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《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)
o+4/L)h 内容简介 .0:BgM Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 GvF8S MO[x 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 Kyt.[" p 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 yM}}mypS <Bn^+u \
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 *p`0dvXG2 目录 5|my}.TR Preface 1 Kfa7}f_ 内容简介 2 g{.>nE^Sc5 目录 i !
@{rkp 1 引言 1 u_;*Ay 2 光学薄膜基础 2 Sf);j0G,D 2.1 一般规则 2 m2E$[g 2.2 正交入射规则 3 <H<5E'm 2.3 斜入射规则 6 %6+J]U 2.4 精确计算 7 4EQ7OGU 2.5 相干性 8 W$B&asO 2.6 参考文献 10 K{.s{;# 3 Essential Macleod的快速预览 10 r(y1^S9!8 4 Essential Macleod的特点 32 G~1#kg 4.1 容量和局限性 33 X,:pT\G 4.2 程序在哪里? 33 rlT[tOVAY 4.3 数据文件 35 vA2@Db} 4.4 设计规则 35 :y==O4 4.5 材料数据库和资料库 37 xphw0Es 4.5.1材料损失 38 dB+x,+%u+ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 %_0,z`f 4.5.2 材料库 41 jb~a z 4.5.3导出材料数据 43 #H{<nVvg^ 4.6 常用单位 43 (JH LWAH 4.7 插值和外推法 46
F' s($n 4.8 材料数据的平滑 50 ]wh8m1 4.9 更多光学常数模型 54 d"<Q}Ay 4.10 文档的一般编辑规则 55 U_v{Vs 4.11 撤销和重做 56 @=,2{JF*6 4.12 设计文档 57 jCDZ$W89 4.10.1 公式 58 [t*m$0[: 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ;>QED 4.10.3 沉积密度 59 W{O:j 4.10.4 平行和楔形介质 60 b#bdz1@s 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 rUEoz |e4a 4.10.4 性能 61 34-QgE 4.10.5 保存设计和性能 64 TC[_Ip& 4.10.6 默认设计 64 ,B%M P<Rz1 4.11 图表 64 cN0|! nm* 4.11.1 合并曲线图 67 ZKzXSI4 4.11.2 自适应绘制 68 j!q5 Bc? 4.11.3 动态绘图 68 h>-JXuN 4.11.4 3D绘图 69 zvf:*Na") 4.12 导入和导出 73 3t22KY[` 4.12.1 剪贴板 73 Q}FDu, 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 Zq=t&$* 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 LI_>fuv"8 4.13 背景 77 MzT#1~ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ,cPNZ-% 4.15 生成Rugate 84 JYL/p9K[I 4.16 参考文献 91 Ni*f1[sI< 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 2ME"=!&5 5.1 Jobs 92 )k01K,%#) 5.2 创建一个新Job(工作) 93 |!{Q4< 5.3 输入材料 94 }c1Vu 5.4 设计数据文件夹 95 WLW'. 5.5 默认设计 95 kKVd4B[#* 6 细化和合成 97 =Xh^@OR 6.1 优化介绍 97 biG=4?Xl 6.2 细化 (Refinement) 98 wNL!T6"G 6.3 合成 (Synthesis) 100 ljVtFm< 6.4 目标和评价函数 101 }1]/dCv 6.4.1 目标输入 102 !|_b}/ 6.4.2 目标 103 vK6YU9W~J 6.4.3 特殊的评价函数 104 >C y 6.5 层锁定和连接 104 4@OnMj{M 6.6 细化技术 104 |7]7~ 6l 6.6.1 单纯形 105
RR!(,j^M 6.6.1.1 单纯形参数 106 y
,isK 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 J_YbeZ] 6.6.2.1 Optimac参数 108 }[}u5T`w> 6.6.3 模拟退火算法 109 0#4_vg . 6.6.3.1 模拟退火参数 109 GdG1e%y]z 6.6.4 共轭梯度 111 *F* c 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 (rO_Vfaa 6.6.5 拟牛顿法 112 1}#v<b$ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 !R;P"%PHV 6.6.6 针合成 113 E]w1!Ah M 6.6.6.1 针合成参数 114 GY<ErS)2 6.6.7 差分进化 114 <J-bDcp 6.6.8非局部细化 115 i$;GEM}tv 6.6.8.1非局部细化参数 115 _6" vPN 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ~R/w~Kc!/A 6.7.1 细化 116 3Yf%M66t 6.7.2 合成 117 sv\'XarM 6.8 参考文献 117 21D4O,yCe 7 导纳图及其他工具 118 H
.)}| 7.1 简介 118 ~E-YXl9 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 a(Ka2;M4J 7.2.1 四分之一波长规则 119 '<~rV 7.2.2 导纳图 120 UgDai?b1 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 &[,g`S0 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 @Tb
T 7.5 斜入射导纳图 141 9\i;zpN\ 7.6 对称周期 141 Q1EY!AV8 7.7 参考文献 142 -
{<`Z 8 典型的镀膜实例 143 Onb*nm 8.1 单层抗反射薄膜 145 u\=gps/Z 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 _d6mf4M]5 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 loN!&YceW 8.4 W-膜层 148 mN+~fuh 8.5 V-膜层 149 9+@"DuYc6 8.6 V-膜层高折射基底 150 c_clpMx= 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 QwXM<qG* 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 xb\(>7M6Y 8.9 四层抗反射薄膜 153 ANtp7ad 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 Yf.H$L 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 Sxf|gDC 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 rg+28tlDn 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 @+~=h{jv< 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 3U<\y6/ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 8+Al+6d|! 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 HVz-i{M 8.17 1/4波长堆栈 162 %Y%+K5;AZ 8.18 陷波滤波器 163 nP?=uGqCBq 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 g`)3m,\ 8.20 褶皱 165 k$:QpTg[ 8.21 消偏振分光器1 169 UT[nzbG 8.22 消偏振分光器2 171 @z"Zj 3ti 8.23 消偏振立体分光器 172 !+& NG&1 8.24 消偏振截止滤光片 173 :}x\&]uC#k 8.25 立体偏振分束器1 174 lMAmico 8.26 立方偏振分束器2 177 ka{9{/dz3 8.27 相位延迟器 178 }<7Dyn, 8.28 红外截止器 179 ac>}$Uw) 8.29 21层长波带通滤波器 180 RtH[OZu(8 8.30 49层长波带通滤波器 181 dvxD{UH 8.31 55层短波带通滤波器 182 AbUU#C7 8.32 47 红外截止器 183 I=D{(%+^d 8.33 宽带通滤波器 184 wOE_2k 8.34 诱导透射滤波器 186 /k<*!H]KSg 8.35 诱导透射滤波器2 188 5FqUFzVqsl 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 RI w6i?/I 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 <y'B
!d# 8.35 增益平坦滤波器 193 toPA@V 8.38 啁啾反射镜 1 196 +EG.p 8.39 啁啾反射镜2 198 Y?%MPaN: 8.40 啁啾反射镜3 199 u~<>jAy 8.41 带保护层的铝膜层 200 %_u*5,w 8.42 增加铝反射率膜 201 S1uW`zQ!+_ 8.43 参考文献 202 E#Ynn6 9 多层膜 204 0K>rc1dy 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ar+mj=m 9.2 内部透过率 204 #W
1`vke3 9.3 内部透射率数据 205 R*.XbkW~ 9.4 实例 206 oV?tp4& 9.5 实例2 210 J x-^WB 9.6 圆锥和带宽计算 212 COv#dOw 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 +f\tqucI3 10 光学薄膜的颜色 216 pTUsdao^, 10.1 导言 216 9Q=g]int u 10.2 色彩 216 ]w%7/N0R 10.3 主波长和纯度 220 NrVQK}%K 10.4 色相和纯度 221 (~-q}_G;Q 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 \ ^EjE 10.6 色差 226
&N0W! 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 t(lTXG 10.8 颜色渲染指数 234 598xV|TON 10.9 色差计算 235 #:T5_9p 10.10 参考文献 236 l*_b)&CH 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 T1PWFw\GH 11.1 短脉冲 238 ,!kyrk6 11.2 群速度 239 !f)'+_d 11.3 群速度色散 241 HT
A-L>Cee 11.4 啁啾(chirped) 245 @l"GfDfL9 11.5 光学薄膜—相变 245 {ZbeF#*" 11.6 群延迟和延迟色散 246 x0.&fCh% 11.7 色度色散 246 mfG|K@ODM- 11.8 色散补偿 249 |:!#kA 11.9 空间光线偏移 256 \#tr4g~u 11.10 参考文献 258 ] 5P{* 12 公差与误差 260 |Y(].G, 12.1 蒙特卡罗模型 260 1>a^Q 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 F
xFK 12.2.1 误差工具 267 ~SM2W% 12.2.2 灵敏度工具 271 kKE2~ q 12.2.2.1 独立灵敏度 271 Q
C~~ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 RfN5X}&A 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 1Od:I}@ 12.3 参考文献 276 _?kf9 . 13 Runsheet 与Simulator 277 ddnWr"_ 13.1 原理介绍 277 HxZ4t 13.2 截止滤光片设计 277 >ID 3oi 14 光学常数提取 289 l[ @\!;| 14.1 介绍 289 DLS-WL 14.2 电介质薄膜 289 8H;TPa 14.3 n 和k 的提取工具 295 Syp|s3u; 14.4 基底的参数提取 302 ]Wd{4(b 14.5 金属的参数提取 306 <@*mFq0 , 14.6 不正确的模型 306 2d.I3z:[ 14.7 参考文献 311 (Egykh> 15 反演工程 313 ::TUSz2/2 15.1 随机性和系统性 313 4i~;Ql 15.2 常见的系统性问题 314 s\7|b:y& 15.3 单层膜 314 0QC*Z ( 15.4 多层膜 314 .)cOu> 15.5 含义 319 aOYd"S}u 15.6 反演工程实例 319 _LK>3Sqd 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 2"__jp:( 15.6.2 反演工程提取折射率 327
r.K4<ly-N 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 n1sH`C[c 16.1 光学性质的热致偏移 329 X]1ep 16.2 应力工具 335 "A/kL@ -C 16.3 均匀性误差 339 T7W+K7kbI 16.3.1 圆锥工具 339 ?erDP8 16.3.2 波前问题 341 Ab_aB+g ] 16.4 参考文献 343 ~MhPzu&B 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 3ZZJYf= 17.1 引言 345 3\(s=-vh 17.2 操作数 345 [MiD%FfcNH 18 如何在Function中编写脚本 351 '
>\* 18.1 简介 351 ,E>VYkoA 18.2 什么是脚本? 351 l^Lg"m2 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 1H[lf
B 18.4 基础 352 J25>t^ 18.4.1 Classes(类别) 352 Nc"h8p? 18.4.2 对象 352 W_DO8nX 18.4.3 信息(Messages) 352 U;jk+i 18.4.4 属性 352 } KMdfA 18.4.5 方法 353 a,j!B
hu 18.4.6 变量声明 353 G3U+BC23E 18.5 创建对象 354 G*"N}M1) 18.5.1 创建对象函数 355 -%t0'cKn, 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 iww h,( 18.5.3 丢弃对象 356 +Nza@B d 18.5.4 总结 356 hD$U8~zK 18.6 脚本中的表格 357 T8Khm O 18.6.1 方法1 357 g|+G(~=e| 18.6.2 方法2 357 k~vmHb 18.7 2D Plots in Scripts 358 L>L4%? 18.8 3D Plots in Scripts 359 d3{Zhn@ 18.9 注释 360 Y]Fq)- 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 &
9?vQq|% 18.11 一个更高级的脚本 362 d&ZwVF! 18.12 <esc>键 364 qC6Q5F 18.13 包含文件 365 ;^*^
:L 18.14 脚本被优化调用 366 /=3g-$o{` 18.15 脚本中的对话框 368 Fza)dJ7 18.15.1 介绍 368 9
/zz@ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 NeK:[Q@je 18.15.3 输入框函数 370 9m'[52{o 18.15.4 自定义对话框 371 w{r->Phe 18.15.5 对话框编辑器 371 @O3w4Zs 18.15.6 控制对话框 377 pDKJLa 18.15.7 更高级的对话框 380 BF_k~ 18.16 Types语句 384 /f6]XP\'`+ 18.17 打开文件 385 We4 FR4` 18.18 Bags 387 q%y_<Fw#E 18.13 进一步研究 388 TY#1Z )% 19 vStack 389 1a)_Lko 19.1 vStack基本原理 389 z44uhR h 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 txgGL' 19.3 五棱镜 393 qB=pp!zQ 19.4 光束距离 396 g9
yCd(2<5 19.5 误差 399 ^y3\e 19.6 二向分色棱镜 399 -s)2b
; 19.7 偏振泄漏 404 T4#knSIlh 19.8 波前误差—相位 405 Bdg*XfXXk 19.9 其它计算参数 405 a-}%R 20 报表生成器 406 >3kR~:; 20.1 入门 406 2+P3Sii 20.2 指令(Instructions) 406 vV'^HD^v 20.3 页面布局指令 406 yk5P/H) 20.4 常见的参数图和三维图 407 9D|
FqU | 20.5 表格中的常见参数 408 R5i8cjKZ?w 20.6 迭代指令 408 ,yqzk. 20.7 报表模版 408 zbi 20.8 开始设计一个报表模版 409 z84W{!
P 21 一个新的project 413 "TV.$s$. 21.1 创建一个新Job 414 ^GAdl} 21.2 默认设计 415 SB'YV#-- 21.3 薄膜设计 416 "''<:K| 21.4 误差的灵敏度计算 420 s7
KKH
w 21.5 显色指数计算 422 zo5.}mr+ 21.6 电场分布 424 mQvKreo~ 后记 426 B~aOs>1
S]
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