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2023-06-13 08:46 |
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)
#2%V 内容简介 P=,\wM6T| Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 3>7{Q_5 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 Pd&KAu|<` 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 cKkH*0B5 WZ6{9/%:
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 QObVJg,GD 目录 9FSa=<0wE Preface 1 ,yNuz@^
P 内容简介 2 PZ6R+n8 目录 i O@@nGSc@ 1 引言 1 Xykoq"dbb 2 光学薄膜基础 2 PUO7Z2 2.1 一般规则 2 ;5X~"#%U_ 2.2 正交入射规则 3 meV Z_f/ 2.3 斜入射规则 6 ]QJ5JtD- 2.4 精确计算 7 =dNE1rdzNa 2.5 相干性 8 vd#)+ 2.6 参考文献 10 bi}aVtG~z 3 Essential Macleod的快速预览 10 v=G*K11@ 4 Essential Macleod的特点 32
5TpvJ1G 4.1 容量和局限性 33 g`'!Vgd?M[ 4.2 程序在哪里? 33
{,Vvm*L/ 4.3 数据文件 35 DTA$,1JuD 4.4 设计规则 35 {jYVA~.|Z 4.5 材料数据库和资料库 37 L bJf5xdi 4.5.1材料损失 38 EgPL+qL 4.5.1材料数据库和导入材料 39 jG&HPVr 4.5.2 材料库 41 JL#LCU
? 4.5.3导出材料数据 43 AlDp+"| 4.6 常用单位 43 pJe!~eyHm 4.7 插值和外推法 46 ef7 U7 4.8 材料数据的平滑 50 ~v\
W[ 4.9 更多光学常数模型 54 *FEJ5x 4.10 文档的一般编辑规则 55 _XP}fx7$C 4.11 撤销和重做 56 ?0dmw?i 4.12 设计文档 57 (|AZO! 4.10.1 公式 58 1qAE)8ie 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 o9|
OL 4.10.3 沉积密度 59 kdGq\k, 4.10.4 平行和楔形介质 60 bR~Xog 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 L
/ PAC 4.10.4 性能 61 7=yM40 4.10.5 保存设计和性能 64 j<!dpt 4.10.6 默认设计 64 H~JgZ pw 4.11 图表 64 $2*_7_Qb 4.11.1 合并曲线图 67 :+\sKEzL 4.11.2 自适应绘制 68 QhRz57' 4.11.3 动态绘图 68 {ly <%Q7j 4.11.4 3D绘图 69 I:DAn!N-A* 4.12 导入和导出 73 XgVhb<l_ 4.12.1 剪贴板 73 `'iO+/;GY 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 J?#vL\8 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 M]Vi]s 4.13 背景 77 O{c#&/ .K 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 <f:(nGj 4.15 生成Rugate 84 Zp[>[1@+ 4.16 参考文献 91 {7oPDP 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ua=7YG 5.1 Jobs 92 ul_E{v 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ?m5"|f\ 5.3 输入材料 94 PtQ[({d3R 5.4 设计数据文件夹 95 _\IA[-C+O 5.5 默认设计 95 /,~]1&?}1 6 细化和合成 97 <%wTI<m,- 6.1 优化介绍 97 vCt][WX( 6.2 细化 (Refinement) 98 ex~"M&^ 6.3 合成 (Synthesis) 100 W!" $g 6.4 目标和评价函数 101 ~~&Bp_9QXN 6.4.1 目标输入 102 D0bpD 6.4.2 目标 103 rIB./, 6.4.3 特殊的评价函数 104 *B@#A4f" 6.5 层锁定和连接 104 d,i4WKp 6.6 细化技术 104 Ux^ue9 6.6.1 单纯形 105 @kDY c8 t9 6.6.1.1 单纯形参数 106 .EWj eVq 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 #+Bz$CO 6.6.2.1 Optimac参数 108 dzbbFvG 6.6.3 模拟退火算法 109 c^H#[<6p 6.6.3.1 模拟退火参数 109 7Cz=; 6.6.4 共轭梯度 111 b(U5n"cdA 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 Bkn]80W 6.6.5 拟牛顿法 112 ->{\7|^ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 yRQ1Szbjli 6.6.6 针合成 113 6IK>v*< 6.6.6.1 针合成参数 114 f$}g'r zl 6.6.7 差分进化 114 O+'k4 6.6.8非局部细化 115 PmsZ=FY 6.6.8.1非局部细化参数 115 )xg8#M=K 6.7 我应该使用哪种技术? 116 v#g:]T 6.7.1 细化 116 \cX9!lHl 6.7.2 合成 117 s H'FqV,) 6.8 参考文献 117 &09~ D8f' 7 导纳图及其他工具 118 )iIsnM 7.1 简介 118 oMM@{Jp 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 01
+#2~S 7.2.1 四分之一波长规则 119 >#S}J LZ 7.2.2 导纳图 120 s^)(.e_ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 wS$ 'gKA6 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 $@^\zg1n 7.5 斜入射导纳图 141 AGwdM-$iT 7.6 对称周期 141 AYoTCi%7E 7.7 参考文献 142 aRn""3[ 8 典型的镀膜实例 143 P9`CW 8.1 单层抗反射薄膜 145 `T%nGV l>\ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 iSX:H; 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 fK(:vwh 8.4 W-膜层 148 .;bU["fn) 8.5 V-膜层 149 eUu<q/FUMj 8.6 V-膜层高折射基底 150 WT,dTn;W 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 :*l\j"fX5 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 3h o'\Ysu/ 8.9 四层抗反射薄膜 153 ZX+0{E8a 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 if1)AE- 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 &'i.W}Ib! 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 !q/Q2 N( 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 =(c.8d 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 u
XZ ;K. 8.15十五层宽带抗反射膜 159 kyYU 1gfh 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ]w-W 8.17 1/4波长堆栈 162 \Yv44*I` 8.18 陷波滤波器 163 X`E}2|q' 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 1!+0]_8K 8.20 褶皱 165 6khm@}} 8.21 消偏振分光器1 169 1csbuR? 8.22 消偏振分光器2 171 SBi4i;qD 8.23 消偏振立体分光器 172 [
f<g?w 8.24 消偏振截止滤光片 173 n0':6*oGW 8.25 立体偏振分束器1 174 JAwEu79sh 8.26 立方偏振分束器2 177
6|6O|
<o 8.27 相位延迟器 178 V+|$H
h8 8.28 红外截止器 179 7D8 pb0`;J 8.29 21层长波带通滤波器 180 %f&Bt,xEo 8.30 49层长波带通滤波器 181 m60hTJ?N) 8.31 55层短波带通滤波器 182 h,fahbH- 8.32 47 红外截止器 183
{pRa%DF 8.33 宽带通滤波器 184 r24
s_ 8.34 诱导透射滤波器 186 YAi@EvzCVy 8.35 诱导透射滤波器2 188 %N7G>_+ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 0(uba3z 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 E%f!SD 8.35 增益平坦滤波器 193 #7J3,EV 8.38 啁啾反射镜 1 196 &MONg=s3 8.39 啁啾反射镜2 198 0*uJS`se6Z 8.40 啁啾反射镜3 199 zJ8 jJFL+Y 8.41 带保护层的铝膜层 200 4;IZ}9|G 8.42 增加铝反射率膜 201 q.ppYXJUXi 8.43 参考文献 202 `RqV\ 6G+ 9 多层膜 204 eNFA.*p< 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 q}"HxMJ 9.2 内部透过率 204 2:[G4 9.3 内部透射率数据 205 `;Fs 9.4 实例 206 z5f3T D6, 9.5 实例2 210 )Z:maz 9.6 圆锥和带宽计算 212 `V[ hE
r| 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 X5Y. o& 10 光学薄膜的颜色 216 LXc;`] 10.1 导言 216 ,;=is.h9 10.2 色彩 216 6k1_dRu 10.3 主波长和纯度 220 'HWPuWW 10.4 色相和纯度 221 #
o\&G@e} 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 w/fiNY5FZ 10.6 色差 226 H Mfhe[A? 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 |'L$ogt6 10.8 颜色渲染指数 234 /cD]m 10.9 色差计算 235 3-![%u 10.10 参考文献 236 B@vup {Kg 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 &e4EZ 11.1 短脉冲 238 V#DNcF~v]f 11.2 群速度 239 R
<u\
- 11.3 群速度色散 241 t$uj( y> 11.4 啁啾(chirped) 245 H]0(GLvH 11.5 光学薄膜—相变 245 x Sv@K5"8! 11.6 群延迟和延迟色散 246 ':T"nORC 11.7 色度色散 246 7<F{a"5P 11.8 色散补偿 249 `9G1Bd8k 11.9 空间光线偏移 256 g$Nsu:L 11.10 参考文献 258 73E[O5?b 12 公差与误差 260 -s:NF;" 12.1 蒙特卡罗模型 260 8qq'q"g 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 :\#/T,K" 12.2.1 误差工具 267 =I)Ex) 12.2.2 灵敏度工具 271 (ZK(ODn)i 12.2.2.1 独立灵敏度 271 OFw93UJ Y 12.2.2.2 灵敏度分布 275 p-%m/d? 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 }RkD7 12.3 参考文献 276 kc"SUiy/ 13 Runsheet 与Simulator 277 Ktf lbI! 13.1 原理介绍 277 )G$0:-J- 13.2 截止滤光片设计 277 `S/;S<'; 14 光学常数提取 289 </h}2x 14.1 介绍 289 H|B4.z 14.2 电介质薄膜 289 {(`xA,El 14.3 n 和k 的提取工具 295 ;c>IM] 14.4 基底的参数提取 302 VQ`a-DL 14.5 金属的参数提取 306 =a./HCF 14.6 不正确的模型 306 j1P#({z[ 14.7 参考文献 311 ^Hv4t 15 反演工程 313 CC`Y r 15.1 随机性和系统性 313 !bIhw}^C* 15.2 常见的系统性问题 314 -$kAWP8P4 15.3 单层膜 314 O8w|!$Q. 15.4 多层膜 314 o[K,( 15.5 含义 319 Jg%jmI;Y 15.6 反演工程实例 319 Q>>II|~;J 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 VH$hQPP5d 15.6.2 反演工程提取折射率 327 A{QA0X!p 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 W&0KO-}ot 16.1 光学性质的热致偏移 329 mA']*)L1 16.2 应力工具 335 vBjrI*0 16.3 均匀性误差 339 X/`M'8v.% 16.3.1 圆锥工具 339 xy1R_*.F^T 16.3.2 波前问题 341 r4Jc9Tvd 16.4 参考文献 343 c7(Lk"G8 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 I>z0)pB 17.1 引言 345 *Nh[T-y(s 17.2 操作数 345 SW_jTn#x 18 如何在Function中编写脚本 351 ygfUy 18.1 简介 351 $n@B:kv5p 18.2 什么是脚本? 351 Lkl^
` 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 :B]yreg 18.4 基础 352 K-drN)o 18.4.1 Classes(类别) 352 R3%&\<a)9 18.4.2 对象 352 |4|j5<5 18.4.3 信息(Messages) 352 d;O4)8> 18.4.4 属性 352 YA%0{Tdxz 18.4.5 方法 353 )wueR5P 18.4.6 变量声明 353 T:(c/> 18.5 创建对象 354 _G=k^f_ 18.5.1 创建对象函数 355 _mn2bc9M 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 Z`Sbq{Kx 18.5.3 丢弃对象 356 X[KHI1@w 18.5.4 总结 356 JE.s?k 18.6 脚本中的表格 357
tEHgQto 18.6.1 方法1 357 dw]jF=u 18.6.2 方法2 357 Dk`(Wgk2 18.7 2D Plots in Scripts 358 ct![eWsuB 18.8 3D Plots in Scripts 359 wxSJ 18.9 注释 360 EgT?Hvx: 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ,c9K]>8m` 18.11 一个更高级的脚本 362 \t^h|<` 18.12 <esc>键 364 TdWatvY5p 18.13 包含文件 365 D>efr8Qd@ 18.14 脚本被优化调用 366 X(*MHBd 18.15 脚本中的对话框 368 6#DDMP8;I 18.15.1 介绍 368 hO] vy>i; 18.15.2 消息框-MsgBox 368
d|
OEZx 18.15.3 输入框函数 370 ErXzKf 18.15.4 自定义对话框 371 1'"TO5 18.15.5 对话框编辑器 371 x|lX1Mh$ 18.15.6 控制对话框 377 lLi)? 18.15.7 更高级的对话框 380 KoKd.% 18.16 Types语句 384 Iu|4QE 18.17 打开文件 385 $Cx ?%X^b 18.18 Bags 387 `4kVe= { 18.13 进一步研究 388 @pkQ2OM
2 19 vStack 389 {ZIEIXWb2 19.1 vStack基本原理 389 \qj(`0HG 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ^(on"3sG 19.3 五棱镜 393 g?i0WS 19.4 光束距离 396 !$L~/<&0g 19.5 误差 399 y0_z_S#gO 19.6 二向分色棱镜 399 #4BwYj(Sl 19.7 偏振泄漏 404 !}PZCbDhL 19.8 波前误差—相位 405 mfCp@1;26 19.9 其它计算参数 405 'K*. ?M 20 报表生成器 406 ,A9_xdv5 20.1 入门 406 oo2CF!Xy 20.2 指令(Instructions) 406 ]CxDm 20.3 页面布局指令 406 Dlqvz|X/ 20.4 常见的参数图和三维图 407 S";c7s 20.5 表格中的常见参数 408 7w51UmO 20.6 迭代指令 408 ^LAnR>mz^r 20.7 报表模版 408 ]wm<$+@ 20.8 开始设计一个报表模版 409 !@3"vd{^ 21 一个新的project 413 v1}9i3Or# 21.1 创建一个新Job 414 F0x'^Z}Q; 21.2 默认设计 415 'B yB1NL 21.3 薄膜设计 416 1'4?}0Dok 21.4 误差的灵敏度计算 420 c.4WwzK 21.5 显色指数计算 422 51-@4E2:l: 21.6 电场分布 424 =k^ d5 后记 426 u1;sH{YK>
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