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infotek 2023-06-08 08:37

镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟

案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 'j>^L  
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这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 C6Dq7~{B  
Hm%[d;Z7  
关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 @^#y23R U  
EtN"K-X  
所需工具箱子:光栅工具箱 Za4 YD  
!X*L<)=nh  
相关案例:G.001a,Scenario 104.01 5|Vb)QBv%  
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建模任务 H;Z{R@kf  
6'|J ;  
加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 X[grV e  
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双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 :IbrV@gN{@  
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c$@,*c 0n  
为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 z[] AH#h  
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}me]?en_Ra  
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
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选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 B_c(3n-"  
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堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 ]N2'L!4|;  
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N~Ax78TX  
X线偏振光模拟结果:
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}# w>>{Q  
探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 JI@~FD&  
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 7A3e-51 >  
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Y线偏光模拟结果 q2&&n6PYW  
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对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 L$lo5  
结论: F2 >o"j2  
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
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二牛26 2023-07-04 11:14
入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?
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