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datou	2005-11-12 00:06
有没有了解或者知道积分散射显微镜的？这种低成本的非接触显微镜，不知道前景如何？

liujj	2005-11-14 12:27
不知道楼主指的是什么？显微镜基本上都是非接触式的

moonljy	2005-11-15 13:09
恩，没听说过。楼主简单介绍下吧

网络飞虫	2005-11-15 17:10
介绍一下,大家讨论讨论,希望这个特色版块打出名气.

datou

2005-11-15 18:19

哈哈，有人关注，真好！

我还不太了解显微镜，上面的表述可能有常识性错误，海涵海涵！

所谓积分散射显微镜呢，主要是针对超光滑表面的，表面粗糙度1A量级，比如微电子中的硅片，以及激光腔的反射片透射片等。

原理很简单，入射光打到样品表面，除了镜面反射之外，在各个方向（样品一侧的2派弧度内）都有微弱的散射光（Scattering），其强度分布可以从衍射理论推出，称为ARS分布；而把ARS在半球空间内积分，称为总积分散射（TIS），理论表明，TIS与样品表面粗糙度之间有个简单的关系，故可以通过测量TIS来得到样品的表面形貌。

所谓非接触主要是针对原子力显微镜（AFM）来讲的，因为AFM是可以测量到1A量级的，但是会损伤表面。

注：A为10的-10次方米。

不知我讲清楚没有，欢迎大家继续讨论。

liujj	2005-11-18 10:22
是不是可以这样理解：由于所看样品表面非常光滑，其散射光很少，所以必须用积分的方法来观察？

liujj	2005-11-18 10:23
再问问主要要看样品的什么指标呀

datou	2005-11-21 17:59
不是散射光少，而是微弱；虽然微弱，但还是能测的，单独测散射光（角分布）的叫微分散射仪。 2hNl_P~z1u I 2AQ G 积分的原因是TIS（总散射积分）可以反映表面粗糙度。 5"40{3 du}HTrsC 主要看样品的表面粗糙度，要达到1A量级，就是能分辨这样的超光滑表面，找出好的片子和差的片子

liujj	2005-11-21 22:04
那用途很窄呀,表面光洁度可以用金相显微镜来观察

datou	2005-11-23 11:35
呵呵，是有点窄，专门为我们的某个项目服务的。 6 Q7MAP M 不过应用领域还算可以的，微电子领域等都有应用，外国有很多人在搞 Zs}h>$E5_B 呵呵，我们是做研究的，可能不那么重视市场

liujj	2005-11-24 21:42
关注中,有机会多聊聊,市场化呀

datou	2005-12-02 16:28
可是，俺是学院里的，首先考虑的是效果，呵呵

northwolf

2005-12-26 17:27

我觉得这个项目有一定的应用前景。目前用光学显微镜法测量表面粗糙度的一般都用光切显微镜，但是很难达到高分辨率，能够测量的粗糙度也比较大。1A级的如果用原子力显微镜测成本太高。如果真的能有这种积分散射显微镜的话应该对超精密加工的粗糙度检测有所帮助。但我有很多地方不懂，就是如何能够把微弱的散射光收集起来，用什么样的成像光路，还有正面反射的光是怎么处理的。希望大家能多讨论。

zhaoq313	2012-05-27 13:27
我是新手

wutongyu100	2012-07-25 17:29
我是来学习的

沐浴波光	2012-12-26 10:33
学习了。。。。。

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