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《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)
X~bX5b[P 内容简介 k&M;,e3v6 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Q^P}\wb> 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 xWH.^o," 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 zF`0J 7(1|xYCx$
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 MVpGWTH@F 目录 ~Py`P'+ Preface 1 `{@8Vsmy: 内容简介 2 B&M%I:i 目录 i f#>,1,S 1 引言 1 u= *FI 2 光学薄膜基础 2 o+iiSTJEe 2.1 一般规则 2 (Bb5?fw 2.2 正交入射规则 3 G`D`Af/B 2.3 斜入射规则 6 Uk wP 2.4 精确计算 7 0(}t8lc 2.5 相干性 8 ZL&qp04} 2.6 参考文献 10 @}u*|P* 3 Essential Macleod的快速预览 10 C\3rJy(VJ 4 Essential Macleod的特点 32 #b}Z`u?@ 4.1 容量和局限性 33 sjHE/qmq-Z 4.2 程序在哪里? 33 h]&GLb&<? 4.3 数据文件 35 Vi$~-6n& 4.4 设计规则 35 ?T8}K>a 4.5 材料数据库和资料库 37 m,_Z6=I: 4.5.1材料损失 38 `,*3[ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 wc@X.Q[ 4.5.2 材料库 41 |-67\p] 4.5.3导出材料数据 43 z]y.W`i 4.6 常用单位 43 )gUR@V>e2 4.7 插值和外推法 46 vkV0On 4.8 材料数据的平滑 50 KhR8 1\ 4.9 更多光学常数模型 54 OX0%C.K)hZ 4.10 文档的一般编辑规则 55 epe)a 4.11 撤销和重做 56 9wUkh}s 4.12 设计文档 57 [#vH'y 4.10.1 公式 58 X=&ET)8-Y 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 x.6:<y 4.10.3 沉积密度 59 qOtgve`jX 4.10.4 平行和楔形介质 60 ORw,)l 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 zrgk]n;Pq 4.10.4 性能 61 xwq
(N_ 4.10.5 保存设计和性能 64 z'n:@E 4.10.6 默认设计 64 #&aqKVY 4.11 图表 64
Do7Tj 4.11.1 合并曲线图 67 -<!NXm|kvz 4.11.2 自适应绘制 68 lvz7#f L~ 4.11.3 动态绘图 68 \'D0'\:vz 4.11.4 3D绘图 69 HyZqUbHa 4.12 导入和导出 73 J=I:CD% 4.12.1 剪贴板 73 4F'LBS]=0 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 )9`qG:b' 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 zP8lN(LA 4.13 背景 77 E
A1?)|}n 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 aP+X}r 4.15 生成Rugate 84 "(~^w=d:$ 4.16 参考文献 91 ]MitOkX 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 '8H4shYg 5.1 Jobs 92 k"zv~`i' 5.2 创建一个新Job(工作) 93 &.Qrs:U 5.3 输入材料 94 MaQqs= 5.4 设计数据文件夹 95 k9 I%PH 5.5 默认设计 95 051E6- 6 细化和合成 97 8^+%I/S$ 6.1 优化介绍 97 s8t;.^1} 6.2 细化 (Refinement) 98 ^%{7}g&$u 6.3 合成 (Synthesis) 100 YZ8>OwQz2 6.4 目标和评价函数 101 _|I#{jK 6.4.1 目标输入 102 G}raA% 6.4.2 目标 103 y/7\?qfTk 6.4.3 特殊的评价函数 104 :{l_FY436 6.5 层锁定和连接 104 0pd'93C 6.6 细化技术 104 !F'YDjTot 6.6.1 单纯形 105 `l[c_%Bm 6.6.1.1 单纯形参数 106 mNTzUoZF'@ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 oAeUvmh 6.6.2.1 Optimac参数 108 iz PDd{[ 6.6.3 模拟退火算法 109 u `6:5k 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ZKTz
, 6.6.4 共轭梯度 111 _A9AEi'. 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 QlU8uI[dk 6.6.5 拟牛顿法 112 9qzHS~l 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 \Uq(Zga4) 6.6.6 针合成 113 {cVEmvE8 6.6.6.1 针合成参数 114 Iit;F 6.6.7 差分进化 114 -x`@6 6.6.8非局部细化 115 &d^m 1 6.6.8.1非局部细化参数 115 +VOK%8,p 6.7 我应该使用哪种技术? 116 'zuIBOH`j3 6.7.1 细化 116 h
J)h\ 6.7.2 合成 117 <6 Uf.u` 6.8 参考文献 117 cI OlhX@ 7 导纳图及其他工具 118 I:1C8*/ 7.1 简介 118 .Vvx,>>D 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 =W!/Z%^*8 7.2.1 四分之一波长规则 119 ~dTrf>R8M 7.2.2 导纳图 120 JOeeU8C 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 )=_,O=z$K 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 {q^[a-h> 7.5 斜入射导纳图 141 u>a5GkG. 7.6 对称周期 141 3{sVVq5Y 7.7 参考文献 142 v O_*yh1 8 典型的镀膜实例 143 }y gD3:vN7 8.1 单层抗反射薄膜 145 |[b{)s?x 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ZyFjFHe+ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 R%[ c;i 8.4 W-膜层 148 5M*:}* 8.5 V-膜层 149 f
x+/C8GK 8.6 V-膜层高折射基底 150 3eQ&F~S 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 j3E7zRm] \ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 _u QOHwn 8.9 四层抗反射薄膜 153 "87:?v[[1 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 d5:c^` 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 IF:;`r@% 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 3AN/
H 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ]>Es4 s 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 k~1?VQ+?M 8.15十五层宽带抗反射膜 159 Qh\60f>0 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 gp.^~p]x 8.17 1/4波长堆栈 162 sD#.Oq4&]y 8.18 陷波滤波器 163 1=Z0w +v{ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 Q*~]h;6\{d 8.20 褶皱 165 ln
dx"prW 8.21 消偏振分光器1 169 I9ep`X6Y 8.22 消偏振分光器2 171 |aq"#Ml) 8.23 消偏振立体分光器 172 8FY?!C 8.24 消偏振截止滤光片 173 vUM4S26"NT 8.25 立体偏振分束器1 174 c\AfaK^KF 8.26 立方偏振分束器2 177 yD}B%\45 8.27 相位延迟器 178 #S"nF@ 8.28 红外截止器 179 }-=|^ 8.29 21层长波带通滤波器 180 H9e<v4c 8.30 49层长波带通滤波器 181 9'bwWBf7 8.31 55层短波带通滤波器 182 -nV9:opD 8.32 47 红外截止器 183 9 djk[ttA) 8.33 宽带通滤波器 184 1iF1GkLEq 8.34 诱导透射滤波器 186 bOY |H~ 8.35 诱导透射滤波器2 188 <wD-qT W 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 CzrC%x y 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 aQ@oH# 8.35 增益平坦滤波器 193 kE1TP]| 8.38 啁啾反射镜 1 196 L~N460 8.39 啁啾反射镜2 198 ^^ixa1H< 8.40 啁啾反射镜3 199 R0*|Lo$6 8.41 带保护层的铝膜层 200 x7 ,5 8.42 增加铝反射率膜 201 AFwdJte9e 8.43 参考文献 202 AH~E )S 9 多层膜 204 @`9]F7h5W 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 5\VWC I 9.2 内部透过率 204 ;Q`lNFa 9.3 内部透射率数据 205 \:LW(&[! 9.4 实例 206 8zW2zkv2|# 9.5 实例2 210 X|]AT9W 9.6 圆锥和带宽计算 212 a/xn'"eli 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 \1M4Dl5! 10 光学薄膜的颜色 216 1EX;MW-p<T 10.1 导言 216 Dk5 1z@ 10.2 色彩 216 R[]Mdt< 10.3 主波长和纯度 220 )Hr`MB 10.4 色相和纯度 221 -X6PRE5a2 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 m+z&Q 10.6 色差 226 KLk~Y0$:v 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 lNO;O}8 10.8 颜色渲染指数 234 '8kP.l 10.9 色差计算 235 !C.4<?*| 10.10 参考文献 236 M&M6;Ph 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 j3ls3H& 11.1 短脉冲 238 <
I``&>
11.2 群速度 239 P16~Qj 11.3 群速度色散 241 ,|/f`Pl 11.4 啁啾(chirped) 245 ;8 lfOMf 11.5 光学薄膜—相变 245 <9b&<K: 11.6 群延迟和延迟色散 246 kD"{g#c 11.7 色度色散 246 4s
oJ.j8 11.8 色散补偿 249 J]r^W)O 11.9 空间光线偏移 256 [mueZQyI?0 11.10 参考文献 258 %J-GKpo/S 12 公差与误差 260 <wHP2|<l* 12.1 蒙特卡罗模型 260 dqcL]e 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 WTiD[u 12.2.1 误差工具 267 )=(kBWM 12.2.2 灵敏度工具 271 AbOf6%Env 12.2.2.1 独立灵敏度 271 AQ^u 12.2.2.2 灵敏度分布 275 b\,+f n 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 EKN~H$. 12.3 参考文献 276 B`sAk
% 13 Runsheet 与Simulator 277 PQE=D0 13.1 原理介绍 277 |5 ]X| v 13.2 截止滤光片设计 277 iN.n8MN=I 14 光学常数提取 289 V28M lP 14.1 介绍 289 IAyp 2 14.2 电介质薄膜 289 0tJZ4(0 14.3 n 和k 的提取工具 295 =i3n42M# 14.4 基底的参数提取 302 wdoR%b{M 14.5 金属的参数提取 306 Ws12b$ 14.6 不正确的模型 306 G KeU%x 14.7 参考文献 311 "EJ~QCW*Yh 15 反演工程 313 0IWf!Sk
] 15.1 随机性和系统性 313 [PbOfxxgA 15.2 常见的系统性问题 314 Y|/ 8up 15.3 单层膜 314 ,]/X\t5]D 15.4 多层膜 314 @KUWxFak 15.5 含义 319 d0 /#nz 15.6 反演工程实例 319 -%4,@
x` 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 U`s{Jm 15.6.2 反演工程提取折射率 327 lUMdrt0@z 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 {f p[BF 16.1 光学性质的热致偏移 329 ]}X 16.2 应力工具 335 n._-!
WI 16.3 均匀性误差 339 ijU*|8n{> 16.3.1 圆锥工具 339 lk80#( :Z 16.3.2 波前问题 341 +qdEq_m 16.4 参考文献 343 2 8u_!f[ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ;xn0;V'= 17.1 引言 345 Mrb) 17.2 操作数 345 0Wp|1)ljA 18 如何在Function中编写脚本 351 is@?VklnB 18.1 简介 351 6D_D' ;o 18.2 什么是脚本? 351 oe~b}: 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 IEvdV6{K 18.4 基础 352 g<
.qUBPKX 18.4.1 Classes(类别) 352 eb$#A _m 18.4.2 对象 352 seeBS/% 18.4.3 信息(Messages) 352 R0-j5&^jju 18.4.4 属性 352 7"D.L-H 18.4.5 方法 353 ]5:8Z@ 18.4.6 变量声明 353 %ULr8)R;
18.5 创建对象 354 D^;Uq8NDKq 18.5.1 创建对象函数 355 E8&TO~"a]e 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 Kx JqbLUC 18.5.3 丢弃对象 356 SByW[JE 18.5.4 总结 356 -z(+/ /K:# 18.6 脚本中的表格 357 KKf 18.6.1 方法1 357 ,s;UfF 18.6.2 方法2 357 v/=}B(TDF 18.7 2D Plots in Scripts 358 v|2T%y_
u 18.8 3D Plots in Scripts 359 du^J2m{f 18.9 注释 360 H$4:lH&( 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 7D5]G-}x. 18.11 一个更高级的脚本 362 Y:a]00&)#Y 18.12 <esc>键 364 HyWCMK6b 18.13 包含文件 365 PwLZkr@4^ 18.14 脚本被优化调用 366 Z?QC!bWb 18.15 脚本中的对话框 368 TRq6NB 18.15.1 介绍 368 u.Dz~$T 18.15.2 消息框-MsgBox 368 }`~+]9< 18.15.3 输入框函数 370 ea')$gR 18.15.4 自定义对话框 371 o`*,|Nsq 18.15.5 对话框编辑器 371 Dm<A
^u8 18.15.6 控制对话框 377 W6/yn 18.15.7 更高级的对话框 380 TWFr
4- 18.16 Types语句 384 d-dEQKI?; 18.17 打开文件 385 3'u-' 18.18 Bags 387 <W $mj04@ 18.13 进一步研究 388 G<v&4/\p`M 19 vStack 389 ?<'}r7D 19.1 vStack基本原理 389 B_m8{44zM 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 AkQ~k0i}b 19.3 五棱镜 393 ;MdlwQ$` 19.4 光束距离 396 wDe& 1(T^ 19.5 误差 399 nc|p ) 19.6 二向分色棱镜 399 7%eK37@u 19.7 偏振泄漏 404 I4i>+:_J 19.8 波前误差—相位 405 VS8Rx.? 19.9 其它计算参数 405 ckE-",G 20 报表生成器 406 b!5~7Ub.No 20.1 入门 406 :^B1~p(?sK 20.2 指令(Instructions) 406 M:B=\&.O 20.3 页面布局指令 406 {[?(9u7R 20.4 常见的参数图和三维图 407 %aVq+kC h 20.5 表格中的常见参数 408 CdjI` 20.6 迭代指令 408 );&:9[b_ 20.7 报表模版 408 ={@6{-tl 20.8 开始设计一个报表模版 409 |imM#wF 21 一个新的project 413 Od,qbU4O 21.1 创建一个新Job 414 dE{dZ#Jfi 21.2 默认设计 415 S k\K4 21.3 薄膜设计 416 Ig0VW)@ 21.4 误差的灵敏度计算 420 A0 C,tVd 21.5 显色指数计算 422 U$D65B4= 21.6 电场分布 424 y(yHt=r 后记 426 XW)lDiJl
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