SYNOPSYS 光学设计第二十四课:带楔块误差的校验和图像误差的AI分析的公差实例
这是一个高级的课程,它展示了SYNOPSYS™中的一些不寻常的功能。本课程将介绍前面讨论的一些功能,并添加一些功能强大的新选项。在这里,我们将使用BTOL来计算八片式透镜的公差,然后查看通过校验单元格中的元件来补偿楔形误差的情况下的像质统计。最后,我们将在重新对焦镜头和校验元件之后,检查一组100个镜头的横向色差的统计数据,这些镜头受公差限制。 9*thqs3J#d 这是一个MACro,它将创建公差预算: >q}Ns^ .' #><P28m rx$B(z(c JGJy_.C FETCH X33 ! 拿出开始的镜头 WN5`zD$ BTOL 90 ! 要求达到90%的置信度 NSsLuM=. TPR ALL ! 所有的表面都与试验板相匹配。. _SW_I{fjr EXACT ALL INDEX ! 假设收到所有熔体数据。 "
hD6Z EXACT ALL VNO ! 所以指数和色散的公差为零. E1=WH-iA0 TOL WAF .18 .32 .18 ! 要求在三个视场点上的这个波前方差. w_>SxSS7 FOCUS REAL ! 聚焦轴上图像点 2j*+^&M/ ADJUST 14 TH 100 ! 厚度为14(最后一个空域)的情况下. L"_l(<g PREP MC ! 准备好蒙特卡洛评估的输入数据. ( <Abw{BTm GO ! 开始BTOL. +1te 8P*
在SYNOPSYS™中打开名为X33.RLE的文件,我们使用FETCH命令将其取出。 *hk8[ 运行此MACro时,BTOL公差已准备好并列在探测器上。现在我们需要使用MC。 调整MACro由BTOL准备,命名为MCFILE.MAC。让我们看看它包含什么。 我们输入LM MCFILE来加载MACro: _gLj(<^9 -msfiO PANT ;Nd,K
C0k VY 14 TH '
)0eB: END bzl-|+!yB AANT VV$$t;R/ M 0.000000E+00 0.3333 A 2 XC 0.000 0 .1 0.000 :4 &q2- M 0.297888E-05 0.3333 SR A 2 YC 0.000 0 .1 0.000 h@^d
Vg M 0.000000E+00 0.3333 A 2 XC 0.000 0 -.1 0.000 .# Jusd M -0.297888E-05 0.3333 SR A 2 YC 0.000 0 -.1 0.000 4@Q`8N. M 0.297888E-05 0.3333 A 2 XC 0.000 .1 0 0.000 e[>c>F^ M 0.000000E+00 0.3333 SR A 2 YC 0.000 .1 0 0.000 VJ8"Q M -0.297888E-05 0.3333 A 2 XC 0.000 -.1 0 0.000 Ai~j
q M 0.000000E+00 0.3333 SR A 2 YC 0.000 -.1 0 0.000 y5p)z" M -0.177179E-02 0.3333 A 2 XC 0.000 -.64 .64 0.000 ++m^z` D M 0.177179E-02 0.3333 SR A 2 YC 0.000 -.64 .64 0.000 vmY 88Kx&S M 0.177179E-02 0.3333 A 2 XC 0.000 .64 .64 0.000 0bcbH9) 1q M 0.177179E-02 0.3333 SR A 2 YC 0.000 .64 .64 0.000 Dh4EP/=z M 0.177179E-02 0.3333 A 2 XC 0.000 .64 -.64 0.000 Wv4x^nJ M -0.177179E-02 0.3333 SR A 2 YC 0.000 .64 -.64 0.000 Cuk!I$ M -0.177179E-02 0.3333 A 2 XC 0.000 -.64 -.64 0.000 |e]2 >NjQa M -0.177179E-02 0.3333 SR A 2 YC 0.000 -.64 -.64 0.000 [s}nv] M 0.000000E+00 0.6667 A 3 XC 0.000 0 0. 0.000 19g-#H! M 0.000000E+00 0.6667 A 3 YC 0.000 0 0. 0.000 :Sd"~\N+ M 0.000000E+00 0.6667 A 3 XC 0.000 0 .1 0.000 B5pWSS M 0.149917E-03 0.6667 A 3 YC 0.000 0 .1 0.000 R9!GDKts% M 0.000000E+00 0.6667 A 3 XC 0.000 0 -.1 0.000 3SeM:OYq]s M -0.149917E-03 0.6667 A 3 YC 0.000 0 -.1 0.000 G2,9$8qE M 0.149917E-03 0.6667 A 3 XC 0.000 .1 0. 0.000
*!wBn M 0.000000E+00 0.6667 A 3 YC 0.000 .1 0. 0.000 Wf}x"* M -0.149917E-03 0.6667 A 3 XC 0.000 -.1 0 0.000 ){sn!5= M 0.000000E+00 0.6667 A 3 YC 0.000 -.1 0 0.000 |)4aIa END 2JMMNpya SYNOPSYS 10 ;ATn& MC `1hM3N.nO m|c5X)}- 根据要求,PANT文件中的最后一个空气间隔是变化的,并且AANT文件定义了一个评价函数,如果调整能够恢复名义设计完全相同的光线模式,它将精确地收敛到零。现在我们需要准备我们的MC MACro。(这是我们指定所需蒙特卡罗分析的文件,而上面显示的文件MCFILE.MAC指定了我们想要在每个案例上运行的调整。它们是单独的文件。) ZDhl$m[m 首先,我们将使用随机楔形方向运行MC。这是MACro: 4(hHp6}b 5LF#w_x MC ITEMIZE \nKpJ9! SAMP 1 hE9UWa.Q> LIB 5 ,~TV/l< !QUIET ! 这一点被注释掉了,用于测试 B<
6E' WORST ALL 5 Vt[Kr WEDGES CLOCK _P:}]5-| TEST in[yrqFb7t GO oA;> z aOOkC&% 在这里,我们不优化任何东西,只是准备一个单一的扰动示例,以便我们可以检查它。(元件现在都有楔形误差,因此PAD显示不能像以前那样为元件着色。) %"C%pA 好吧,让我们运行一组100个镜头并查看统计数据。首先我们GET 5,然后注释掉TEST指令并更改样本编号。 9?6]Zag $7'K]'UJXO .Jvy0B} B +YNN$i MC ITEMIZE (v2.8zrJ SAMPLES 100 ! 要求提供一套100片的镜片. R|,F C' LIBRARY 5 *.2[bQL@v QUIET op|:XLR5 WORST ALL 1 `Cv@16 THSTAT UNIFORM Di^7@}kQS WEDGES RANDOM 1k:s~m?! !TEST 'y?
HF@NJ GO pn._u`xMV o(|fapK. 当MC完成时,我们将获得MC PLOT的统计图 {<k}U;uiO 我们继续操作,更改我们的MACro如下: %ylpn7I\6 g:&V9 |