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infotek 2023-06-08 08:37

镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟

案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 Q^[e/U,  
tF<^9stM  
这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 4=~ 9v  
E!dz/.  
关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 qo)Q}0  
(QhG xuC  
所需工具箱子:光栅工具箱  V+peO  
C2CYIo k$&  
相关案例:G.001a,Scenario 104.01 t'dHCp}  
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建模任务 A*rZQh b[  
aB=vu=hF  
加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 uE"5cq'B/  
Po'-z<}wS  
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双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 wTB)v!  
*^X#Eb  
oG+K '(BB  
为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 gTqeJWX9wP  
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P#w}3^  
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
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选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 `l+ >iM  
<sgZ3*,A  
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堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 Fl B, (Cm  
=Dh$yC-Zr  
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X线偏振光模拟结果:
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xN e_qO  
探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 #=`FM:WH  
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 nu#aa#ex>  
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C<r(-qO{5  
Y线偏光模拟结果 ` %FIgE^  
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>W>##vK  
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 0 $n8b/%.  
结论: cYZwWMzp  
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
H @_eFlT t  
二牛26 2023-07-04 11:14
入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?
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