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infotek 2023-08-07 08:31

《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)

?z&5g-/b  
(D0\uld9  
内容简介 Ug\$Ob5=q  
Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 i!)\m0Wm  
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 G`RQl@W>)(  
薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。  zPN:)  
讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
VS@e[,  
3,-[lG@o  
目录 es<8"CcP  
Preface 1 y/+ IPR  
内容简介 2 rFaG-R  
目录 i 6ZfL-E{  
1  引言 1 /xj`'8  
2  光学薄膜基础 2 LVT:oIQ  
2.1  一般规则 2 r1:CHIwK  
2.2  正交入射规则 3 %77uc9}  
2.3  斜入射规则 6 a |#TnSk  
2.4  精确计算 7 o59b#9  
2.5  相干性 8 FLX n%/  
2.6 参考文献 10 aa" 3 Io  
3  Essential Macleod的快速预览 10 h"nhDART<  
4  Essential Macleod的特点 32 tAsap}(  
4.1  容量和局限性 33 Jj?HOtaM  
4.2  程序在哪里? 33 RL3*fRlb  
4.3  数据文件 35 -iKoQkHt  
4.4  设计规则 35 {@6:kkd  
4.5  材料数据库和资料库 37 voQJ!h1  
4.5.1材料损失 38 :w+vi 7l$  
4.5.1材料数据库和导入材料 39 #p"$%f5Q_  
4.5.2 材料库 41 "By$!R-&  
4.5.3导出材料数据 43 KWojMPs  
4.6  常用单位 43 )Xa_ry7  
4.7  插值和外推法 46 x"!`JDsS  
4.8  材料数据的平滑 50 ]|tR8`DGZ%  
4.9 更多光学常数模型 54 U$Z<lx2P  
4.10  文档的一般编辑规则 55 k||dX(gl  
4.11 撤销和重做 56 Wf^ sl  
4.12  设计文档 57 "=1gA~T  
4.10.1  公式 58 Tdm|=xI  
4.10.2 更多关于膜层厚度 59 (;&}\OX6nm  
4.10.3  沉积密度 59 'v9M``  
4.10.4 平行和楔形介质 60 lrj&60R`w  
4.10.5  渐变折射率和散射层 60 ,H%[R+)  
4.10.4  性能 61 C+g}+  
4.10.5  保存设计和性能 64 %P D}VF/Y  
4.10.6  默认设计 64 4.^T~n G  
4.11  图表 64 E- [Eg  
4.11.1  合并曲线图 67 ;|0P\3  
4.11.2  自适应绘制 68 qoOwR[NDcq  
4.11.3  动态绘图 68 ul#y'iY]  
4.11.4  3D绘图 69 /QWXEL/M=  
4.12  导入和导出 73 _VVq&t}  
4.12.1  剪贴板 73 *5 .wwV  
4.12.2  不通过剪贴板导入 76 `hdff0  
4.12.3  不通过剪贴板导出 76 ;S \s&.u  
4.13  背景 77 :P/VBXh  
4.14  扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 v? OUd^  
4.15  生成Rugate 84 ar#73f  
4.16  参考文献 91 >KL=(3:":p  
5  在Essential Macleod中建立一个Job 92 uAqiL>y  
5.1  Jobs 92 Ar[|M 2|  
5.2  创建一个新Job(工作) 93 K1^7v}P  
5.3  输入材料 94 DxwR&S{  
5.4  设计数据文件夹 95 YoW)]n  
5.5  默认设计 95 ~ \<$H'  
6  细化和合成 97 ti (Hx  
6.1  优化介绍 97 >$TvCw  
6.2  细化 (Refinement) 98 e5 L_<V^Jo  
6.3  合成 (Synthesis) 100 dW%t ph  
6.4  目标和评价函数 101 LRts W(A/  
6.4.1  目标输入 102 3]GMQA{L)  
6.4.2  目标 103 8["%e#%`$  
6.4.3  特殊的评价函数 104 3>^]r jFw  
6.5  层锁定和连接 104 Ln2FG4{  
6.6  细化技术 104 8toOdh  
6.6.1  单纯形 105 &3Yj2 Fw  
6.6.1.1 单纯形参数 106 l cHf\~  
6.6.2  最佳参数(Optimac) 107 "~0`4lo:Xo  
6.6.2.1 Optimac参数 108 2.I|8d[  
6.6.3  模拟退火算法 109 }oA>0Nw$K  
6.6.3.1 模拟退火参数 109 Jw8?o/1D@  
6.6.4  共轭梯度 111 nj:w1E/R  
6.6.4.1 共轭梯度参数 111 tE_n>~Zs  
6.6.5  拟牛顿法 112 DqT<bNR1*;  
6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 w2UEU5%  
6.6.6  针合成 113  $8rnf  
6.6.6.1 针合成参数 114 \fUX_0k9,  
6.6.7 差分进化 114 Te L&6F$  
6.6.8非局部细化 115 g i6s+2  
6.6.8.1非局部细化参数 115 oe]* Q  
6.7  我应该使用哪种技术? 116 xi(1H1KN5B  
6.7.1  细化 116 "A"YgD#t  
6.7.2  合成 117 `DF49YP"~  
6.8  参考文献 117 T>'O[=UWh  
7  导纳图及其他工具 118 J)Y`G4l2@  
7.1  简介 118 D\&S {  
7.2  薄膜作为导纳的变换 118 oG1zPspL  
7.2.1  四分之一波长规则 119 l;0([_>*j  
7.2.2  导纳图 120 Qgj# k  
7.3  用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 $ mE* =  
7.4  全介质抗反射薄膜中的应用 125 TT/H"Ri}Jp  
7.5  斜入射导纳图 141 KCyV |,+n  
7.6  对称周期 141 K~vJ/9"|R  
7.7  参考文献 142 9>w~B|/  
8  典型的镀膜实例 143 Hvm}@3F|  
8.1  单层抗反射薄膜 145 cyJ{AS+  
8.2  1/4-1/4抗反射薄膜 146 u_$4xNmQ  
8.3  1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 H?];8wq$G  
8.4  W-膜层 148 &|{1Ws  
8.5  V-膜层 149 AJ7^'p9Y  
8.6  V-膜层高折射基底 150 B4RrUA32  
8.7  V-膜层高折射率基底b 151 'Gl~P><e  
8.8  高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 AE}cHBwZE  
8.9  四层抗反射薄膜 153 /S"jO [n9b  
8.10  Reichert抗反射薄膜 154 BA: x*(%~  
8.11  可见光和1.06 抗反射薄膜 155 Gy/w #4xj  
8.12  六层宽带抗反射薄膜 156 z;>$["t]6  
8.13  宽波段八层抗反射薄膜 157 9Vm1q!lE  
8.14  宽波段25层抗反射薄膜 158 |ZH(Z}m  
8.15十五层宽带抗反射膜 159 s;9Du|0f^  
8.16  四层2-1 抗反射薄膜 161 7x6 M]1F  
8.17  1/4波长堆栈 162 T06(Q[)  
8.18  陷波滤波器 163 />S^`KSTM  
8.19 厚度调制陷波滤波器 164 i7.8H*z'  
8.20  褶皱 165 `xBoNQai  
8.21  消偏振分光器1 169 U S ALoe  
8.22  消偏振分光器2 171 +-@n}xb@  
8.23  消偏振立体分光器 172 ]!/U9"_e"B  
8.24  消偏振截止滤光片 173 rQimQ|+  
8.25  立体偏振分束器1 174 H:c5 q0O^x  
8.26  立方偏振分束器2 177 5j`xSG  
8.27  相位延迟器 178 fIoc)T  
8.28  红外截止器 179 ]#]Z]9w  
8.29  21层长波带通滤波器 180 xx`YBn~"  
8.30  49层长波带通滤波器 181 (+|+ELfqW  
8.31  55层短波带通滤波器 182 Gw<D'b)!  
8.32  47 红外截止器 183 $yASWz  
8.33  宽带通滤波器 184 [Y](Y3/.N  
8.34  诱导透射滤波器 186 "#O9ij  
8.35  诱导透射滤波器2 188 @A1f#Ed<  
8.36  简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 72s qt5C]  
8.37  高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 |eu8;~A  
8.35  增益平坦滤波器 193 Km(i}:6"  
8.38  啁啾反射镜 1 196 xQFY/Z  
8.39  啁啾反射镜2 198 q%4X1 W  
8.40  啁啾反射镜3 199 .2E/(VM  
8.41  带保护层的铝膜层 200  =1Sny7G  
8.42  增加铝反射率膜 201 q2EDrZ  
8.43  参考文献 202 w6V/Xp][U  
9  多层膜 204 `"=>lu2H   
9.1  多层膜基本原理—堆栈 204 . }\8Y=  
9.2  内部透过率 204 3*h"B$g!  
9.3 内部透射率数据 205 bh.&vp.kP  
9.4  实例 206 "&2 F  
9.5  实例2 210 B"_O!  
9.6  圆锥和带宽计算 212 Vg NB^w  
9.7  在Design中加入堆栈进行计算 214 t%Jk3W/f  
10  光学薄膜的颜色 216 ?62Im^1/  
10.1  导言 216 F{ %*(U  
10.2  色彩 216 \\k=N(n  
10.3  主波长和纯度 220 =%m{|HQ`  
10.4  色相和纯度 221 r84^/+"T  
10.5  薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 {mJ' Lb0;  
10.6 色差 226 ~M}{rl.n=  
10.7  Essential Macleod中的色彩计算 227 |SOLC  
10.8  颜色渲染指数 234 t+U.4mS-  
10.9  色差计算 235  T01Iu  
10.10  参考文献 236 |6 Q5bV  
11  镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 !i"zM}  
11.1  短脉冲 238 C 7C4 eW8  
11.2  群速度 239 Xfk DMh  
11.3  群速度色散 241 FaeKDbLJr  
11.4  啁啾(chirped) 245 +4:eb)e  
11.5  光学薄膜—相变 245 7+P;s,mi7  
11.6  群延迟和延迟色散 246 :IZAdlz[@  
11.7  色度色散 246 ?0; 2ct  
11.8  色散补偿 249 8%K{lg"  
11.9  空间光线偏移 256 <[[yV  
11.10  参考文献 258 J9[7AiEd(/  
12  公差与误差 260 ;z4J)qw  
12.1  蒙特卡罗模型 260 _^& q,S  
12.2  Essential Macleod 中的误差分析工具 267 >=0]7k;  
12.2.1  误差工具 267 5?^#v  
12.2.2  灵敏度工具 271 >Hnm.?-AWl  
12.2.2.1 独立灵敏度 271 &x1A {j_  
12.2.2.2 灵敏度分布 275 p-i Fe\+  
12.2.3  Simulator—更高级的模型 276 jC'h54 ,Mr  
12.3  参考文献 276 un 5r9  
13  Runsheet 与Simulator 277 hP)Zm%@0f  
13.1  原理介绍 277 _bCAZa&&  
13.2  截止滤光片设计 277 v*!N}1+J  
14  光学常数提取 289 Mc,|C)  
14.1  介绍 289 IB;yL/T  
14.2  电介质薄膜 289 46g0 e  
14.3  n 和k 的提取工具 295 <YW)8J  
14.4  基底的参数提取 302 =6~  
14.5  金属的参数提取 306 BaQyn 6B  
14.6  不正确的模型 306 \x-2qlZ  
14.7  参考文献 311 Z+v,o1  
15  反演工程 313 4H6Fq*W{k  
15.1  随机性和系统性 313 cTq@"v di  
15.2  常见的系统性问题 314 0I.KHIB k  
15.3  单层膜 314 MSmr7%g3D  
15.4  多层膜 314 uP* kvi:e  
15.5  含义 319 <mFDC?j  
15.6  反演工程实例 319 5[4wN( )  
15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 nz3*s#k\-  
15.6.2 反演工程提取折射率 327 84WD R?  
16  应力、张力、温度和均匀性工具 329 K80f_ iT 5  
16.1  光学性质的热致偏移 329 zu1"`K3b  
16.2  应力工具 335 -W9DH^EL<  
16.3  均匀性误差 339 {g.YGO  
16.3.1  圆锥工具 339 ?(gha  
16.3.2  波前问题 341 Q/SO%E`E  
16.4  参考文献 343 5.\p]>|G1  
17  如何在Function(模块)中编写操作数 345 ^UKAD'_#%O  
17.1  引言 345 [P+kQBL pL  
17.2  操作数 345 !\7 M7  
18  如何在Function中编写脚本 351 2OJlE) .  
18.1  简介 351 R0qZxoo  
18.2  什么是脚本? 351 W^8  
18.3  Function中脚本和操作数对比 351 I$.lFQ%(  
18.4  基础 352 P*!`AWn  
18.4.1  Classes(类别) 352 ~2k.x*$  
18.4.2  对象 352 rNk'W,FU  
18.4.3  信息(Messages) 352 eE'P)^KV  
18.4.4  属性 352 "d)Yq Q  
18.4.5  方法 353 -rU_bnm  
18.4.6  变量声明 353 p?L%'  
18.5  创建对象 354 DujVV(+I  
18.5.1  创建对象函数 355 1Of(O!  
18.5.2  使用ThisSession和其它对象 355 v's1 &%sM  
18.5.3 丢弃对象 356 d0)]^4HT|y  
18.5.4  总结 356 .6`r`|=  
18.6  脚本中的表格 357 )l`Ks  
18.6.1  方法1 357 W!<7OA g$  
18.6.2  方法2 357 x\Q}fk?{t  
18.7 2D Plots in Scripts 358 d3q%[[@  
18.8 3D Plots in Scripts 359 gbzBweWF  
18.9  注释 360 LY0f`RX*&  
18.10  脚本管理器调用Scripts 360 *1EmK.-'u  
18.11  一个更高级的脚本 362 PV#h_X<l%  
18.12  <esc>键 364 7nT|yL?  
18.13 包含文件 365 rhkKK_  
18.14  脚本被优化调用 366 y^ skE{  
18.15  脚本中的对话框 368 Pp } Z"  
18.15.1  介绍 368 r{.pXf  
18.15.2  消息框-MsgBox 368 /}6I3n  
18.15.3  输入框函数 370 ;\w3IAa|V  
18.15.4  自定义对话框 371 \H .Cmm^I  
18.15.5  对话框编辑器 371 dI\_I]  
18.15.6  控制对话框 377 kqKT>xo4EZ  
18.15.7  更高级的对话框 380 32K& IfV  
18.16 Types语句 384 !M8_PC*a  
18.17 打开文件 385 ta{24{?M\  
18.18 Bags 387 "a2|WKpD  
18.13  进一步研究 388 ~u$ cX1M  
19  vStack 389 9KX% O-'  
19.1  vStack基本原理 389 ; +\h$  
19.2  一个简单的系统——直角棱镜 391 /!0&b?  
19.3  五棱镜 393 -m}'I8  
19.4 光束距离 396 (xW+* %  
19.5 误差 399 qfXt%6L  
19.6  二向分色棱镜 399 !AXLoq$SY  
19.7  偏振泄漏 404 iYBc4'X  
19.8  波前误差—相位 405 0JtM|Mg  
19.9  其它计算参数 405 s/hgWW$  
20  报表生成器 406 R{c~jjd  
20.1  入门 406 I8!>7`L  
20.2  指令(Instructions) 406 h rSH)LbJ  
20.3  页面布局指令 406 U Y*`R  
20.4  常见的参数图和三维图 407 9_wDh0b~p  
20.5  表格中的常见参数 408 J.JD8o9sa  
20.6  迭代指令 408 w\i]z1  
20.7  报表模版 408 ~E 6sY  
20.8  开始设计一个报表模版 409 R=.?el  
21  一个新的project 413 <B>qE a_I  
21.1  创建一个新Job 414 .<?7c!ho  
21.2  默认设计 415 YT?Lt!cl=  
21.3  薄膜设计 416 Jd/d\P  
21.4  误差的灵敏度计算 420 e'uC:O.u  
21.5  显色指数计算 422 MUbKlX  
21.6  电场分布 424 zwC ,,U  
后记 426
"y~*1kBu  
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