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infotek 2023-06-08 08:37

镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟

案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 F(; =^w  
qNuBK6E#4  
这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 8{- *Q(=/  
#?h-<KQQ  
关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 1CR)1H  
Z ~3  
所需工具箱子:光栅工具箱 Q,LDn%+;B*  
D_Zt:tzO  
相关案例:G.001a,Scenario 104.01 ==Ah& ){4^  
}~#Tsv  
建模任务 YlC$L$%Zd.  
0woLB#v9  
加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 wM``vx[/  
=c ;.cW  
&5y|Q?  
双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 D~zk2  
+zg3/C4 S  
.[:y`PCF  
为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 0 K(&EpVE  
K2qKkV@  
[gIvB<Uv  
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
`]I p`_{  
s$Vz1B  
?~3Pydrb#  
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 Tg@:mw5  
j a'_syn  
s^"*]9B"  
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 !y&<IT(\4  
{U)q)  
Oj>;[O"  
X线偏振光模拟结果:
}vEMG-sxX  
7S{yKS  
探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 C/!7E:  
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 c=f;3N  
>x*ef]aS  
i<M F8 $  
Y线偏光模拟结果 QKIg5I-  
ckkm}|&m  
5 )z'=  
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 ^4C djMF-E  
结论: Oh3A?!y#  
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
T2_b5j3i  
二牛26 2023-07-04 11:14
入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?
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