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镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟
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infotek
2023-06-08 08:37
镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟
案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟
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这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。
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关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜
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所需工具箱子:光栅工具箱
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相关案例:G.001a,Scenario 104.01
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建模任务
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加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。
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双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。
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为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。
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选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
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选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。
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堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。
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X线偏振光模拟结果:
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探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。
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在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。
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Y线偏光模拟结果
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对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。
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结论:
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严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
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二牛26
2023-07-04 11:14
入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?
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镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟
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