~)VI`36X   12.2.2.1 独立灵敏度 271 pqTaN=R8   12.2.2.2 灵敏度分布 275 dZox;_b   12.2.3  Simulator—更高级的模型 276 gT( 8.<h8   12.3  参考文献 276 /I((A/ks   13  Runsheet 与Simulator 277 fRT4>So   13.1  原理介绍 277 w"37sv   13.2  截止滤光片设计 277 %OsxXO?   14  光学常数提取 289 ExM VGe   14.1  介绍 289 }>EWFE`   14.2  电介质薄膜 289 3~{0X-   14.3  n 和k 的提取工具 295 ]V)*WP#a   14.4  基底的参数提取 302 e<qfM&*   14.5  金属的参数提取 306 Z6-ZAS(>m   14.6  不正确的模型 306 gWL`J=DiU   14.7  参考文献 311 >=:^N-a   15  反演工程 313 ?\kuP ?\   15.1  随机性和系统性 313 K { FZ/   15.2  常见的系统性问题 314 NwxDxIIH/)   15.3  单层膜 314 i5=~tS   15.4  多层膜 314 {VXucGI|   15.5  含义 319 Uy.ihh$I-   15.6  反演工程实例 319 $U7#3-'   15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 [RF ]lM]w   15.6.2 反演工程提取折射率 327 ` Z/ MQ   16  应力、张力、温度和均匀性工具 329 >FKwFwT4D   16.1  光学性质的热致偏移 329 m\XG7uo~   16.2  应力工具 335 `H 'wz7   16.3  均匀性误差 339 -w>ss&   16.3.1  圆锥工具 339 1{wbC)   16.3.2  波前问题 341 Sfa=AV7K   16.4  参考文献 343 :wN!E{0j   17  如何在Function（模块）中编写操作数 345 |fW_9={1kQ   17.1  引言 345 &r,)4q+   17.2  操作数 345 E[6:}z<   18  如何在Function中编写脚本 351 N:okt)q:%   18.1  简介 351 T"aE]4_   18.2  什么是脚本？ 351 #a2gRg    18.3  Function中脚本和操作数对比 351 J .VZD   18.4  基础 352 i]s%tEZ1   18.4.1  Classes（类别） 352 lD, ~%   18.4.2  对象 352 Yg,;l-1   18.4.3  信息（Messages） 352 (,tu7u{   18.4.4  属性 352 6B%  h   18.4.5  方法 353 o(H.1ESk   18.4.6  变量声明 353 +jK-k_   18.5  创建对象 354 YRCs&tgs   18.5.1  创建对象函数 355 Mi{ns $B%   18.5.2  使用ThisSession和其它对象 355 Nd+1r|e'   18.5.3 丢弃对象 356 89;@#9   18.5.4  总结 356 [3I |MZ   18.6  脚本中的表格 357 x(xi%?G   18.6.1  方法1 357 X:I2wJDs\   18.6.2  方法2 357 PEm2w#X%L   18.7 2D Plots in Scripts 358 .Zj`_5C   18.8 3D Plots in Scripts 359 GmaNi   18.9  注释 360 b$%Kv (   18.10  脚本管理器调用Scripts 360 G~v:@   18.11  一个更高级的脚本 362 ,lStT+A   18.12  <esc>键 364 U4^c{KWS   18.13 包含文件 365 ? dHl'   18.14  脚本被优化调用 366 h6OQeZ.   18.15  脚本中的对话框 368 E>f {j:M   18.15.1  介绍 368 }]PHE(}7   18.15.2  消息框-MsgBox 368 gua7<z6=eh   18.15.3  输入框函数 370 L t=32SvTn   18.15.4  自定义对话框 371 eU@Mv5&6   18.15.5  对话框编辑器 371 * Ogf6   18.15.6  控制对话框 377 ;>f\fhi'   18.15.7  更高级的对话框 380 0 p?AL=   18.16 Types语句 384 HKJBR)T   18.17 打开文件 385 y `j=(|DV   18.18 Bags 387 -4sKB>b   18.13  进一步研究 388 V-@4s}zX   19  vStack 389 DU$ #tg}{   19.1  vStack基本原理 389 <n06(9BF   19.2  一个简单的系统——直角棱镜 391 fZ5 UFq_~s   19.3  五棱镜 393 d1/9 A-{   19.4 光束距离 396 H@Ot77(*   19.5 误差 399 Ie!&FQe2q   19.6  二向分色棱镜 399 {_\cd.AuT   19.7  偏振泄漏 404 d+,!p8Q   19.8  波前误差—相位 405 5cinI^x)f   19.9  其它计算参数 405 1(dKb   20  报表生成器 406 !CcDA/0   20.1  入门 406 MO0NNVVi%U   20.2  指令(Instructions) 406 )J> dGIb   20.3  页面布局指令 406 $x+7.%1m)~   20.4  常见的参数图和三维图 407 p\&/m   20.5  表格中的常见参数 408 h!K" ;qw   20.6  迭代指令 408 g:a[N%[C   20.7  报表模版 408 'JJKnE zQ   20.8  开始设计一个报表模版 409 hN6wp_   21  一个新的project 413 qbfX(`nS   21.1  创建一个新Job 414 QfAmGDaYQ   21.2  默认设计 415 k| ?[EWIi^   21.3  薄膜设计 416 ?%UiW7}j';   21.4  误差的灵敏度计算 420 h!%y,4IBR   21.5  显色指数计算 422 XLCqB|8`V   21.6  电场分布 424 6>rz=yAM_   后记 426

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