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2023-06-13 08:46 |
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)
+ovT?CMo 内容简介 j;<s!A#
Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Z817f]l 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 k?}y@$[) 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 z%;_h- mhMTn*9
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 v]'\]U^ 目录 @x^/X8c(p Preface 1 s$kvLy< 内容简介 2 D/ tCB-+ 目录 i sk5B} - 1 引言 1 b5#Jo2C`AJ 2 光学薄膜基础 2 G '%ZPh89 2.1 一般规则 2 ^)o#/"JA 2.2 正交入射规则 3 <Zo{D |hW 2.3 斜入射规则 6 Jsa;pG=3& 2.4 精确计算 7 _n0NE0 2.5 相干性 8 tmQ,> 2.6 参考文献 10 -nZDFC8y$ 3 Essential Macleod的快速预览 10 a`D`v5G t 4 Essential Macleod的特点 32 EeQ2\'t 4.1 容量和局限性 33 Uuktq)NU 4.2 程序在哪里? 33 !TN)6e7`
4.3 数据文件 35 $T_>WUiK 4.4 设计规则 35 y[/:?O}g4 4.5 材料数据库和资料库 37 \.?'y71 4.5.1材料损失 38 Q yhu=_& 4.5.1材料数据库和导入材料 39 F9>"1 4.5.2 材料库 41 qN^]`M[ BY 4.5.3导出材料数据 43 QJ%N80 4.6 常用单位 43 `NyO|9/4 4.7 插值和外推法 46 DB0?H+8t 4.8 材料数据的平滑 50 ~i]4~bkH2 4.9 更多光学常数模型 54 P\h1%a/D 4.10 文档的一般编辑规则 55 Q$5%9 4.11 撤销和重做 56 ] I5&'#%2
4.12 设计文档 57 SB:z[kfz| 4.10.1 公式 58 xg4wtfAbS 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 S
rhBU6K 4.10.3 沉积密度 59 {5 3#Xd 4.10.4 平行和楔形介质 60 @W=:r/ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 B}@CtVWFz 4.10.4 性能 61 sRQ4pnnrn 4.10.5 保存设计和性能 64 OX}ZdM!&f 4.10.6 默认设计 64 Q6p75$SVq 4.11 图表 64 O4!!*0(+91 4.11.1 合并曲线图 67 8\+XtS 4.11.2 自适应绘制 68 lI3d
_cU 4.11.3 动态绘图 68 IH"_6s#$& 4.11.4 3D绘图 69 `j'gt& 4.12 导入和导出 73 6ZQ$5PY 4.12.1 剪贴板 73 ?[.g~DK, 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 of'H]IZ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 (hIe!"s* 4.13 背景 77 M8VsU*aU 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 !
QKec 4.15 生成Rugate 84 ")u)AQ 4.16 参考文献 91 F<O<=Ww 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 `a8 &7J( 5.1 Jobs 92 {DX1/49 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ;I>77gi`] 5.3 输入材料 94 +$R%Vbd 5.4 设计数据文件夹 95 zomg$@j 5.5 默认设计 95 %1M!4**W 6 细化和合成 97 b{,vZhP- 6.1 优化介绍 97 @9g!5dcT 6.2 细化 (Refinement) 98 lgC^32y 6.3 合成 (Synthesis) 100 DCgiTT\ 6.4 目标和评价函数 101 T'7x,8&2| 6.4.1 目标输入 102 CWkAc5 6.4.2 目标 103 q X]ej2 6.4.3 特殊的评价函数 104 }b>e
lz 6.5 层锁定和连接 104 $KmE9Se6, 6.6 细化技术 104 !^3j9<|@' 6.6.1 单纯形 105 |99Z&
<8f 6.6.1.1 单纯形参数 106 (N{ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 2vW@d[<J 6.6.2.1 Optimac参数 108 X'5+)dj 6.6.3 模拟退火算法 109 ,]=Qgn 6.6.3.1 模拟退火参数 109 TzrU |D? 6.6.4 共轭梯度 111
&_Z8:5e 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 4OdK@+-8U 6.6.5 拟牛顿法 112 9|hPl-.
.W 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 e(k$k>? 6.6.6 针合成 113 7P DD 6.6.6.1 针合成参数 114 gC/-7/} 6.6.7 差分进化 114 @"`{Sh`Y$ 6.6.8非局部细化 115 gR{.0e 6.6.8.1非局部细化参数 115 Mp^U)S+ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 9'!I6;M 6.7.1 细化 116 l5_%Q+E_ 6.7.2 合成 117 V__n9L/t 6.8 参考文献 117 _ 3>|1RB 7 导纳图及其他工具 118 y{\(|j 7.1 简介 118 >V3pYRA 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 I[ I]C9D 7.2.1 四分之一波长规则 119 kN$L8U8f 7.2.2 导纳图 120 l7GLN1#m 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 JOx""R8T5 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 B9h> 7.5 斜入射导纳图 141 ,6a }l;lv 7.6 对称周期 141 q\87<=9J 7.7 参考文献 142 HltURTbI 8 典型的镀膜实例 143 LL=nMoS 8.1 单层抗反射薄膜 145 ACxjY2 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 R P6R1iN3 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 cx(b5Z 8.4 W-膜层 148 :#p!&Fi 8.5 V-膜层 149 pmi`Er 8.6 V-膜层高折射基底 150 Yim` 3>#t 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 K\>CXa 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 h3:dO|Z 8.9 四层抗反射薄膜 153 :n<<hR0d 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 8fs::}0 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 GGchNt 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 s&*s9F 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 u<{uUui}$v 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 g3uI1]QXLg 8.15十五层宽带抗反射膜 159 cX/["AM 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ^aO\WKkA 8.17 1/4波长堆栈 162 WD5ulm?91| 8.18 陷波滤波器 163 :S
|) 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 >|So`C3:e 8.20 褶皱 165 {pNf&' 8.21 消偏振分光器1 169 K|LS VN?K 8.22 消偏振分光器2 171 rhe;j/ /` 8.23 消偏振立体分光器 172 gT6@0ANq 8.24 消偏振截止滤光片 173 s"\o6r
, 8.25 立体偏振分束器1 174 VR9C< tMSi 8.26 立方偏振分束器2 177 UZ+FV;< 8.27 相位延迟器 178 gRdg3qvU 8.28 红外截止器 179 onj:+zl 8.29 21层长波带通滤波器 180 ~8G<Nw4*\ 8.30 49层长波带通滤波器 181 8TnByKZz 8.31 55层短波带通滤波器 182 tJ9i{TS 8.32 47 红外截止器 183 vMOit,{ 8.33 宽带通滤波器 184 SggS8$a` 8.34 诱导透射滤波器 186 URD<KIN> 8.35 诱导透射滤波器2 188 {?9s~{Dl 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 pJE317 p' 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 =1"8ua 8.35 增益平坦滤波器 193 Y-WYQ{ 8.38 啁啾反射镜 1 196 %%w]-`^h, 8.39 啁啾反射镜2 198 )d6Ya1vJH 8.40 啁啾反射镜3 199 nP >*0Fq 8.41 带保护层的铝膜层 200 cEd!t6Z 8.42 增加铝反射率膜 201 m,U`hPJ 8.43 参考文献 202 (U |[C* 9 多层膜 204 =/rIXReY 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 <j.bG 7 9.2 内部透过率 204 3J{`]v5` 9.3 内部透射率数据 205 XK>/i}y 9.4 实例 206 Oj*3'?<7= 9.5 实例2 210 &@xixbg 9.6 圆锥和带宽计算 212 0VB~4NNR 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ^.J
F?2T/ 10 光学薄膜的颜色 216 "3v[\M3 10.1 导言 216 [S/]Vk|4 10.2 色彩 216 /0mbG!Ac 10.3 主波长和纯度 220 e/m,PE 10.4 色相和纯度 221 mq?5|` 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 yjVPaEu]aU 10.6 色差 226 8uX1('+T* 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 \gL
H_$} 10.8 颜色渲染指数 234 %jY/jp=R 10.9 色差计算 235 gHC -Y 0_ 10.10 参考文献 236 HhaUC?JtSK 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 $3sS&i< 11.1 短脉冲 238 u5EHzoq 11.2 群速度 239 ?s("@dz_ 11.3 群速度色散 241 z1ltc{~Z 11.4 啁啾(chirped) 245 pCNihZ~ 11.5 光学薄膜—相变 245 u><gmp& 11.6 群延迟和延迟色散 246 0=;jGh}|i 11.7 色度色散 246 I#kK! m1Q 11.8 色散补偿 249 yk9|H)-z 11.9 空间光线偏移 256 92GO.xAD? 11.10 参考文献 258 >yn%.Uoh@ 12 公差与误差 260 4XDR?KUM 12.1 蒙特卡罗模型 260 +'?p $@d 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 XGEAcN 12.2.1 误差工具 267 ;PJWd|3 12.2.2 灵敏度工具 271 `av8|; 12.2.2.1 独立灵敏度 271 DEaO=p| 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ZN|DR|cUY 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 n< [np;\ 12.3 参考文献 276 m u(HNj 13 Runsheet 与Simulator 277 ky#d` 13.1 原理介绍 277 lC+p2OG^[ 13.2 截止滤光片设计 277 <w}k9(Ds 14 光学常数提取 289 /b20!3 14.1 介绍 289 UcDJ%vI 14.2 电介质薄膜 289 I;L$Nf{v 14.3 n 和k 的提取工具 295 5,'?NEyw 14.4 基底的参数提取 302 bv>;%TF 14.5 金属的参数提取 306 0i9y-32- 14.6 不正确的模型 306 N7*JL2Rnq 14.7 参考文献 311 ~!'%m(g 15 反演工程 313 }.7!@!q. 15.1 随机性和系统性 313 ;"&^ckP 15.2 常见的系统性问题 314 V{fYMgv 15.3 单层膜 314 Y2j>lf?8 15.4 多层膜 314 %lV&QQa 15.5 含义 319 _h7+.U= 15.6 反演工程实例 319 N<:5 r 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 {SW104nb 15.6.2 反演工程提取折射率 327 Nm#VA.~ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 __$IbF5 16.1 光学性质的热致偏移 329 t-lWvxXe 16.2 应力工具 335 z?h\7
R 16.3 均匀性误差 339 O1coay 16.3.1 圆锥工具 339 q~r)B} 16.3.2 波前问题 341 )ye[R^!} 16.4 参考文献 343 Fg?Gx(g4 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 o)cd!,h 17.1 引言 345 +}>whyX1 17.2 操作数 345 (80]xLEBL 18 如何在Function中编写脚本 351 hyL3fkMJ, 18.1 简介 351 /9|1eSUa 18.2 什么是脚本? 351 'rRo2oTN 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 W{Ie(hf 18.4 基础 352 (zBa2Vmmv 18.4.1 Classes(类别) 352 8[ 1D4d 18.4.2 对象 352 NyJU?^f&v 18.4.3 信息(Messages) 352 RP7e)?5$s 18.4.4 属性 352 @h
X 18.4.5 方法 353 |h*H;@$ 18.4.6 变量声明 353 2;5EH0 18.5 创建对象 354 U#+S9jWe 18.5.1 创建对象函数 355 8N!E`{W 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ]}8<h5h) 18.5.3 丢弃对象 356 jio1#& 18.5.4 总结 356 &m`1lxT 18.6 脚本中的表格 357 <m`HK.|~ 18.6.1 方法1 357 A(W%G|+ 18.6.2 方法2 357 e1S |&W8 18.7 2D Plots in Scripts 358 3otia;&B
18.8 3D Plots in Scripts 359 $/5Jc[Ow 18.9 注释 360 AASw^A3p 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ,!|/|4vh 18.11 一个更高级的脚本 362 g[44YrRD 18.12 <esc>键 364 oU$Niw9f 18.13 包含文件 365 @ ILG3" 18.14 脚本被优化调用 366 }qG{1Er 18.15 脚本中的对话框 368 G7pj.rQ 18.15.1 介绍 368 5 r"`c 18.15.2 消息框-MsgBox 368 %(Nu"3|$K= 18.15.3 输入框函数 370 B+iVK(j'[v 18.15.4 自定义对话框 371 yW^[{)V 3% 18.15.5 对话框编辑器 371 vO%n~l= 18.15.6 控制对话框 377 iRS )Z) 18.15.7 更高级的对话框 380 j =r`[Bm 18.16 Types语句 384
@~U: |h 18.17 打开文件 385 CVo@zr$ 18.18 Bags 387 _jR%o1Y} 18.13 进一步研究 388 {%9)l, 19 vStack 389 \^iJv~d 19.1 vStack基本原理 389 BP,"vq $'+ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 Ps+0qqT* 19.3 五棱镜 393 ,_r"=>?@ 19.4 光束距离 396 rBkLwJ] 19.5 误差 399 x:88E78 19.6 二向分色棱镜 399 ~_QZiuq& 19.7 偏振泄漏 404 (\, <RC\ 19.8 波前误差—相位 405 7$<.I#x 19.9 其它计算参数 405 #gMMhB= 20 报表生成器 406 wxkCmrV 20.1 入门 406 Z%y>q|: 20.2 指令(Instructions) 406 mFjX 20.3 页面布局指令 406 v98=#k!F 20.4 常见的参数图和三维图 407 U,LW(wueT 20.5 表格中的常见参数 408 l{>fma]7 20.6 迭代指令 408 1Zx|SBF 20.7 报表模版 408 BDNn~aU#m 20.8 开始设计一个报表模版 409 z~L''X7g 21 一个新的project 413 Ah;2\0|t 21.1 创建一个新Job 414 h
+.8Rl 21.2 默认设计 415 )y\^5>p[ 21.3 薄膜设计 416 `ky<
* 21.4 误差的灵敏度计算 420 &dh%sFy 21.5 显色指数计算 422 =dHM)OXD" 21.6 电场分布 424 "fdgBso 后记 426 pzbR.L}'D
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