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2023-06-13 08:46 |
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)
(&25 8i, 内容简介 8{m5P8w' Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 FC' v= * 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 -,M*j| 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 qjK'sge/ i\2d1Z
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 l3d^V&Sk 目录 {,Y?+F Preface 1 X+'z@xpj 内容简介 2 S%h[e[[fST 目录 i B74L/h 1 引言 1 *5SOXrvhu6 2 光学薄膜基础 2 J>I.|@W4 2.1 一般规则 2 R]0p L 2.2 正交入射规则 3 IZ<d~ [y 2.3 斜入射规则 6 !`u 2.4 精确计算 7 RXMzwk 2.5 相干性 8 px@:t} 2.6 参考文献 10 }U)g<Kzh 3 Essential Macleod的快速预览 10 ?s4-2g 4 Essential Macleod的特点 32 j@JhxCe1+R 4.1 容量和局限性 33 O!0YlIvWv 4.2 程序在哪里? 33 X[Lwx.Ly8 4.3 数据文件 35 \#(3r1( 4.4 设计规则 35 z9@Tg=#i 4.5 材料数据库和资料库 37 \DP*?D_}? 4.5.1材料损失 38 5t`:=@u 4.5.1材料数据库和导入材料 39 qIbp0`m 4.5.2 材料库 41 *Q?ZJS~ 4.5.3导出材料数据 43 bCM&Fe0GM 4.6 常用单位 43 kC=e>v 4.7 插值和外推法 46 N5 BC<pu 4.8 材料数据的平滑 50 NVEjUt/ 4.9 更多光学常数模型 54 EhEUkZE3) 4.10 文档的一般编辑规则 55 R)>/P{A-P 4.11 撤销和重做 56 {-(}p+;z 4.12 设计文档 57 6m#V=4e* 4.10.1 公式 58 41c]o<!=)j 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 Yx- 2ux 4.10.3 沉积密度 59 RC_w 1:h 4.10.4 平行和楔形介质 60 111s% 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 d(.e%[` 4.10.4 性能 61 2$>"4
N 4.10.5 保存设计和性能 64 `>M-J-J 4.10.6 默认设计 64 ]7qn&(] 4.11 图表 64 w2-:!,X 4.11.1 合并曲线图 67 7H$0NMP 4.11.2 自适应绘制 68 `[hc{ynO| 4.11.3 动态绘图 68 gWt}q-@nRR 4.11.4 3D绘图 69 1Sk=;Bic 4.12 导入和导出 73 T#;W5<" 4.12.1 剪贴板 73 `Yk~2t"V 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 nz72w_ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 uFseO9F.2 4.13 背景 77 e):jQite
4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ZLsfF
=/G 4.15 生成Rugate 84 9FB[`} 4.16 参考文献 91 "N"$B~W* 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 "m*.kB)e7 5.1 Jobs 92 6#Ag^A 5.2 创建一个新Job(工作) 93 @Q!Jzw#B 5.3 输入材料 94 l@ +lUx8 5.4 设计数据文件夹 95 w! J|KM 5.5 默认设计 95 ==zt)s.G(+ 6 细化和合成 97 [E9V#J89 6.1 优化介绍 97 ?gknJ: 6.2 细化 (Refinement) 98 W[pOLc- 6.3 合成 (Synthesis) 100 ^*CvKCS 6.4 目标和评价函数 101 /RVy?)hVT# 6.4.1 目标输入 102 Yt]tRqrh;T 6.4.2 目标 103
q|An 6.4.3 特殊的评价函数 104 &h(>jY7b; 6.5 层锁定和连接 104 L-B"P& 6.6 细化技术 104 =?o, ' n0 6.6.1 单纯形 105 P$YY4|` 6.6.1.1 单纯形参数 106 :O`7kZ]=n 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Y(aEp_kV 6.6.2.1 Optimac参数 108 20 <$f 6.6.3 模拟退火算法 109 4(
Q_J4}P 6.6.3.1 模拟退火参数 109 IM.sW'E 6.6.4 共轭梯度 111 2nNBX2o&_ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 t)#8r,9c 6.6.5 拟牛顿法 112 C5}c?=#bdf 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 #Tc]L<." 6.6.6 针合成 113 p>4tPI}bf 6.6.6.1 针合成参数 114 baLO~C 6.6.7 差分进化 114 j@N z 6.6.8非局部细化 115 V=$pXpro% 6.6.8.1非局部细化参数 115 L]wWJL 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ~m/nV81 6.7.1 细化 116 eAU0 8gM. 6.7.2 合成 117 ~lBb%M 6.8 参考文献 117 -L4fp
7 导纳图及其他工具 118 mS\gh)<h 7.1 简介 118 VI xGD#m 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ?c G~M|@ 7.2.1 四分之一波长规则 119 NCW<~ 7.2.2 导纳图 120 6MCLm.L 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 &a;{ed1B 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 :G.u{cw 7.5 斜入射导纳图 141 \a#{Y/j3 7.6 对称周期 141 zd%n)jlwR 7.7 参考文献 142 _Y{8FN(4 8 典型的镀膜实例 143 lN(|EI 8.1 单层抗反射薄膜 145 7aF'E1e'3 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 Tu!2lHK; 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 jHPkfwfAF 8.4 W-膜层 148 \d'>Ky;GD 8.5 V-膜层 149 \ltbiDP2 8.6 V-膜层高折射基底 150 HZINsIm!? 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 7
KuUV!\h` 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ^}w@&Bje 8.9 四层抗反射薄膜 153 gGaA;YW1 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 _i3?;Fds 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 "[wkjNf% 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ojc m%yd 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 f|v5itO2 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 `49: !M$i 8.15十五层宽带抗反射膜 159 qjBF]3%t% 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 H=/ ; 8.17 1/4波长堆栈 162 u=6LPwiI 8.18 陷波滤波器 163 Cs!z3QU 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 7@W}>gnf 8.20 褶皱 165 2_/H, 8.21 消偏振分光器1 169 {4F=].! 8.22 消偏振分光器2 171 MyZ5~jnr\ 8.23 消偏振立体分光器 172 gLDO|ADni 8.24 消偏振截止滤光片 173 q`Rc \aWB% 8.25 立体偏振分束器1 174 5cUz^ > 8.26 立方偏振分束器2 177 '?Jz8iu- 8.27 相位延迟器 178 |e QwI& 8.28 红外截止器 179 `i `F$ ; 8.29 21层长波带通滤波器 180
|F}6Zv 8.30 49层长波带通滤波器 181 'bQjJRq! 8.31 55层短波带通滤波器 182 !g.?+~@ 8.32 47 红外截止器 183 B>;`$- 8.33 宽带通滤波器 184 5!s7`w]8*0 8.34 诱导透射滤波器 186 g1H$wU3eu 8.35 诱导透射滤波器2 188 ;f!}vo<; 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 g`Kh&|GU 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 p!o?2Lbiw 8.35 增益平坦滤波器 193 )MWbZAI 8.38 啁啾反射镜 1 196 @oNYMQ@)d 8.39 啁啾反射镜2 198 -=InGm\Y 8.40 啁啾反射镜3 199 tqFE>ojlI 8.41 带保护层的铝膜层 200 _'mK=`>u 8.42 增加铝反射率膜 201 &*Z"r* 8.43 参考文献 202 Z~3 9 多层膜 204 gq7l>vT. 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 gWIb"l 9.2 内部透过率 204 |e_'%d& 9.3 内部透射率数据 205 oWLv-{08 9.4 实例 206 1YtbV3 9.5 实例2 210 ,$+ P
9.6 圆锥和带宽计算 212 uj~(r=% 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 K^Ho%_) 10 光学薄膜的颜色 216 8x`EUJ 10.1 导言 216 5F78)qu6N 10.2 色彩 216 M:*)l( 10.3 主波长和纯度 220 {00Qg{;K| 10.4 色相和纯度 221 X/f?=U 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 n`X}&(O 10.6 色差 226 szs.B|3X@* 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 STL+tLJ 10.8 颜色渲染指数 234 3rj7]:Vr 10.9 色差计算 235 {nj`> 10.10 参考文献 236 C <d]0) 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 -KL5sK 11.1 短脉冲 238 AIG5a$}& 11.2 群速度 239 1wy?<B.f 11.3 群速度色散 241 T(=Z0M 11.4 啁啾(chirped) 245 $}t;c62 11.5 光学薄膜—相变 245 pS~=T}o 11.6 群延迟和延迟色散 246 'j\~> a3\ 11.7 色度色散 246 ^@
Xzh: 11.8 色散补偿 249 Xd@ d$ 11.9 空间光线偏移 256 l@ 5kw]6 11.10 参考文献 258 6(/*E=bOKV 12 公差与误差 260 T2}X~A 12.1 蒙特卡罗模型 260 g!;a5p6 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 Oh3A?!y# 12.2.1 误差工具 267 T2_b5j3i 12.2.2 灵敏度工具 271 0V+v)\4FE 12.2.2.1 独立灵敏度 271 iBk1QRdn 12.2.2.2 灵敏度分布 275 H}cq|hodn 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 IOY<'t+ 12.3 参考文献 276 (z:qj/| 13 Runsheet 与Simulator 277 CsJ&,(s( 13.1 原理介绍 277 M%bD7naBq 13.2 截止滤光片设计 277 +W"DN5UV 14 光学常数提取 289 :{ Lihe~\ 14.1 介绍 289 Z=beki] 14.2 电介质薄膜 289 G4^6o[ x 14.3 n 和k 的提取工具 295 <C_FRpR<f 14.4 基底的参数提取 302 bAEwjZ 14.5 金属的参数提取 306 P@0J! 14.6 不正确的模型 306 z:;yx 14.7 参考文献 311 :pLaxWus! 15 反演工程 313 7.tIf
<^$P 15.1 随机性和系统性 313 oml^f~pm 15.2 常见的系统性问题 314 6J <.i 15.3 单层膜 314 V*W H 15.4 多层膜 314 {$I1(DYN 15.5 含义 319
t;}`~B 15.6 反演工程实例 319 lv#L+}T 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ;( (|0Xa 15.6.2 反演工程提取折射率 327 Q>I7.c-M| 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 Jo\karpb 16.1 光学性质的热致偏移 329 oxug
16.2 应力工具 335 ]4B&8n! 16.3 均匀性误差 339 T~
P<Gq}, 16.3.1 圆锥工具 339 A+KpECP 16.3.2 波前问题 341 $mxl&Qr>Q; 16.4 参考文献 343 N j:W6? A 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 |<JBoE]3B 17.1 引言 345 a28`)17z 17.2 操作数 345 %zN~%mJG 18 如何在Function中编写脚本 351 lL,0IfC, 18.1 简介 351 s8;*Wt 18.2 什么是脚本? 351 Oo/@A_JO@ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 Nk<H=kw+ 18.4 基础 352 !1#=j;N` 18.4.1 Classes(类别) 352 zh5ovA% 18.4.2 对象 352 Hq|{Nt%Q 18.4.3 信息(Messages) 352 2LS91 18.4.4 属性 352 C8 y[B1Y 18.4.5 方法 353 2p~G][ 18.4.6 变量声明 353 #Eqx Eo; 18.5 创建对象 354 _sQhD i 18.5.1 创建对象函数 355 U.1&'U* 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 P&Wf.qr{: 18.5.3 丢弃对象 356 @%8$k[ 18.5.4 总结 356 |$[.X3i 18.6 脚本中的表格 357 >+@EU) 18.6.1 方法1 357 l - ~PX 18.6.2 方法2 357 >gDKkeLD 18.7 2D Plots in Scripts 358 l4y>uZ>a 18.8 3D Plots in Scripts 359 5k;}I|rg % 18.9 注释 360 Jm 1n|f 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 >vDi,qmZ 18.11 一个更高级的脚本 362 QG5c>Q 18.12 <esc>键 364 7! ~)a 18.13 包含文件 365 1cV0TUrz 18.14 脚本被优化调用 366 b@B\2BT 18.15 脚本中的对话框 368 zANsv9R~ 18.15.1 介绍 368 sqO$ka{ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 K<v:RbU|[1 18.15.3 输入框函数 370 %-an\.a. 18.15.4 自定义对话框 371 "5"{~3Gw^ 18.15.5 对话框编辑器 371 5>-~!Mg1 18.15.6 控制对话框 377 dK]#.. 18.15.7 更高级的对话框 380 !Hj
7|5 18.16 Types语句 384 TlC??# 18.17 打开文件 385 )!5"\eys 18.18 Bags 387 <W/YC2b 18.13 进一步研究 388 <-HWs@8# 19 vStack 389 !3\(
d{ 19.1 vStack基本原理 389 EV_u8?va 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 X\5EF7:S 19.3 五棱镜 393 Er|j\(jM 19.4 光束距离 396 >1q:-^ 19.5 误差 399 *rC%nmJwk! 19.6 二向分色棱镜 399 #yOeL3|b' 19.7 偏振泄漏 404 G5UNW<P2C 19.8 波前误差—相位 405 8O0]hz 19.9 其它计算参数 405 nbBox,zW 20 报表生成器 406 =91f26c!~ 20.1 入门 406 |9mGX9q 20.2 指令(Instructions) 406 @1V?94T1 20.3 页面布局指令 406 LG=_>:~t> 20.4 常见的参数图和三维图 407 oP:/% 20.5 表格中的常见参数 408 rGzGbI= 20.6 迭代指令 408 ht*;,[ea 20.7 报表模版 408 @"afEMd 20.8 开始设计一个报表模版 409 :!fU+2$`^( 21 一个新的project 413 &7KX`%K"D 21.1 创建一个新Job 414 pZ 7KWk4 21.2 默认设计 415 `)M&^Z=D 21.3 薄膜设计 416 X`7O%HiX/` 21.4 误差的灵敏度计算 420 AZnFOS 21.5 显色指数计算 422 :V# B]:Z9 21.6 电场分布 424 p%5(Qqmlk 后记 426 oSH]TL2@Cd
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