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infotek 2023-08-07 08:31

《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)

M}!7/8HUC  
>k<.bEx(A  
内容简介 )7<JGzBZ1  
Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 E}-Y@( [  
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 36` aG Y  
薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 &[`p qX  
讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
x/ {  
\om$%FUP  
目录 *LOpbf  
Preface 1 sw6]Bc  
内容简介 2 k?0yH$)'t  
目录 i .e!dEF)D  
1  引言 1 s 4Lqam!  
2  光学薄膜基础 2 ,'v]U@WK  
2.1  一般规则 2 TFb9gOTJ  
2.2  正交入射规则 3 Ytmt+9  
2.3  斜入射规则 6 1/c7((]7(,  
2.4  精确计算 7 dms R>Q  
2.5  相干性 8 k {_X%H/  
2.6 参考文献 10 #WwQ^6ESc  
3  Essential Macleod的快速预览 10 jY-{hW+r  
4  Essential Macleod的特点 32 ,Bk mf|  
4.1  容量和局限性 33 Q@6OIE  
4.2  程序在哪里? 33 ~>3$Id:  
4.3  数据文件 35 j!B+Q  
4.4  设计规则 35 YQ}Rg5 o  
4.5  材料数据库和资料库 37 |GM?4'2M.  
4.5.1材料损失 38 6]^ShOX_Z  
4.5.1材料数据库和导入材料 39 &%+}bt5  
4.5.2 材料库 41 1`)ie%=  
4.5.3导出材料数据 43 Z@>hN%{d+g  
4.6  常用单位 43 V%g$LrLVe  
4.7  插值和外推法 46 NVU@m+m~  
4.8  材料数据的平滑 50 RJYuyB  
4.9 更多光学常数模型 54 ?M. n 9|}y  
4.10  文档的一般编辑规则 55 xPWzm hF  
4.11 撤销和重做 56 Vcz ExP  
4.12  设计文档 57 !(~eeE}|lM  
4.10.1  公式 58 v]& )+0  
4.10.2 更多关于膜层厚度 59 |&eZ[Sy(=l  
4.10.3  沉积密度 59 PVH^yWi n  
4.10.4 平行和楔形介质 60 Y*/:IYr`  
4.10.5  渐变折射率和散射层 60 G7yCGT)vQ  
4.10.4  性能 61 ? acm5dN  
4.10.5  保存设计和性能 64 HhDiGzOSi  
4.10.6  默认设计 64 +kP)T(6  
4.11  图表 64 e` Z;}& ,  
4.11.1  合并曲线图 67 }u:@:}8K  
4.11.2  自适应绘制 68 _p<W  
4.11.3  动态绘图 68 ,V'+16xW  
4.11.4  3D绘图 69 fw$/@31AP?  
4.12  导入和导出 73 secD ` ]  
4.12.1  剪贴板 73 !G =!^RA  
4.12.2  不通过剪贴板导入 76 Pz7{dQqjk#  
4.12.3  不通过剪贴板导出 76 F$QN>wPpM  
4.13  背景 77 vh5`R/<3  
4.14  扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 Kmc*z (Q  
4.15  生成Rugate 84 7nM]E_  
4.16  参考文献 91 @8E mY,{;  
5  在Essential Macleod中建立一个Job 92 h}r*   
5.1  Jobs 92 ! 7A _UA8  
5.2  创建一个新Job(工作) 93 64 9{\;*4  
5.3  输入材料 94 OF J49X  
5.4  设计数据文件夹 95 xS?[v&"2  
5.5  默认设计 95 4scY 8(1  
6  细化和合成 97 G8dC5+h  
6.1  优化介绍 97 Sm(X/P=z  
6.2  细化 (Refinement) 98 EvSo|}JA[  
6.3  合成 (Synthesis) 100 c]LE9<G  
6.4  目标和评价函数 101 BOClMeA4  
6.4.1  目标输入 102 gw' uY$  
6.4.2  目标 103 &?UIe]  
6.4.3  特殊的评价函数 104 l/0"'o_0v#  
6.5  层锁定和连接 104 2 Z K:S+c  
6.6  细化技术 104 lx _jy>$}r  
6.6.1  单纯形 105 _^K)>  
6.6.1.1 单纯形参数 106 )d5H v2/0  
6.6.2  最佳参数(Optimac) 107 lVF}G[B  
6.6.2.1 Optimac参数 108 ]D_"tQ?i  
6.6.3  模拟退火算法 109 UJ0fYTeuI  
6.6.3.1 模拟退火参数 109 ]S;^QZ  
6.6.4  共轭梯度 111 OXcQMVa 6  
6.6.4.1 共轭梯度参数 111 :EJ8^'0Q  
6.6.5  拟牛顿法 112 "#,]` ME;  
6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 S.&=>   
6.6.6  针合成 113 Ey<vvZ  
6.6.6.1 针合成参数 114 9RA~#S|(T  
6.6.7 差分进化 114 C".nB12  
6.6.8非局部细化 115 #tX\m ;  
6.6.8.1非局部细化参数 115 S. my" j  
6.7  我应该使用哪种技术? 116 _RI`I}&9Z  
6.7.1  细化 116 q)0?aL  
6.7.2  合成 117 $>Md]/I8  
6.8  参考文献 117 r9nH6 Md\  
7  导纳图及其他工具 118 *nJy  
7.1  简介 118 >%Rb}Ki4  
7.2  薄膜作为导纳的变换 118 mHCp^g4Q  
7.2.1  四分之一波长规则 119 S}L$-7Ct  
7.2.2  导纳图 120 );EW(7KeL  
7.3  用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 BkywYCWZ )  
7.4  全介质抗反射薄膜中的应用 125 S:!gj2q9|  
7.5  斜入射导纳图 141 tuH8!.  
7.6  对称周期 141 /zxLnT; 5  
7.7  参考文献 142 NqyKR&;  
8  典型的镀膜实例 143 *Iy5 V7`KU  
8.1  单层抗反射薄膜 145 6&,n\EXF  
8.2  1/4-1/4抗反射薄膜 146 K+2k}Hx6J  
8.3  1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 '"u>;Bq  
8.4  W-膜层 148 {2jetX`@h  
8.5  V-膜层 149 99 W-sV  
8.6  V-膜层高折射基底 150 9vIqGz-o  
8.7  V-膜层高折射率基底b 151 _cPGS=Ew  
8.8  高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 st~ 1[in  
8.9  四层抗反射薄膜 153 q8&2M  
8.10  Reichert抗反射薄膜 154 abog\0  
8.11  可见光和1.06 抗反射薄膜 155 Iw@ou  
8.12  六层宽带抗反射薄膜 156 R(YhVW_l  
8.13  宽波段八层抗反射薄膜 157 Y)~Y;;/G  
8.14  宽波段25层抗反射薄膜 158 4}0DEH.Vx  
8.15十五层宽带抗反射膜 159 bEO\oS  
8.16  四层2-1 抗反射薄膜 161 JH3$G,:zM  
8.17  1/4波长堆栈 162 f@JMDJ  
8.18  陷波滤波器 163 yC%zX}5  
8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ,q9nHZG^  
8.20  褶皱 165 BY*{j&^  
8.21  消偏振分光器1 169 Oz8"s4Y7  
8.22  消偏振分光器2 171 z"7I5N  
8.23  消偏振立体分光器 172 }~B@Z\`O  
8.24  消偏振截止滤光片 173 jhRg47A  
8.25  立体偏振分束器1 174 M1nH!A~o  
8.26  立方偏振分束器2 177 7kiZFHV  
8.27  相位延迟器 178 q47>RWMh%  
8.28  红外截止器 179 hA?Flq2QV  
8.29  21层长波带通滤波器 180 ;4(ULJ*  
8.30  49层长波带通滤波器 181 Kjw==5)}  
8.31  55层短波带通滤波器 182 6yn34'yw  
8.32  47 红外截止器 183 +#* F"k(  
8.33  宽带通滤波器 184 r'|Vz*/h  
8.34  诱导透射滤波器 186 V]E# N  
8.35  诱导透射滤波器2 188 R7'6#2y  
8.36  简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 \xCI8 *W  
8.37  高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 @*Y"[\"$  
8.35  增益平坦滤波器 193 cy_'QS$W   
8.38  啁啾反射镜 1 196 e6G=Bq$  
8.39  啁啾反射镜2 198 " a&|{bv  
8.40  啁啾反射镜3 199 xi+bBqg<.K  
8.41  带保护层的铝膜层 200 +qPpPjG;  
8.42  增加铝反射率膜 201 qS8p)pw  
8.43  参考文献 202 ig-V^P  
9  多层膜 204 Bqcih$`BVU  
9.1  多层膜基本原理—堆栈 204 aNt+;M7g`  
9.2  内部透过率 204 u& 4i=K'x8  
9.3 内部透射率数据 205 #'5C*RO  
9.4  实例 206 c >O>|*I  
9.5  实例2 210 ^l,(~03_  
9.6  圆锥和带宽计算 212 i}tBB~]  
9.7  在Design中加入堆栈进行计算 214 \C{Dui) F  
10  光学薄膜的颜色 216 k<&zVV '  
10.1  导言 216 wOMrUWB0  
10.2  色彩 216 `s )- lI  
10.3  主波长和纯度 220 Etj0k} A  
10.4  色相和纯度 221 9#;GG3  
10.5  薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 :D|5E>o(  
10.6 色差 226 Ru&>8Ln0  
10.7  Essential Macleod中的色彩计算 227 )a7nr<)aU  
10.8  颜色渲染指数 234 s'7PHP)LOJ  
10.9  色差计算 235 c*m7'\  
10.10  参考文献 236 "_f~8f`y  
11  镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 v3*y43  
11.1  短脉冲 238 #oYPe:8|m  
11.2  群速度 239 'VMov  
11.3  群速度色散 241 KD<smwXjG  
11.4  啁啾(chirped) 245 (yJY/|  
11.5  光学薄膜—相变 245 $q$G  
11.6  群延迟和延迟色散 246  =8o$  
11.7  色度色散 246 '9ki~jtf=  
11.8  色散补偿 249 i?3~Gog  
11.9  空间光线偏移 256 u?Uu>9@Z  
11.10  参考文献 258 8mm]>u$  
12  公差与误差 260 ron-v"!  
12.1  蒙特卡罗模型 260 iJ&jg`"=F  
12.2  Essential Macleod 中的误差分析工具 267 f,}(= u  
12.2.1  误差工具 267 {`ghX%M(l  
12.2.2  灵敏度工具 271 4\_~B{kzZ  
12.2.2.1 独立灵敏度 271 Vr ^UEu.w?  
12.2.2.2 灵敏度分布 275 /Kd9UQU  
12.2.3  Simulator—更高级的模型 276 +QW| 8b  
12.3  参考文献 276 =#Z+WD-E  
13  Runsheet 与Simulator 277 3|0wD:Dy  
13.1  原理介绍 277 m ?e::W  
13.2  截止滤光片设计 277 )ep1`n-  
14  光学常数提取 289 94}y,\S~  
14.1  介绍 289 Pf:;iXH?  
14.2  电介质薄膜 289 8}?w i[T  
14.3  n 和k 的提取工具 295 Ql1J?9W  
14.4  基底的参数提取 302 ufi:aE=}  
14.5  金属的参数提取 306 gTQc=,3l3  
14.6  不正确的模型 306 zl3GWj|?\7  
14.7  参考文献 311 $~,J8?)(z  
15  反演工程 313 h}U>K4BJ  
15.1  随机性和系统性 313 *-';ycOvr  
15.2  常见的系统性问题 314 u9*7Buou^  
15.3  单层膜 314 xxQgX~'x  
15.4  多层膜 314 ] :SbvsPm  
15.5  含义 319 3Fg{?C_l  
15.6  反演工程实例 319 1KadT7<0}  
15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 S]Qf p,  
15.6.2 反演工程提取折射率 327 b{Bef*`/  
16  应力、张力、温度和均匀性工具 329 4M )oA|1w  
16.1  光学性质的热致偏移 329 xFzaVjjP  
16.2  应力工具 335 20 Z/Y\  
16.3  均匀性误差 339  u*m|o8  
16.3.1  圆锥工具 339 =x@v{cP  
16.3.2  波前问题 341 4J{W8jX  
16.4  参考文献 343 [y&uc  
17  如何在Function(模块)中编写操作数 345 IcA]B?+  
17.1  引言 345 3De(:c)@  
17.2  操作数 345 '!"rE1e  
18  如何在Function中编写脚本 351 ILIv43QKM(  
18.1  简介 351 M#.dF{ %%  
18.2  什么是脚本? 351 [85b+SKW  
18.3  Function中脚本和操作数对比 351 z^o7&\:  
18.4  基础 352 C*stj  
18.4.1  Classes(类别) 352 "H\R*\-0  
18.4.2  对象 352 iLO,XW?d v  
18.4.3  信息(Messages) 352 9yK\<6}}QH  
18.4.4  属性 352 ;3\'}2^|l  
18.4.5  方法 353 "uP~hFA7M  
18.4.6  变量声明 353 5p>rQq0  
18.5  创建对象 354 c{3P|O&.  
18.5.1  创建对象函数 355 cz1 m05E  
18.5.2  使用ThisSession和其它对象 355 7po;*?Ox  
18.5.3 丢弃对象 356 u)[i'ceQZ:  
18.5.4  总结 356 +O4//FC-"  
18.6  脚本中的表格 357 G2dPm}sZG  
18.6.1  方法1 357 Dn48?A[v  
18.6.2  方法2 357 6t{G{ ]  
18.7 2D Plots in Scripts 358 TPA*z9n+B  
18.8 3D Plots in Scripts 359 5^N y6t  
18.9  注释 360 * >k6n5%  
18.10  脚本管理器调用Scripts 360 o]B2^Yq;x  
18.11  一个更高级的脚本 362 Ie}7#>S  
18.12  <esc>键 364  N8)]d  
18.13 包含文件 365 -FS! v^  
18.14  脚本被优化调用 366 t9r R>Y9  
18.15  脚本中的对话框 368 ? CU;  
18.15.1  介绍 368 e> Dux  
18.15.2  消息框-MsgBox 368 ybv]wBpM:  
18.15.3  输入框函数 370 ~xJ ^YkyH  
18.15.4  自定义对话框 371 5`QfysR5  
18.15.5  对话框编辑器 371 P6)d#M  
18.15.6  控制对话框 377 \Rw^&;\1  
18.15.7  更高级的对话框 380 Pf~0JNnc  
18.16 Types语句 384 Rl'xEtaN  
18.17 打开文件 385 j:$Z-s  
18.18 Bags 387 +hcJ!$J7  
18.13  进一步研究 388 Of#"nu  
19  vStack 389 v 8TNBsEL  
19.1  vStack基本原理 389 wj8\eK)]L  
19.2  一个简单的系统——直角棱镜 391 ]} pAZd  
19.3  五棱镜 393 (!a\23  
19.4 光束距离 396 :4)lmIu  
19.5 误差 399 w+{{4<+cd  
19.6  二向分色棱镜 399 [$M l;K  
19.7  偏振泄漏 404 C't%e  
19.8  波前误差—相位 405 (`<B#D;  
19.9  其它计算参数 405 ]d*O>Pm  
20  报表生成器 406 *fSX3Dk  
20.1  入门 406 <bJ~Ol  
20.2  指令(Instructions) 406 P0rdGf 5T  
20.3  页面布局指令 406 %;#9lkOXWH  
20.4  常见的参数图和三维图 407 N6v*X+4JH  
20.5  表格中的常见参数 408 #fF D|q  
20.6  迭代指令 408 _zLEHEZ-  
20.7  报表模版 408 qv`:o `  
20.8  开始设计一个报表模版 409 w$`u_P|@E:  
21  一个新的project 413 *7qa]i^]  
21.1  创建一个新Job 414 _k5$.f:Yj<  
21.2  默认设计 415 u@aM8Na  
21.3  薄膜设计 416 _+gpdQq\p  
21.4  误差的灵敏度计算 420 UJ`%uLR~  
21.5  显色指数计算 422 M#yUdl7d  
21.6  电场分布 424 NJKk\RM@7  
后记 426
\rCdsN2H  
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