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infotek 2023-06-08 08:37

镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟

案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 `16'qc  
7^eyO&4z  
这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 P5Xp #pa  
Rl?1|$%  
关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 V]H(;+^P  
irt9%w4"  
所需工具箱子:光栅工具箱 DQG%`-J  
]LvP)0=  
相关案例:G.001a,Scenario 104.01 iLy^U*yK  
@:N8V[*u  
建模任务 Mu3G/|t(  
 u r$  
加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 )D8op;Fn  
f_c\uN@f  
U0&myj 8L  
双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 #u&fUxM:AS  
1eI*.pt  
&^`Wtd~g  
为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 6#z8 %k aX  
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L=lSW7R  
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
X!KX4H  
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P(aBJ*((~  
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 Ed=/w6<  
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LUQ.=:mBR  
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 rJiF2W  
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b|i4me@  
X线偏振光模拟结果:
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 a*p|Ij  
探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 }a"=K%b<\  
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 qiz(k:\o  
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Y线偏光模拟结果 xp|1yud  
)Jt. Z^J<  
A@?0(  
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 Uh/=HNR  
结论: @`[e1KQ  
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
+$C9@CZM9  
二牛26 2023-07-04 11:14
入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?
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