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infotek 2023-06-13 08:46

《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(第二版 精装)

$ V"~\h8  
内容简介 :;u~M(R  
Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 T x_n$ &  
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 IkSzjXE{  
薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 <!\J([NM8  
'iN8JO>  
讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
BPnZ"w_  
目录 K5Fzmo a  
Preface 1 ChLU(IPo6  
内容简介 2 Ms*;?qtrR  
目录 i 3<x_[0v`K1  
1  引言 1 bID'r}55  
2  光学薄膜基础 2 $S$%avRX  
2.1  一般规则 2 )gNHD?4x  
2.2  正交入射规则 3 x3L3K/qMg  
2.3  斜入射规则 6 L4aT=of-  
2.4  精确计算 7 nMc d(&`N  
2.5  相干性 8 l}X3uy S  
2.6 参考文献 10 Mi\f?  
3  Essential Macleod的快速预览 10 VGBL<X  
4  Essential Macleod的特点 32 &X^~%\F:2  
4.1  容量和局限性 33 t=~5 I >  
4.2  程序在哪里? 33 ]"^GRFK5  
4.3  数据文件 35 n<7#?X7  
4.4  设计规则 35 =o=)EU{~  
4.5  材料数据库和资料库 37 o([+Pp  
4.5.1材料损失 38 kX {c+qHM  
4.5.1材料数据库和导入材料 39 ||7r'Q  
4.5.2 材料库 41 B$Jn|J"/6  
4.5.3导出材料数据 43 pTmG\wA~$  
4.6  常用单位 43 8|7fd|6~  
4.7  插值和外推法 46 $cH'9W}3K  
4.8  材料数据的平滑 50 4;|&}Ij  
4.9 更多光学常数模型 54 u=#!je  
4.10  文档的一般编辑规则 55 )zt*am;  
4.11 撤销和重做 56 :$[m[y7i  
4.12  设计文档 57 w IT`OT6Q  
4.10.1  公式 58 v}-'L#6  
4.10.2 更多关于膜层厚度 59 @ky5X V  
4.10.3  沉积密度 59 k+-u 4W   
4.10.4 平行和楔形介质 60 XLFJ?$)Tro  
4.10.5  渐变折射率和散射层 60 SR~~rD|V  
4.10.4  性能 61 wmY6&^?uS  
4.10.5  保存设计和性能 64 yA(H=L-=!1  
4.10.6  默认设计 64 ~9]tt\jN*Y  
4.11  图表 64 bM8b3, }?n  
4.11.1  合并曲线图 67 =bf-+gZD  
4.11.2  自适应绘制 68 sJ?Fque  
4.11.3  动态绘图 68 sBF>a|  
4.11.4  3D绘图 69 P 2;j>=W  
4.12  导入和导出 73 blaxUP:  
4.12.1  剪贴板 73 05nG |  
4.12.2  不通过剪贴板导入 76 " I`<s<  
4.12.3  不通过剪贴板导出 76 y S7[=S  
4.13  背景 77 ^`=Z=C$fj  
4.14  扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ?mRU9VY  
4.15  生成Rugate 84 "S#0QH%5  
4.16  参考文献 91 ~mK9S^[  
5  在Essential Macleod中建立一个Job 92 u&bo32fc  
5.1  Jobs 92 LUKdu&M  
5.2  创建一个新Job(工作) 93 x1+8f2[  
5.3  输入材料 94 w{K_+}fAC  
5.4  设计数据文件夹 95 Vjj30f  
5.5  默认设计 95 v"_hWJ)  
6  细化和合成 97 lpve Yz  
6.1  优化介绍 97 l[Ng8[R  
6.2  细化 (Refinement) 98 q(!191@C(  
6.3  合成 (Synthesis) 100 &OGY?[n  
6.4  目标和评价函数 101 Uh?SDay  
6.4.1  目标输入 102 !K(0)~u  
6.4.2  目标 103 ;% !'K~  
6.4.3  特殊的评价函数 104 GR O[&;d`  
6.5  层锁定和连接 104 6!Ji-'\"  
6.6  细化技术 104 n`0}g_\q  
6.6.1  单纯形 105 -UPdgZ_Vxz  
6.6.1.1 单纯形参数 106 J h M.P9  
6.6.2  最佳参数(Optimac) 107 Gnj|y?'  
6.6.2.1 Optimac参数 108 Sxjwqqv  
6.6.3  模拟退火算法 109 `<y2l94tL  
6.6.3.1 模拟退火参数 109 *'PG@S  
6.6.4  共轭梯度 111 X!"ltNd  
6.6.4.1 共轭梯度参数 111 :%xiH%C>  
6.6.5  拟牛顿法 112 v~ZdMQvwt  
6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ?8b?{`@V  
6.6.6  针合成 113 vy1:>N?#5  
6.6.6.1 针合成参数 114 DDc?G Y:  
6.6.7 差分进化 114 =<iK3bPkU  
6.6.8非局部细化 115 sh:sPzQ%Jv  
6.6.8.1非局部细化参数 115 d1``} naNw  
6.7  我应该使用哪种技术? 116 0z_e3H{P27  
6.7.1  细化 116 e<9IwS!/  
6.7.2  合成 117 VoWlBH  
6.8  参考文献 117 E]6;nY?  
7  导纳图及其他工具 118 ArbfA~jXB  
7.1  简介 118 \@GA;~x.b  
7.2  薄膜作为导纳的变换 118 b)3dZ*cOJ  
7.2.1  四分之一波长规则 119 :)cPc7$8  
7.2.2  导纳图 120 29 Yg>R!/  
7.3  用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 V ;1$FNR   
7.4  全介质抗反射薄膜中的应用 125 + Q}Y?([  
7.5  斜入射导纳图 141 vv"_u=H  
7.6  对称周期 141 rrwBsa3  
7.7  参考文献 142 HKb8z@;%@  
8  典型的镀膜实例 143 k^S=i_ U  
8.1  单层抗反射薄膜 145 E Rqr0>x  
8.2  1/4-1/4抗反射薄膜 146 LylB3BM  
8.3  1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 }O<=!^Y;A  
8.4  W-膜层 148 2j Oh~-LU  
8.5  V-膜层 149 37T<LU  
8.6  V-膜层高折射基底 150 # 0dN!l;  
8.7  V-膜层高折射率基底b 151 t(/e~w  
8.8  高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 MHpPb{ ^  
8.9  四层抗反射薄膜 153 SLD%8:Zn  
8.10  Reichert抗反射薄膜 154 jL6u#0  
8.11  可见光和1.06 抗反射薄膜 155 SQ1.jcWW[  
8.12  六层宽带抗反射薄膜 156 `QnKal)  
8.13  宽波段八层抗反射薄膜 157 O3j:Y|N@F  
8.14  宽波段25层抗反射薄膜 158 U_wn/wcLS  
8.15十五层宽带抗反射膜 159 (UA a  
8.16  四层2-1 抗反射薄膜 161 m5v9:5{  
8.17  1/4波长堆栈 162 YRfs8I^rg  
8.18  陷波滤波器 163 0 j:8 Ve  
8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ic%<39  
8.20  褶皱 165 6p1\#6#@  
8.21  消偏振分光器1 169 \=kH7 !  
8.22  消偏振分光器2 171 B-@6m  
8.23  消偏振立体分光器 172 .a8N 5{`  
8.24  消偏振截止滤光片 173 <_dyUiT$J  
8.25  立体偏振分束器1 174 {W)Kz_  
8.26  立方偏振分束器2 177 (vB aem9  
8.27  相位延迟器 178 ~>VEg3#F  
8.28  红外截止器 179 [}9sq+##  
8.29  21层长波带通滤波器 180 1y2D]h/'  
8.30  49层长波带通滤波器 181 lF2im5nZ?  
8.31  55层短波带通滤波器 182 t>)iC)^u  
8.32  47 红外截止器 183 +?w 7Nm`  
8.33  宽带通滤波器 184 &BY%<h0c  
8.34  诱导透射滤波器 186 rr>QG<i;G  
8.35  诱导透射滤波器2 188 AE={P*g  
8.36  简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 =!w5%|r.  
8.37  高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ,^pM]+NF|  
8.35  增益平坦滤波器 193 '_lyoVP  
8.38  啁啾反射镜 1 196 wZJpSkcEx  
8.39  啁啾反射镜2 198 & Gp@,t  
8.40  啁啾反射镜3 199 Z3g6 ?2w6  
8.41  带保护层的铝膜层 200 2?u>A3^R  
8.42  增加铝反射率膜 201 5|my}.TR  
8.43  参考文献 202 J*o :RnB  
9  多层膜 204 cv=nGFx6  
9.1  多层膜基本原理—堆栈 204 %0fF_OU  
9.2  内部透过率 204 1P. W 34  
9.3 内部透射率数据 205 ng0IRJ:3  
9.4  实例 206 w17\ \[  
9.5  实例2 210 -wH#B<'  
9.6  圆锥和带宽计算 212 iS&~oj_-%  
9.7  在Design中加入堆栈进行计算 214 an_qE}P  
10  光学薄膜的颜色 216 CoDu|M%  
10.1  导言 216  Zf68 EB  
10.2  色彩 216 [R+zzl&Zw  
10.3  主波长和纯度 220 O$k;p<?M  
10.4  色相和纯度 221 'Y IFHn$!  
10.5  薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 (~:k70V5  
10.6 色差 226 rlT[tOVAY  
10.7  Essential Macleod中的色彩计算 227 vA2@Db}  
10.8  颜色渲染指数 234 :y==O4  
10.9  色差计算 235 '%_1eaH  
10.10  参考文献 236 $#2ik~]>  
11  镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 \{AxDk{z#  
11.1  短脉冲 238 S~d_SU~>`  
11.2  群速度 239 q>/# P5V  
11.3  群速度色散 241 JZ  Qkr  
11.4  啁啾(chirped) 245 S(9Xbw)T  
11.5  光学薄膜—相变 245 qR4('  
11.6  群延迟和延迟色散 246 ?v-IN  
11.7  色度色散 246 L+LxS|S+M  
11.8  色散补偿 249 DQ :w9  
11.9  空间光线偏移 256 `au(' xi<  
11.10  参考文献 258 z~Ph=1O>p  
12  公差与误差 260 mr6/d1af_  
12.1  蒙特卡罗模型 260 RIOR%~U  
12.2  Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ML'4 2z Y  
12.2.1  误差工具 267 y3F13 Z@%  
12.2.2  灵敏度工具 271 YLmzMD>  
12.2.2.1 独立灵敏度 271 34-QgE  
12.2.2.2 灵敏度分布 275 TC[_Ip&  
12.2.3  Simulator—更高级的模型 276 `2c>M\c4U  
12.3  参考文献 276 5tT-[mQ*  
13  Runsheet 与Simulator 277 0L"CM?C  
13.1  原理介绍 277 -fw0bL%0  
13.2  截止滤光片设计 277 Mez;DKJ`  
14  光学常数提取 289 lc>)7UF  
14.1  介绍 289 lE:X~RO"~  
14.2  电介质薄膜 289 nv1'iSEeOl  
14.3  n 和k 的提取工具 295 &f'\9lO  
14.4  基底的参数提取 302 g <^Y^~+E  
14.5  金属的参数提取 306 [/hS5TG|7  
14.6  不正确的模型 306 /%C6e )7BL  
14.7  参考文献 311 ;v'7l>w3\w  
15  反演工程 313 xnmIo? hC  
15.1  随机性和系统性 313 :-ZE~b HJ  
15.2  常见的系统性问题 314 Y$b4Ga9j  
15.3  单层膜 314 CXks~b3SD  
15.4  多层膜 314 lS]<~  
15.5  含义 319 <8Ek-aNNt  
15.6  反演工程实例 319 1{4d)z UB  
15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 kKVd4B[#*  
15.6.2 反演工程提取折射率 327 Hy5_iYP5  
16  应力、张力、温度和均匀性工具 329 ^ AxU  
16.1  光学性质的热致偏移 329 zqfv|3-!}  
16.2  应力工具 335 4)BZ%1+  
16.3  均匀性误差 339 -Bbg'=QZa  
16.3.1  圆锥工具 339 }3:DJ(Y  
16.3.2  波前问题 341 wLC!vX.S  
16.4  参考文献 343 r7Bv?M^!  
17  如何在Function(模块)中编写操作数 345 9;2PoW8  
17.1  引言 345 rs {e6  
17.2  操作数 345 ' Bb]< L`  
18  如何在Function中编写脚本 351 J2Y-D'*s  
18.1  简介 351 "r @RDw   
18.2  什么是脚本? 351 ";}Lf1M9  
18.3  Function中脚本和操作数对比 351 dl;~-'0  
18.4  基础 352 .o91^jt  
18.4.1  Classes(类别) 352 s (|T@g  
18.4.2  对象 352 dQ?4@  
18.4.3  信息(Messages) 352 7Ipt~K}  
18.4.4  属性 352 au7%K5  
18.4.5  方法 353 (Z5=GJM?$  
18.4.6  变量声明 353 r@FdxsCnGM  
18.5  创建对象 354 BT;hW7){9  
18.5.1  创建对象函数 355 W)JUMW2|  
18.5.2  使用ThisSession和其它对象 355 _F>1b16:/P  
18.5.3 丢弃对象 356 |0FRKD]  
18.5.4  总结 356 }HtP8F8!x  
18.6  脚本中的表格 357 DLcfOOn1I  
18.6.1  方法1 357 ,!t1( H  
18.6.2  方法2 357 Ze ~$by|9f  
18.7 2D Plots in Scripts 358 L,!?'.*/]  
18.8 3D Plots in Scripts 359 & i"33.#]  
18.9  注释 360 )V~Fl$A  
18.10  脚本管理器调用Scripts 360 9|WBJ6  
18.11  一个更高级的脚本 362 6} "?eW  
18.12  <esc>键 364 fv$Y&_,5  
18.13 包含文件 365 0/hX3h  
18.14  脚本被优化调用 366 %y.9S=,v,  
18.15  脚本中的对话框 368 p 7IJ3YY  
18.15.1  介绍 368 B%gk[!d}8  
18.15.2  消息框-MsgBox 368 $l-|abLELz  
18.15.3  输入框函数 370 %HSS x+2oR  
18.15.4  自定义对话框 371 W"Hjn/xSS  
18.15.5  对话框编辑器 371 i@e.Uzn  
18.15.6  控制对话框 377 Oh6_Bci  
18.15.7  更高级的对话框 380  =<fH RX`  
18.16 Types语句 384 c\FyX\ i  
18.17 打开文件 385 rg+28tlDn  
18.18 Bags 387 @+~=h{jv<  
18.13  进一步研究 388 GlP [:  
19  vStack 389 3U<\y6/  
19.1  vStack基本原理 389 8+Al+6d|!  
19.2  一个简单的系统——直角棱镜 391 ;5^ grr@,4  
19.3  五棱镜 393 %Y%+K5;AZ  
19.4 光束距离 396 nP?=uGqCBq  
19.5 误差 399 g`)3m,\  
19.6  二向分色棱镜 399 k$:QpTg[  
19.7  偏振泄漏 404 UT[nzbG  
19.8  波前误差—相位 405 +*,rOK`C  
19.9  其它计算参数 405 !+& NG&1  
20  报表生成器 406 :}x\&]uC#k  
20.1  入门 406 lMAmico  
20.2  指令(Instructions) 406 BL0WI9  
20.3  页面布局指令 406 X@Eq5s  
20.4  常见的参数图和三维图 407 zr@Bf!VG:  
20.5  表格中的常见参数 408 RtH[OZu(8  
20.6  迭代指令 408 x={t}qDS8  
20.7  报表模版 408 l2GMVAca  
20.8  开始设计一个报表模版 409 d=WC1"  
21  一个新的project 413 ,'5P[-  
21.1  创建一个新Job 414 ;d G.oUk=  
21.2  默认设计 415 %\N.m/5  
21.3  薄膜设计 416 bL_s[-7  
21.4  误差的灵敏度计算 420 S#0y\  
21.5  显色指数计算 422 g3n^ <[E  
21.6  电场分布 424 {l{p  
后记 426
nkHr(tF 7  
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