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2023-06-13 08:46 |
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)
nJ.pPzH2g 内容简介 G@h6>O Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 13s!gwE) 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 =0`"T!1 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 =jip* E^ R_.C,mR ?
讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 [zIX&fPk$ 目录 gKcP\m Preface 1 ^x%yIS 内容简介 2 =)"60R7{ 目录 i |4pE"6A 1 引言 1 Zse3e 2 光学薄膜基础 2 Bm"jf] 2.1 一般规则 2 J@(=#z8xS 2.2 正交入射规则 3 Lp20{R 2.3 斜入射规则 6 ow]S 3[07 2.4 精确计算 7 p0? XR 2.5 相干性 8 cnC&=6=a< 2.6 参考文献 10 /K<Xr[z~y 3 Essential Macleod的快速预览 10 m C_v!nL. 4 Essential Macleod的特点 32 4VSIE"8e 4.1 容量和局限性 33 ry3;60E\) 4.2 程序在哪里? 33 :gVz}/C.@ 4.3 数据文件 35 #Qc[W +% 4.4 设计规则 35 ,g@U*06 4.5 材料数据库和资料库 37 vLJ<_&6 4.5.1材料损失 38 ]3xnq< 4.5.1材料数据库和导入材料 39 8 wQV^G 4.5.2 材料库 41 o\1"ux;b 4.5.3导出材料数据 43 aePhtQF 4.6 常用单位 43 /!oi`8D 4.7 插值和外推法 46 Y(78qs1w 4.8 材料数据的平滑 50 soA>&b!? 4.9 更多光学常数模型 54 AF ZHS\ 4.10 文档的一般编辑规则 55 ]pl g@ 4.11 撤销和重做 56 -4Zf0r1u 4.12 设计文档 57 8},!t\j#] 4.10.1 公式 58 8b!&TP~m1 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 h"Yi' 4.10.3 沉积密度 59 1[D~Eep 4.10.4 平行和楔形介质 60 Duj9PV`2 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 jL^zS XQB 4.10.4 性能 61 ueZ `+g~gg 4.10.5 保存设计和性能 64 &`Q0&8d5 4.10.6 默认设计 64 0XSZ3dY&+ 4.11 图表 64 @fRB0m"3 4.11.1 合并曲线图 67 0^*4LM|z 4.11.2 自适应绘制 68 3X89mIDr 4.11.3 动态绘图 68 Uc!}D 4.11.4 3D绘图 69 pq#Hca[ 4.12 导入和导出 73 ueDG1) 4.12.1 剪贴板 73 '{QbjG%<P 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 v0jRoE# 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 PbJn8o 4.13 背景 77 >1T=Aw2Z. 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ? Sj,HLo@U 4.15 生成Rugate 84 BC%t[H} >R 4.16 参考文献 91 ^,
q\S 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 )i0\U 5.1 Jobs 92 .d^8w97 5.2 创建一个新Job(工作) 93 LtJ$ZE^GB 5.3 输入材料 94 c>:}~.~T 5.4 设计数据文件夹 95 uNxR#S 5.5 默认设计 95 NjMbQM4 6 细化和合成 97 `]#D dJ_| 6.1 优化介绍 97 y+_GL=J 6.2 细化 (Refinement) 98 &`0y<0z 6.3 合成 (Synthesis) 100 BOrfKtG\ 6.4 目标和评价函数 101 y'*^ ' 6.4.1 目标输入 102 -i:Zi}f 6.4.2 目标 103 L:IaJ?+? 6.4.3 特殊的评价函数 104 b|u4h9 6.5 层锁定和连接 104 &Zs h-|N 6.6 细化技术 104 Ry,_%j3 6.6.1 单纯形 105 4gG&u33RrE 6.6.1.1 单纯形参数 106 }N#jA yp! 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 >#Y8#-$zc 6.6.2.1 Optimac参数 108 I5wf|wB- 6.6.3 模拟退火算法 109 `][~0\Y3m 6.6.3.1 模拟退火参数 109 $^INl0Pg 6.6.4 共轭梯度 111 {UQpD 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 D@rOX (m 6.6.5 拟牛顿法 112 <@.f# 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 3:&!Q*i; 6.6.6 针合成 113 6{8qATLR 6.6.6.1 针合成参数 114 wr~# rfH 6.6.7 差分进化 114 QY8I_VF 6.6.8非局部细化 115 r4@!QR<h 6.6.8.1非局部细化参数 115 ?9mFI (r~ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 pR4{}=g, 6.7.1 细化 116 ?=dyU( 6.7.2 合成 117 'C]zB'H= 6.8 参考文献 117 4 C/ 7 导纳图及其他工具 118 yyPkjUy[ 7.1 简介 118 br.jj 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 T?N' k= 7.2.1 四分之一波长规则 119 yeFt0\=H 7.2.2 导纳图 120 ^DS9D:oE 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 mhH[jO) 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 #*BcO-N 7.5 斜入射导纳图 141 W @Y$!V< 7.6 对称周期 141 ;26a8g( 7.7 参考文献 142 rtS(iD@B" 8 典型的镀膜实例 143 9`f]Rf" 8.1 单层抗反射薄膜 145 ld-c? 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 pFXDo4eH 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 U;Se'*5xv 8.4 W-膜层 148 %a<N[H3NV@ 8.5 V-膜层 149 *>n<7T0 8.6 V-膜层高折射基底 150 G#ZU^%$M, 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 3+u11'0=t 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 - U!:. 8.9 四层抗反射薄膜 153 w6+X{ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 Lfx&DK ! 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 SSYE& 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 iIA5ylf{E 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 h`-aO u 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Aa[p7{e 8.15十五层宽带抗反射膜 159 sn
'#]yM 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 jY-{hW+r 8.17 1/4波长堆栈 162 DDq*#;dP 8.18 陷波滤波器 163 5&D)W>{d 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ~'m
GGH2 8.20 褶皱 165 *.K+"WS% 8.21 消偏振分光器1 169 2>l4$G0 8.22 消偏振分光器2 171 p 2It/O 8.23 消偏振立体分光器 172 /@gD
8 8.24 消偏振截止滤光片 173 F<Js"z+ 8.25 立体偏振分束器1 174 x* *]@v"g 8.26 立方偏振分束器2 177 lO3$V JI 8.27 相位延迟器 178 Z@>hN%{d+g 8.28 红外截止器 179 r&@#,g 8.29 21层长波带通滤波器 180 C=2 8.30 49层长波带通滤波器 181 $YSAD\a< 8.31 55层短波带通滤波器 182 6T! *YrS 8.32 47 红外截止器 183 ;:,hdFap 8.33 宽带通滤波器 184 coT|t
T 8.34 诱导透射滤波器 186 R$X1Q/#md 8.35 诱导透射滤波器2 188 v!27q*;8H 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 +[:"$?J 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 -D?T0> 8.35 增益平坦滤波器 193 Gu}|CFL\ 8.38 啁啾反射镜 1 196 oXRmnt 8.39 啁啾反射镜2 198 3%{A"^S=} 8.40 啁啾反射镜3 199 E;.<'t> 8.41 带保护层的铝膜层 200 X1?7}VO 8.42 增加铝反射率膜 201 HhDiGzOSi 8.43 参考文献 202 +kP)T(6 9 多层膜 204 e`
Z;}&
, 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 }u:@:}8K 9.2 内部透过率 204 _p <W 9.3 内部透射率数据 205 ,V'+16xW 9.4 实例 206 hNgbHzW 9.5 实例2 210 )8VrGg? 9.6 圆锥和带宽计算 212 !G=!^RA 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ukHSHsR 10 光学薄膜的颜色 216 F$QN>wPpM 10.1 导言 216 =>#
S7= 10.2 色彩 216
_+[;NBz 10.3 主波长和纯度 220 0O<g)%Vz> 10.4 色相和纯度 221 va F^[/
(g 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 h}r* 10.6 色差 226 0h/gqlTK1 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 teH.e!S 10.8 颜色渲染指数 234 OFJ49X 10.9 色差计算 235 xS?[v&"2 10.10 参考文献 236 /tR@J8pV 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 CB_ww= 11.1 短脉冲 238 oE\Cwd 11.2 群速度 239 -9TNU7^ 11.3 群速度色散 241 DjY&)oce( 11.4 啁啾(chirped) 245 ,<R/jHZP9 11.5 光学薄膜—相变 245 8*z)aB&f3 11.6 群延迟和延迟色散 246 BwMi@r
= 11.7 色度色散 246 `>KB8SY:qK 11.8 色散补偿 249 cdiDfiE 11.9 空间光线偏移 256 .|W0B+Z8 11.10 参考文献 258 bC*( ,n<' 12 公差与误差 260 %\Dvng6$ 12.1 蒙特卡罗模型 260 dS]TTU1 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 Dx`-Kg_p 12.2.1 误差工具 267 \) DJo 12.2.2 灵敏度工具 271 YHBH9E/B 12.2.2.1 独立灵敏度 271 aVkgE> 12.2.2.2 灵敏度分布 275 9n4vuBgv 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 dd1CuOd6(1 12.3 参考文献 276 eGcc' LBr; 13 Runsheet 与Simulator 277 h0}r#L 13.1 原理介绍 277 /$
Gp<.z 13.2 截止滤光片设计 277 F/,K8<|r> 14 光学常数提取 289 ?^I\e{),c 14.1 介绍 289 r9nH6 Md\ 14.2 电介质薄膜 289 *nJy 14.3 n 和k 的提取工具 295 >%Rb}Ki4 14.4 基底的参数提取 302 mHCp^g4Q 14.5 金属的参数提取 306 S}L$-7Ct 14.6 不正确的模型 306 );EW(7KeL
14.7 参考文献 311 z }?*1c 15 反演工程 313 v:/+OzY 15.1 随机性和系统性 313 .}IxZM[}D 15.2 常见的系统性问题 314 B-'oB>| 15.3 单层膜 314 `;KU^dH 15.4 多层膜 314 F<FNZQ@<U 15.5 含义 319 Mn$w_Z? 15.6 反演工程实例 319 X*ZTn
7< 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 |e{F;8 15.6.2 反演工程提取折射率 327 >f)/z$
qn 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 {Yq"%n'0 16.1 光学性质的热致偏移 329 7G6XK 16.2 应力工具 335 lO^Ly27 16.3 均匀性误差 339 uWm,mGd9 16.3.1 圆锥工具 339 yTt,/+I%gJ 16.3.2 波前问题 341 JF{yhx,+p 16.4 参考文献 343 2I:x) 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 Pn?Ujjv 17.1 引言 345 R"@J*\;$T 17.2 操作数 345 j}P
xq 18 如何在Function中编写脚本 351 %LI[+#QE 18.1 简介 351 4#<r}j12z 18.2 什么是脚本? 351 i/Zv@GF 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 Vyy;mEBg 18.4 基础 352 5:S=gARz 18.4.1 Classes(类别) 352 tc-pVw:TV 18.4.2 对象 352 u7PtGN0r% 18.4.3 信息(Messages) 352 bcx,Kb 18.4.4 属性 352 Ug :3)q[O 18.4.5 方法 353 M$Sq3m`{! 18.4.6 变量声明 353 ~nQ= iB 18.5 创建对象 354 <4lR 18.5.1 创建对象函数 355 U&F1}P$fb 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
qW~Z#Si 18.5.3 丢弃对象 356 WY>r9+A?W 18.5.4 总结 356 #eRrVjbo 18.6 脚本中的表格 357 \!-IY 18.6.1 方法1 357 L@mNfLK 18.6.2 方法2 357 MH wjJ 18.7 2D Plots in Scripts 358 PhUG}94 18.8 3D Plots in Scripts 359 TRLz>m Q 18.9 注释 360 'gBGZ?^N!U 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 hk5[ N= 18.11 一个更高级的脚本 362 J \06j%d, 18.12 <esc>键 364 I,7~D!4G 18.13 包含文件 365 qS8p )pw 18.14 脚本被优化调用 366 9F~e^v]zp 18.15 脚本中的对话框 368 Bqcih$`BVU 18.15.1 介绍 368 W|2o^ V 18.15.2 消息框-MsgBox 368 cWp5' e]A 18.15.3 输入框函数 370 dM-qd` 18.15.4 自定义对话框 371 d+caGpaR 18.15.5 对话框编辑器 371 g?7I7W~?` 18.15.6 控制对话框 377 _cRCG1CJ 18.15.7 更高级的对话框 380 j\I{pW- 18.16 Types语句 384 YLXLaC[ 18.17 打开文件 385 xX !`0T7Y 18.18 Bags 387 %yyvB5Y^ 18.13 进一步研究 388 Ym% $!# 19 vStack 389 96(3ilAt 19.1 vStack基本原理 389 pA%}CmrMq 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 l+ ,p= 19.3 五棱镜 393 v[7iWBqJ 19.4 光束距离 396 L'Yg$9 Vz 19.5 误差 399 @~=*W5 19.6 二向分色棱镜 399 ,H)v+lI 19.7 偏振泄漏 404 Ri 19.8 波前误差—相位 405 k4C3SI*`4 19.9 其它计算参数 405 Mzg zOM 20 报表生成器 406 w$)NW57[| 20.1 入门 406 pftnFOLO 20.2 指令(Instructions) 406 S^8C\ E 20.3 页面布局指令 406 u# TNW. 20.4 常见的参数图和三维图 407 A,'F`au 20.5 表格中的常见参数 408 .S_7R/2(? 20.6 迭代指令 408 \ 4`:~c 20.7 报表模版 408 xS'Kr.S
20.8 开始设计一个报表模版 409 =K\xE" 21 一个新的project 413 %#jW 21.1 创建一个新Job 414 ]Pp}=hcD 21.2 默认设计 415 sQ}E4Iq1#S 21.3 薄膜设计 416 *HONA>u
21.4 误差的灵敏度计算 420 m{w'&\T 21.5 显色指数计算 422 WR.>?IG2E 21.6 电场分布 424 W?:e4:Q 后记 426 [yhK4A
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