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2023-06-08 08:37 |
镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟
案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 w'6sJ#ba( | r,{# EE 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 Sfa;;7W@R BIXbdo5F 关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 'mTQ=1 HJ_8 `( ' 所需工具箱子:光栅工具箱 q|sT4}
= JLak>MS 相关案例:G.001a,Scenario 104.01 A=+1PgL66 8bdx$,$k 建模任务 qH4+iSTnV rtdEIk 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 sQmJ3 (:HO RqKkB8g
L0;XzZS 双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 0[f[6mm%m tTbfyI 3vHkhhYQ 为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 (tCBbPW6T? Z.b?Jzj CI1K:K AM 选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 pv,z$3Q +GEdVB zm mkmTp 选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 /5X_gjOL, >VppM ` aMJJ|iiU 堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 E(_lm&,4+ T m2+/qO, /*(&Dmt> X线偏振光模拟结果: D
`av9I x~ID[ 探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 u
s8.nL/ 在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 u{cb[M v0( _4U]/ >FS}{O2c Y线偏光模拟结果 K{9 deEc;IAo hh[x(O)TC~ 对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 kP1cwmZ7F 结论: RG 9iTA' 严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 sB!6"D5
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