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《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)
D>ojW|@} 内容简介 (eki X*y Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 >/8ru*Oc 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 v;Swo(" 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 \ibCR~W4 >kt~vJI
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 Y:rJK|m 目录 hTDV!B-_( Preface 1 ?_8%h`z 内容简介 2 P$6W`^DZ 目录 i N4A&"1d& 1 引言 1 V;H
d)v(j 2 光学薄膜基础 2 *&(2`#C; 2.1 一般规则 2 Q^[e/U, 2.2 正交入射规则 3 L7s>su|c( 2.3 斜入射规则 6 KlY,NSlQ 2.4 精确计算 7 2]2{&b u 2.5 相干性 8 LjSLg[ i 2.6 参考文献 10 qo)Q}0 3 Essential Macleod的快速预览 10 (QhGxuC 4 Essential Macleod的特点 32 V+peO 4.1 容量和局限性 33 z~BD(FDI 4.2 程序在哪里? 33 |
A3U@>6 4.3 数据文件 35 ? 7/W> 4.4 设计规则 35 t8t}7XD
4.5 材料数据库和资料库 37 A<mj8qz 4.5.1材料损失 38 txj wZ_p 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ;R/k2^uF 4.5.2 材料库 41 +.S#= 4.5.3导出材料数据 43 :a#F 4.6 常用单位 43 *~"zV`*Q 4.7 插值和外推法 46 c!tvG*{ 4.8 材料数据的平滑 50 \m(ymp<c` 4.9 更多光学常数模型 54 rny@n^F 4.10 文档的一般编辑规则 55 @YEw^J~ 4.11 撤销和重做 56 f-vZ2+HP 4.12 设计文档 57 8$2l^ 4.10.1 公式 58 $dlnmNP+ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 5dg-d\6S 4.10.3 沉积密度 59 /!^L69um 4.10.4 平行和楔形介质 60 )w
Z49>Y 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 M4zX*&w.T 4.10.4 性能 61 N8,EI^W8Z 4.10.5 保存设计和性能 64 nu;}S!J 4.10.6 默认设计 64 ->#y(} 4.11 图表 64 ;%BhhmR)[ 4.11.1 合并曲线图 67 bc
`UA 4.11.2 自适应绘制 68 K?5B>dv@A 4.11.3 动态绘图 68 >r;ABz/ 4.11.4 3D绘图 69 mY$nI -P 4.12 导入和导出 73 }%-UL{3% 4.12.1 剪贴板 73 @PT`CK} 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 f%bc64N( 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 fKPiRlLS 4.13 背景 77 ZmEG<T05 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 x?%rx}h 4.15 生成Rugate 84 \?bwm&6+r 4.16 参考文献 91 R2Twm!1 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 g,00'z_D 5.1 Jobs 92 }s`jl``PM 5.2 创建一个新Job(工作) 93 Ul'~opf 5.3 输入材料 94 S1D9AcK 5.4 设计数据文件夹 95 di-O*ug 5.5 默认设计 95 4(` 2# 6 细化和合成 97 w^ixMn~nLF 6.1 优化介绍 97 ArNur~ 6.2 细化 (Refinement) 98 iifc;6 2 6.3 合成 (Synthesis) 100 :'5G_4y)h 6.4 目标和评价函数 101 ?D RFsA 6.4.1 目标输入 102 F3kC"H 6.4.2 目标 103 *4(/t$)pEl 6.4.3 特殊的评价函数 104 ^/_\etV 6.5 层锁定和连接 104 r!{w93rPX 6.6 细化技术 104 9F2w.(m 6.6.1 单纯形 105 PWf{aHsr 6.6.1.1 单纯形参数 106 NWo7wVwc/c 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 L
LYHr 6.6.2.1 Optimac参数 108 B6tcKh9d, 6.6.3 模拟退火算法 109 r[.zLXgK 6.6.3.1 模拟退火参数 109 zznPD%#Sc 6.6.4 共轭梯度 111 5?V? 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 Nb^zkg 6.6.5 拟牛顿法 112 F|]o9&/<] 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 r*X}3t* 6.6.6 针合成 113
o9U0kI=W 6.6.6.1 针合成参数 114 naec"Kut 6.6.7 差分进化 114 &[?u1qQ%o 6.6.8非局部细化 115 L Q I: ]d 6.6.8.1非局部细化参数 115 1R5\GKF6o 6.7 我应该使用哪种技术? 116 hRuo,FS#: 6.7.1 细化 116 s=^r/Sz902 6.7.2 合成 117 ,Az`6PW 6.8 参考文献 117 :GwSs'$O 7 导纳图及其他工具 118 uPv;y!Lsa@ 7.1 简介 118 5XSxQG@k^z 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 W2r6jm! 7.2.1 四分之一波长规则 119 GL;x:2XA 7.2.2 导纳图 120 /%J&/2Wz 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 <F#*:Re_y 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 LyJTK1]# 7.5 斜入射导纳图 141 2fj0 I 7.6 对称周期 141 #a7Amh\nT 7.7 参考文献 142 Z ]7;u>2 8 典型的镀膜实例 143 lRF_ k 8.1 单层抗反射薄膜 145 -!C
Y,'3 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 w-0O j 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 #lBpln9 8.4 W-膜层 148 H0D>A<Ue 8.5 V-膜层 149 W%cj39$ 8.6 V-膜层高折射基底 150 5C Y@R 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 X%4uShM 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 c:?#zX 8.9 四层抗反射薄膜 153 IS0HV$OI 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 @n~>j&Kp 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 wZ]BY; 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 Oi
kU$~| 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 Q
!RVD*( 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Ww'TCWk@ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 V 9QvQA
r 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 I9:G9 8.17 1/4波长堆栈 162 )MD*)O 8.18 陷波滤波器 163 ctc`^#q 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 we:5gK& 8.20 褶皱 165 `L"p)5H 8.21 消偏振分光器1 169 m]-v IUpb 8.22 消偏振分光器2 171 X5L(_0?F1 8.23 消偏振立体分光器 172 7/^TwNsv 8.24 消偏振截止滤光片 173 0XQ".:+h 8.25 立体偏振分束器1 174 r3c\;Ra7 8.26 立方偏振分束器2 177 sO{0hZkc 8.27 相位延迟器 178 v'
9( et 8.28 红外截止器 179 }GoOE=rhY 8.29 21层长波带通滤波器 180 VeN&rjc 8.30 49层长波带通滤波器 181 ."!8B9s 8.31 55层短波带通滤波器 182 ]df9'\ 8.32 47 红外截止器 183 G>q{~HE1 8.33 宽带通滤波器 184 282+1X 8.34 诱导透射滤波器 186 +]S;U&vQ 8.35 诱导透射滤波器2 188 ArmL, 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 (AM,4)lW, 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 m m J)m 8.35 增益平坦滤波器 193 SVg@xu+ 8.38 啁啾反射镜 1 196 Top#u
8.39 啁啾反射镜2 198 < o'7{ 8.40 啁啾反射镜3 199 bn*{*=(| 8.41 带保护层的铝膜层 200 ](9{}DHV 8.42 增加铝反射率膜 201 f1]AfH# 8.43 参考文献 202 XY+aunLf
9 多层膜 204 N}l]Ilm$34 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 xPfnyAo?%z 9.2 内部透过率 204 +3o)L?:g 9.3 内部透射率数据 205 St3(1mApl 9.4 实例 206 *(\;}JF- 9.5 实例2 210 j0pvLZjM 9.6 圆锥和带宽计算 212 >+;
b> 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 c> U{,z 10 光学薄膜的颜色 216 ek{PA!9Sk 10.1 导言 216 >Rki[SNb-b 10.2 色彩 216 MR)KLM0 10.3 主波长和纯度 220 $vw}p. 10.4 色相和纯度 221 ,I2reG 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 3U9+l0mBa 10.6 色差 226 kXZV%mnT7 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 P7>C4rmQ 10.8 颜色渲染指数 234 L"[wa.< 10.9 色差计算 235 WW\)B-}T 10.10 参考文献 236 2p3u6\y 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 #`vGg9 11.1 短脉冲 238 +{Jf]"KD 11.2 群速度 239 oVEr {K) 11.3 群速度色散 241 h[`Op#^x3 11.4 啁啾(chirped) 245 .f92^lu9 11.5 光学薄膜—相变 245 R 6yvpH 11.6 群延迟和延迟色散 246 eZ.0,A*1B1 11.7 色度色散 246 2`FsG/o\T~ 11.8 色散补偿 249 VU+ s7L0 11.9 空间光线偏移 256 |L_g/e1 A3 11.10 参考文献 258 K_lL\ 12 公差与误差 260 {u_k\m[Y 12.1 蒙特卡罗模型 260 .{]c&Ef+f 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 7Yw\%}UL 12.2.1 误差工具 267 9}qfdbI 12.2.2 灵敏度工具 271 A6x_! 12.2.2.1 独立灵敏度 271 R:IS4AaS 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ,?~UpsUx 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 !
^*;c# 12.3 参考文献 276 Fx88R! 13 Runsheet 与Simulator 277 SiuO99'nV 13.1 原理介绍 277 }Mb'tGW 13.2 截止滤光片设计 277 iB`WXU 14 光学常数提取 289 w6In{uO-Z 14.1 介绍 289 KlqJEtO_ 14.2 电介质薄膜 289 zS"zb 14.3 n 和k 的提取工具 295 :V-}Sde 14.4 基底的参数提取 302 p|9ECdU>; 14.5 金属的参数提取 306 =|5bhwU] 14.6 不正确的模型 306 FiU;>t<) 14.7 参考文献 311 ^Lv^W 15 反演工程 313 4FHX#` 15.1 随机性和系统性 313
s8_NN 15.2 常见的系统性问题 314 )Q 15.3 单层膜 314 >
%cWTC 15.4 多层膜 314 WWs[]zr 15.5 含义 319 eGypXf% 15.6 反演工程实例 319 X3=Jp'p$h 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 Jgv>$u 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ~S=fMv^BR 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 m6Cd^'J9^ 16.1 光学性质的热致偏移 329 ,a_{ Y+ 16.2 应力工具 335 10I`AjF0 16.3 均匀性误差 339 ?eVuz x 16.3.1 圆锥工具 339 ;YXr G 16.3.2 波前问题 341 J'^$|/Q 16.4 参考文献 343 }!7DF 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 sd@gEp)L 17.1 引言 345 q>.t~ 17.2 操作数 345 rB&j"p}Q 18 如何在Function中编写脚本 351 H[!Q 18.1 简介 351 K8 4cE 18.2 什么是脚本? 351 :2Rci`lp 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ?O>JtEz~lQ 18.4 基础 352 f`]E]5? 18.4.1 Classes(类别) 352 yY-t4WeXP 18.4.2 对象 352 E4aCGg 18.4.3 信息(Messages) 352 k+GK1Yl 18.4.4 属性 352 d!z).G 18.4.5 方法 353 j nA_!;b 18.4.6 变量声明 353 (Rg!km%2T 18.5 创建对象 354 {2*l :' 18.5.1 创建对象函数 355 T&MS_E&; 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 I4X+'fW, 18.5.3 丢弃对象 356 U1!2nJ] 18.5.4 总结 356 Ihq@|s8 18.6 脚本中的表格 357 j72]_G 18.6.1 方法1 357 !#gE'(J;c 18.6.2 方法2 357 FITaL@{c 18.7 2D Plots in Scripts 358 o-<_X&"a|5 18.8 3D Plots in Scripts 359 Bsk2&17z 18.9 注释 360 ;Owu:} 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 x|i3e&D 18.11 一个更高级的脚本 362 xI\s9_"Qy 18.12 <esc>键 364 YM*6W? 18.13 包含文件 365 D!$ =oK 18.14 脚本被优化调用 366 {1U*:@j 18.15 脚本中的对话框 368 _@;3$eB 18.15.1 介绍 368 Xg3[v3m| 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ^Ro
du 18.15.3 输入框函数 370 m+^;\DFJ, 18.15.4 自定义对话框 371 k^\&.63( 18.15.5 对话框编辑器 371 /IW=+ri 18.15.6 控制对话框 377 >N1]h'q> 18.15.7 更高级的对话框 380 ` +UMZc 18.16 Types语句 384 E0A|+P
'? 18.17 打开文件 385 lR2;g:&H 18.18 Bags 387 TdIFZ[<7 18.13 进一步研究 388 5Zm_^IS 19 vStack 389 4_0/]:~5 19.1 vStack基本原理 389 n)!_HNc9 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ;fME4Sp 19.3 五棱镜 393 s1$#G!' 19.4 光束距离 396 qFChZ+3> 19.5 误差 399 'wnY>hN 19.6 二向分色棱镜 399 ^o\p|f>f 19.7 偏振泄漏 404 v!hs~DnUZ 19.8 波前误差—相位 405 ]3u'Qv}o 19.9 其它计算参数 405 CF92AY 20 报表生成器 406 et}Y4,: 20.1 入门 406 2.2a2.I1 20.2 指令(Instructions) 406 Ngc+< 20.3 页面布局指令 406 =/!S 20.4 常见的参数图和三维图 407 {^MAdC_ 20.5 表格中的常见参数 408 |&']ms5J 20.6 迭代指令 408 ?,DbV|3_\ 20.7 报表模版 408 RAQ;O 20.8 开始设计一个报表模版 409 KY&,(z 21 一个新的project 413 Rj;e82%%N 21.1 创建一个新Job 414 IX?%H!i 21.2 默认设计 415 QF "&~ 21.3 薄膜设计 416 #$C]0]| 21.4 误差的灵敏度计算 420 :!!`!*!JH 21.5 显色指数计算 422 j6(IF5MqP 21.6 电场分布 424 H{zuIN/.1 后记 426 rh&Eu qE%
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