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2023-06-13 08:46 |
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)
]YfG`0eK< 内容简介 O '`|(L Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 .*xO/pn 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 qs= i+ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 tFX<"cAvK {7MY*&P$,
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ~l.C- 目录 ( ]0F3@k#s Preface 1 iTs"RW 内容简介 2 xj&~>&U){; 目录 i i,%N# 1 引言 1 9C{Xpu 2 光学薄膜基础 2 I9rQX9#B
2.1 一般规则 2 g>eWX*Pa| 2.2 正交入射规则 3 $}5M`p\&C 2.3 斜入射规则 6 *~cNUyd 2.4 精确计算 7 Ov4 [gHy& 2.5 相干性 8 |2=w":2# 2.6 参考文献 10 qu]a+cYY 3 Essential Macleod的快速预览 10 e=IbEm{| 4 Essential Macleod的特点 32
fCnwDT 4.1 容量和局限性 33 [D(JEO@ : 4.2 程序在哪里? 33 2n2,MB 4.3 数据文件 35 ZCb@!V}= 4.4 设计规则 35 zQt)>Qx_ 4.5 材料数据库和资料库 37 7}~nQl2 4.5.1材料损失 38 gkq~0/ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ,?Vxcr 4.5.2 材料库 41 UEm4):/} 4.5.3导出材料数据 43 Z![#Uz.z 4.6 常用单位 43 ]W%rhppC 4.7 插值和外推法 46 +W8#] u| 4.8 材料数据的平滑 50 D+oV( Pw, 4.9 更多光学常数模型 54 e8egxm 4.10 文档的一般编辑规则 55 TaKHr$h 4.11 撤销和重做 56 uH7rt 4.12 设计文档 57 : 0Y.${h 4.10.1 公式 58 MrOtsX 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 l^o>7 cM 4.10.3 沉积密度 59 W?.xtQEv 4.10.4 平行和楔形介质 60 mUR[;;l 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 8{{^pW?x
4.10.4 性能 61 */TO$ ^s 4.10.5 保存设计和性能 64 b}u#MU 4.10.6 默认设计 64 rXip"uz(K> 4.11 图表 64 m9jjKu]| 4.11.1 合并曲线图 67 t=p"nIE 4.11.2 自适应绘制 68 `ZP[-: ` 4.11.3 动态绘图 68 XuZgyt"=r 4.11.4 3D绘图 69 0TICv2l! 4.12 导入和导出 73 9c1q:>| 4.12.1 剪贴板 73 (5[#?_~ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 >SYOtzg% 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 I<xcVY9L 4.13 背景 77 !VrBoU4<d 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 Qt^6w}& 4.15 生成Rugate 84 9jl\H6JY| 4.16 参考文献 91 o$*DFvk 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 !4t%\N6Ib 5.1 Jobs 92 @:!% Z` 5.2 创建一个新Job(工作) 93 Ml+f3#HP 5.3 输入材料 94 G`;mSq6i 5.4 设计数据文件夹 95 &qa16bz 5.5 默认设计 95 f)Z'#[A*t7 6 细化和合成 97 v{\~>1J{ 6.1 优化介绍 97 $Df1t 6.2 细化 (Refinement) 98 JKCV>k 6.3 合成 (Synthesis) 100 MzlE 6.4 目标和评价函数 101 fKua om9 6.4.1 目标输入 102 (ueH@A"9; 6.4.2 目标 103 L9whgXD 6.4.3 特殊的评价函数 104 +yHzp 6.5 层锁定和连接 104 CyB1`&G> 6.6 细化技术 104 Rob:W| 6.6.1 单纯形 105 kaDn=
={YM 6.6.1.1 单纯形参数 106
Ox'KC 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 bs?4|#[K 6.6.2.1 Optimac参数 108 `0{qfms 6.6.3 模拟退火算法 109 {>brue*) 6.6.3.1 模拟退火参数 109 W`n_m&Y\ 6.6.4 共轭梯度 111 J=n^&y 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 T16B2|C"Y 6.6.5 拟牛顿法 112 xrJ0 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 -r0oO~KT 6.6.6 针合成 113 #KtV 4)( 6.6.6.1 针合成参数 114 ;{n*F=%uC 6.6.7 差分进化 114 a<V
Mh79* 6.6.8非局部细化 115 >v%UV:7ap 6.6.8.1非局部细化参数 115 EVbDI yFn 6.7 我应该使用哪种技术? 116 o%Qn%gaX 6.7.1 细化 116 kaCn@$ 6.7.2 合成 117 RZj06|r8 6.8 参考文献 117 b|` 7 导纳图及其他工具 118 `R$bx 64 7.1 简介 118 wp-3U}P2( 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 6(HJYa 7.2.1 四分之一波长规则 119 e9B$"_ &2 7.2.2 导纳图 120 :/NP8$~@j 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 eA/}$.R 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 c;R.rV< 7.5 斜入射导纳图 141 ZJ_P= 7.6 对称周期 141 T9'5V@ 7.7 参考文献 142 1+Y;
"tT 8 典型的镀膜实例 143 @jD19= 8.1 单层抗反射薄膜 145 q{)Q ?E 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 lt}U,p,S 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ,k/<Nv; 8.4 W-膜层 148 ?Ye%k 8.5 V-膜层 149 NMP*q
@ 8.6 V-膜层高折射基底 150 *P[N.5{ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 /3~}= b 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 KhbbGdmfS$ 8.9 四层抗反射薄膜 153
2f -Or/v 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 v8A{q 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 #Cz:l|\ i 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 2{#=Ygb0 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 E`uK7 2j 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 );x[1*e 8.15十五层宽带抗反射膜 159 DRi/< 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 mDU-;3OqF 8.17 1/4波长堆栈 162 \V.U8asfI 8.18 陷波滤波器 163
H*>5ne=x 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 lnnt b3q 8.20 褶皱 165 OB~74}3; 8.21 消偏振分光器1 169 ^KFwO=I@PV 8.22 消偏振分光器2 171 7kidPAhY 8.23 消偏振立体分光器 172 pJwy~ L 8.24 消偏振截止滤光片 173 woK?td|/ 8.25 立体偏振分束器1 174 {eo?vA8SE 8.26 立方偏振分束器2 177 {{_,YO^w 8.27 相位延迟器 178 J7rfHhz 8.28 红外截止器 179 YcBAW4B` 8.29 21层长波带通滤波器 180 OKzk\F6 8.30 49层长波带通滤波器 181 tA{<)T 8.31 55层短波带通滤波器 182 &rxR"^x\ 8.32 47 红外截止器 183 BLhuYuON 8.33 宽带通滤波器 184 pG:)u
cj 8.34 诱导透射滤波器 186 rW3fd.;kss 8.35 诱导透射滤波器2 188 sQe>LNp,G 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 tt>=Vt' 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 'GcZxF0 8.35 增益平坦滤波器 193 /-ky'S9 8.38 啁啾反射镜 1 196 bwh.ekf8 8.39 啁啾反射镜2 198 tMy@'nj 8.40 啁啾反射镜3 199 b%,`;hy{ 8.41 带保护层的铝膜层 200 V]9?9-r 8.42 增加铝反射率膜 201 jVu3 !{} 8.43 参考文献 202 U9B|u`72 9 多层膜 204 lq!l{[Xp 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 !xK`:[B 9.2 内部透过率 204 =
8%+$vX 9.3 内部透射率数据 205 VN8ao0^d;d 9.4 实例 206 1{V* (=Tp 9.5 实例2 210 "$BWP 9.6 圆锥和带宽计算 212 ]={{$}8. 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 <kmn3w,vi 10 光学薄膜的颜色 216 `4 A%BKYB 10.1 导言 216 D?Q{&6p 10.2 色彩 216 g< {jgF 10.3 主波长和纯度 220 f/qG:yTV` 10.4 色相和纯度 221 X;0DQnAI8j 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 AHhck?M^ 10.6 色差 226 ,9p
4(jjX 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 )y:~T\g 10.8 颜色渲染指数 234
Ol24A^ 10.9 色差计算 235 Pw'3ya8 10.10 参考文献 236 9YpD\H` 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 K_B-KK(^ 11.1 短脉冲 238 ;HJ|)PN5L 11.2 群速度 239 70:a2m 11.3 群速度色散 241 ~8Z0{^ 11.4 啁啾(chirped) 245 DO$jX
4 11.5 光学薄膜—相变 245 i9oi}$;J 11.6 群延迟和延迟色散 246 $R7n1 11.7 色度色散 246 |,Y(YSg. 11.8 色散补偿 249 >T4.mB7+> 11.9 空间光线偏移 256 F%x8y 11.10 参考文献 258 W9T,1h5x 12 公差与误差 260 ,\f!e#d 12.1 蒙特卡罗模型 260 ".eD&oX{ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 CC>]Gc7 12.2.1 误差工具 267 0Q=4{*:? 12.2.2 灵敏度工具 271 tm(.a?p 12.2.2.1 独立灵敏度 271 5~ CHj 12.2.2.2 灵敏度分布 275 hd.^ZD7 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 /PAxPZf_ 12.3 参考文献 276 E3y" 13 Runsheet 与Simulator 277 1+PLj[;jJ: 13.1 原理介绍 277 ~&=-* 13.2 截止滤光片设计 277 ao<@a{G 14 光学常数提取 289 {b[8x
14.1 介绍 289 z{cI G8z 14.2 电介质薄膜 289 2![.Kbqa% 14.3 n 和k 的提取工具 295 pIk&NI 14.4 基底的参数提取 302 EaG3:<>J 14.5 金属的参数提取 306
Q d]5e 14.6 不正确的模型 306 yw2^kk93| 14.7 参考文献 311 ](4V3w. 15 反演工程 313 [L8Bgw1 15.1 随机性和系统性 313 .OVIQxf 15.2 常见的系统性问题 314 ? r=cLC 15.3 单层膜 314 MVK=' 15.4 多层膜 314 @!&\Z[", 15.5 含义 319 =9GL;z:R+ 15.6 反演工程实例 319 gd-4hR 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 0n|op:]BHM 15.6.2 反演工程提取折射率 327 >Qz#;HI 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 W`K XO|'p@ 16.1 光学性质的热致偏移 329 ?h"+q8& 16.2 应力工具 335 i2/:'
i 16.3 均匀性误差 339 z@^[. 16.3.1 圆锥工具 339 gYfN?A*`_ 16.3.2 波前问题 341 7-.YVM~R 16.4 参考文献 343 Ey=(B'A~ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 Z!60n{T79c 17.1 引言 345 ;(fD R8 17.2 操作数 345 W)ihk\E 18 如何在Function中编写脚本 351 LX'.up11X5 18.1 简介 351 e3UGYwQ 18.2 什么是脚本? 351 >xws 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 Lnbbv
* 18.4 基础 352 LCx{7bN1ro 18.4.1 Classes(类别) 352 W#E`h 18.4.2 对象 352 jt?4raNW 18.4.3 信息(Messages) 352 {v+,U} 18.4.4 属性 352 `@q[&^ 18.4.5 方法 353 Ikql 18.4.6 变量声明 353 S:4'k^E 18.5 创建对象 354 0]?} kY 18.5.1 创建对象函数 355 KSnU;B6w> 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 x7)j?2 18.5.3 丢弃对象 356 x1</%y5ev 18.5.4 总结 356 1Y4=D
18.6 脚本中的表格 357 W~(@*H 18.6.1 方法1 357 r:lv[/D 18.6.2 方法2 357 l{ja2brX 18.7 2D Plots in Scripts 358 9W88_rE'e} 18.8 3D Plots in Scripts 359 $mOVo'2 18.9 注释 360 iq2)oC_ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 9o5W\.A7[D 18.11 一个更高级的脚本 362 P1KXvc}JGe 18.12 <esc>键 364 ? 3
{&" 18.13 包含文件 365 s\i:;`l:=5 18.14 脚本被优化调用 366 i3#To}g5V 18.15 脚本中的对话框 368 d5h]yIz^ 18.15.1 介绍 368 uvR9BL2= 18.15.2 消息框-MsgBox 368 )rcFBD{vM 18.15.3 输入框函数 370 q-kMqnQ 18.15.4 自定义对话框 371 gv)F`uRWA 18.15.5 对话框编辑器 371 </!
`m8 \ 18.15.6 控制对话框 377 6Y?%G>$6 18.15.7 更高级的对话框 380 l3kYfq{";" 18.16 Types语句 384 :j_OO5b! 18.17 打开文件 385 -5;Kyio 18.18 Bags 387 /Iht,@%E 18.13 进一步研究 388 ZI.;7G@| 19 vStack 389 .>?h 19.1 vStack基本原理 389 b-4gHW 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 0kC}qru' 19.3 五棱镜 393 5@l[!Jl0k 19.4 光束距离 396 :'1UX <&B 19.5 误差 399 |m{Q_zAB 19.6 二向分色棱镜 399 ?^y%UIzf 19.7 偏振泄漏 404 74f3a|vx/ 19.8 波前误差—相位 405 lS1-e0,h1 19.9 其它计算参数 405 VGFWF3s 20 报表生成器 406 +LBDn"5 20.1 入门 406 :eIPPh|\ 20.2 指令(Instructions) 406 'lmZ{a6 20.3 页面布局指令 406 x~1.;dBF 20.4 常见的参数图和三维图 407 *;^!FBT 20.5 表格中的常见参数 408 },1**_#<Br 20.6 迭代指令 408 MtE18m"z 20.7 报表模版 408 ]MI>"hn 20.8 开始设计一个报表模版 409 WKVoqp} 21 一个新的project 413 jvfVB'Tmr 21.1 创建一个新Job 414 &qR1fbw" 21.2 默认设计 415 b _Q:v& 21.3 薄膜设计 416 yWS#{|o( 21.4 误差的灵敏度计算 420 H<tk/\C 21.5 显色指数计算 422 bOIVe 21.6 电场分布 424 `v2]Jk< 后记 426 >R|*FYam
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