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infotek 2023-06-13 08:46

《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)

+ovT?CM o  
内容简介 j;<s!A#  
Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Z817f]l  
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 k?}y@$[)  
薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 z%;_h-  
mhMTn*9  
讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
v]'\]U^  
目录 @x^/X8c(p  
Preface 1 s$ kvLy<  
内容简介 2 D/ tCB-+  
目录 i sk5B} -  
1  引言 1 b5#Jo2C`AJ  
2  光学薄膜基础 2 G '%ZPh89  
2.1  一般规则 2 ^)o#/"JA  
2.2  正交入射规则 3 <Zo{D |hW  
2.3  斜入射规则 6 Jsa;pG=3&  
2.4  精确计算 7 _n0NE0  
2.5  相干性 8 tmQ,>   
2.6 参考文献 10 -nZDFC8y$  
3  Essential Macleod的快速预览 10 a`D`v5G t  
4  Essential Macleod的特点 32 EeQ2\'t  
4.1  容量和局限性 33 Uuktq)NU  
4.2  程序在哪里? 33 !TN)6e7`  
4.3  数据文件 35 $T_>WUiK  
4.4  设计规则 35 y[/:?O}g4  
4.5  材料数据库和资料库 37 \.?' y71  
4.5.1材料损失 38 Q yhu=_&  
4.5.1材料数据库和导入材料 39 F9>"1  
4.5.2 材料库 41 qN^]`M[ BY  
4.5.3导出材料数据 43 QJ%N80  
4.6  常用单位 43 `NyO|9/4  
4.7  插值和外推法 46 DB0?H+8t  
4.8  材料数据的平滑 50 ~i]4~bkH2  
4.9 更多光学常数模型 54 P\h1%a/D  
4.10  文档的一般编辑规则 55 Q$5%9  
4.11 撤销和重做 56 ] I5&'#%2  
4.12  设计文档 57 SB:z[kfz|  
4.10.1  公式 58 xg4wtfAbS  
4.10.2 更多关于膜层厚度 59 S rhBU6K  
4.10.3  沉积密度 59 {5 3#Xd  
4.10.4 平行和楔形介质 60 @W=: r/  
4.10.5  渐变折射率和散射层 60 B}@CtVWFz  
4.10.4  性能 61 sRQ4pnnrn  
4.10.5  保存设计和性能 64 OX}ZdM!&f  
4.10.6  默认设计 64 Q6p75$SVq  
4.11  图表 64 O4!!*0(+91  
4.11.1  合并曲线图 67 8\+XtS  
4.11.2  自适应绘制 68 lI3d _cU  
4.11.3  动态绘图 68 IH"_6s#$&  
4.11.4  3D绘图 69 `j'gt&  
4.12  导入和导出 73 6ZQ$5PY  
4.12.1  剪贴板 73 ?[.g~DK,  
4.12.2  不通过剪贴板导入 76 of'H]IZ  
4.12.3  不通过剪贴板导出 76 (hIe!"s *  
4.13  背景 77 M8VsU*aU  
4.14  扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ! QKec  
4.15  生成Rugate 84 ")u)AQ  
4.16  参考文献 91 F<O<=Ww  
5  在Essential Macleod中建立一个Job 92 `a8&7 J(  
5.1  Jobs 92 {DX1/49  
5.2  创建一个新Job(工作) 93 ;I>77gi`]  
5.3  输入材料 94 +$R%Vbd  
5.4  设计数据文件夹 95 zomg$@j  
5.5  默认设计 95 %1M!4**W  
6  细化和合成 97 b{,vZhP-  
6.1  优化介绍 97 @9g!5dcT  
6.2  细化 (Refinement) 98 lgC^32y  
6.3  合成 (Synthesis) 100 DCgiTT\  
6.4  目标和评价函数 101 T'7x,8&2|  
6.4.1  目标输入 102 CWkAc5  
6.4.2  目标 103 qX]ej 2  
6.4.3  特殊的评价函数 104 }b>e lz  
6.5  层锁定和连接 104 $KmE9Se6,  
6.6  细化技术 104 !^3j9<|@'  
6.6.1  单纯形 105 |99Z& <8f  
6.6.1.1 单纯形参数 106 (N{  
6.6.2  最佳参数(Optimac) 107 2vW@d[<J  
6.6.2.1 Optimac参数 108 X'5+)dj  
6.6.3  模拟退火算法 109 ,]=Qg n  
6.6.3.1 模拟退火参数 109 TzrU |D?  
6.6.4  共轭梯度 111 &_Z8:5e  
6.6.4.1 共轭梯度参数 111 4OdK@+-8U  
6.6.5  拟牛顿法 112 9|hPl-. .W  
6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 e(k$k>?  
6.6.6  针合成 113 7P D D  
6.6.6.1 针合成参数 114 gC/-7/}  
6.6.7 差分进化 114 @"`{Sh`Y$  
6.6.8非局部细化 115 gR{.0e  
6.6.8.1非局部细化参数 115 Mp^U)S+  
6.7  我应该使用哪种技术? 116 9'!I6;M  
6.7.1  细化 116 l5_%Q+E_  
6.7.2  合成 117 V__n9L /t  
6.8  参考文献 117 _ 3>|1RB  
7  导纳图及其他工具 118 y{\(|j  
7.1  简介 118 >V3pYRA   
7.2  薄膜作为导纳的变换 118 I[I]C9D  
7.2.1  四分之一波长规则 119 k N$L8U8f  
7.2.2  导纳图 120 l7GLN1#m  
7.3  用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 JOx""R8T5  
7.4  全介质抗反射薄膜中的应用 125 B9h>  
7.5  斜入射导纳图 141 ,6a }l;lv  
7.6  对称周期 141 q\87<=9J  
7.7  参考文献 142 HltURTbI  
8  典型的镀膜实例 143 LL=nMoS  
8.1  单层抗反射薄膜 145 ACxjY2  
8.2  1/4-1/4抗反射薄膜 146 R P6R1iN3  
8.3  1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 cx(b5Z  
8.4  W-膜层 148 :#p!&Fi  
8.5  V-膜层 149 pmi`Er  
8.6  V-膜层高折射基底 150 Yim`3>#t  
8.7  V-膜层高折射率基底b 151 K\>CXa  
8.8  高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 h3:dO|Z  
8.9  四层抗反射薄膜 153 :n<<hR0d  
8.10  Reichert抗反射薄膜 154 8fs::}0  
8.11  可见光和1.06 抗反射薄膜 155 GGchNt  
8.12  六层宽带抗反射薄膜 156 s&*s9F  
8.13  宽波段八层抗反射薄膜 157 u<{uUui}$v  
8.14  宽波段25层抗反射薄膜 158 g3uI1]QXLg  
8.15十五层宽带抗反射膜 159 cX/ ["AM  
8.16  四层2-1 抗反射薄膜 161 ^aO\WKkA  
8.17  1/4波长堆栈 162 WD5ulm?91|  
8.18  陷波滤波器 163 : S |)  
8.19 厚度调制陷波滤波器 164 >|So`C3:e  
8.20  褶皱 165 {pNf& '  
8.21  消偏振分光器1 169 K|LS VN?K  
8.22  消偏振分光器2 171 rhe;j//`  
8.23  消偏振立体分光器 172 gT6@0ANq  
8.24  消偏振截止滤光片 173 s"\o6r ,  
8.25  立体偏振分束器1 174 VR9C< tMSi  
8.26  立方偏振分束器2 177 UZ+FV;<  
8.27  相位延迟器 178 gRdg3qvU  
8.28  红外截止器 179 onj:+zl  
8.29  21层长波带通滤波器 180 ~8G<Nw4*\  
8.30  49层长波带通滤波器 181 8TnByKZz  
8.31  55层短波带通滤波器 182 tJ9i{TS  
8.32  47 红外截止器 183 vMOit,{  
8.33  宽带通滤波器 184 SggS8$a`  
8.34  诱导透射滤波器 186 URD<KIN>  
8.35  诱导透射滤波器2 188 {?9s~{Dl  
8.36  简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 pJE317 p'  
8.37  高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 =1"8ua  
8.35  增益平坦滤波器 193 Y-WY Q{  
8.38  啁啾反射镜 1 196 %%w]-`^h,  
8.39  啁啾反射镜2 198 )d6Ya1vJH  
8.40  啁啾反射镜3 199 nP>*0Fq  
8.41  带保护层的铝膜层 200 cEd!t6Z  
8.42  增加铝反射率膜 201 m ,U`hPJ  
8.43  参考文献 202 ( U |[C*  
9  多层膜 204 =/rIXReY  
9.1  多层膜基本原理—堆栈 204 <j.bG 7  
9.2  内部透过率 204 3J{`]v5`  
9.3 内部透射率数据 205 XK>/i}y  
9.4  实例 206 Oj*3'?<7=  
9.5  实例2 210 &@xixbg  
9.6  圆锥和带宽计算 212 0VB~4NNR  
9.7  在Design中加入堆栈进行计算 214 ^.J F?2T/  
10  光学薄膜的颜色 216 "3v[\M3  
10.1  导言 216 [S/]Vk|4  
10.2  色彩 216 /0mbG!Ac  
10.3  主波长和纯度 220 e/m ,PE  
10.4  色相和纯度 221  mq?5|`  
10.5  薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 yjVPaEu]aU  
10.6 色差 226 8uX1('+T*  
10.7  Essential Macleod中的色彩计算 227 \gL H_$}  
10.8  颜色渲染指数 234 %jY /jp=R  
10.9  色差计算 235 gHC -Y 0_  
10.10  参考文献 236 HhaUC?JtSK  
11  镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 $3sS&i<  
11.1  短脉冲 238 u5 EHzoq  
11.2  群速度 239 ?s("@dz_  
11.3  群速度色散 241 z1ltc{~Z  
11.4  啁啾(chirped) 245 pCNihZ~  
11.5  光学薄膜—相变 245 u><gmp&  
11.6  群延迟和延迟色散 246 0=;jGh}|i  
11.7  色度色散 246 I#kK! m1Q  
11.8  色散补偿 249 yk9|H)-z  
11.9  空间光线偏移 256 92GO.xAD?  
11.10  参考文献 258 >yn%.Uoh@  
12  公差与误差 260 4XDR?KUM  
12.1  蒙特卡罗模型 260 +'?p $@d  
12.2  Essential Macleod 中的误差分析工具 267  XGEAcN  
12.2.1  误差工具 267 ;PJWd|3  
12.2.2  灵敏度工具 271 `av8|;  
12.2.2.1 独立灵敏度 271 DEaO= p|  
12.2.2.2 灵敏度分布 275 ZN|DR|c UY  
12.2.3  Simulator—更高级的模型 276 n< [np;\  
12.3  参考文献 276 m u(HNj  
13  Runsheet 与Simulator 277 ky#d`   
13.1  原理介绍 277 lC +p2OG^[  
13.2  截止滤光片设计 277 <w}k9(Ds  
14  光学常数提取 289 /b20!3  
14.1  介绍 289 UcDJ%vI  
14.2  电介质薄膜 289 I;L $Nf{v  
14.3  n 和k 的提取工具 295 5,'?NEyw  
14.4  基底的参数提取 302 bv>;%TF  
14.5  金属的参数提取 306 0i9y-32-  
14.6  不正确的模型 306 N7*JL2Rnq  
14.7  参考文献 311 ~!'%m(g  
15  反演工程 313 }.7!@!q.  
15.1  随机性和系统性 313 ;"&^ckP  
15.2  常见的系统性问题 314 V{fYMgv  
15.3  单层膜 314 Y2j>lf?8  
15.4  多层膜 314 %lV&QQa  
15.5  含义 319 _h7+.U=  
15.6  反演工程实例 319 N<:5 r  
15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 {SW104nb&#  
15.6.2 反演工程提取折射率 327 Nm#VA.~  
16  应力、张力、温度和均匀性工具 329 __$IbF5  
16.1  光学性质的热致偏移 329 t-lWvxXe  
16.2  应力工具 335 z?h\7 R  
16.3  均匀性误差 339 O1coay  
16.3.1  圆锥工具 339 q~r )B}  
16.3.2  波前问题 341 )ye[R^!}  
16.4  参考文献 343 Fg?Gx(g4  
17  如何在Function(模块)中编写操作数 345  o )cd!,h  
17.1  引言 345 +}>whyX1  
17.2  操作数 345 (80]xLEBL  
18  如何在Function中编写脚本 351 hyL3fkMJ,  
18.1  简介 351 /9|1eSUa  
18.2  什么是脚本? 351 'rRo2oTN  
18.3  Function中脚本和操作数对比 351 W{Ie(hf  
18.4  基础 352 (zBa2Vmmv  
18.4.1  Classes(类别) 352 8[ 1D4d  
18.4.2  对象 352 NyJU?^f&v  
18.4.3  信息(Messages) 352 RP7e)?5$s  
18.4.4  属性 352 @h X  
18.4.5  方法 353 |h*H;@$  
18.4.6  变量声明 353 2;5EH 0  
18.5  创建对象 354 U#+S9jWe  
18.5.1  创建对象函数 355 8N!E`{W  
18.5.2  使用ThisSession和其它对象 355 ]}8<h5h)  
18.5.3 丢弃对象 356 jio1 #&  
18.5.4  总结 356 &m`1lxT  
18.6  脚本中的表格 357 <m`HK.|~  
18.6.1  方法1 357 A(W%G|+  
18.6.2  方法2 357  e1S |&W8  
18.7 2D Plots in Scripts 358 3otia ;&B  
18.8 3D Plots in Scripts 359 $/5Jc[Ow  
18.9  注释 360 AASw^A3p  
18.10  脚本管理器调用Scripts 360 ,!|/|4vh  
18.11  一个更高级的脚本 362 g[44YrRD  
18.12  <esc>键 364 oU$Niw9f  
18.13 包含文件 365 @ I LG3"  
18.14  脚本被优化调用 366 }q G{1Er  
18.15  脚本中的对话框 368 G7pj.rQ  
18.15.1  介绍 368 5 r"`c  
18.15.2  消息框-MsgBox 368 %(Nu"3|$K=  
18.15.3  输入框函数 370 B+iVK(j'[v  
18.15.4  自定义对话框 371 yW^[{)V 3%  
18.15.5  对话框编辑器 371 vO%n~l=  
18.15.6  控制对话框 377 i RS )Z )  
18.15.7  更高级的对话框 380 j=r`[B m  
18.16 Types语句 384 @~U: |h  
18.17 打开文件 385 CVo@zr$  
18.18 Bags 387 _jR%o1Y}  
18.13  进一步研究 388 {%9)l,  
19  vStack 389 \^iJv ~d  
19.1  vStack基本原理 389 BP,"vq$'+  
19.2  一个简单的系统——直角棱镜 391 Ps+0qqT*  
19.3  五棱镜 393 ,_r"=>?@  
19.4 光束距离 396 rBkLwJ]  
19.5 误差 399 x:88E78  
19.6  二向分色棱镜 399 ~_QZiuq&  
19.7  偏振泄漏 404 (\, <RC\  
19.8  波前误差—相位 405 7$<.I#x  
19.9  其它计算参数 405 #gMMh B=  
20  报表生成器 406 wxkCmrV  
20.1  入门 406 Z%y>q|:  
20.2  指令(Instructions) 406 mFjX  
20.3  页面布局指令 406 v98=#k!F  
20.4  常见的参数图和三维图 407 U,LW(wueT  
20.5  表格中的常见参数 408 l{>fma]7  
20.6  迭代指令 408 1Zx|SBF  
20.7  报表模版 408 BDNn~aU#m  
20.8  开始设计一个报表模版 409 z~L''X7g  
21  一个新的project 413 Ah;2\0|t  
21.1  创建一个新Job 414 h +.8Rl  
21.2  默认设计 415 )y\^5>p[  
21.3  薄膜设计 416 `ky< *  
21.4  误差的灵敏度计算 420 &dh%sFy  
21.5  显色指数计算 422 =dHM)OXD"  
21.6  电场分布 424 "fdgBso  
后记 426
pzbR.L}'D  
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