SYNOPSYS 光学设计软件课程三十二：鬼像分析
SYNOPSYS 光学设计软件课程三十二：鬼像分析 NG+%H1!$_
你的镜头看起来很好，光阑设计的很好。但是当你测试它的时候，每当一个明亮的光源进入到视场中，可以看到一个糟糕的鬼像。这不是一个好结果，而且这种情况经常发生。 2G&H[ `
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为了避免这种意外，你可以在MGH对话框(菜单、鬼像)，通过这些工具在设计的早期发现问题，并在完成前纠正它们。 /ka "YU
j=kz^o~mH
简而言之，鬼像是由镜头系统内的两次不需要的反射光引起的光的聚焦图像。 如果您有3片透镜，则有15个可能的鬼像。有6片透镜，你有66种可能性，依此类推。要查看其中一些工具可以执行的操作，请使用ID MIT 1至2 UM镜头对镜头1.RLE进行FETCH。打开镜头1.RLE并运行，然后看看PAD显示。 ./qbWr`L
[attachment=119233] M+l~^E0Wj
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打开MGH对话框 N"[r_!
[attachment=119234] TQL_K8k@_
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在左上角是GHOST按钮。这一特性用于近轴光线追迹来寻找鬼像，当然，它所发现的鬼像与真实光线形成的鬼像有所不同。尽管如此，结果通常很接近，你可以看到问题出现的地方。你可以给镜头中的任何一个或所有的表面分配反射系数，当程序估计它发现的每一个鬼像的强度时，它会考虑这些值。 |_\q5?S
O*lMIW x
对话框以默认的1%反射率打开，应用于所有的镜头表面。单击GHOST按钮。 VJbn/5+P
iezY+`x4
你会得到如下数据。首先分析所有表面的组合;输出的一部分如下所示。 0c
Gj Ol
[attachment=119235] ~P,@">}
'GF <_3I2l
在Ymarg标题下，注意表面6和1组合的最小值0.5515。这告诉您从表面6反射，然后从表面1反射的光将到达像面，形成（近轴）弥散斑半径约1/2毫米。 这可能是个问题。 如果您的镜头很长，通过检查第二个列表更容易找出问题鬼像： Iy;bzHXs
[attachment=119236] 0f;`Zj0l8
R<Uu(-O-
在这里，鬼像被分类，最严重的鬼像显示在数据底部，并且它们计算累积的强度，并列出和总结。实际上，累积的鬼像强度，4.87E08主要是来自于那个单独的鬼像，它的强度是3.29E-9。现在我们知道鬼像从哪里来了。让我们看看效果。 CyKupJ.Fq
=< .h.n
为此，打开名为GHPLOT.MAC的MACro。（通过本课程，您应该知道如何使用MACro编辑器，您可以使用命令EE打开它。）这是MACro： h[& \ OD,P
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; 鬼像分析.MAC ,e@707d`\
; 这个例子研究了镜头中的鬼影 Q`HG_n@?
; 它在所有四种模式下运行鬼像. Ih_=yk
CCW ! 先清理；清除命令窗口 2>F `H7W
KAG &`B
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FET 1 1Gp| _8
CHG ! 关闭图形窗口 {1}p+dEK
CFIX ; 修复清晰的光圈以删除虚化的鬼影 UNCI"Mjb
VIG f-5}`)`.+
END ? oQ_qleuo
SSS .003 ; 这里有小的光斑尺寸 t-Zk)*d/0
GAW ; 每张图片需要添加新的图形窗口 BDcA_= ^R&
GHPLOT 4000 P 10 .5 0 1 ; 选择模式1，单个光线 !=p^ @N7
R .01 ALL ; 这也是默认的反射率。 CuA A)B j
PLOT ."h>I @MH
GHPLOT 20000 P 1 .5 0 2 L ; 现在得到的是一个倾斜的透视图，Drad.0004 ?UBhM,;XK
PLOT "%dok @v
GHPLOT 20000 P 1 .5 0 3 L ,3bAlc8D7
DRAD .0004 W~?mr! `
PLOT m%.7l8vT
GHPLOT 400 P 1 .5 0 4 L ; 绘出单个的鬼像 s-e<&*D[
PER 0 0 0 1 99 +`+r \*C5
PLOT Q N8.FiiD
GRW ; 恢复图形选项（图形重复使用窗口） G]E-2 _t7
_8s1Wh G
V~4yS 4
m<GJ1)%3i
GHPLOT有四种模式，在继续之前，最好先阅读他们。由于此MACro已经在编辑器中，只需选择字符GHPLOT，然后查看TrayPrompt 。 c.Do b?5
[attachment=119237] a3B^RbDP&8
8gXf4A(N
于这是一个多行命令，因此提示无法显示整个格式，但如果在显示提示时按F2键，则帮助文件将打开索引中的该部分。 我们将在本课中使用所有四种模式。 对GHPLOT的第一次调用使用模式1，生成在图像平面上HBAR = 0.5处的对象点叠加的所有鬼像图像： 8]A`WDO3
[attachment=119238] ! ^IAn
D`@*udn=
在视场中间确实有一个黑色的斑点。这可能是我们之前标记过的鬼像。模式2分析显示与倾斜透视图相同的能量分布： vx4Jk]h+=L
[attachment=119239] N6uKFQL:{
9RnXp& w
那个尖峰确实是我们的鬼像。另一种查看它的方法显示在图像-3图中： +*Pj,+;W
[attachment=119240] h%!N!\
#2Z\K>L
最后，模式4绘图选出了特定的一组反射（我们所需要的）并绘制出一组子午面的扇形光线。返回MGH对话框 hC2_Yr >N%
[attachment=119241] [attachment=119242] L<O" 36R
(db4.G+ 0
在这里，光从左边进入变为红色，从表面6反射后变成蓝色，然后在表面1处第二次反射后变成绿色。它确实在像面聚焦，但是有很多球差 所以鬼像不是很尖锐。 :'K %&e?7s
$#7 ~
再看一下MGH对话框，您会看到我们还没有使用过的其他四个功能。让我们在0.5视场区域追迹真实鬼影的路径。填写框如图所示，然后单击RGHOST按钮。 )/4U]c{-
[attachment=119243] |C3~Q{A
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输出数据： Rt Scv
[attachment=119244]
ehr,+GX
{+x;J4
光线从表面6反射，然后再从表面1反射，并进入像面，其Y坐标为-0.829mm。 这确实是一个糟糕的鬼像。 S#f}mb0,
=J827c{.
如果你在设计过程的早期就发现了这个问题，那么它很容易控制。键入HELP GHOST，然后选择描述控制鬼像的链接。 O>Ao#_*hOb
[attachment=119245] XZ1WY(
) d"s6i
这将打开一个描述如何控制鬼像的页面。 Q??nw^8Hi
pb=yQ}.
10.3.1.5 鬼像图像控制 下一个已有目录 ` '}c-
Q
|c3Yh, Sv
鬼像图像由来自一个或多个折射表面的反射引起。SYNOPSYS可以评估和控制两种类型：GHOST程序可以显示哪些表面的组合会导致鬼像的产生，而BGI可以评估在镜头系统内的另一个位置形成的鬼像的属性。 [y1
x`WOk9
X8| 0RU@f
从一个选定的近轴鬼像，为了控图像制弥散斑的大小，输入是 '(&,i/O
XdGA8%^cY
M TAR WT A PGHOST JREFH JREFL Wz-7oP%;I
=d`/BDD
在这里，您可以看到控制鬼像所需的简单输入。您的AANT文件中的命令是 )Qixde>]p
q? 2kD"%$
M 5 0.1 A PGHOST 6 1 Kk<MS$Ov
5Q.z#]L g
调整权重使其他像差很好地平衡。如果我们达到这个目标，鬼像将是以前的1％。5的目标有点随机; 一个面积更大的鬼像也是一个更暗的鬼像，这猜测是一个很好的开始。 5$Aiez~tBq
u<a =TPAU
我们发现，这个过程通常会对指定的鬼像产生很大的改进。然而，另一种反射组合通常会产生新的鬼像，这就需要在优化函数中使用鬼像和另一种PGHOST像差进行另一种评估。当它们出现的时候，你把它们加起来，直到你到达一个点，在这个点上，许多鬼像的强度大致相同。我们从来没有遇到过这样的情况:这种强度高到足以成为一个问题。如果是的话，那么是需要在问题表面上使用镀膜来解决了。
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