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infotek 2023-06-08 08:37

镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟

案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 w'6sJ#ba(  
| r,{#EE  
这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 Sfa;;7W@R  
BIXbdo5F  
关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 'm TQ=1  
HJ_8 `( '  
所需工具箱子:光栅工具箱 q|sT4} =  
JLak>MS  
相关案例:G.001a,Scenario 104.01 A=+1PgL66  
8bdx$,$k  
建模任务 qH4+i STnV  
rtdEIk  
加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 sQmJ3 (:HO  
RqKkB8g  
L0;XzZ S  
双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 0[f[6mm%m  
tTb fyI  
3vHkhhYQ  
为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 (tCBbPW6T?  
Z.b?Jzj  
CI1K:K AM  
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
pv,z$3Q  
+GEdVB  
zm mkmTp  
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 /5X_gjOL,  
>VppM  `  
aMJJ|iiU  
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 E(_lm&,4+  
Tm2+/qO,  
/*(&Dmt>  
X线偏振光模拟结果:
D `av9I  
x~ID[  
探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 u s8.nL/  
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 u{cb[M  
v0(_4U]/  
>FS}{O2c  
Y线偏光模拟结果  K{9  
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hh[x(O)TC~  
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 kP1cwmZ7F  
结论: RG9iTA'  
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
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二牛26 2023-07-04 11:14
入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?
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