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infotek 2023-06-08 08:37

镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟

案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 V HLNJnA  
#7YJ87<E  
这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 n0V^/j}  
G~ 4G$YL*  
关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 )g^O'e=m  
0hXx31JN N  
所需工具箱子:光栅工具箱 U{@2kg-  
s._,IW;   
相关案例:G.001a,Scenario 104.01 4~;M\h  
[{>1wJ Pdj  
建模任务 .jbxA2  
0q]0+o*%  
加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 @ W,<8  
mM{cH=  
?O]RQXsZ2  
双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 I;UT; /E2  
00r7trZW^  
e)XnS'  
为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 XBcbLF  
;R@D  
{([`[7B>a<  
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
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选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 ]8'PLsS9<w  
x2OAkkH\]i  
Cm"S=gV  
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 =u.23#.  
D O||o&u  
1FT3d  
X线偏振光模拟结果:
wAL}c(EHO  
L gy^^.  
探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 h7o.RRhK  
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 }EJ/H3<  
NnU`u.$D  
DhsvN&yNM  
Y线偏光模拟结果 Z B!~@Vf  
xZ >j Q_}  
@tJic|)x  
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 6V#EEb  
结论: (I35i!F+tY  
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
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二牛26 2023-07-04 11:14
入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?
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